KR200439607Y1 - 펠리클 프레임 아노다이징 지그 - Google Patents

펠리클 프레임 아노다이징 지그 Download PDF

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Abstract

본 고안의 목적은 아노다이징 지그와 펠리클 프레임 사이의 통전성을 높여서 아노다이징 효율을 향상시키고 펠리클 프레임의 고품질을 보장할 수 있는 펠리클 프레임 아노다이징 지그를 제공하는 것이다.
본 고안의 구성은 아노다이징 풀에 구비된 전극봉에 걸어서 설치되는 지그몸체(10)와, 상기 지그몸체(10)에 구비되며 양측에는 지지핀(22a,22b)이 구비된 제1지지부재(20)와, 상기 지그몸체(10)에 장착되어 상기 제1지지부재(20)와 마주하는 위치에 배치되며 상기 제1지지부재(20) 방향으로 연장된 지지핀(32)이 구비된 제2지지부재(30)를 포함하며, 상기 제1지지부재(20)의 지지핀(22a,22b)과 제2지지부재(30)의 지지핀(32)을 펠리클 프레임(1)의 양측면에 형성된 홈(2)에 끼워서 상기 펠리클 프레임(1)을 상기 지그몸체(10)에 거치시키도록 된 것을 특징으로 한다.
본 고안의 효과는 펠리클 프레임에 통상적으로 형성되는 기준홈을 이용하여 펠리클 프레임을 걸어서 펠리클 프레임과의 접촉 면적을 최소화시킴으로써 펠리클 프레임의 품질을 향상시킬 수 있으며, 펠리클 프레임 사이의 통전성을 높여 아노다이징 효율을 향상시킴으로써 생산성 향상을 기대할 수 있고, 펠리클 프레임의 표면에 얼룩이나 반점이 생겨 품질이 저하되거나 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다는 것이다.
펠리클 프레임, 기준홈, 통전성, 접촉 면적, 최소화

Description

펠리클 프레임 아노다이징 지그{Pellicle frame anodizing jig}
도 1은 본 고안의 구성을 보여주는 사시도
도 2는 본 고안의 주요부인 제1 및 제2지지부재에 의해 펠리클 프레임을 지지한 상태를 보여주기 위한 평면도
도 3과 도 4는 본 고안의 주요부인 제1 및 제2지지부재에 의해 펠리클 프레임을 지지하는 상태를 설명하기 위한 평면도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10. 지그몸체 20. 제1지지부재
30. 제2지지부재
본 고안은 펠리클 프레임 아노다이징 지그에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 아노다이징 지그와 펠리클 프레임 사이의 통전성을 높여서 아노다이징 효율을 향상시키고 펠리클 프레임의 고품질을 보장할 수 있는 펠리클 프레임 아노다이징 지그에 관한 것이다.
일반적으로, 일반적으로, 펠리클(pellicle)은 반도체, LCD의 사진식각 공정에서 포토마스크(photo mask)나 레티클(reticle: 실리콘 웨이퍼에 LSI 회로를 정착시키기 위해 사용하는 원판) 표면을 대기중 분자나 다른 형태의 오염물질로부터 보호하기 위한 얇은 박판을 말한다. 이 펠리클은 테두리 형상의 펠리클 프레임(1)에 부착된 후 다시 포토마스크나 레티클 위에 부착되어, 마스크와 레티클을 공정에 사용하는 도중 이물질이 발생되거나 부착되는 것을 막아줌으로써, 웨이퍼상의 패턴 형상화에 영향을 주지 않도록 한다.
이때, 패턴 형상화 공정을 수행할 때, 포토마스크나 레티클(이하, 포토마스크나 레티클을 편의상 피가공물이라 칭함)을 지지용 조오(jaw) 등으로 클램핑하여 정확한 위치에 정밀 셋팅할 필요가 있다. 따라서, 피가공물의 정밀 셋팅을 위하여 전공정에서 펠리클 프레임의 양측 측면부에 두 개의 기준홈을 형성한다. 즉, 펠리클 프레임의 양측 측면부에 가공장치에 의해 각각 복수개의 기준홈을 형성하고, 이 기준홈에 지지용 조오 등을 끼워서 고정함으로써, 펠리클 프레임과 이에 부착된 피가공물을 정위치에 정밀 셋팅한 다음, 패턴 형상화 공정을 수행하게 된다.
한편, 펠리클 프레임은 통상 알루미늄으로 제작되어, 도금을 하여 사용하게 되는데, 도금 공정 이전에 아노다이징(anodizing: 양극산화) 공정을 거친다. 아노다이징이란 금속(부품)을 플러스전극봉에 걸고 전해액(황산, 인산, 수산 등의 희석산 전해액)에서 전해시켜 양극에서 발생하는 산소에 의해 소재 금속과 대단한 밀착 력을 가진 산화피막(산화알미늄)이 형성되도록 하는 것으로서, 펠리클 프레임(1)에 단단히 밀착되어 있는 양극피막(즉, 산화피막)은 모든 도금 시스템에서 화학적으로 활성표면을 제공하여 도장밀착력을 향상시킬 수 있기 때문에, 펠리클 프레임(1)에 도금을 행하기 이전에 필수적으로 아노다이징 공정을 거치게 된다.
이러한 아노다이징 공정을 수행하기 위해 아노다이징용 지그에 펠리클 프레임을 고정하고, 아노다이징 지그를 플러스극에 걸어주게 된다. 즉, 펠리클 프레임의 양측면에 각각 두 개 정도의 지그결합홈을 형성하여, 이 지그결합홈에 아노다이징 지그의 지그핀을 끼워서 펠리클 프레임을 아노다이징 지그에 고정한다.
