KR20230049985A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20230049985A
KR20230049985A KR1020210133163A KR20210133163A KR20230049985A KR 20230049985 A KR20230049985 A KR 20230049985A KR 1020210133163 A KR1020210133163 A KR 1020210133163A KR 20210133163 A KR20210133163 A KR 20210133163A KR 20230049985 A KR20230049985 A KR 20230049985A
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substrate processing
processing apparatus
bolt
coupling body
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KR1020210133163A
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이주미
김다정
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 볼트의 코팅 손상 우려가 없어 코팅 품질 관리가 용구되지 않는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 기판 처리 장치는, 기판으로 공급되는 약액에 노출되며, 내측 방향으로 오목하게 구비되는 삽입 홈부가 형성되는 결합몸체; 상기 삽입 홈부에 수용되도록 볼팅 결합되며, 상기 결합몸체를 피결합체에 체결하는 볼트부; 및 상기 볼트부가 노출되지 않도록 상기 삽입 홈부에 설치되며, 상기 약액으로부터 보호될 수 있도록 내화성 재질로 이루어지는 캡부를 포함한다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 기판 상에 사진(photo), 확산(diffusion), 증착(deposition), 식각(etching) 및 이온 주입(ion implant) 등과 같은 공정들을 반복하여 제조한다.
이러한 반복되는 제조 공정들 중에는 기판의 표면에 일정하게 약액을 분사하는 장치가 요구된다. 기판으로 약액을 분사하는 장치에 대해 간략하게 설명하면, 스핀 척 상에 안착된 기판을 스핀 모터가 회전시키고, 스핀 척에서 낙하되는 약액은 보울로 유입될 수 있다.
한편, 클린 설비 내 보울을 조립할 때 테플론 코팅이 이루어지는 볼트가 이용될 수 있다. 그런데 볼팅 결합이 이루어지는 과정에서 코팅이 손상될 우려가 있어 코팅 품질 관리가 필요하다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 볼트의 코팅 손상 우려가 없어 코팅 품질 관리가 용구되지 않는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 일 면(aspect)은, 기판으로 공급되는 약액에 노출되며, 내측 방향으로 오목하게 구비되는 삽입 홈부가 형성되는 결합몸체; 상기 삽입 홈부에 수용되도록 볼팅 결합되며, 상기 결합몸체를 피결합체에 체결하는 볼트부; 및 상기 볼트부가 노출되지 않도록 상기 삽입 홈부에 설치되며, 상기 약액으로부터 보호될 수 있도록 내화성 재질로 이루어지는 캡부를 포함한다.
상기 볼트부는, 나사산이 형성되는 결합부재와, 상기 결합부재의 단부에 마련되는 헤드부재를 포함하고, 상기 삽입 홈부는, 상기 결합부재가 연결되는 상기 헤드부재의 일단으로부터 타단까지 마련되는 제1 영역과 상기 제1 영역으로부터 연장되어 상기 캡부가 삽입되는 제2 영역을 포함할 수 있다.
상기 캡부는, 상기 삽입 홈부의 수평 단면적과 동일하게 마련되어, 상기 삽입 홈부로부터 돌출되지 않을 수 있다.
상기 캡부는, 상기 삽입 홈부에 삽입되는 끼움부재; 및 상기 끼움부재의 단부에 마련되며, 상기 끼움부재의 외측으로 확장되는 확장 부재를 포함할 수 있다.
상기 삽입 홈부는, 상기 확장 부재가 돌출되지 않고 삽입되도록 단턱을 이룰 수 있다.
상기 확장 부재는, 상기 삽입 홈부의 외측으로 돌출되도록 상기 삽입 홈부의 외측으로 연장될 수 있다.
상기 캡부는, 연성재질로 이루어지거나 탄성 재질로 이루어지며 상기 끼움부재의 둘레면에 폐곡선으로 마련되는 링부재를 더 포함할 수 있다.
상기 캡부는, 상기 헤드부재의 둘레를 두르도록 삽입홈이 형될 수 있다.
