KR200440604Y1 - wafer cassette box - Google Patents

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KR200440604Y1
KR200440604Y1 KR2020070007956U KR20070007956U KR200440604Y1 KR 200440604 Y1 KR200440604 Y1 KR 200440604Y1 KR 2020070007956 U KR2020070007956 U KR 2020070007956U KR 20070007956 U KR20070007956 U KR 20070007956U KR 200440604 Y1 KR200440604 Y1 KR 200440604Y1
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flange
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wafer
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KR2020070007956U
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이강성
임이택
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(주)상아프론테크
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 카세트 박스에 관한 것으로서, 박스(120)의 플랜지(122)의 상면에 위쪽으로 돌출하는 리브(2)가 상기 플랜지(122)의 길이방향으로 따라 전장에 걸쳐서 형성되어 있고, 상기 리브(2)에는 상기 리브(2)가 억지끼워맞춤식으로 삽입되어 상기 리브(2)와 결합되는 가스킷(3)이 마련되어 있고, 상기 박스(120)의 플랜지(122)의 상면와 맞주하는 덮개(140)의 턱부(125가 상기 덮개(140)과 상기 박스(120)의 결합시 상기 가스킷(3)을 가압하게 되어 있는 것으로 되어 있다.The present invention relates to a wafer cassette box, wherein a rib (2) protruding upward on an upper surface of the flange (122) of the box (120) is formed over the entire length along the longitudinal direction of the flange (122). (2) is provided with a gasket (3) for fitting the rib (2) is inserted into the rib 2 to fit the rib (2), the cover 140 to the upper surface of the flange 122 of the box 120 The jaw portion 125 is configured to press the gasket 3 when the cover 140 and the box 120 are coupled to each other.

턱부, 리브, 가스킷, 덮개, 플랜지 Jaw, Rib, Gasket, Cover, Flange

Description

웨이퍼 카세트 박스{wafer cassette box}Wafer cassette box

도 1은 종래의 웨이퍼 카세트 박스를 나타낸 사시도,1 is a perspective view showing a conventional wafer cassette box,

도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 박스를 나타낸 사시도,2 is a perspective view showing a wafer cassette box according to an embodiment of the present invention;

도 3은 도 1의 덮개가 개방된 상태를 도시한 사시도.3 is a perspective view showing an open state of the cover of FIG.

본 고안은 웨이퍼 카세트 박스에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼가 수납된 카세트를 안전하게 수용하여 이동시키기 위한 웨이퍼 카세트 박스에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer cassette box, and more particularly, to a wafer cassette box for safely receiving and moving a cassette containing a wafer.

반도체 웨이퍼란 주지된 바와 같이 실리콘 결정체를 반도체로 제조하기 위하여 원기둥형의 실리콘 봉을 얇게 절단하여 원판형태로 제작한 것으로서, 이러한 웨이퍼는 생산 과정에 있어서 공정 대기나 공정 간의 이동 등을 위하여 다수 개가 용기에 수용된다.A semiconductor wafer is, as is well known, manufactured in the form of a disc by thinly cutting cylindrical silicon rods in order to manufacture silicon crystals as semiconductors. A plurality of such wafers are used in the production process for the process atmosphere or movement between processes. Is accommodated in.

이러한 용기는 통상 카세트 박스라고 불리는데, 공정 간의 이동이나 대기 시에 먼지 등으로부터 웨이퍼를 보호하는 동시에 이송을 용이하게 하기 위해서 사용된다.Such a container is commonly called a cassette box, and is used to protect the wafer from dust and the like during movement or waiting between processes, and to facilitate transport.

종래의 웨이퍼 카세트 박스는 통상 합성수지를 사출성형하여 형성한 사각형의 박스와, 박스의 내부에 마련되어 웨이퍼를 수용하도록 된 카세트 및 박스의 상부를 덮도록 된 덮개를 포함하여 구성된다.Conventional wafer cassette boxes are generally comprised of a rectangular box formed by injection molding a synthetic resin, a cassette provided inside the box to accommodate the wafer, and a lid configured to cover the top of the box.