그런데, 종래의 아노다이징 지그는 모든 부분이 티타늄으로 제작되어 자체의 전기저항이 상대적으로 높게 되며, 이로 인해, 펠리클 프레임과의 사이에 통전성이 저하되기 때문에, 아노다이징 효율이 저하된다. 즉, 티타늄 아노다이징 지그는 전기 전도성이 저하되어 펠리클 프레임을 아노다이징하기 위해서는 그만큼 많은 시간을 주어야하기 때문에, 생산성이 저하되는 단점이 있다.
또한, 티타늄 아노다이징 지그는 통전성이 저하되어 펠리클 프레임의 표면에 흑반점이 생기는 등 펠리클 프레임의 품질이 저하되는 문제점이 있으며, 나아가, 아노다이징 공정중에 펠리클 프레임 자체의 불량이 유발되는 문제점이 있다.
아울러, 종래에는 펠리클 프레임과 지그 사이에 접촉되는 면적이 비교적 많아서 아노다이징되지 않는 부분의 면적이 그만큼 커지게 되며, 이로 인해, 최종적으로 펠리클 프레임에서 아노다이징 및 도금되지 않는 부분이 많기 때문에, 펠리클 프레임의 품질이 저하되는 단점도 있다.
본 고안은 전술한 바와 같은 제반 문제점을 해소하고자 고안된 것으로, 본 고안의 목적은 펠리클 프레임에 통상적으로 형성되는 기준홈을 이용하여 펠리클 프레임을 걸어서 펠리클 프레임과의 접촉 면적을 최소화시킴으로써 펠리클 프레임을 품질을 향상시킬 수 있도록 된 새로운 구성의 펠리클 프레임 아노다이징 지그를 제공하고자 하는 것이다.
또한, 본 고안은 아노다이징 지그와 펠리클 프레임 사이의 통전성을 높여 아노다이징 효율을 향상시킴으로써 생산성 향상을 기대할 수 있고, 펠리클 프레임의 표면에 얼룩이나 반점이 생겨 품질이 저하되거나 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있도록 된 펠리클 프레임 아노다이징 지그를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이러한 목적을 구현하기 위한 본 고안에 따르면, 아노다이징 풀에 구비된 전극봉에 걸어서 설치되는 지그몸체(10)와, 상기 지그몸체(10)에 구비되며 양측에는 지지핀(22a,22b)이 구비된 제1지지부재(20)와, 상기 지그몸체(10)에 장착되어 상기 제1지지부재(20)와 마주하는 위치에 배치되며 상기 제1지지부재(20) 방향으로 연장된 지지핀(32)이 구비된 제2지지부재(30)를 포함하며, 상기 제1지지부재(20)의 지지핀(22a,22b)과 제2지지부재(30)의 지지핀(32)을 펠리클 프레임(1)의 양측면에 형성된 홈(2)에 끼워서 상기 펠리클 프레임(1)을 상기 지그몸체(10)에 거치시키도록 된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징 지그가 제공된다.
상기 지그몸체(10)는 방사 방향으로 연장됨과 동시에 상하 방향으로 서로 대향되는 위치에 배치된 복수개의 상하측 가로바아(12,13)와, 상기 상측가로바아(12)의 중심부에 결합된 상측세로바아(14)와, 상기 하측가로바아(13)에 상하단이 연결된 복수개의 하측세로바아(15)를 포함하여 구성되고, 상기 지지부재(20,30)는 중간의 연결부(21) 양단에 한 쌍의 지지핀(22a,22b)을 갖는 형상으로 구성되며 상기 연결부(21)가 상기 하측세로바아(15)에 교차되는 방향으로 수평 결합되어 상기 하측세로바아(15)에 상하 방향으로 이격되어 설치된 복수개의 제1지지부재(20)와, 상기 하측세로바아(15)에 이웃하는 상하부 가로바아(12,13)에 상하단이 고정된 세로고정부재(31)에 기단부가 연결되고 선단부에는 펠리클 프레임(1)의 타측부 홈(2)에 끼워지는 지지핀(32)이 구비된 기역자 형상의 복수개의 지지와이어(34)를 갖는 제2지지부재(30)로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 상하측 가로바아(12,13)는 각각 상기 지그몸체(10)의 중심부에 십자형을 이루도록 네 방향으로 연장된 것을 특징으로 한다.
상기 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)와 상하측 세로바아(14,15) 및 제1지지부재(20)는 알루미늄으로 제작되고, 상기 제2지지부재(30)는 티타늄으로 제작되며, 상기 제1지지부재(20)의 한 쌍의 지지핀(22a,22b)은 상기 지그몸체(10)의 중앙부에 상대적으로 가까운 안쪽 위치에서 상기 펠리클 프레임(1) 일측부의 안쪽 기준홈(2)에 끼워지는 내측지지핀(22a)과, 상기 지그몸체(10)의 중앙부에서 상대적으로 먼 바깥쪽 위치에서 펠리클 프레임(1) 일측부의 바깥쪽 홈(2)에 끼워지는 외 측지지핀(22b)으로 이루어지고, 상기 제2지지부재(30)의 지지와이어(34) 선단의 지지핀(32)은 상기 지그몸체(10)의 중앙부에서 상대적으로 먼 바깥쪽 위치에 배치되는 펠리클 프레임(1)의 타측부 기준홈(2)에 끼워지도록 된 것을 특징으로 한다.
상기 제1지지부재(20)의 내측지지핀(22a)의 길이는 외측지지핀(22b)의 길이에 비하여 상대적으로 짧게 형성되고, 상기 제2지지부재(30)의 지지와이어(34)의 지지핀(32)은 상기 제1지지부재(20)의 외측지지핀(22b)에서 연장된 가상의 직선(L)을 기준으로 상기 지그몸체(10)의 중심부 방향을 향하여 상대적으로 내향으로 더 경사지도록 절곡 성형된 것을 특징으로 한다.