상기 결합몸체는, 플라스틱 재질로 이루어지고, 상기 캡부는, 불소수지를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 피결합체는, 공간이 형성되는 챔버를 이루고, 상기 결합몸체는, 상기 챔버에 결합되는 보울로 이루어질 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 캡부에 의해 볼트부가 노출되지 않고 보호될 수 있어, 볼트부의 코팅이 필요 없으므로, 코팅 품질 관리와 같은 추가 작업 및 관리가 필요하지 않아 작업 효율이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치의 볼트부의 결합 상태를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 처리 장치의 볼트부의 결합 상태를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 처리 장치의 볼트부의 결합 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 처리 장치의 볼트부의 결합 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 처리 장치의 볼트부의 결합 상태를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 처리 장치의 캡부를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 처리 장치의 캡부가 분리된 상태를 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치를 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
도 8은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치를 도시한 도면이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치(100)는, 스핀 헤드(110), 보울(130)을 포함할 수 있다.
스핀 헤드(110)는 기판(W)을 지지한 상태에서 기판(W)을 회전시킬 수 있다. 그리고 스핀 헤드(110)는 기판(W)의 형상과 동일/유사한 원판 형상일 수 있다. 예를 들어 스핀 헤드(110) 상에는 기판(W)의 하부를 지지하는 다수의 지지핀(111)과, 회전시 기판(W)의 측면을 지지하는 다수의 척킹핀(112)이 설치될 수 있다.
간략하게 언급하면, 공정과정에서 기판(W)이 지지핀(111)의 상부에 놓여 지고, 스핀 헤드(110)가 회전하기 전에, 척킹핀(112)이 기판(W)을 고정할 수 있다. 그리고 스핀 헤드(110)는 구동축(121)으로 연결되는 구동 모터(120)에 의해 회전될 수 있고, 구동 모터(120)는 예시적으로 서보 모터(servo motor)로 이루어질 수 있다.
보울(130)(bowl)은 공정 과정에서 스핀 헤드(110)의 회전으로 인하여 기판(W) 상면으로부터 약액 등이 외부로 비산하는 것을 방지하는 구성이다.
예를 들어 보울(130)은 스핀 헤드(110)의 둘레에서 스핀 헤드(110)의 원주 방향으로 감싸도록 구비될 수 있다. 그리고 보울(130)은 상부에서 기판(W)이 이동할 수 있도록 개구가 형성될 수 있다. 그리고 보울(130)은 도면에 도시하지는 않았으나 스핀 헤드(110)의 높이에 따라 서로 다른 용액을 회수할 수 있는 다단 구조일 수 있다.
이러한 보울(130)은 기판(W)의 회전에 의해 기판(W)으로부터 비산하는 약액을 회수할 수 있다. 더불어 보울(130)에 회수된 약액을 배출시키기 위해, 보울(130)의 하부에는 외부로 연장된 통로가 설치될 수 있다. 여기서, 약액은 주로 산성 용액 등과 같이 장비나 작업자에게 위해를 가할 수 있기 때문에 주변 장비 보호를 위하여 스핀 헤드(110)의 둘레에 보울(300)이 설치되는 것이다.
한편 보울(130)은 예시적으로 플라스틱 재질로 이루어질 수 있으며, 다수의 통 및/또는 플라스틱 주물이 겹치거나 통 구조 상에 링 구조가 체결되는 구조를 가질 수 있다. 더불어 보울(130) 자체가 볼팅되는 것 이외에 공정이 이루어지는 챔버(도시하지 않음)에 보울(130)이 고정될 수 있도록, 챔버에 보울(130)이 볼팅 결합 방식으로 고정될 수 있다
그런데 보울(130)의 볼팅 결합에 이용되는 볼트는, 일반적으로 약엑에 노출되어 쉽게 산화될 수 있다. 이에 따라 종래의 볼트는 산화 방지를 위한 테플론 코팅이 이루어질 필요가 있다. 그런데 코팅된 볼트는, 볼트 조임 과정에서 코팅이 쉽게 벗겨질 수 있어, 코팅 품질 관리가 별도로 필요한 문제가 발생될 수 있다.
한편 본 실시예는, 보울(130)을 조립하는 볼트부(210)가 코팅될 필요가 없도록 아래와 같은 구성과 구조를 이룰 수 있어, 볼트부(210)에 코팅이 요구되지 않으므로, 코팅 품질 관리와 같은 추가 작업 및 관리가 필요하지 않아 작업 효율이 향상될 수 있다.
본 실시예는, 보울(130)의 볼팅 결합뿐만 아니라, 스핀 헤드(110)의 볼팅 결합, 다시 말해서 노즐(140)로부터 공급되는 약액에 노출되는 영역에서 결합되는 구성의 결합에 적용될 수 있다. 이에 다라 후술되는 도 1 내지 도 7을 참조하여 스핀 헤드(110)의 볼팅 결합을 예시하나, 이에 한정되지 않음을 언급하여 둔다.
