KR20040100048A - 기판지지장치 및 이에 사용되는 승강장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 작동시 충분한 평편도가 확보되는 평면플레이트를 구비한 기판지지장치 및 이에 사용되는 승강장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은:

서로 간의 거리가 조정될 수 있는 한 쌍의 가이드레일, 상기 가이드레일의 상측에 설치된 상측기판지지부재, 상기 가이드레일과 상측기판지지부재 사이에 배치되고 가이드레일을 따라서 기판을 지지하며 이동될 수 있는 지지벨트, 상기 지지벨트를 상승시킴으로써 지지벨트 상에 위치된 기판을 상기 상측기판지지부재에 밀착시킬 수 있는 하측기판지지부재, 및 상기 하측기판지지부재를 상승시킬 수 있는 승강장치;를 구비한 기판지지장치로서,

상기 승강장치는 베이스플레이트, 상기 베이스플레이트에 직교하여 회전가능하게 설치된 적어도 한 쌍의 회전부재, 상기 회전부재 각각의 상단부에 회전가능하게 설치된 아이들휠들, 상기 아이들휠들이 항상 동일높이에 있도록 상기 한 쌍의 회전부재를 연결하는 연결부재, 상기 회전부재들을 회전시킬 수 있는 구동부, 및 상기 아이들휠들 위에 안착되는 평면플레이트를 구비한 것을 특징으로 하는 기판지지장치를 제공한다.

Description

기판지지장치 및 이에 사용되는 승강장치 {Apparatus for supporting a substrate and lifting device used therein}

본 발명은 기판지지장치 및 이에 사용되는 승강장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 기판에 각종 집적회로칩을 장착하기 위하여 기판을 지지하는 기판지지장치 및 이에 사용되는 승강장치에 관한 것이다.

도 1 에 도시된 종래의 기판지지장치에 있어서, 기판(1)은 가이드레일(2)을 따라서 진행하는 지지벨트(5) 상에 위치되어 이송되고, 하측기판지지부재(4)는 상기 지지벨트를 상향으로 이동시킴으로써 기판(1)을 상측기판지지부재(3)에 밀착시킨다. 이 경우 상기 하측기판지지부재는 승강액튜에이터(6)에 의하여 상승되는 평면플레이트(7)에 의하여 상승되는데, 상기 승강액튜에이터로서는 볼스크류, 공압액튜에이터, 유압액튜에이터 등이 사용되고, 이 승강액튜에이터는 통상 평면플레이트의 일 지점(예를 들면, 중앙부)을 지지하여 이를 승강시킨다.

그러나 이와 같은 구성을 갖는 종래의 기판지지장치에서 상기 승강액튜에이터를 작동시키면, 상기 평면플레이트 상에 자석에 의하여 안정적으로 배치되어 기판의 처짐을 방지하는 보조지지부재(8)의 위치에 따른 무게 중심의 불균형 및 각 부품들의 치수오차 등에 의하여 상기 평면플레이트의 평편도가 충분히 확보되지 않고, 따라서 기판에 집적회로칩을 장착하는 작업의 안정도가 떨어져서 불량이 많게 된다는 등의 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하여, 작동시 충분한 평편도가 확보되는 평면플레이트를 구비한 기판지지장치 및 이에 사용되는 승강장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1 은 종래의 기판지지장치를 도시하는 단면도이고,

도 2 는 본 발명에 따른 기판지지장치를 도시하는 사시도이고,

도 3 은 본 발명에 따른 승강장치를 상측에서 본 분리사시도이고,

도 4 는 본 발명에 따른 승강장치를 하측에서 본 사시도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

3: 상측기판지지부재 4: 하측기판지지부재

23a: 제1가이드레일 23b: 제2가이드레일

50: 지지벨트 100: 승강장치

110: 구동부 120: 베이스플레이트

130: 회전부재 140: 연결부재

150: 아이들휠 160: 평면플레이트

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은:

서로 간의 거리가 조정될 수 있는 한 쌍의 가이드레일, 상기 가이드레일의 상측에 설치된 상측기판지지부재, 상기 가이드레일과 상측기판지지부재 사이에 배치되고 가이드레일을 따라서 기판을 지지하며 이동될 수 있는 지지벨트, 상기 지지벨트를 상승시킴으로써 지지벨트 상에 위치된 기판을 상기 상측기판지지부재에 밀착시킬 수 있는 하측기판지지부재, 및 상기 하측기판지지부재를 상승시킬 수 있는 승강장치;를 구비한 기판지지장치로서,

상기 승강장치는 베이스플레이트, 상기 베이스플레이트에 직교하여 회전가능하게 설치된 적어도 한 쌍의 회전부재, 상기 회전부재 각각의 상단부에 회전가능하게 설치된 아이들휠들, 상기 아이들휠들이 항상 동일높이에 있도록 상기 한 쌍의 회전부재를 연결하는 연결부재, 상기 회전부재들을 회전시킬 수 있는 구동부, 및 상기 아이들휠들 위에 안착되는 평면플레이트를 구비한 것을 특징으로 하는 기판지지장치를 제공한다.