상기 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)의 선단부측에는 상기 지그몸체(10)의 중앙부 방향으로 연장된 장공 형상의 볼트공(11a)관통 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 상하측 가로바아(12,13)의 선단부측에는 제2지지부재(30)의 세로고정부재(31)의 상하단부가 고정결합편(35)의 통공(35a)을 관통하여 체결되는 볼트(17a)와 너트(17b)에 의해 고정되어, 상기 제2지지부재(30)의 지지와이어(34)가 상기 지그몸체(10)의 하측세로바아(15)에 결합된 제1지지부재(20)의 연결부(21)과 마주하는 위치에 배치된 것을 특징으로 한다.
상기 고정결합편(35)의 통공(35a)은 상기 지그몸체(10)의 중심부 방향으로 연장된 장공 형태로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 제1지지부재(20)는 연결부(21)의 양단부에 구비된 한 쌍의 내외측 지지핀(22a,22b)의 선단부에 포인트 접점부(23)가 구비되고, 상기 제2지지부재(30)는 세로고정부재(31)에 고정된 지지와이어(34)의 지지핀(32) 선단부에 포인트 접점부(33)가 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 지그몸체(10)를 구성하는 상하측 가로바아(12,13)와 상하측 세로바아(14,15)는 알루미늄으로 제작되고, 상기 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)에 고정되는 제2지지부재(30)는 티타늄으로 제작된 것을 특징으로 한다.
상기 하측세로바아(15)는 상기 상하측 가로바아(12,13)를 관통하는 볼트(17a)와 너트(17b)에 의해 고정되고, 상기 볼트(17a)와 너트(17b)는 티타늄으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다. 도 1은 본 고안의 구성을 보여주는 사시도, 도 2는 본 고안의 주요부인 제1 및 제2지지부재에 의해 펠리클 프레임을 지지한 상태를 보여주기 위한 평면도, 도 3과 도 4는 본 고안의 주요부인 제1 및 제2지지부재에 의해 펠리클 프레임을 지지하는 상태를 설명하기 위한 평면도이다. 이를 참조하면, 본 고안은 펠리클 프레임(1)용 아노다이징 풀(pool)에 구비된 전극봉에 걸어서 설치되는 지그몸체(10)와, 이 지그몸체(10)에 상하 방향으로 수평하게 장착된 복수개의 지지부재(20,30)로 구성된다.
도 1은 본 고안의 외관 사시도로서, 도 1을 참조하면, 상기 지그몸체(10)는 십자형으로 분기된 상측가로바아(12) 및 하측가로바아(13)와, 이 상하측 가로바아(12,13)에 상하단이 연결된 복수개의 하측세로바아(15)와, 상기 십자형의 상측가 로바아(12) 중심부에 하단부가 고정된 상측세로바아(14)와, 이 상측세로바아(14)에 볼트(16a)와 너트(미도시)로 고정된 고리부재(16)를 포함하는 형상으로 구성된다.
구체적으로, 상기 상하측 가로바아(12,13)는 각각 지그몸체(10)의 중심부에서 십자형을 이루도록 네 방향으로 분기된다. 또한, 상측가로바아(12)의 중심부 상단에는 상측세로바아(14)의 하단부가 수직 방향으로 고정 결합된다. 이 상측세로바아(14)의 하단부는 상측가로바아(12)의 중심부 상면에 용접 고정된다. 또한, 상측세로바아(14)에 볼트(16a)와 너트(미도시)로 고리부재(16)가 고정된다. 그리고, 상기 상측가로바아(12)와 하측가로바아(13)에는 하측세로바아(15)의 상하단부가 연결되어, 수직 방향으로 배치된다.
이때, 지그몸체(10)를 구성하는 상하측 가로바아(12,13)와 상하측 세로바아(14,15)는 단면 직사각형 알루미늄바아로 이루어진다. 그리고, 하측세로바아(15)의 상하단부는 상하측 가로바아(12,13)의 일면에 밀착되어 볼트(17a)와 너트(17b)로 각각 고정된다. 하측세로바아(15)와 상하측 가로바아(12,13)를 연결 고정하는 볼트(17a)와 너트(17b)는 티타늄으로 이루어진다. 또한, 상기 상하측 가로바아(12,13)의 선단부측에는 지그몸체(10)의 중앙부 방향으로 연장된 장공 형상의 볼트(11a)이 관통 형성된다.
상기 지지부재(20,30)는 지그몸체(10)에 서로 마주하는 위치에 상하 방향으로 이격되도록 장착된 복수개의 제1지지부재(20)와 제2지지부재(30)로 구성된다.
상기 제1지지부재(20)는 중간의 연결부(21) 양단에 한 쌍의 지지핀(22a,22b)을 갖는 형상으로 구성된다. 이 제1지지부재(20)는 단면 원형의 알루미늄 와이어를 절곡하여 성형된다. 제1지지부재(20)의 연결부(21)는 지그몸체(10)의 하측세로바아(15) 일면에 고정되어, 제1지지부재(20)가 하측세로바아(15)에 교차되어 수평 방향으로 배치된다. 이러한 복수개의 제1지지부재(20)가 하측세로바아(15)에 상하 방향으로 일정 간격 이격되도록 고정되므로, 복수개의 제1지지부재(20)가 지그몸체(10)의 상하 방향으로 일정 간격 이격되어 배치된 형태가 된다. 그리고, 제1지지부재(20)는 지지핀(22a,22b)의 선단부가 펠리클 프레임(1)의 일측부 기준홈(2)에 끼워지는데, 각 지지핀(22a,22b)의 선단부에는 원뿔 형상의 포인트 접점부(23)(도 2에 도시됨)가 구비되어, 이 포인트 접점부(23)의 끝이 펠리클 프레임(1) 측부에 형성된 기준홈(2)에 점접촉된다.