여기서, 덮개는 박스의 후면부에 축 결합되어 있고, 회전되면서 전면부를 개방하게 되는데, 카세트의 전면부가 박스의 전면부에서 상부만 노출됨으로써, 사용자가 카세트의 노출된 전면부를 잡고 들어올려 카세트를 박스에서 이탈시키기는 것으로 되어 있다.Here, the cover is axially coupled to the rear portion of the box and rotates to open the front portion. As the front portion of the cassette is exposed only at the top portion of the front portion of the box, the user grasps the exposed front portion of the cassette and lifts the cassette out of the box. It is supposed to disengage.

이와 같은 종래의 웨이퍼 카세트 박스가 도 1에 도시되어 있다.Such a conventional wafer cassette box is shown in FIG.

도 1에 도시된 웨이퍼 카세트 박스는 웨이퍼가 상방에서 하방으로 꽂아지는 슬롯(101)이 형성되고, 슬롯(101)을 사방으로 둘러싸는 패널이 형성된 카세트(105)와, 카세트(105)가 상방에서 하방으로 안치되는 공간이 형성되고, 공간을 사방으로 감싸는 패널이 형성되며, 카세트(105)의 전면부를 노출시키는 노출부(107)가 전면부에서 하단부근까지 형성되고, 노출부(107)에서 양측 상단부까지 연결되고 외측으로 절곡된 플랜지(112)가 형성된 박스(120) 및 박스(120)의 후면부에 일측부가 축 결합되고, 박스(120)의 노출부(107)를 개폐하고 카세트(105)를 은폐하는 개폐패널(122)을 구비하며, 플랜지(112)에 지지되는 턱부(125)가 개폐패널(122)의 내측에 형성되며, 플랜지(112)에 걸리고 가압력에 의해 플랜지(112)에서 탄력적으로 이탈되는 걸림부(130)를 구비한 덮개(140)를 포함한다.The wafer cassette box shown in FIG. 1 has a slot 101 in which a wafer is inserted from top to bottom, a cassette 105 having a panel surrounding the slot 101 in all directions, and a cassette 105 in the upper direction. A space settled downward is formed, a panel is formed to surround the space in all directions, and an exposed portion 107 exposing the front portion of the cassette 105 is formed from the front portion to the bottom portion, and on both sides of the exposed portion 107. One side portion is axially coupled to the rear side of the box 120 and the box 120 is connected to the upper end and the flange 112 is bent outwards, opening and closing the exposed portion 107 of the box 120 and the cassette 105 The opening and closing panel 122 is concealed, and the jaw portion 125 supported by the flange 112 is formed inside the opening and closing panel 122, and is caught by the flange 112 and elastically at the flange 112 by pressing force. Including a cover 140 having a locking portion 130 is separated .

여기서, 카세트(105)는 웨이퍼가 수직으로 꽂아지는 슬롯(101)을 제공하여 웨이퍼를 내부에 정렬시킬 수 있는 형태이며, 박스(120)는 카세트(105)가 안치되는 공간을 제공하고, 전면부에 카세트(105)의 전면 상부를 잡고 그 바닥까지 내려놓을Here, the cassette 105 is a form that can be aligned with the wafer by providing a slot 101 is inserted into the wafer vertically, the box 120 provides a space in which the cassette 105 is placed, the front portion The top of the front of the cassette 105 to the bottom

수 있는 공간을 제공하기 위한 노출부(107)가 형성됨으로써, 덮개(140)를 개방하고 카세트(105)를 박스(120)의 내부로 안전하게 내려놓을 수 있는 구조이다.Exposed portion 107 is formed to provide a space that can be opened, the cover 140 is opened and the cassette 105 can be safely lowered into the interior of the box 120.

