KR200454890Y1 - 습식 세정장치용 배관유닛 - Google Patents

Abstract

피팅력이 우수한 습식 세정장치용 배관유닛이 개시된다. 개시된 본 고안에 의한 습식 세정장치용 배관유닛은, 상호 연통하는 적어도 한 쌍의 관으로 구성된 연결관과 연결관을 피팅시키는 피팅부로 구성되며, 피팅부는, 연결관의 외주면에 결합되되 내주면에 너트 나사산이 형성되는 너트, 연결관과 너트의 일측 사이에 개재되어 너트와 제1회전방향으로 체결되는 제1피팅부재 및, 연결관과 너트의 타측 사이에 개재되어 너트와 제2회전방향으로 체결되는 제2피팅부재를 포함한다. 이러한 구성에 의하면, 외력이 가해지더라도 상호 연통하는 두 관 사이의 피팅력이 해제되지 않아, 사용 안전성을 확보할 수 있게 된다.

배관, 약액, 습식, 세정, 연결관, 피팅, 너트, 나사, 반대방향, 풀림.

Description

습식 세정장치용 배관유닛{A PIPE UNIT FOR WET CLEANING APPARATUS}

본 고안은 습식 세정장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 약액의 유로를 제공하는 적어도 한 쌍의 관 사이의 피팅력을 향상시킬 수 있는 습식 세정장치용 배관유닛에 관한 것이다.

일반적으로 반도체는 리소그래피, 증착 및 에칭 등과 같은 일련의 공정들이 반복적으로 수행됨으로써, 제조된다. 이때, 상기 반도체를 구성하는 실리콘 웨이퍼와 같은 기판의 표면에는 반복적인 공정에 의해 각종 파티클, 금속 불순물 및/또는 유기물 등과 같은 오염물질들이 잔존하게 된다. 이러한 기판에 잔존하는 오염물질은 제조되는 반도체의 신뢰성을 저하시키므로, 이를 개선하기 위해 세정장치가 반도체 제조공정 중에 채용된다. 상기 세정장치는 건식(Dry) 또는 습식(Wet)세정방식 중 어느 하나의 방식으로 기판 표면의 오염물질을 처리한다.

여기서, 상기 습식세정방식은 약액을 상기 기판으로 분사하거나, 약액에 상기 기판을 침지시켜 세정한 후, 건조하는 방식이다. 이러한 습식세정방식의 적용을 위해서는 상기 약액을 공급 및 배출시키기 위한 배관유닛이 요구된다. 한편, 일반적인 습식세정을 위한 배관유닛(1)은 도 1의 도시와 같이, 상기 약액의 유로를 형성하기 위해 상호 연통하는 한 쌍의 튜브(2), 상기 튜브(2)의 외주면을 감싸 지지하는 너트(3) 및, 상기 너트(3)와 결합되도록 상기 튜브(2)의 외주면에 설치되는 피팅몸체(4)을 포함한다. 여기서, 상기 튜브(2)의 외주면 및, 너트(3)와 피팅몸체(4) 사이의 밀폐력을 위해, 튜브(2)의 외주면에는 슬리브(5)가 개재된다. 이러한 구성에 의해, 상기 튜브(2)의 외주면에 너트(3)와 슬리브(5)를 장착한 후, 피팅몸체(4)를 체결된다.

그런데, 상기와 같은 구성을 가지는 일반적인 습식 세정방식이 적용된 기판세정장치의 배관유닛(1)의 경우, 상기 너트(3)와 피팅몸체(4)가 상호 일방향으로만 결합됨에 따라, 사용도중 진동이나 열에 의해 너트(3)가 풀리는 문제점이 야기된다. 이 경우, 상기 배관유닛(1)의 너트(3) 풀림에 의한 안전사고 발생의 위험이 있어, 지속적으로 배관유닛(1)을 모니터링해야 하는 불편함이 야기된다.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 배관유닛의 피팅이 해제됨을 차단할 수 있는 습식 세정장치용 배관유닛을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안에 의한 습식 세정장치용 배관유닛은, 습식 세정장치에 사용되는 약액을 순환시키기 위한 것으로서, 연결관과 피팅부를 포함한다.