상기 회전부재는 베이스플레이트에서 직사각형을 이루도록 두 쌍이 설치되고, 상기 회전부재들은 연결부재에 의하여 한 쌍씩 연결되며, 상기 두 개의 연결부재는 상기 구동부에 의하여 함께 구동되는 것이 바람직하다.

상기 구동부는 상기 베이스플레이트에 회전가능하게 설치된 액튜에이터, 상기 연결부재에 회전가능하게 설치된 제2동력전달부재, 및 상기 액튜에이터의 동력을 상기 제2동력전달부재로 전달하는 제1동력전달부재를 구비하는 것이 바람직하다.

상기 베이스플레이트에는 상기 평면플레이트를 수직방향으로 가이드하는 가이드바가 설치되는 것이 바람직하다.

상기 평면플레이트 상에는 기판의 처짐을 방지하는 보조지지부재가 배치되는 것이 바람직하다.

이어서, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

도 2 에는 집적회로칩 장착장치(10)가 도시되어 있는바, 이 집적회로칩 장착장치는 프레임(11) 상에 한 쌍의 가이드레일(23a, 23b)을 따라서 연속적으로 배치된 3부분, 즉 기판도입부(A), 기판지지부(B; 기판지지장치로 구성되는 부분), 및 기판배출부(C)로 구분된다. 그 첫 번째 부분인 기판도입부(A)는 회로가 형성된 기판을 도입하여 기판지지부로 이송시키는 기능을 하는 부분이고, 기판지지부(B)는 이송된 기판을 안정적으로 지지하여 기판 상에 집적회로칩을 장착하는 부분이고, 기판배출부(C)는 집적회로칩이 장착된 기판을 다음 공정으로 이송시키기 위하여 배출하는 부분이다.

상기 한 쌍의 가이드레일 중의 하나는 그 위치가 고정된 제1가이드레일(23a)이고, 다른 하나는 상기 제1가이드레일에 대하여 이동가능한 제2가이드레일(23b)이다. 상기 제2가이드레일은 폭조정장치에 의하여 이동되는데, 상기 폭조정장치는 폭조정모터(20), 상기 폭조정모터에 의하여 회전됨으로써 제2가이드레일을 제1가이드레일에 대하여 접근 또는 이격시킬 수 있는 제1폭조정스크류(21a), 상기 제1폭조정스크류로부터 동력을 전달받아서 제2폭조정스크류(21b)로 전달할 수 있는 폭조정벨트(22), 및 상기 폭조정벨트로부터 동력을 전달받아서 제2가이드레일을 제1가이드레일에 대하여 평행하게 이동시키는 제2폭조정스크류(21b)를 구비한다. 또한 상기 제2가이드레일의 위치는 제1폭조정스크류와 연동되는 폭감지센서(24)에 의하여 감지되어 상기 가이드레일들의 간격을 조정하는 제어부(도시되지 않음)로 전달된다.

상기 기판도입부에서는 모터 등에 의하여 이동되는 도입벨트(40)가 가이드휠(30) 등에 의하여 가이드되는데, 상기 도입벨트는 제1가이드레일(23a)과 제2가이드레일 양측 모두에 설치되며 이 도입벨트들은 제1샤프트(41)에 의하여 연동된다. 기판은 상기 도입벨트 상에 놓여진 상태에서 기판지지부로 이송될 수 있다.

상기 기판지지부에서는 모터 등에 의하여 이동되는 지지벨트(50)가 가이드휠 등에 의하여 가이드되는데, 상기 지지벨트는 제1가이드레일(23a)과 제2가이드레일 양측 모두에 설치되며 이 지지벨트들은 제2샤프트(51)에 의하여 연동된다. 기판은 상기 지지벨트 상에 놓여진 상태에서 이송될 수 있는데, 기판 상에 집적회로칩을 장착하기 위하여는 기판을 정지시키고자 하는 경우에는 상기 지지벨트가 작동을 멈추고 기판은 스토퍼(25)에 의하여 정위치에 정지된다. 일단 정지된 기판은 후술하는 승강장치(100)에 의하여 상승되어 상측기판지지부재(3)에 맞대어져서 고정된다.