즉, 박스(120)는 노출부(107)가 전면부의 하단부근까지 형성됨으로써, 손으로 카세트(105)의 전면상부를 잡고 박스(120)의 바닥까지 내려놓는 과정에서 카세트(105)가 박스(120)의 바닥에 닿을 때까지 손의 하방 이동공간을 충분히 제공한다.That is, the box 120 has an exposed portion 107 formed near the lower end of the front portion, so that the cassette 105 is moved to the bottom of the box 120 by holding the upper portion of the cassette 105 by hand. Provide sufficient space for downward movement of the hand until it reaches the bottom of 120).

이때, 박스(120)의 노출부(107)가 전면부의 하단부근까지가 아닌 중간부나 그 위 부분으로 형성되어 있게 되면, 카세트(105)의 상부를 잡고 박스(120)를 내려놓은 과정에서 손이 박스(120)의 전면부에 걸리게 되므로, 손을 놓아야만 카세트 (105)가 박스(120)의 바닥에 닿게 되는데, 카세트(105)의 저면부와 박스(120)의 바닥 사이에 유격이 형성됨으로써, 카세트(105)는 바닥에 떨어지면서 충격을 받게 되고, 카세트(105)의 내부에 정렬된 웨이퍼는 충격을 받아 손상을 입게 된다.At this time, if the exposed portion 107 of the box 120 is formed in the middle portion or the upper portion of the front portion rather than near the lower portion, the hand in the process of holding the top of the cassette 105 and lowering the box 120 Since the front part of the box 120 is caught, the cassette 105 is in contact with the bottom of the box 120 only by releasing the hand, and a play is formed between the bottom of the cassette 105 and the bottom of the box 120. The cassette 105 is impacted while falling to the bottom, and the wafer aligned inside the cassette 105 is shocked and damaged.

그리고, 카세트(105)의 전면부에는 수직으로 평행하게 형성된 한 쌍의 돌출판(108)이 형성되고, 덮개(140)의 전면부 내측에는 돌출판(108) 사이로 미끄럼 이동되어 구속되는 고정판(127)이 형성되는데, 카세트(105)를 박스(120)에 내려놓고 덮개(140)를 닫으면 돌출판(108) 사이로 고정판(127)이 고정되어 덮개(140)의 흔들림이 방지됨으로써, 덮개(140)에 의한 진동이 감쇠된다.In addition, a pair of protrusion plates 108 formed vertically and parallel to the front portion of the cassette 105 are formed, and a fixed plate 127 slid and restrained between the protrusion plates 108 inside the front portion of the cover 140. When the cassette 105 is placed on the box 120 and the cover 140 is closed, the fixing plate 127 is fixed between the protrusion plates 108 to prevent the cover 140 from being shaken. Vibrations are attenuated.

그리고, 사용자가 덮개(140)를 열고 카세트(105)를 꺼낼 경우나 반대로 다시 카세트(105)를 박스(120)에 넣을 경우, 돌출판(108)을 잡고 카세트(105)를 들어 올 려 꺼내거나 박스(120)에 내려놓을 수 있으므로, 돌출판(108)은 카세트(105)를 박스(120)에 분리하고 안치하기 용이한 구조를 제공한다.In addition, when the user opens the cover 140 and takes out the cassette 105, or vice versa, when the cassette 105 is put back into the box 120, the user lifts the cassette 105 by holding the protrusions 108, or Since it can be lowered into the box 120, the protruding plate 108 provides a structure that facilitates separating and placing the cassette 105 in the box 120.

또한, 걸림부(130)는 덮개(140)의 전면하단에서 하방으로 연결되고 탄력성이 있는 연결판(132) 및 연결판(132)의 내측면에서 돌출되어 박스(120)의 노출부(107)에 형성된 플랜지(112)에 걸리는 돌출부(135)를 포함하고 있는데, 덮개(140)를 닫는 경우 연결판(132)이 박스(120)의 전면하단으로 회전되고 돌출부(135)가 플랜지(112)의 전면을 미끄럼 이동하여 플랜지(112)의 저면에 걸리게 됨으로써, 덮개(140)의 걸림부(130)는 박스(120)의 플랜지(112)에 고정될 수 있다.In addition, the engaging portion 130 is connected downward from the front bottom of the cover 140 and protruding from the inner side of the connecting plate 132 and the connecting plate 132 is elastic and exposed portion 107 of the box 120 It includes a projection 135 is caught on the flange 112 formed in the, when the cover 140 is closed, the connecting plate 132 is rotated to the lower front of the box 120 and the projection 135 of the flange 112 By sliding the front surface to be caught by the bottom of the flange 112, the locking portion 130 of the cover 140 may be fixed to the flange 112 of the box 120.