노즐(140)은 기판(W) 상부에 위치하여 기판(W)을 향하여 기판(W) 처리를 위한 약액 등을 공급할 수 있다. 노즐(140)을 통해 기판(W)의 중심을 향하여 분사된 약액은 기판(W)의 회전에 의해 원심력으로 기판(W)의 가장자리로 이동을 하면서 기판(W)을 처리할 수 있으며, 최종적으로 기판(W)을 이탈하여 보울(130)로 유입될 수 있다.
이하에서는 스핀 헤드(110)의 볼팅 결합을 위한 볼트부(210) 및 캡부(220)에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.
도 1 내지 도 5는 본 발명의 제1 실시예 내지 제5 실시예에 따른 기판 처리 장치의 볼트부의 결합 상태를 도시한 도면이다. 그리고 도 6은 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 처리 장치의 캡부를 도시한 도면이고, 도 7은 본 발명의 제5 실시예에 따른 기판 처리 장치의 캡부가 분리된 상태를 도시한 도면이다.
여기서 제1 실시예 내지 제5 실시예는 하나 이상이 조합되어 또 다른 실시예를 이룰 수 있으며, 실시예에 따라 삽입 홈부(110HL) 및/또는 캡부(220)의 형상 등에 차이가 있다.
더불어 도 1 내지 도 7은, 표상적으로 도시한 것으로서, 결합몸체(예시적으로 스핀 헤드(110))만을 도시하였으나, 본 실시예는 결합몸체가 피결합체와 볼팅 결합되는 것이다. 다시 말해서 볼트부(210)가 2개의 구성을 볼팅 하는 구조를 이룬다면 다양한 변형예가 가능하고, 하나의 구성에 볼팅 되는 것으로 한정되지 않음을 언급하여 둔다,
본 실시예에 따른 기판 처리 장치(100)는, 간략하게 스핀 헤드(110) 및 보울(130) 등과 같이 약액에 노출될 수 있는 구성의 볼팅 결합 시 약액에 볼트부(210)가 노출되지 않도록 할 수 있다. 이를 위해 결합몸체에 결합되는 볼트부(210) 및 캡부(220)를 더 포함할 수 있다.
이하에서는 결합몸체와 피결합체가 스핀 헤드(110)를 이루는 2개의 구성이 결합되는 것으로 설명한다(도 8 참조, 'C'로 표시될 수 있음). 이와 달리 결합몸체가 보울로 이루어지면(도 8 참조, 결합영역이 'A' 또는 'B'등으로 이루어질 수 있음), 피결합체는 보울이 결합되는 보울의 다른 구성 또는 챔버일 수 있는 바와 같이, 다양한 변형예가 가능하다.
결합몸체는, 기판(W)으로 공급되는 약액이 튈 수 있는 바와 같이, 약액에 노출될 수 있다. 그리고 볼트부(210)가 직접 노출되지 않도록, 스핀 헤드(110)일 수 있는 결합몸체는 내측 방향으로 오목하게 구비되는 삽입 홈부(110HL)가 형성될 수 있다. 그리고 결합몸체가 스핀 헤드(110)일 경우 일부가 세라믹 등으로 이루어질 수 있으나, 결합몸체가 보울(130)로 이루어지면 플라스틱 재질로 이루어질 수 있다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니며, 본 실시예에 상충되지 않는다면 다양한 변형예 가능하다.
이러한 결합몸체의 삽입 홈부(110HL)는, 볼트부(210)가 완전히 삽입되어 노출되지 않도록 하면서도 캡부(220)가 끼워질 수 있다. 예시적으로 삽입 홈부(110HL)는, 제1 영역(HL1)과 제2 영역(HL2)을 포함할 수 있다. 다만 제1 영역(HL1)과 제2 영역(HL2)의 구분은 설명 및 이해의 편의를 위해 구분될 수 있으므로, 이에 한정되지 않음을 언급하여 둔다.
먼저 제1 영역(HL1)은, 도 1을 기준으로 삽입 홈부(110HL)의 하부 공간을 의미할 수 있다. 예를 들어 제1 영역(HL1)은, 볼트부(210)의 결합부재(211)가 연결되는 헤드부재(212)의 일단(도 1을 기준으로 하단)으로부터 타단(상단)까지 마련될 수 있다.