본 고안의 바람직한 일 실시예에 의하면, 상기 연결관은 상호 연통하는 적어도 한 쌍의 관을 포함하여, 상기 약액의 유로를 제공한다.

상기 피팅부는 상기 한 쌍의 관 사이의 연결부위를 감싸 지지함으로써, 상기 연결관을 상호 피팅시키기 위한 것으로서, 너트, 제1피팅부재 및 제2피팅부재를 포함한다.

상기 너트는 상기 한 쌍의 관 사이의 연결부위를 감싸도록 상기 연결관의 외주면에 결합되되, 내주면에 너트 나사산이 형성된다.

상기 제1피팅부재는 상기 연결관과 상기 너트의 일측 사이에 개재되어, 상기 너트와 제1회전방향으로 체결된다. 상기 제1피팅부재는, 상기 너트의 일측 내주면과 결합되도록 제1피팅 나사산이 형성되는 제1체결단 및, 상기 제1체결단으로부터 연장되어 상기 너트의 일측을 간섭하여 체결범위를 규제시키기 위해 상기 제1체결 단으로부터 돌출 형성되는 간섭단을 포함한다.

상기 제2피팅부재는 상기 연결관과 상기 너트의 타측 사이에 개재되어, 상기 너트와 상기 제1회전방향에 반대방향인 제2회전방향으로 체결된다. 여기서, 상기 제2피팅부재는, 상기 너트의 타단과 결합되도록 상기 제1피팅 나사산과 반대방향으로 형성되는 제2피팅 나사산이 형성되는 제2체결단 및, 상기 제2체결단으로부터 연장되어 상기 연결관에 밀착되는 밀착단을 포함하는 것이 좋다.

상기와 같은 구성을 가지는 본 고안에 의하면, 첫째, 상호 연통하는 관 사이의 연결부위를 피팅시키는 너트가 제1 및 제2피팅부재와 각각 서로 다른 방향으로 체결되어 결합됨으로써, 사용 중 진동과 같은 외력이 가해져도 너트의 체결력이 해제되지 않아 약액이 누출됨을 차단할 수 있게 된다.

둘째, 피팅력을 향상을 통해 안전사고 발생을 저감시킬 수 있게 된다.

셋째, 기존과 같이 작업자가 피팅력 해제를 지속적으로 모니터링함이 불필요함에 따라, 작업효율 향상도 기대할 수 있게 된다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

도 2를 참고하면, 본 고안의 바람직한 일 실시예에 의한 습식 세정장치용 배관유닛(10)은 연결관(20) 및 피팅부(30)를 포함한다.

참고로, 본 고안에서 설명하는 습식 세정장치용 배관유닛(10)은 습식 세정에 사용되는 약액의 공급 및/또는 배출 즉, 순환을 위해 상기 습식 세정장치(미도시)와 연결된다.

상기 연결관(20)은 상기 습식 세정장치(미도시)와 연결되어 약액의 유로를 제공한다. 이러한 연결관(20)은 원형의 튜브인 적어도 한 쌍의 관(21)(22)을 상호 연통시켜 마련한다. 이하에서는, 설명의 편의를 위해, 상기 한 쌍의 관(21)(22)을 각각 제1관(21) 및, 제2관(22)으로 지칭하여 설명한다.

상기 피팅부(30)는 상기 제1 및 제2관(21)(22) 사이의 연결부위(23)를 밀폐시켜, 상기 연결관(20)을 피팅시킨다. 이를 위해, 상기 피팅부(30)는 너트(40), 제1피팅부재(50) 및, 제2피팅부재(60)를 포함한다.