여기서, 덮개(140)는 걸림부(130)의 연결판(132) 하단부를 박스(120)의 전면외측으로 당겨 돌출부(135)를 플랜지(112)의 저면에서 이탈시킴으로써 개방될 수 있는데, 걸림부(130)의 돌출부(135)는 후크와 같은 형태로 형성되어 덮개(140)를 닫는 경우 플랜지(112)의 전면을 용이하게 미끄럼 이동하며, 연결판(132)을 당기는 경우 플랜지(112)의 저면에서 용이하게 이탈된다.Here, the cover 140 may be opened by pulling the lower end of the connecting plate 132 of the catching part 130 toward the outside of the front of the box 120 to separate the protrusion 135 from the bottom of the flange 112. The protrusion 135 of the 130 is formed in a hook-like shape to easily slide the front surface of the flange 112 when the cover 140 is closed, and the bottom surface of the flange 112 when pulling the connecting plate 132. Easily deviates from

이와 같이 구성된 종래의 웨이퍼 카세트 박스는 기밀적으로 박스(120)와 덮개(140)가 결합되어 있지 않아서 외부의 이물질이 운반중 박스 내부로 침입되어 웨이퍼를 손상시키는 경우가 발생되었고, 아울러 걸림부(130)의 연결판(132)에 형성된 돌출부(135)가 외력에 의해 쉽게 상기 플랜지(112)로부터 이탈되어 상기 박스 내에 수용된 웨이퍼가 손상되는 경우가 발생된다고 하는 문제점이 있다.The conventional wafer cassette box configured as described above is not hermetically coupled to the box 120 and the cover 140, so that foreign matters enter the box during transportation and damage the wafer. The protrusion 135 formed on the connecting plate 132 of the 130 is easily detached from the flange 112 by an external force so that the wafer accommodated in the box may be damaged.

본 고안은 상기된 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 상기 박스와 상기 덮개를 서로 기밀적으로 결합시키는 수단을 상기 박스와 상기 덮개의 결합부 사이에 마련하고, 외력에 의해 용이하게 해제될 수 없는 록수단을 상기 웨이퍼 카세트 박스에 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above-described problem, and provided with a means for hermetically coupling the box and the cover to each other between the coupling portion of the box and the cover, the lock can not be easily released by external force It is an object to provide a means to the wafer cassette box.

