KR200409718Y1

KR200409718Y1 - 이물질집진장치를 구비한 반도체 클린룸용 바닥판

Info

Publication number: KR200409718Y1
Application number: KR2020050033667U
Authority: KR
Inventors: 최연수
Original assignee: 스템코 주식회사
Priority date: 2005-11-29
Filing date: 2005-11-29
Publication date: 2006-03-03

Abstract

본 고안은 반도체 클린룸용 바닥판에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 바닥판의 하부에 구비되어 바닥판의 홀을 통과한 이물질을 집진하기 위한 집진판; 상기 집진판의 상면에 구비되어 상기 홀을 통과한 이물질을 점착하기 위하여 점착제가 도포되어진 점착 패드; 및 상기 바닥판과 집진판을 체결하기 위한 체결봉으로 이루어진 이물질집진장치를 구비한 반도체 클린룸용 바닥판에 관한 것이다.

이와 같은 본 고안에 의하여 미부유성 이물질을 별도로 용이하게 집진하여 관리할 수 있으므로 클린룸의 청정도를 높일 수 있을 뿐만 아니라, 이물질이 클린룸의 바닥에 쌓이는 것을 예방할 수 있다. 또한, 그 구조가 간단하여 탈부착이 용이하며, 비교적 저렴한 점착 패드를 사용함으로써 유지 비용을 훨씬 절감할 수 있다.

이물질집진, 클린룸, 바닥판

Description

이물질집진장치를 구비한 반도체 클린룸용 바닥판 {Access floor panel equipped with dust pile device}

도1은 종래의 반도체 클린룸용 바닥판.

도2는 본 고안에 의한 이물질 집진장치를 구비한 반도체 클린룸용 바닥판.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 ... 바닥판

20 ... 지주대

21 ... 지주대 헤드

40 ... 이물질집진장치

41 ... 집진판

42 ... 점착 패드

43 ... 체결봉

반도체 소자는 미세한 입자에 의해서도 제품의 동작 불량이 발생하므로 반도체 소자 제조 공정이 진행되는 클린룸의 내부는 완전에 가까운 청정도가 요구되며, 작업자 등이 이동하더라도 그 청정도가 유지되어야만 한다. 그래서, 클린룸 내부의 작업자는 방진복, 방진화 등의 청정 복장을 착용할 뿐만 아니라, 클린룸 내부로 들어가기 전에 상기 청정 복장에 부착된 먼지나 이물질을 제거하는 에어샤워(Air shower) 공정을 거치게 된다.

도1에 도시된 바와 같이, 종래의 클린룸 바닥판의 구조는 건물 바닥(30)에 지주대(20)를 설치하고, 그 지주대의 상단에 소정의 형상(바람직하게는 사각형)을 가진 바닥판(10)을 설치하여, 상기 바닥판(10)을 작업장의 바닥면으로 하는 이중 바닥 구조로 구성되고, 상기 바닥판(10)과 건물 바닥(30) 사이를 클린룸의 환기통로 등으로 활용하는 클린룸 하부구조가 적용되어진다.

즉, 클린룸 내부로 공급되는 공기는 클린룸의 청정도를 유지하기 위하여 클린룸 천정에 부착된 필터(Filter)에 의해서 필터링된 후, 클린룸 내부로 공급되도록 되어 있다. 이때, 클린룸 내부로 공급된 공기는 클린룸 내부와 클린룸의 바닥판 하부와의 기압차에 의해서 바닥판의 하부로 하강하여 바닥판(10)에 형성된 복수개의 홀(11)을 통하여 외부로 빠져 나가도록 구성되어 있다.

이와 같은 종래의 클린룸 하부구조에서는 에어의 흐름에 따라 작업장의 이물질이 클린룸 바닥판(10)의 홀(11)을 통하여 클린룸 하부로 유입된 다음 에어가 다시 필터링될 때 걸러지게 된다. 그러나, 장비 또는 작업자의 복장 등에서 발생한 비부유성 이물질 등은 상기 클린룸 바닥판(10)의 홀(11)을 통하여 클린룸 하부로 유입된 다음 그대로 건물 바닥면(30)에 쌓이게 되기 때문에 필터링이 불가능하다.

일반적으로, 바닥판(10)의 하부에는 배관이나 배선 시설이 갖춰져 있는데, 바닥판(10)의 홀(11) 아래로 이물질이 계속적으로 쌓일 경우에는 제거하는 데 상당한 어려움이 있다.

결국, 상기 건물 바닥에 쌓인 이물질들은 클린룸의 청정도에 대한 신뢰성을 약화시킬 뿐만 아니라 산화 등의 변성으로 발생하는 부유성 이물질은 에어 필터의 교체 주기를 단축시킴으로써 클린룸 유지관리비용의 증가를 초래하고, 클린룸의 하부를 별도로 청소해야 하는 문제점이 있다.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 반도체 클린룸의 바닥에 이물질이 쌓이지 않도록 하는 이물질집진장치를 구비한 반도체 클린룸용 바닥판을 제공함으로써 클린룸의 청정도를 높이고자 하는 데 그 목적이 있다.

상술한 바와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 고안의 이물질 집진장치는, 클린룸 바닥판의 하부에 구비되어 바닥판의 홀을 통과한 이물질을 집진하기 위한 집진판; 상기 집진판의 상면에 구비되어 상기 홀을 통과한 이물질을 점착하기 위하여 점착제가 도포되어진 점착 패드; 및 상기 바닥판과 집진판을 체결하기 위한 체결봉으로 이루어진다.