집적회로칩이 장착된 기판은 기판배출부(C)로 이송된다. 기판배출부에서는 모터 등에 의하여 이동되는 배출벨트(60)가 가이드휠 등에 의하여 가이드되는데, 상기 배출벨트는 제1가이드레일과 제2가이드레일 양측 모두에 설치되며 이 배출벨트들은 제3샤프트(61)에 의하여 연동된다. 기판은 상기 배출벨트 상에 놓여진 상태에서 배출될 수 있다.

상기 기판지지장치는 한 쌍의 가이드레일(23a, 23b), 상기 가이드레일의 상측에 설치된 상측기판지지부재(3), 상기 가이드레일과 상측기판지지부재 사이에 배치되고 가이드레일을 따라서 기판을 지지하며 이동될 수 있는 지지벨트(50), 상기 지지벨트를 상승시킴으로써 지지벨트 상에 위치된 기판을 상기 상측기판지지부재에 밀착시킬 수 있는 하측기판지지부재(3), 및 상기 하측기판지지부재를 상승시킬 수 있는 승강장치(100)를 구비한다.

이하에서는 도 3 및 도 4를 참조하여 본 실시예에 따른 승강장치에 대하여 상세히 설명한다. 승강장치는 상기 기판지지부로 도입되어 스토퍼(25)에 의하여 정지된 기판(1)을 상승시키는 장치인데, 이것은 베이스플레이트(120), 상기 베이스플레이트에 직교하여 회전가능하게 설치된 적어도 한 쌍의 회전부재(130), 상기 회전부재 각각의 상단부에 회전가능하게 설치된 아이들휠(150)들, 상기 아이들휠들이 항상 동일높이에 있도록 상기 한 쌍의 회전부재를 연결하는 연결부재(140), 상기 회전부재들을 회전시킬 수 있는 구동부(110), 및 상기 아이들휠들 위에 안착되는 평면플레이트(160)를 구비한다.

본 실시예에서는 상기 회전부재가 두 개씩 한 쌍을 이루는 것으로 도시되었으나, 폭방향의 평편도가 충분히 확보될 수 있는 경우, 예를 들면 기판 자체의 폭이 좁은 경우, 또는 아이들휠이 원기둥이나 원통형으로 형성되어 폭방향의 평편도가 확보될 수 있는 경우에는 한 쌍의 회전부재만이 설치되어도 된다.

상기 베이스플레이트(120)의 네 모서리 부분에는 회전부재 지지부재(131)가 직사각형을 이루도록 설치되고, 회전부재 각각은 이 회전부재 지지부재 각각에 회전가능하게 지지된다. 이 회전부재들 중 종방향으로 배치되어 한 쌍을 이루는 회전부재들은 그 하단부(140b)가 연결부재(140)에 의하여 연결되며, 두 개의 연결부재는 함께 회전되도록 고정된다. 이로써 네 개의 회전부재들은 항상 동일한 각도로 회전되게 된다.

상기 회전부재들은 구동부(110)에 의하여 회전되는데, 이 구동부는 액튜에이터(111), 제1동력전달부재(112), 및 제2동력전달부재(113)를 구비한다. 상기 액튜에이터는 동력전달방식에 따라서 달라 질 수 있는데, 예를 들어 볼스크류 방식을 채택하는 경우에는 회전구동이 가능한 모터일 수 있다. 이 경우에는 상기 제1동력전달부재는 스크류이고, 제2동력전달부재의 내측에는 상기 제1동력전달부의 스크류와 맞는 스크류가 형성된다. 한편 상기 액튜에이터가 유압 또는 공압식의 액튜에이터일 수도 있다. 이 경우 상기 제1동력전달부재(112)의 단부(112a)는 상기 제2동력전달부재에 고정된다.

상기 액튜에이터는 제1회전축(111a)에 의하여 베이스플레이트(120)에 회전가능하게 지지되고, 제2동력전달부(113)는 제2회전축(113a)에 의하여 상기 연결부재(140) 또는 회전부재(130)에 회전가능하게 지지된다.