본 고안은 상기된 목적을 달성하고자 안출된 것으로서, 웨이퍼가 상방에서 하방으로 꽂아지는 슬롯이 형성되고, 상기 슬롯을 사방으로 둘러싸는 패널이 형성된 카세트; 상기 카세트가 상방에서 하방으로 안치되는 공간이 형성되고, 상기 공간을 사방으로 감싸는 패널이 형성되며, 상기 카세트의 전면부를 노출시키는 노출부가 전면부에서 하단부근까지 형성되고, 상기 노출부에서 양측 상단부까지 연결되고 외측으로 절곡된 플랜지가 형성된 박스; 및 상기 박스의 후면부에 일측부가 축 결합되고, 상기 박스의 노출부를 개폐하고 상기 카세트를 은폐하는 개폐패널을 구비하며, 상기 플랜지에 지지되는 턱부가 상기 개폐패널의 내측에 형성되며, 상기 플랜지에 걸리고 가압력에 의해 상기 플랜지에서 탄력적으로 이탈되는 걸림부를 구비한 덮개를 포함하는 웨이퍼 카세트 박스에 있어서, 박스의 플랜지의 상면에 위쪽으로 돌출하는 리브가 상기 플랜지의 길이방향으로 따라 전장에 걸쳐서 형성되어 있고, 상기 리브에는 상기 리브가 억지끼워맞춤식으로 삽입되어 상기 리브와 결합되는 가스킷이 마련되어 있고, 상기 박스의 플랜지의 상면와 맞주하는 덮개의 턱부가 상기 덮개과 상기 박스의 결합시 상기 가스킷을 가압하게 되어 있는 것으로 되어 있다.The present invention has been made to achieve the above object, a slot is formed is a wafer is inserted from the top to the bottom, the cassette formed with a panel surrounding the slot in all directions; A space is formed in which the cassette is settled from the top to the bottom, and a panel is formed to surround the space in all directions, and an exposed part exposing the front part of the cassette is formed from the front part to the bottom part, and from the exposed part to the upper part of both sides. A flanged box that is connected and bent outwardly; And an opening and closing panel having one side portion coupled to the rear portion of the box, opening and closing the exposed portion of the box, and concealing the cassette, and a jaw portion supported by the flange is formed inside the opening and closing panel, and is caught by the flange. A wafer cassette box comprising a lid having a catch portion elastically detached from the flange by a pressing force, wherein a rib protruding upward on the upper surface of the flange of the box is formed over the entire length along the longitudinal direction of the flange, The rib is provided with a gasket in which the rib is forcibly fitted and engaged with the rib, and the jaw portion of the cover that is engaged with the upper surface of the flange of the box presses the gasket when the cover is coupled with the box.

이하, 본 고안의 실시예에 따른 웨이퍼 카세트 박스를 도 2 및 도 3을 참조 하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a wafer cassette box according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 and 3.

도 2 및 도 3에는 본 실시예의 웨이퍼 카세트 박스가 부호 1로서 지시되어 있다.2 and 3, the wafer cassette box of this embodiment is indicated by reference numeral 1. In Figs.

상기 웨이퍼 카세트 박스(1)는 도 1에 도시된 종래의 웨이퍼 카세트 박스와 2가지 부분만을 제외하고는 동일하므로 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호로 언급되면서 더 이상의 설명은 생략된다.Since the wafer cassette box 1 is identical to the conventional wafer cassette box shown in FIG. 1 except for two parts, the same parts are referred to by the same reference numerals, and further description thereof will be omitted.

상기 웨이퍼 카세트 박스(1)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 박스(120)의 플랜지(122)의 상면에 위쪽으로 돌출하는 리브(2)가 상기 플랜지(122)의 길이방향으로 따라 전장에 걸쳐서 형성되어 있다.As shown in FIGS. 2 and 3, the wafer cassette box 1 has ribs 2 protruding upward on the upper surface of the flange 122 of the box 120 in the longitudinal direction of the flange 122. It is formed over the whole length.

상기 리브(2)에는 상기 리브(2)가 억지끼워맞춤식으로 삽입되어 상기 리브(2)와 결합되는 가스킷(3)이 마련되어 있다.The ribs 2 are provided with a gasket 3 in which the ribs 2 are inserted into the ribs 2 by fitting.

또한, 상기 박스(120)의 플랜지(122)의 상면와 맞주하는 덮개(140)의 턱부(125)가, 상기 덮개(140)과 상기 박스(120)의 결합시 상기 가스킷(3)을 가압하게 되어 있다.In addition, the jaw portion 125 of the lid 140, which faces the upper surface of the flange 122 of the box 120, pressurizes the gasket 3 when the lid 140 and the box 120 are coupled to each other. have.

이와 같은 구성에 의해 상기 덮개와 상기 박스의 결합시 웨이퍼 카세트 박스(1)는 내부를 외부로부터 기밀적으로 보호할 수 있어 내부에 삽입된 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있다.By such a configuration, the wafer cassette box 1 can be hermetically protected from the outside when the lid and the box are combined to prevent damage to the wafer inserted therein.