그리고 제2 영역(HL2)은, 삽입 홈부(110HL)에서 제1 영역(HL1)의 나머지 영역으로서, 도 1을 기준으로 삽입 홈부(110HL)의 상부 공간을 의미할 수 있다. 더불어 제2 영역(HL2)은, 제1 영역(HL1)으로부터 연장되어 볼트부(210)의 캡부(220)가 삽입될 수 있다. 그리고 제2 영역(HL2)은 실시예의 변형예에 따라 캡부(220)의 상단으로부터 캡부(220)의 하단 사이에 갭이 형성될 수 있으나, 이는 예시에 불과하고 캡부(220)의 하단이 볼트부(210)에 밀착될 수도 있어, 갭이 생략되는 구조일 수도 있는 바와 같이, 다양한 변형예가 가능하다. 게다가 삽입 홈부(110HL)는, 실시예의 변형예에 따라 후술되는 확장 부재(222)가 돌출되지 않고 삽입되도록 단턱을 이룰 수도 있다(도 3 및 도 4 참조).
볼트부(210)는, 삽입 홈부(110HL) 수용되도록 볼팅 결합될 수 있으며, 볼팅이 이루어질 수 있도록 강성 재질(예시적으로 서스(SUS) 등의 금속일 수 있음)로 이루어질 수 있다. 이러한 볼트부(210)는, 결합몸체를 피결합체에 체결하며, 결합부재(211) 및 헤드부재(212)를 포함할 수 있다.
결합부재(211)는, 도 1을 기준으로 상하 방향으로 길이를 가질 수 있다. 더불어 결합부재(211)는, 결합몸체 및 피결합체에 결합이 용이하게 이루어질 수 있도록, 나사산(도시하지 않음)이 형성될 수 있다.
헤드부재(212)는, 결합부재(211)에 대비하여 확장되는 구조를 가질 수 있으며, 결합부재(211)의 단부에 마련될 수 있다. 예를 들어 헤드부재(212)는 육각모로 이루어질 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 도 1을 기준으로 상단에 일자, 십자 등의 홈(도시하지 않음)이 형성되어 드라이버 등의 장비가 끼워질 수 있으나 이외에 다양한 구성의 변경이 가능하다.
이러한 볼트부(210)는 캡부(220)에 의해 보호될 수 있어, 산화 방지를 위한 테플론 코팅 등이 수행되지 않을 수 있고, 코팅이 이루어지지 않아 코팅 품질 검사가 수행될 필요가 없다.
캡부(220)는, 볼트부(210)를 보호하는 구성으로서, 약액으로부터 보호될 수 있도록 내화성 재질(예를 들어 PTFE 재질일 수 있음)로 이루어질 수 있고, 예시적으로 불소수지를 포함하여 이루어질 수 있다. 더불어 캡부(220)는, 볼팅이 이루어질 필요는 없으므로 볼트부(210)에 대비하여 강성이 낮을 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
그리고 캡부(220)는, 도 1을 참조하는 바와 같이, 볼트부(210)가 노출되지 않도록 삽입 홈부(110HL)에 설치될 수 있다. 여기서 캡부(220)는, 삽입 홈부(110HL)의 수평 단면적과 동일하게 마련되어, 삽입 홈부(110HL)로부터 돌출되지 않을 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 다시 말해서 캡부(220)의 구조 및 형상은 다양한 변형예가 가능하며, 도 2 내지 도 7을 참조하여 설명하면 아래와 같다.
도 2 내지 도 7을 참조하면, 캡부(220)는, 끼움부재(221) 및 확장 부재(222)를 포함할 수 있다.
끼움부재(221)는, 볼트부(210)의 노출을 방지하는 구성으로서 삽입 홈부(110HL)에 삽입될 수 있으며, 이를 위해 삽입 홈부(110HL)의 형상 및 직경이 동일 범위로 이루어질 수 있다.