상기 너트(40)는 상기 연결관(20)의 외주면 구체적으로는, 상기 제1 및 제2관(21)(22) 사이의 연결부위(23)를 감싸도록 장착된다. 여기서, 상기 너트(40)의 내주면에는 너트 나사산(43)(44)이 형성된다. 이때, 상기 너트(40)는 단차진 내주면을 가짐으로써, 외주면으로부터 내주면을 향하는 길이가 일측(41)과 타측(42)이 상이한 2단 구조를 가진다. 이하에서는 설명의 편의를 위해, 도시 기준으로 좌측에 위치하는 일측(41)에 마련되는 내주면에 형성된 너트 나사산을 제1너트 나사산(43)이라 지칭하며, 도시 기준으로 우측에 위치하는 타측(42)에 마련되는 내주면에 형성된 너트 나사산을 제2너트 나사산(44)이라 지칭한다. 참고로, 상기 너트(40)의 외주면으로부터 제1너트 나사산(43)까지의 길이는 상기 제2너트 나사산(44)까지의 길이보다 길며, 상기 제1 및 제2너트 나사산(43)(44)의 방향은 상호 반대이다.

상기 제1피팅부재(50)는 상기 연결관(20)과, 상기 너트(40)의 일측(41) 사이로 개재되어, 상기 너트(40)와 제1회전방향(R1)으로 체결된다. 여기서, 상기 제1피팅부재(50)는 상기 연결관(20)이 삽입될 수 있도록 대략 중앙에 관통된 제1삽입공(51)이 형성되며, 양단은 각각 제1체결단(52)과 간섭단(53)으로 마련된다.

구체적으로, 상기 제1체결단(52)은 상기 너트(40)의 일측(41)에 형성된 제1너트 나사산(43)과 상호 결합되는 제1피팅 나사산(54)이 형성된다. 상기 간섭단(53)은 상기 너트(40)의 일측(41)을 간섭하여 체결범위를 규제시키기 위해 상기 제1체결단(52)으로부터 돌출 형성된다. 이러한 간섭단(53)에 의해, 상기 너트(40)가 제1너트 나사산(43)과 제1피팅부재(50)의 제1피팅 나사산(54) 사이의 결합에 의해 일방향(D1)으로 회전 이동되는 범위를 규제할 수 있게 된다. 즉, 상기 너트(40)는 상기 제1피팅부재(50)의 제1피팅 나사산(54)을 따라 제1회전방향(R1)으로 회전하면서 간섭단(53)에 간섭될 때까지 일방향(D1)으로 이동 가능한 것이다.

상기 제2피팅부재(60)는 상기 연결관(20)이 삽입될 수 있도록 대략 중앙에 관통된 제2삽입공(61)이 형성된다. 또한, 상기 제2피팅부재(60)는 상기 연결관(20)과 너트(40)의 타측(42) 사이에 개재되어, 상기 너트(40)와 제2회전방향(R2)으로 체결된다. 여기서, 상기 제2회전방향(R2)은 상기 제1회전방향(R1)과 반대방향이다. 그로 인해, 상기 너트(40)는 상기 제2피팅부재(60)와 결합 시, 상기 제1피팅부재(50)와의 결합방향인 일방향(D1)과 반대인 타방향(D2)으로 회전하면서 이동하게 된다.

이러한 제2피팅부재(60)는 상기 너트(40)의 타측(42)과 결합되도록, 상기 제 1피팅 나사산(54)과 반대방향으로 형성되는 제2피팅 나사산(64)이 형성되는 제2체결단(62) 및, 상기 제2체결단(62)으로부터 연장되어 연결관(20)에 밀착되는 밀착단(63)을 포함한다. 여기서, 상기 제2체결단(62)은 상기 너트(40)의 일측(41)에 위치하는 내주면과 제1피팅부재(50)의 제1체결단(52)에 간섭된다. 그로 인해, 상기 제2피팅부재(60)에 상기 너트(40)가 타방향(D2)으로 이동되면서 결합될 때, 상기 제2피팅부재(60)가 너트(40)의 단차진 내주면에 간섭되어 이동범위가 규제된다.

한편, 상기 연결관(20)의 외주면 및, 상기 제1 및 제2피팅부재(50)(60)의 사이에는 슬리브(Sleeve)(70)가 개재됨으로써, 상기 연결관(20)의 밀폐력을 보강함이 바람직하다.