또한, 상기 웨이퍼 카세트 박스(1)의 덮개(140)에는 종래와 같이 걸림부(130)가 마련되어 있다. 또한 상기 덮개(140)에는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 걸림부(130)를 사이에 두고 2개의 록수단(10)이 마련되어 있다.In addition, the cover 140 of the wafer cassette box 1 is provided with a locking portion 130 as in the prior art. In addition, as shown in FIGS. 2 and 3, the cover 140 is provided with two locking means 10 with the locking portion 130 interposed therebetween.

상기 2개의 록수단(10)은 동일한 구성을 가지고 있어서 이하에서는 하나의 록수단(10)만 상세히 설명한다.Since the two locking means 10 have the same configuration, only one locking means 10 will be described in detail below.

상기 록수단(10)는 상기 덮개(140)의 내부에 형성된 턱부(125)와 등을 지고 있는 외부의 턱부(11)에 서로에 일정 간격 이격되어 수직방향으로 돌출된 2개의 기립부(12), 상기 기립부(12) 상단에 형성된 구멍(13)에 하단이 회전가능하게 삽입되어 있는 힌지편(14), 및 상기 힌지편(14)의 상단과 회전가능하게 기단 하부가 결합되어 있고 상기 덮개(140)에 의해 상기 덮개 측으로의 선회운동이 제한을 받는 록몸체부(15)를 포함하고 있다.The locking means 10 is a standing portion 12 protruding in the vertical direction spaced apart from each other at a predetermined interval from the jaw portion 125 formed in the cover 140 and the outer jaw portion 11 holding the back. A hinge piece 14 having a lower end rotatably inserted into a hole 13 formed at an upper end of the standing portion 12, and a lower end of the base end rotatably coupled to an upper end of the hinge piece 14 and the cover; The lock body portion 15 is restricted by the rotational movement toward the cover side by the 140 (140).

상기 록몸체부(15)의 선단에는 탄성편(16)이 돌출되어 일체로 형성되어 있고, 상기 탄성편(16)의 선단은 상기 박스(120)의 플랜지(112)의 하면과 맞닿음하게 ㄱ 자형으로 만곡되어 있다.An elastic piece 16 protrudes and is integrally formed at the front end of the lock body part 15, and the front end of the elastic piece 16 abuts against the bottom surface of the flange 112 of the box 120. It is curved in a shape.

또한, 상기 록몸체부(15)는 사용자의 엄지로 하여금 상기 록몸체부(15)를 가압하여 상기 박스(120)외 외면에 접촉하고 있는 상기 탄성편(16)의 ㄱ 자형 선단부가 펼쳐지게 할 수 있는 크기와 형상을 가진 시트부(17)를 윗면에 구비하고 있다.In addition, the rock body portion 15 may allow the user's thumb to press the rock body portion 15 to unfold the a-shaped tip of the elastic piece 16 in contact with the outer surface of the box 120. The seat part 17 which has the size and shape which it has is provided in the upper surface.

상기와 같이 구성된 록수단(10)은 다음과 같은 작용을 한다.The locking means 10 configured as described above functions as follows.

상기 박스(120)가 상기 덮개(140)로 덮여지면, 상기 걸림부(130)는, 종래와 같이, 상기 플랜지(112)와 협력하여 상기 덮개(140)가 상기 박스(120)에 고정되게 한다.When the box 120 is covered with the cover 140, the locking portion 130, as in the prior art, to cooperate with the flange 112 to secure the cover 140 to the box 120. .