확장 부재(222)는, 끼움부재(221)의 단부에 마련될 수 있어 도 2를 기준으로 끼움부재(221)의 상단에 마련될 수 있다. 그리고 확장 부재(222)는, 끼움부재(221)의 외측(둘레)으로 확장될 수 있다. 이러한 확장 부재(222)는, 삽입 홈부(110HL)의 제1 영역(HL1)보다 확장되는 구조를 이루어 볼트부(210)로 약액이 유입되는 것을 더욱 방지할 수 있다. 게다가 확장 부재(222)의 돌출된 부분을 작업자가 잡아서 결합몸체로부터 분리할 수 있으므로 캡부(220)의 결합해제를 용이하게 할 수도 있다. 다만 확장 부재(222)는, 도 2를 참조하면, 삽입 홈부(110HL)의 외측으로 돌출되나, 이외에 다른 변형예도 가능하다
예를 들어 삽입 홈부(110HL)는, 도 3 및 도 4를 참조하는 바와 같이 단턱 구조를 가질 수도 있으므로, 확장 부재(222)는 삽입 홈부(110HL)의 외측으로 돌출되지 않을 수도 있다.
게다가 도 4를 참조하면, 캡부(220)는, 헤드부재(212)의 둘레를 두르도록 삽입홈(220A)이 형성될 수도 있다. 예를 들어 삽입홈(220A)은, 도 4를 기준으로 하부로부터 상부 방향으로 오목하게 형성되어, 헤드부재(212)의 적어도 일부를 두를 수 있다.
그 뿐만 아니라 또 다른 실시예로 도 5 내지 도 7을 참조하면, 캡부(220)는, 링부재(223)를 더 포함할 수도 있다.
링부재(223)는, 연성재질로 이루어지거나 탄성 재질, 예를 들어 고무 또는 실리콘 재질로 이루어질 수 있으며, 끼움부재(221)의 둘레면에 폐곡선으로 마련될 수 있다. 이러한 링부재(223)는, 끼움부재(221)가 삽입 홈부(110HL)에 밀착되도록 할 수 있어 씰링을 이룰 수 있다.
이와 같은 실시예의 기판 처리 장치(100)는, 캡부(220)에 의해 볼트부(210)가 노출되지 않고 보호될 수 있어, 볼트부(210)의 코팅이 필요 없으므로, 코팅 품질 관리와 같은 추가 작업 및 관리가 필요하지 않아 작업 효율이 향상될 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 기판 처리 장치 110: 스핀 헤드
130: 보울 210: 볼트부
220: 캡부

Claims (10)

  1. 기판으로 공급되는 약액에 노출되며, 내측 방향으로 오목하게 구비되는 삽입 홈부가 형성되는 결합몸체;
    상기 삽입 홈부에 수용되도록 볼팅 결합되며, 상기 결합몸체를 피결합체에 체결하는 볼트부; 및
    상기 볼트부가 노출되지 않도록 상기 삽입 홈부에 설치되며, 상기 약액으로부터 보호될 수 있도록 내화성 재질로 이루어지는 캡부를 포함하는, 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 볼트부는, 나사산이 형성되는 결합부재와, 상기 결합부재의 단부에 마련되는 헤드부재를 포함하고,
    상기 삽입 홈부는, 상기 결합부재가 연결되는 상기 헤드부재의 일단으로부터 타단까지 마련되는 제1 영역과 상기 제1 영역으로부터 연장되어 상기 캡부가 삽입되는 제2 영역을 포함하는, 기판 처리 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 캡부는, 상기 삽입 홈부의 수평 단면적과 동일하게 마련되어, 상기 삽입 홈부로부터 돌출되지 않는, 기판 처리 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 캡부는,
    상기 삽입 홈부에 삽입되는 끼움부재; 및
    상기 끼움부재의 단부에 마련되며, 상기 끼움부재의 외측으로 확장되는 확장 부재를 포함하는, 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 삽입 홈부는, 상기 확장 부재가 돌출되지 않고 삽입되도록 단턱을 이루는, 기판 처리 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 확장 부재는, 상기 삽입 홈부의 외측으로 돌출되도록 상기 삽입 홈부의 외측으로 연장되는, 기판 처리 장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 캡부는, 연성재질로 이루어지거나 탄성 재질로 이루어지며 상기 끼움부재의 둘레면에 폐곡선으로 마련되는 링부재를 더 포함하는, 기판 처리 장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 캡부는, 상기 헤드부재의 둘레를 두르도록 삽입홈이 형성되는, 기판 처리 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 결합몸체는, 플라스틱 재질로 이루어지고,
    상기 캡부는, 불소수지를 포함하여 이루어지는, 기판 처리 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 피결합체는, 공간이 형성되는 챔버를 이루고,
    상기 결합몸체는, 상기 챔버에 결합되는 보울로 이루어지는, 기판 처리 장치.
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