상기 액튜에이터가 작동함에 따라서 제1동력전달부가 제2동력전달부에 동력을 전달하고, 제2동력전달부는 연결부재를 거쳐서 회전부재를 회전시킨다. 회전부재들의 상단부(130a)에는 아이들휠(150)이 설치되어 있고, 이 아이들휠 상에는 평면플레이트가 안착되어 있는바, 상기 회전부재가 회전됨에 따라서 평면플레이트가 승강하게 된다. 상기 회전부재가 회전함에 따라서 아이들휠의 위치도 회전되지만, 아이들휠 자체가 회전되므로 이에 지지되는 평면플레이트는 그 수평위치가 유지될 수 있다. 상기 평면플레이트가 수평방향으로 이동되지 않게 하기 위하여, 상기 베이스플레이트에는 상기 평면플레이트를 수직방향으로 가이드하는 가이드바(170)가 설치되는 것이 바람직하다. 이 가이드바는 평면플레이트(160)에 형성된 가이드바 수용공(161)에 수용된다. 상기 가이드바가 없는 경우에는, 상기 가이드레일들의 하측에 평면플레이트의 수평이동을 방지할 수 있는 가이드부재가 설치되는 것이 바람직하다.

한편 대형기판의 경우에는 그 중심부가 중력에 의하여 처질 수 있고, 이러한 처짐은 집적회로칩의 장착에 장애가 되는바, 상기 평면플레이트 상에는 자석에 의하여 평면플레이트에 안정적으로 배치될 수 있고, 기판의 처짐을 방지할 수 있는 높이를 가진 보조지지부재(8)가 배치되는 것이 바람직하다.

상기와 같은 구성을 갖는 기판지지장치 및 이에 사용되는 승강장치에 있어서는, 적어도 한 쌍의 회전부재(130)가 평면플레이트의 특정 지점을 지지하는 것이 아니고, 이를 전체적으로 지지하므로 충분한 평편도가 확보될 수 있다. 따라서 이 평면플레이트를 상승시키면, 하측기판지지부재(4)들이 모두 동일 높이로 상승하게 되고, 따라서 기판을 상측기판지지부재(3)에 밀착시킴에 있어서 수평도가 좋게 된다.

본 발명에 의하여, 작동시 충분한 평편도가 확보되는 평면플레이트를 구비한 기판지지장치 및 이에 사용되는 승강장치가 제공되고, 따라서 집적회로칩이 장착될 때의 기판의 수평도가 양호하게 유지되며, 나아가 기판에 대한 집적회로칩의 장착상태가 양호하게 된다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (6)

1. 서로 간의 거리가 조정될 수 있는 한 쌍의 가이드레일, 상기 가이드레일의 상측에 설치된 상측기판지지부재, 상기 가이드레일과 상측기판지지부재 사이에 배치되고 가이드레일을 따라서 기판을 지지하며 이동될 수 있는 지지벨트, 상기 지지벨트를 상승시킴으로써 지지벨트 상에 위치된 기판을 상기 상측기판지지부재에 밀착시킬 수 있는 하측기판지지부재, 및 상기 하측기판지지부재를 상승시킬 수 있는 승강장치;를 구비한 기판지지장치에 있어서,

   상기 승강장치는 베이스플레이트, 상기 베이스플레이트에 직교하여 회전가능하게 설치된 적어도 한 쌍의 회전부재, 상기 회전부재 각각의 상단부에 회전가능하게 설치된 아이들휠들, 상기 아이들휠들이 항상 동일높이에 있도록 상기 한 쌍의회전부재를 연결하는 연결부재, 상기 회전부재들을 회전시킬 수 있는 구동부, 및 상기 아이들휠들 위에 안착되는 평면플레이트를 구비한 것을 특징으로 하는 기판지지장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 회전부재는 베이스플레이트에서 직사각형을 이루도록 두 쌍이 설치되고, 상기 회전부재들은 연결부재에 의하여 한 쌍씩 연결되며, 상기 두 개의 연결부재는 상기 구동부에 의하여 함께 구동되는 것을 특징으로 하는 기판지지장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 구동부는 상기 베이스플레이트에 회전가능하게 설치된 액튜에이터, 상기 연결부재에 회전가능하게 설치된 제2동력전달부재, 및 상기 액튜에이터의 동력을 상기 제2동력전달부재로 전달하는 제1동력전달부재를 구비한 것을 특징으로 하는 기판지지장치.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 베이스플레이트에는 상기 평면플레이트를 수직방향으로 가이드하는 가이드바가 설치된 것을 특징으로 하는 기판지지장치.
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 평면플레이트 상에 배치되고 기판의 처짐을 방지하는 보조지지부재를 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판지지장치.
6. 베이스플레이트;

   상기 베이스플레이트에 직교하여 회전가능하게 설치된 적어도 한 쌍의 회전부재;

   상기 회전부재 각각의 상단부에 회전가능하게 설치된 아이들휠들;

   상기 아이들휠들이 항상 동일높이에 있도록 상기 한 쌍의 회전부재를 연결하는 연결부재;

   상기 회전부재들을 회전시킬 수 있는 구동부; 및

   상기 아이들휠들 위에 안착되는 평면플레이트를 구비한 승강장치.