이때, 상기 록수단(10)의 탄성편(16)의 선단을 박스(120)의 외면과 접촉하고 있다. 이 상태에서 상기 록몸체부(15)에 마련된 시트부(17)에 사용자의 엄지를 놓 고 상기 엄지로 하여금 상기 시트부(17)를 가압하게 되면, 상기 탄성편(16)의 선단부가 ㄱ 자형 자세에서 펼쳐진 상태로 자세전환되었다가 상기 엄지의 가압력을 해제하면, 상기 탄성편(16)의 선단부가 ㄱ 자형 자세로 복귀되어 상기 탄성편(16)의 선단부가 상기 박스(120)의 플랜지(112)의 밑면을 탄성적으로 가압하게 되어 상기 덮개(140)가 상기 박스(120)에 대하여 확실한 잠금상태로 유지되게 된다.At this time, the tip of the elastic piece 16 of the locking means 10 is in contact with the outer surface of the box 120. In this state, when the user's thumb is placed on the seat portion 17 provided in the lock body portion 15 and the thumb presses the seat portion 17, the tip portion of the elastic piece 16 is a-shaped. When the posture is changed from the posture to the unfolded state, and the pressing force of the thumb is released, the tip of the elastic piece 16 is returned to the a-shaped posture so that the tip of the elastic piece 16 is connected to the flange 112 of the box 120. Resiliently pressurizes the bottom surface of the cover 140 so that the box 140 remains securely locked to the box 120.

상기 박스(120)와 상기 덮개(140)의 결합상태를 해제하는 작업은, 시트부(17)를 사용자의 엄지로 가압함과 동시에 상기 걸림부(130)의 연결판(132)을 앞으로 당기면, 상기 연결판(132)가 상기 박스(120)와의 결합이 해제됨과 동시에 상기 탄성편(16)의 선단부가 펼친 상태로 자세전환 되고, 이때 상기 덮개(140)를 들어 올리면 해제작업이 완료된다.The operation of releasing the coupling state of the box 120 and the cover 140, when pressing the seat portion 17 with the thumb of the user and at the same time pulling the connecting plate 132 of the locking portion 130, At the same time as the connection plate 132 is released from the coupling with the box 120, the front end of the elastic piece 16 is unfolded, and the posture is changed. At this time, the lifting operation is completed by lifting the cover 140.

본 발명에 따른 웨이퍼 가세트 박스에 의하면, 기밀적으로 박스와 덮개가 결합되는 것이 가능하여 외부의 이물질이 운반중 박스 내부로 침입되어 웨이퍼를 손상시키는 경우가 방지될 수 있고, 아울러 걸림부의 연결판에 형성된 돌출부가 외력에 의해 쉽게 상기 플랜지로부터 이탈되어도 박스와 덮개의 결합이 헤제되지 않아 박스 내에 수용된 웨이퍼가 손상되는 경우가 발생되지 않는 작용효과를 제공할 수 있다.According to the wafer gusset box according to the present invention, the box and the cover can be hermetically coupled to prevent the foreign matter from entering the box during transportation and damaging the wafer. Even if the protrusion formed in the flange is easily detached from the flange by an external force, the coupling between the box and the lid is not released, thereby providing an effect that does not occur when the wafer accommodated in the box is damaged.

Claims (3)