이때, 상기 하측세로바아(14)는 제1지지부재(20)의 연결부(21)와 마주하는 표면에 오목홈(15g)이 형성되어, 이 오목홈(15g)에 제1지지부재(20)의 연결부(21)가 안착된 상태로 용접 고정되므로, 제1지지부재(20)와 지그몸체(10)(즉, 하측세로바아(15)) 사이의 연결 부위 강도가 높아질 수 있다.
상기 제2지지부재(30)는 제1지지부재(20)가 고정된 하측세로바아(15)와 이웃하는 다른 하측세로바아(15)에 일단부가 결합된다. 또한, 제2지지부재(30)의 타단부에는 펠리클 프레임(1)의 타측부 기준홈(2)에 끼워지는 지지핀(22)이 구비된다.
구체적으로, 제2지지부재(30)는 상하단이 지그몸체(10)의 상하부 가로바아(12,13)에 각각 고정된 세로고정부재(31)와, 이 세로고정부재(31)에 기단부가 고정되고 선단부에는 지지핀(32)이 구비된 기역자 형상의 지지와이어(34)를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 세로고정부재(31)는 지그몸체(10)의 측방에서 볼 때 수직방향의 바아(31v) 상하단에 수평연장부(31h)를 갖는 디귿자 형상으로 구성된 것으로, 세로고정부재(31)의 상하단(즉, 상하단 수평연장부(31h)의 단부)에는 고정결합편(35)이 구비되고, 이 고정결합편(35)에는 통공(35a)이 형성된다.
이에 따라, 고정결합편(35)의 통공(35a)과 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)에 형성된 볼트(11a)을 관통하여 체결되는 볼트(17a)와 너트(17b)에 의해 세로고정부재(31)의 상하단이 상하측 가로바아(12,13)에 고정되므로, 상기 제2지지부재(30)가 지그몸체(10)의 하측세로바아(15)에 장착된 제1지지부재(20)와 마주하는 위치에 배치된 형태가 된다.
상기 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)와 상하측 세로바아(14,15) 및 제1지지부재(20)는 알루미늄으로 제작되고, 상기 제2지지부재(30)는 티타늄으로 제작된다.
한편, 도 2와 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1지지부재(20)의 한 쌍의 지지핀(22a,22b)은 지그몸체(10)의 중앙부에 상대적으로 가까운 안쪽 위치에서 펠리클 프레임(1) 일측부의 기준홈(2)에 끼워지는 내측지지핀(22a과, 지그몸체(10)의 중앙부에서 상대적으로 먼 바깥쪽 위치에서 펠리클 프레임(1) 일측부의 바깥쪽 기준홈(2)에 끼워지는 외측지지핀(22b)으로 이루어진다. 그리고, 상기 제2지지부재(30)를 구성하는 지지와이어(34)의 (32)은 지그몸체(10)의 중앙부에서 상대적으로 먼 바깥쪽 위치에 배치되는 펠리클 프레임(1)의 타측부 기준홈(2)에 끼워진다.
결국, 제1지지부재(20)의 내외측 지지핀(22a,22b)은 펠리클 프레임(1) 일측 부의 내외측 기준홈(2)에 끼워지고, 제2지지부재(30)의 지지와이어(34)에 구비된 지지핀(32)은 펠리클 프레임(1) 타측부의 외측 기준홈(2)(즉, 지그몸체(10)의 중심부에서 상대적으로 바깥쪽에 위치되는 기준홈(2))에 끼워져, 제1 및 제2지지부재(20,30)에 의해 펠리클 프레임(1)이 3점 지지된 상태로 수평하게 지그몸체(10)에 걸려진다.
또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1지지부재(20)의 내측지지핀(22a)의 길이는 외측지지핀(22b)의 길이에 비하여 상대적으로 짧게 형성된다. 그리고, 제2지지부재(20,30)의 지지와이어(34) 선단부에 구비된 지지핀(32)은 제1지지부재(20)의 외측지지핀(22b)에서 연장된 가상의 직선(L)을 기준으로 지그몸체(10)의 중심부 방향을 향하여 상대적으로 내향으로 더 경사지도록 절곡 성형된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 제2지지부재(30)의 세로고정부재(31) 상하단에 구비된 각 고정결합편(35)에는 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)에 형성된 볼트공(11a)과 만나는 통공(35a)이 형성된다. 이때, 고정결합편(35)의 통공(35a)은 지그몸체(10)의 중심부 방향으로 연장된 장공 형태로 구성된다. 즉, 고정결합편(35)의 통공(35a)은 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)에 형성된 장공 형태의 볼트(11a)에 비하여 길이는 짧고 형태는 유사한 장공 형태로 구성되는 것이다.
한편, 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)의 일면에 제2지지부재(30)의 세로고정부재(31) 상하단에 구비된 고정결합편(35)이 볼트(17a)와 너트(17b)로 고정되는데, 고정결합편(35)과 상하측 가로바아(12,13)의 서로 마주하는 면 사이에는 합성수지 와셔(17)가 개재되고, 상하측 가로바아(12,13)와 너트(17b) 사이에도 합성수지 와셔(17)가 개재된다.