여기서, 상기 집진판은 바닥판보다는 면적이 작게 구성되며, 상기 점착 패드는 집진판에 탈착 가능토록 형성되어진다.

한편, 상기 체결봉은, 볼트/너트 구조로 형성되어 상기 바닥판의 하부에 설치된 지주대 헤드와 체결되어지거나, 그 단부가 고리형으로 형성되어 지주대와 체결되어질 수도 있다.

그리고, 상기 집진판과 체결봉은 내산화성 금속 또는 플라스틱제인 것을 특징으로 한다.

이하에서는 본 고안에 의한 이물질집진장치를 구비한 반도체 클린룸용 바닥판의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 상세히 설명하고자 한다.

도1은 종래의 반도체 클린룸용 바닥판의 사시도이고, 도2는 본 고안에 의한 이물질집진장치를 구비한 반도체 클린룸용 바닥판의 사시도이다.

도1을 참조하면, 종래의 반도체 클린룸용 바닥판 구조에서는, 공기의 흐름에 따라 작업장의 이물질이 클린룸 바닥판(10)의 홀(11)을 통하여 클린룸의 하부로 유 입된 다음 그대로 건물 바닥면(30)에 쌓이게 되기 때문에 필터링이 불가능하게 된다.

이러한 문제를 해결하고자, 본 고안에서는 바닥판의 하부에 이물질집진장치(40)를 장착함으로써 바닥판(10)의 홀(11)을 통과한 이물질이 건물 바닥(30)에 쌓이는 것을 미연에 방지하게 된다.

도2를 참조하면, 본 고안에 의한 이물질집진장치를 구비한 반도체 클린룸용 바닥판은, 다수의 홀(11)이 형성된 반도체 클린룸용 바닥판(10)의 하부에 상기 홀(11)을 통과한 이물질을 집진하기 위해 집진판(41)이 구비되며, 상기 집진판(41)의 상면에는 점착 패드(42)가 구비되어 상기 홀(11)을 통과한 이물질을 점착하게 되며, 상기 바닥판(10)과 집진판(41)은 체결봉(43)에 의하여 체결되어짐을 특징으로 한다.

여기서, 도면에는 도시되지 않았지만, 상기 체결봉(43)은 일반적인 볼트/너트 구조로 형성되어 상기 바닥판(10)의 하부에 설치되어진 지주대 헤드(21)와 체결되어지거나, 그 단부가 고리형으로 형성되어 지주대(20)의 상단에 끼움으로써 용이하게 장착되어질 수도 있다.

한편, 상기 집진판(41)은 바닥판(10)보다는 면적이 작게 구성되어지며, 상기 집진판(41)과 체결봉(43)은 이물질이 발생되지 않는 내산화성 금속 또는 플라스틱제인 것이 바람직하다.

그리고, 상기 점착 패드(42)는 집진판(41)에 탈착 가능토록 형성되어지며, 그 상면에는 이물질의 점착을 용이하게 위해 점착제가 도포되어지는 것이 바람직하 다.

요컨대, 클린룸의 바닥판(10)의 홀(11)을 통과한 이물질은 건물 바닥(30)에 쌓이지 않게 되며, 본 고안의 이물질집진장치(40)에 의하여 걸러져, 이물질집진장치(40)의 점착 패드(42)에 점착되어진다.

그러므로, 작업자는 필요에 따라 클린룸의 바닥판(10)을 들어내어 이물질집진장치(40)의 점착 패드(42)만을 간단히 교체함으로써 이물질을 용이하게 제거할 수 있게 된다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 고안에 의한 이물질집진장치를 구비한 반도체 클린룸용 바닥판은 미부유성 이물질을 별도로 용이하게 집진하여 처리할 수 있으므로 클린룸의 청정도를 높일 수 있을 뿐만 아니라, 이물질이 클린룸의 바닥에 쌓이는 것을 예방할 수 있는 효과를 제공한다.

또한, 그 구조가 간단하여 탈부착이 용이하며, 비교적 저렴한 점착 패드를 사용함으로써 유지 비용을 훨씬 절감할 수 있다.

Claims

다수의 홀(11)이 형성된 반도체 클린룸용 바닥판(10)에있어서,

상기 바닥판(10)의 하부에 구비되어, 상기 홀(11)을 통과한 이물질을 집진하기 위한 집진판(41);

상기 집진판(41)의 상면에 구비되어, 상기 홀(11)을 통과한 이물질을 점착하기 위하여 점착제가 도포되어진 점착 패드(42); 및

상기 바닥판(10)과 집진판(41)을 체결하기 위한 체결봉(43)을 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질집진장치를 구비한 반도체 클린룸용 바닥판.
제1항에 있어서,

상기 집진판(41)은 바닥판(10)보다 면적이 작은 것을 특징으로 하는 이물질집진장치를 구비한 반도체 클린룸용 바닥판.
제1항에 있어서,

상기 점착 패드(42)는 집진판(41)에 탈착 가능토록 형성된 것임을 특징으로 하는 이물질집진장치를 구비한 반도체 클린룸용 바닥판.
제1항에 있어서,

상기 집진판(41)과 체결봉(43)은 내산화성 금속 또는 플라스틱제인 것을 특징으로 하는 이물질집진장치를 구비한 반도체 클린룸용 바닥판.