웨이퍼가 상방에서 하방으로 꽂아지는 슬롯이 형성되고, 상기 슬롯을 사방으로 둘러싸는 패널이 형성된 카세트; 상기 카세트가 상방에서 하방으로 안치되는 공간이 형성되고, 상기 공간을 사방으로 감싸는 패널이 형성되며, 상기 카세트의 전면부를 노출시키는 노출부가 전면부에서 하단부근까지 형성되고, 상기 노출부에서 양측 상단부까지 연결되고 외측으로 절곡된 플랜지가 형성된 박스; 및 상기 박스의 후면부에 일측부가 축 결합되고, 상기 박스의 노출부를 개폐하고 상기 카세트를 은폐하는 개폐패널을 구비하며, 상기 플랜지에 지지되는 턱부가 상기 개폐패널의 내측에 형성되며, 상기 플랜지에 걸리고 상기 박스의 전면외측으로 당기는 가압력에 의해 상기 플랜지에서 탄력적으로 이탈되는 걸림부를 구비한 덮개를 포함하는 웨이퍼 카세트 박스에 있어서,A cassette in which a slot into which the wafer is inserted from below is formed and a panel is formed to surround the slot in all directions; A space is formed in which the cassette is settled from the top to the bottom, and a panel is formed to surround the space in all directions, and an exposed part exposing the front part of the cassette is formed from the front part to the bottom part, and from the exposed part to the upper part of both sides. A flanged box that is connected and bent outwardly; And an opening and closing panel having one side portion coupled to the rear portion of the box, opening and closing the exposed portion of the box, and concealing the cassette, and a jaw portion supported by the flange is formed inside the opening and closing panel, and is caught by the flange. In the wafer cassette box comprising a cover having a latch portion that is elastically separated from the flange by a pressing force pulled out of the front of the box, 박스(120)의 플랜지(122)의 상면에 위쪽으로 돌출하는 리브(2)가 상기 플랜지(122)의 길이방향으로 따라 전장에 걸쳐서 형성되어 있고,Ribs 2 protruding upward on the upper surface of the flange 122 of the box 120 are formed over the entire length along the longitudinal direction of the flange 122, 상기 리브(2)에는 상기 리브(2)가 억지끼워맞춤식으로 삽입되어 상기 리브(2)와 결합되는 가스킷(3)이 마련되어 있고,The ribs 2 are provided with a gasket 3 into which the ribs 2 are inserted into the ribs 2 by fitting. 상기 박스(120)의 플랜지(122)의 상면와 맞닿음하는 덮개(140)의 턱부(125)가 상기 웨이퍼 카세트 박스의 닫힘시 상기 가스킷(3)를 가압하게 되어 있고,The jaw portion 125 of the lid 140, which abuts on the upper surface of the flange 122 of the box 120, is configured to press the gasket 3 when the wafer cassette box is closed. 상기 덮개(140)에는, 상기 걸림부(130)를 사이에 두고 2개의 록수단(10)이 마련되어 있고,The cover 140 is provided with two locking means 10 with the locking portion 130 interposed therebetween, 상기 2개의 록수단(10) 각각은 Each of the two locking means 10 상기 덮개(140)의 내부에 형성된 턱부(125)와 등을 지고 있는 외부의 턱부(11)에 서로에 일정 간격 이격되어 수직방향으로 돌출된 2개의 기립부(12);Two standing portions 12 protruding in the vertical direction spaced apart from each other by a predetermined distance from the jaw portion 125 formed in the cover 140 and the outer jaw portion 11 holding the back; 상기 기립부(12) 상단에 형성된 구멍(13)에 하단이 회전가능하게 삽입되어 있는 힌지편(14); 및 A hinge piece (14) having a lower end rotatably inserted into a hole (13) formed at an upper end of the standing portion (12); And 상기 힌지편(14)의 상단과 회전가능하게 기단 하부가 결합되어 있고 상기 덮개(140)에 의해 상기 덮개 측으로의 선회운동이 제한을 받는 록몸체부(15)를 포함하고 있으며,The upper end of the hinge piece 14 is rotatably coupled to the lower end of the base and includes a lock body portion 15, the rotational movement to the cover side by the cover 140 is limited, 상기 록몸체부(15)의 선단에는 탄성편(16)이 돌출되어 일체로 형성되어 있고, 상기 탄성편(16)의 선단은 상기 박스(120)의 플랜지(112)의 하면과 맞닿음하게 ㄱ 자형으로 만곡되어 있으며,An elastic piece 16 protrudes and is integrally formed at the front end of the lock body part 15, and the front end of the elastic piece 16 abuts against the bottom surface of the flange 112 of the box 120. Curved in shape, 상기 록몸체부(15)는 사용자의 엄지로 하여금 상기 록몸체부(15)를 가압하여 상기 박스(120)외 외면에 접촉하고 있는 상기 탄성편(16)의 ㄱ 자형 선단부가 펼쳐지게 할 수 있는 크기와 형상을 가진 시트부(17)를 윗면에 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트 박스.The rock body portion 15 is sized to allow the user's thumb to press the rock body portion 15 to unfold the a-shaped tip of the elastic piece 16 in contact with the outer surface of the box 120. And a sheet portion (17) having an angular shape on the upper surface thereof. 삭제delete 삭제delete
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