또한, 제2지지부재(30)의 지지와이어(34)는 선단부에 지지핀(32)을 갖는 기역자 형상으로 구성된 것으로, 지지와이어(34)의 기단부는 세로고정부재(31)에 관통된 결합공(P)(도 1에 도시됨)에 끼워져 용접으로 고정된다. 그리고, 세로고정부재(31)에 고정된 지지와이어(34)의 지지핀(32)은 펠리클 프레임(1)의 타측부에 형성된 기준홈(2)에 끼워지는데, 지지와이어(34)의 지지핀(32) 선단부에는 원뿔형 포인트 접점부(33)가 구비되어, 이 원뿔형 포인트 접점부(33)가 펠리클 프레임(1)의 타측부 기준홈(2)(도 2에 도시됨)에 점접촉된다.
이때, 상기 지그몸체(10)를 구성하는 상하측 가로바아(12,13)와 상하측 세로바아(14,15)는 알루미늄으로 제작되고, 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)에 고정되는 제2지지부재(20)는 티타늄으로 제작된다. 즉, 제2지지부재(30)의 세로고정부재(31)와 상하단 고정결합편(35) 및 지지와이어(34)는 티타늄으로 제작된다. 그리고, 제2지지부재(30)의 세로고정부재(31) 상하단(즉, 상하단 고정결합편(35))을 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)에 고정하는 볼트(17a)와 너트(17b)도 티타늄으로 제작된다.
아울러, 상기 지그몸체(10)의 상측세로바아(14) 상단부에는 고리부재(16)가 결합된다. 이때, 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)와 상하측 세로바아(14,15)는 단면 사각형의 바아로 이루어지므로, 고리부재(16)도 상측세로바아(14) 표면에 밀착되도록 평철 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다. 본 실시예 서는 고리부재(16)가 상측세로바아(14)보다 상대적으로 두께가 작은 알루미늄 평철로 절곡 성형되어, 볼트(16a)와 너트(미도시)에 의해 상측세로바아(14)에 탈부착 가능하게 결합된다. 이때, 상기 볼트(17a)와 너트는 티타늄으로 이루어진다.
이러한 구성의 본 고안에 의해 펠리클 프레임을 걸어주는 과정에 대해 설명하면, 지그몸체(10)의 상하 방향으로 수평 배치된 제2지지부재(30)의 지지핀(32) 선단부에 펠리클 프레임(1)의 일측면에 형성된 기준홈(2)을 맞추어 끼워줌과 동시에 제1지지부재(20)의 지지핀(22a,22b)에 펠리클 프레임(1)의 타측면에 형성된 기준홈(2)을 맞추어 끼워주면, 간단하게 펠리클 프레임(1)을 지그몸체(10) 수평 방향으로 걸어줄 수 있다.
이때, 제2지지부재(30)를 구성하는 세로고정부재(31)와 지지와이어(34)는 티타늄으로 제작되어 적절한 탄성력이 있으므로, 펠리클 프레임(1)을 제1 및 제2지지부재(20,30) 사이에 걸어주는 순간에 제2지지부재(30)의 지지와이어(34)를 바깥쪽으로 약간 밀어서 제1지지부재(20)의 한 쌍의 지지핀(22a,22b)을 펠리클 프레임(1) 일측부의 기준홈(2)에 맞추어 끼우고 나서 제2지지부재(30)의 지지와이어(34)의 지지핀(32)을 펠리클 프레임(1)의 타측부 홈(2)에 맞추어 끼울 수 있게 된다.
한편, 상기 제1지지부재(20)는 연결부(21)의 양단부에 구비된 한 쌍의 지지핀(22a,22b) 선단부에 원뿔형 포인트 접점부(23)가 구비되고, 제2지지부재(30)는 세로고정부재(31)에 고정된 지지와이어(34)의 지지핀(32) 선단부에 원뿔형 포인트 접점부(33)가 구비되어, 각 지지부재(20,30)의 포인트 접점부(23,33)가 펠리클 프레임(1)의 기준홈(2)에 점으로 접촉된다.
따라서, 본 고안은 지그몸체(10)에 구비된 제1 및 제2지지부재(20,30)가 펠리클 프레임(1) 양측부의 기준홈(2)에 끼워져 점으로 접촉되어, 펠리클 프레임(1)에서 아노다이징 처리되지 않는 부분을 최소화시킬 수 있으므로, 펠리클 프레임(1)의 고품질을 보장할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 지그몸체(10)의 하측세로바아(15)는 제1지지부재(20)의 연결부(21)과 마주하는 표면에 오목홈(15g)이 형성되어, 이 오목홈(15g)에 제1지지부재(20)의 연결부(21)가 안착된 상태에서 용접 고정된다. 따라서, 제1지지부재(20)와 지그몸체(10)(즉, 하측세로바아(15)) 사이의 연결 부위 강도가 높아지는 효과를 기대할 수 있다.
또한, 상기 제2지지부재(30)의 세로고정부재(31) 상하단에 구비된 각 고정결합편(35)에는 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)에 형성된 볼트(11a)과 만나는 통공(35a)이 형성되고, 이 통공(35a)은 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)의 볼트공(11a)과 마찬가지로 지그몸체(10)의 중앙부 방향으로 길어지는 장공 형태로 구성된다.
따라서, 제2지지부재(30)와 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)를 연결 고정하는 볼트(17a)와 너트(17b)를 풀어서 제2지지부재(30)를 제1지지부재(20)에 대해 가까워지거나 멀어지도록 조절하여 셋팅할 수 있으므로, 펠리클 프레임(1)의 사이즈에 따라 호환성 있게 사용할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 제2지지부재(30)의 세로고정부재(31) 상하단에 구비된 고정결합편(35)의 통공(35a)도 지그몸체(10)의 중심부 방향으로 연장된 장공 형태로 구성되 어, 이 고정결합편(35)의 장공 형태의 통공(35a)을 따라 제2지지부재(30)를 지그몸체(10)의 중심부에 대해 멀어지거나 가까워지도록 거리 조절할 수 있으므로, 제1지지부재(20)와 제2지지부재(30) 사이의 상대 거리를 더욱 정밀하게 조절하여 사용할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 제2지지부재(30)의 고정결합편(35)과 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)의 서로 마주하는 면 사이에 합성수지 와셔(17)가 개재되고, 상하측 가로바아(12,13)와 너트(17b)의 서로 마주하는 면 사이에도 합성수지 와셔(17)가 개재된다.