이상과 같은 구성을 가지는 본 고안에 의한 습식 세정장치용 배관유닛(10)을 조립동작을 도 3 및 도 4를 참고하여 설명한다.

우선, 도 3의 도시와 같이, 상기 연결관(20)의 외주면에 상기 슬리브(70)를 사이에 두고 상기 제1피팅부재(50)를 결합시킨 후, 상기 제1피팅부재(50)의 제1피팅 나사산(54)을 따라 상기 너트(40)를 체결시켜 결합한다. 여기서, 상기 너트(40)의 일측(41)에 마련된 제1너트 나사산(43)과 제1피팅부재(50)의 제1피팅 나사산(54)을 상호 맞물린 상태로, 상기 너트(40)가 제1회전방향(R1)을 회전되면서 일방향(D1)으로 이동하게 된다. 여기서, 상기 너트(40)의 일방향(D1) 이동범위는 제1피팅부재(50)의 간섭단(53)에 의해 간섭되어 규제된다.

이렇게 연결관(20), 슬리브(70), 제1피팅부재(50) 및 너트(40)의 일측(41)이 순차적으로 결합된 상태로, 도 4의 도시와 같이, 상기 너트(40)의 타측(42)과 제2 피팅부재(60)를 상호 결합시킨다. 구체적으로, 상기 너트(40)의 타측(42)에 위치하는 제2너트 나사산(44)과 제2피팅부재(60)의 제2피팅 나사산(64)을 상호 맞물리게 한 후, 너트(40)를 제2회전방향(R2)으로 회전시켜 타방향(D2)으로 결합시킨다. 그로 인해, 상기 너트(40)가 제1 및 제2피팅부재(50)(60)에 대해 서로 반대방향으로 맞물려 결합됨에 따라, 동작 중 진동 및/또는 열에 의한 외력에도 결합력이 해제되지 않게 된다.

상술한 바와 같이, 본 고안의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 일반적인 습식 세정장치용 배관유닛을 개략적으로 도시한 부분 단면도,

도 2는 본 고안에 의한 습식 세정장치용 배관유닛을 개략적으로 도시한 부분 단면도,

도 3은 연결관에 너트와 제1피팅부재가 결합되는 상태를 개략적으로 도시한 단면도, 그리고,

도 4는 너트와 제1피팅부재가 결합된 연결관이 제2피팅부재와 결합되는 상태를 개략적으로 도시한 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>

10: 습식 세정장치용 배관유닛 20: 연결관

30: 피팅부 40: 너트

50: 제1피팅부재 60: 제2피팅부재

70: 슬리브

Claims (3)

1. 상호 연통하는 적어도 한 쌍의 관으로 구성된 연결관과 상기 연결관을 피팅시키는 피팅부로 구성된 습식 세정장치용 배관유닛에 있어서,

   상기 피팅부는,

   상기 연결관의 외주면에 결합되되, 내주면에 너트 나사산이 형성되는 너트;

   상기 너트의 일측 내주면과 결합되도록 제1피팅 나사산이 형성되는 제1체결단 및 상기 제1체결단으로부터 연장되어 상기 너트의 일측을 간섭하여 체결범위를 규제시키기 위해 상기 제1체결단으로부터 돌출 형성되는 간섭단을 포함하여 상기 연결관과 상기 너트의 일측 사이에 개재되어, 상기 너트와 제1회전방향으로 체결되는 제1피팅부재; 및

   상기 제1피팅 나사산과 반대방향으로 형성되는 제2피팅 나사산이 형성되어 상기 너트의 타단과 결합되는 제2체결단 및, 상기 제2체결단으로부터 연장되어 상기 연결관에 밀착되는 밀착단을 포함하여 상기 연결관과 상기 너트의 타측 사이에 개재되어, 상기 너트와 상기 제1회전방향과 다른 제2회전방향으로 체결되는 제2피팅부재;

   를 포함하는 습식 세정장치용 배관유닛.
2. 제1항에 있어서,

   상기 제1 및 제2회전방향은 상호 반대방향인 것을 특징으로 하는 습식 세정장치용 배관유닛.
3. 삭제

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