KR20040083538A - 칼코겐화물 클래딩을 사용한 단일 레벨 금속 메모리 셀 - Google Patents
칼코겐화물 클래딩을 사용한 단일 레벨 금속 메모리 셀 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (17)
- 기판상의 제1 도체 및 제2 도체 사이에 배치된 상변화 재료의 볼륨부; 및상기 상변화 재료의 볼륨부 및 상기 제1 도체에 연결된 복수의 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 메모리 재료의 볼륨부는 상기 제2 도체와 인접되어 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제1 도체 및 상기 제2 도체는 상기 기판상에 직교하는 방위로 되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 상변화 재료는 상기 제1 도체 및 상기 제2 도체를 흐르는 전류에 응답하여 적어도 2개의 저항값중 하나로 설정가능한 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제2 도체는 알루미늄 및 텅스텐중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 기판상에 배치되고 상기 제1 도체에 연결되어 있는 제3 도체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1 도체;상기 기판상에 있고 상기 제1 도체로부터 전기적으로 절연되어 있는 제2 도체;상기 기판상에 있고 상기 제2 도체와 인접되어 배치되어 있는 상변화 재료의 볼륨부; 및상기 제1 도체와 상변화 재료 사이에 연결되어 있는 복수의 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제7항에 있어서, 상기 제1 도체 및 상기 제2 도체는 상기 기판상에 직교하는 방위로 되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제7항에 있어서, 상기 제2 도체는 알루미늄 및 텅스텐중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제8항에 있어서, 상기 기판상에 배치되어 있고 상기 제1 도체에 연결되어 있는 제3 도체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 기판상의 M개의 도체 및 N개의 도체의 매트릭스;제1 복수의 도체, M1내지 Mn에 연결된 복수의 전극; 및제1 N개의 도체, N1및 상기 복수의 전극에 연결된 상변화 재료, PC1;을 포함하고, M 및 N은 각각 1보다 크고, 전극의 커플링의 영역에 이웃한 PC1의 볼륨부는 제1 도체 및 제2 도체를 통하여 흐르는 전류에 응답하여 적어도 2개의 저항값중 하나로 설정가능한 것을 특징으로 하는 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 복수의 전극은 제1 복수의 전극이고, 복수의 N개의 도체중 각각의 하나에 개별적으로 연결된 복수의 상변화 재료, PCn및 상기 복수의 상변화 재료와 복수의 M개의 도체의 각각의 사이에 연결된 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 복수의 상변화 재료(PCn)는 상기 복수의 N개의 도체의 길이부와 인접하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제11항에 있어서, 상기 M개의 도체는 반도체 재료를 포함하고, 상기 장치는 상기 기판상에 형성되고 도전성 비아를 통해 상기 복수의 M개의 도체에 연결된 복수의 MM개의 도체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 기판상의 제1 도체상에, 상기 제1 도체에 연결된 복수의 전극을 주입하는 단계;상기 복수의 전극상에 그리고 상기 복수의 전극과 전기적으로 통신하도록 상변화 재료를 주입하는 단계; 및상기 상변화 재료상에 그리고 상기 상변화 재료에 연결되도록 제2 도체를 주입하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제15항에 있어서, 메모리 재료의 볼륨부를 주입하는 단계는 메모리 재료의 다이멘션부를 패터닝하는 단계를 포함하고 상기 제2 도체를 주입하는 단계는 상기 제2 도체의 다이멘션부를 패터닝하는 단계를 포함하고, 상기 메모리 재료의 볼륨부의 다이멘션과 상기 제2 도체의 다이멘션은 유사한 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 메모리 재료의 다이멘션부를 상기 제1 도체와 직교하는 방위로 패터닝하는 것을 특징으로 하는 방법.
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