따라서, 상기 합성수지 와셔(17)가 제2지지부재(30)와 지그몸체(10) 사이의 결합 부위, 구체적으로, 제2지지부재(30)의 고정결합편(35)과 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)의 서로 마주하는 면 사이와, 상하측 가로바아(12,13)와 너트(17b)의 서로 마주하는 면 사이에 틈새가 생기지 않도록 밀봉하여 아노다이징 수용액이 잔류하는 것을 방지하므로, 추후의 도금 공정에서 잔류한 아노다이징 수용액이 도금액에 좋지 않은 영향을 주는 것을 방지하는 효과가 있으며, 나아가, 도금이 제대로 이루어지지 않는 것을 방지하여 펠리클 프레임(1)의 품질 저하를 방지하는 효과도 있다.
상기 지그몸체(10)를 구성하는 상하측 가로바아(12,13)와 상하측 세로바아(14,15)는 알루미늄으로 제작되고, 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)에 고정되는 제2지지부재(30)는 티타늄으로 제작된다.
따라서, 제2지지부재(30)를 제외한 대부분의 구성 요소가 알루미늄을 제작되 므로, 본 고안과 펠리클 프레임(1) 사이의 통전성이 저하되는 것을 방지하며, 이러한 통전성 저하로 인하여 아노다이징 효율이 저하되는 것을 방지하며, 나아가, 펠리클 프레임(1)의 품질을 높일 수 있다.
또한, 상기 지그몸체(10)의 각 부분을 연결하는 볼트(15a)와 너트(15b) 및 지그몸체(10)와 제2지지부재(30)를 연결 고정하는 볼트(17a)와 너트(17b)는 모두 티타늄으로 제작되어, 아노다이징 공정에 의해 볼트(15a,17a)와 너트(15a,17b)가 삭아서 소진됨으로 인한 통전 불량을 방지하므로, 통전 불량으로 펠리클 프레임(1) 표면에 얼룩 반점이 생기는 것과 같은 품질 저하 현상이 미연에 방지되는 효과가 있다.
또한, 상기 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)와 상하측 세로바아(14,15) 및 제1지지부재(20)는 알루미늄으로 제작되고, 상기 제2지지부재(30)는 티타늄으로 제작되어, 티타늄으로 제작된 제2지지부재(30)의 지지와이어(34)에 의해 텐션을 유지하여 펠리클 프레임(1)이 안정적으로 지그몸체(10)에 걸려지도록 하는 효과가 있다.
또한, 상기 제1지지부재(20)의 한 쌍의 지지핀(22a,22b)은 지그몸체(10)의 중앙부에 상대적으로 가까운 안쪽 위치에서 펠리클 프레임(1) 일측부의 안쪽 기준홈(2)에 끼워지는 내측지지핀(22a)과, 지그몸체(10)의 중앙부에서 상대적으로 먼 바깥쪽 위치에서 펠리클 프레임(1) 일측부의 바깥쪽 기준홈(2)에 끼워지는 외측지지핀(22b)으로 이루어진다. 그리고, 상기 제2지지부재(30)를 구성하는 지지와이어(34)의 지지핀(32)은 지그몸체(10)의 중앙부에서 상대적으로 먼 바깥쪽 위치에 배치되는 펠리클 프레임(1)의 타측부 기준홈(2)에 끼워진다.
따라서, 펠리클 프레임(1)이 걸려진 지그몸체(10)의 상측에서 볼 때 상대적으로 길이가 긴 내측 경로부(PA1+PA2+PA3)와 상대적으로 길이가 짧은 외측 경로부(PB1+PB2+PB3)로 나뉘어진 상태로 펠리클 프레임(1)이 3점 지지된다.
이때, 아노다이징은 전극봉에서 인가되는 전류가 지그몸체(10)에 통전되면서 이루어지게 되는데, 상기 내측 경로부(PA1+PA2+PA3)의 길이가 외측 경로부(PB1+PB2+PB3)보다 상대적으로 길어서, 내측 경로부(PA1+PA2+PA3)의 전기 저항이 전기 저항이 외측 경로부(PB1+PB2+PB3)보다 상대적으로 높기 때문에, 펠리클 프레임(1)의 모든 부분이 균일하게 아노다이징되지 않게 된다.
그런데, 본 발명의 경우, 상기 제1지지부재(20)의 내측지지핀(22a)의 길이가 외측지지핀(22b)의 길이에 비하여 상대적으로 짧게 형성되어, 내측지지핀(22a) 자체의 전기 저항이 외측지지핀(22b) 자체의 전기 저항보다 작다.
따라서, 길이가 상대적으로 짧은 내측지지핀(22a)의 길이가 상대적으로 외측지지핀(22b)의 길이보다 짧은 만큼 전기 저항이 낮아지면서 펠리클 프레임(1)의 내측 경로부(PA1+PA2+PA3) 자체의 전기 저항을 상쇄하고, 이로 인해, 펠리클 프레임(1)의 내측 경로부(PA1+PA2+PA3)의 전기 저항과 외측 경로부(PB1+PB2+PB3)의 전기 저항이 균일하게 되므로, 펠리클 프레임(1)의 모든 부분이 균일하게 아노다이징될 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
다시 말해, 펠리클 프레임(1)의 내측 경로부(PA1+PA2+PA3) 자체의 전기 저항이 외측 경로부(PB1+PB2+PB3) 자체의 전기 저항보다 높다 하더라도, 제1지지부 재(20)의 내측지지핀(22a)의 길이가 외측지지핀(22b)의 길이보다 짧아진 만큼 전기 저항이 낮아지면서 내측 경로부(PA1+PA2+PA3) 자체의 전기 저항이 외측 경로부(PB1+PB2+PB3) 자체의 전기 저항가 같아지도록 상쇄하기 때문에, 펠리클 프레임(1)의 모든 부분이 균일하게 아노다이징될 수 있는 것이다.
또한, 상기 제2지지부재(30)의 지지와이어(34) 선단부에 구비된 지지핀(32)은 제1지지부재(20)의 외측지지핀(22b)에서 연장된 가상의 직선(L)을 기준으로 지그몸체(10)의 중심부 방향을 향하여 상대적으로 내향으로 더 경사지도록 절곡 성형된다. 즉, 도 4에서와 같이, 각도 a만큼 더 내향으로 경사지게 절곡되는 것이다.
이처럼 지지와이어(34) 선단부의 지지핀(32)을 제1지지부재(20)의 외측지지핀(22b)보다 상대적으로 안쪽으로 더 꺾은 상태로 구성함으로써, 펠리클 프레임(1)의 통전 불량의 방지하여 품질을 보장할 수 있게 된다.
다시 말해, 제1지지부재(20)의 내측지지핀(22a)의 길이가 외측지지핀(22b)의 길이보다 짧게 형성되기 때문에, 지지와이어(34)의 지지핀(32)을 제1지지부재(20)의 외측지지핀(22b)을 이어주는 가상의 직선(L)과 동일 선상에 위치하도록 구성하면, 도 3에 도시된 바와 같이, 지지와이어(34)의 지지핀(32)이 눌러주는 힘에 의해 제1지지부재(20)의 내측지지핀(22a)이 펠리클 프레임(1)의 기준홈(2)에서 떨어져 제대로 접촉이 안되기 때문에, 이 부분으로 통전이 되지 않아 통전 불량이 발생하게 된다.
그런데, 본 발명의 경우, 지지와이어(34) 선단부의 지지핀(32)을 제1지지부재(20)의 외측지지핀(22b)보다 상대적으로 더 안쪽으로 꺾은 상태에서 펠리클 프레 임(1)의 기준홈(2) 부분를 눌러주게 되는데, 도 4에 도시된 바와 같이, 지지와이어(34)의 지지핀(32)이 눌러주는 힘(F)의 작용 방향은 화살표로 표시된 선 방향으로 작용하면서 제1지지부재(20)의 내측지지핀(22a) 방향으로 눌러주는 힘으로 작용하기 때문에, 제1지지부재(20)의 내측지지핀(22a)이 펠리클 프레임(1)의 기준홈(2) 부분에서 떨어지는 경우가 발생되지 않는다.
따라서, 제1지지부재(20)의 지지핀(22a,22b)과 제2지지부재(30)의 지지핀(32)이 펠리클 프레임(1)에서 떨어져서 통전이 제대로 이루어지지 않는 경우를 미연에 방지하는 효과가 있으며, 나아가, 이러한 통전 불량으로 인한 펠리클 프레임(1)의 품질 저하(예컨데, 펠리클 프레임(1)에 얼룩 반점이 생기는 백화 현상)이 발생되는 것을 사전에 차단하는 효과를 기대할 수 있다.
아울러, 상기 지그몸체(10)의 상측세로바아(14) 상단부에는 고리부재(16)가 결합되는데, 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)와 상하측 세로바아(14,15)는 단면 사각형의 바아로 이루어지고, 고리부재(16)도 상측세로바아(14) 표면에 밀착되도록 평철 형상으로 이루어지므로, 고리부재(16)와 지그몸체(10) 사이의 접촉 면적을 보다 넓혀 통전 효율을 높이므로, 나아가, 이로 인해, 펠리클 프레임(1)의 아노다이징 효율 또한 높이는 효과를 기대할 수 있다.
그리고, 고리부재(16)가 지그몸체(10)의 상측세로바아(14)보다 상대적으로 두께가 작은 알루미늄 평철로 이루어지므로, 상대적으로 고리부재(16)를 절곡 성형하기 용이한 효과도 기대할 수 있으며, 고리부재(16)를 고정하는 볼트(16a)와 너트(미도시)도 티타늄으로 제작되어, 아노다이징 공정에 의해 볼트(16a)와 너트가 삭아서 고리부재(16)와 지그몸체(10) 사이의 통전성이 저하되는 것도 방지하는 효과가 있다.
이상에서 설명한 본 고안은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 고안의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 점이 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
이상에서와 같은 본 고안에 의하면, 펠리클 프레임에 통상적으로 형성되는 기준홈을 이용하여 펠리클 프레임을 걸어서 펠리클 프레임과의 접촉 면적을 최소화시킴으로써 펠리클 프레임을 품질을 향상시킬 수 있도록 된 새로운 구성의 펠리클 프레임 아노다이징 지그가 제공된다.
또한, 본 고안에 의하면, 아노다이징 지그와 펠리클 프레임 사이의 통전성을 높여 아노다이징 효율을 향상시킴으로써 생산성 향상을 기대할 수 있고, 펠리클 프레임의 표면에 얼룩이나 반점이 생겨 품질이 저하되거나 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있도록 된 펠리클 프레임 아노다이징 지그를 제공될 수 있다.

Claims (11)

  1. 아노다이징 풀에 구비된 전극봉에 걸어서 설치되는 지그몸체(10)와, 상기 지그몸체(10)에 구비되며 양측에는 지지핀(22a,22b)이 구비된 제1지지부재(20)와, 상기 지그몸체(10)에 장착되어 상기 제1지지부재(20)와 마주하는 위치에 배치되며 상기 제1지지부재(20) 방향으로 연장된 지지핀(32)이 구비된 제2지지부재(30)를 포함하며, 상기 제1지지부재(20)의 지지핀(22a,22b)과 제2지지부재(30)의 지지핀(32)을 펠리클 프레임(1)의 양측면에 형성된 홈(2)에 끼워서 상기 펠리클 프레임(1)을 상기 지그몸체(10)에 거치시키도록 된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 지그몸체(10)는 방사 방향으로 연장됨과 동시에 상하 방향으로 서로 대향되는 위치에 배치된 복수개의 상하측 가로바아(12,13)와, 상기 상측가로바아(12)의 중심부에 결합된 상측세로바아(14)와, 상기 하측가로바아(13)에 상하단이 연결된 복수개의 하측세로바아(15)를 포함하여 구성되고, 상기 지지부재(20,30)는 중간의 연결부(21) 양단에 한 쌍의 지지핀(22a,22b)을 갖는 형상으로 구성되며 상기 연결부(21)가 상기 하측세로바아(15)에 교차되는 방향으로 수평 결합되어 상기 하측세로바아(15)에 상하 방향으로 이격되어 설치된 복수개의 제1지지부재(20)와, 상기 하측세로바아(15)에 이웃하는 상하부 가로바아(12,13)에 상하단이 고정된 세로고정부재(31)에 기단부가 연결되고 선단부에는 펠리클 프레임(1)의 타측부 홈(2)에 끼워지는 지지핀(32)이 구비된 기역자 형상의 복수개의 지지와이어(34)를 갖는 제2지지부재(30)로 구성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 상하측 가로바아(12,13)는 각각 상기 지그몸체(10)의 중심부에 십자형을 이루도록 네 방향으로 연장된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)와 상하측 세로바아(14,15) 및 제1지지부재(20)는 알루미늄으로 제작되고, 상기 제2지지부재(30)는 티타늄으로 제작되며, 상기 제1지지부재(20)의 한 쌍의 지지핀(22a,22b)은 상기 지그몸체(10)의 중앙부에 상대적으로 가까운 안쪽 위치에서 상기 펠리클 프레임(1) 일측부의 안쪽 기준홈(2)에 끼워지는 내측지지핀(22a)과, 상기 지그몸체(10)의 중앙부에서 상대적으로 먼 바깥쪽 위치에서 펠리클 프레임(1) 일측부의 바깥쪽 홈(2)에 끼워지는 외측지지핀(22b)으로 이루어지고, 상기 제2지지부재(30)의 지지와이어(34) 선단의 지지핀(32)은 상기 지그몸체(10)의 중앙부에서 상대적으로 먼 바깥쪽 위치에 배치되는 펠리클 프레임(1)의 타측부 기준홈(2)에 끼워지도록 된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 제1지지부재(20)의 내측지지핀(22a)의 길이는 외측지지핀(22b)의 길이에 비하여 상대적으로 짧게 형성되고, 상기 제2지지부재(30)의 지지와이어(34)의 지지핀(32)은 상기 제1지지부재(20)의 외측지지핀(22b)에서 연장된 가상의 직선(L)을 기준으로 상기 지그몸체(10)의 중심부 방향을 향하여 상대적으로 내향으로 더 경사지도록 절곡 성형된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  6. 제 2 항에 있어서, 상기 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)의 선단부측에는 상기 지그몸체(10)의 중앙부 방향으로 연장된 장공 형상의 볼트공(11a)관통 형성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 상하측 가로바아(12,13)의 선단부측에는 제2지지부재(30)의 세로고정부재(31)의 상하단부가 고정결합편(35)의 통공(35a)을 관통하여 체결되는 볼트(17a)와 너트(17b)에 의해 고정되어, 상기 제2지지부재(30)의 지지와이어(34)가 상기 지그몸체(10)의 하측세로바아(15)에 결합된 제1지지부재(20)의 연 결부(21)과 마주하는 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 고정결합편(35)의 통공(35a)은 상기 지그몸체(10)의 중심부 방향으로 연장된 장공 형태로 구성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  9. 제 2 항에 있어서, 상기 제1지지부재(20)는 연결부(21)의 양단부에 구비된 한 쌍의 내외측 지지핀(22a,22b)의 선단부에 포인트 접점부(23)가 구비되고, 상기 제2지지부재(30)는 세로고정부재(31)에 고정된 지지와이어(34)의 지지핀(32) 선단부에 포인트 접점부(33)가 구비된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 지그몸체(10)를 구성하는 상하측 가로바아(12,13)와 상하측 세로바아(14,15)는 알루미늄으로 제작되고, 상기 지그몸체(10)의 상하측 가로바아(12,13)에 고정되는 제2지지부재(30)는 티타늄으로 제작된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 하측세로바아(15)는 상기 상하측 가로바아(12,13)를 관통하는 볼트(17a)와 너트(17b)에 의해 고정되고, 상기 볼트(17a)와 너트(17b)는 티타늄으로 이루어진 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 아노다이징 지그.
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KR101557050B1 (ko) 2015-03-10 2015-10-06 (주) 메코텍티타늄 아노다이징 처리용 래크
CN107299373B (zh) * 2017-07-21 2023-11-07 浙江富丽华铝业有限公司 一种接触充分的铝合金阳极氧化支架

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