KR20040079287A

KR20040079287A - 유리 모기판용 카세트

Info

Publication number: KR20040079287A
Application number: KR1020030014409A
Authority: KR
Inventors: 김동원
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2003-03-07
Filing date: 2003-03-07
Publication date: 2004-09-14

Abstract

유리 모기판을 수납하기 위한 유리 모기판용 카세트를 개시한다. 유리 모기판을 수납하는 버퍼 카세트는 유리 모기판을 수납하는 기판 수납부 및 기판 수납부의 내측벽에 위치하는 제1 및 제2 중앙 지지대를 포함한다. 제1 및 제2 중앙 지지대는 유리 모기판의 중앙부를 지지하여 유리 모기판의 휨을 방지한다. 이에 따라, 버퍼 카세트는 유리 모기판의 무게 중심을 복수의 중앙 지지대를 이용하여 분산할 수 있으므로, 중앙 지지대가 아래로 기울어지는 것을 방지하고, 유리 모기판의 훼손을 방지할 수 있다.

Description

유리 모기판용 카세트{CASSETTE FOR CARRYING MOTHER GLASS SUBSTRATE}

본 발명은 유리 모기판용 카세트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 디스플레이 패널을 가공하기 위한 유리 모기판을 수납하기 위한 유리 모기판용 카세트에 관한 것이다.

일반적으로 화상을 표시하는 액정표시패널은 제품 양산의 효율화를 위해 6매 내지 8매의 박막 트랜지스터 기판(Thin Film Transistor substrate : 이하, TFT 기판) 또는 칼라필터 기판(color filter substrate)을 하나의 유리 모기판(mother glass substrate) 위에 형성하여 액정표시패널을 생산한다.

액정표시장치가 점점 대형화됨에 따라 디스플레이 영역의 확장을 위해 상기 액정표시패널이 대형화되고, 이로 인해 유리 모기판 또한 대형화되고 있는 추세이다.

상기 유리 모기판은 액정표시패널을 생산하기 위한 액정표시패널 가공 장치를 이용하여 액정표시패널로 생산된다.

상기 액정표시패널 가공 장치는 상기 유리 모기판을 가공 처리하기 위한 프로세스 챔버(process chamber), 상기 프로세스 챔버로 이송되기 전에 상기 유리 모기판이 적재되는 로드락 챔버(roadlock chamber) 및 상기 로드락 챔버 내에 적재된 상기 유리 모기판을 상기 프로세스 챔버로 이송하기 위한 이송 챔버(transfer chamber)로 이루어진다.

상기 로드락 챔버 내에 위치하고 상기 유리 모기판을 수납하기 위한 버퍼 카세트(buffer cassette)의 내부에는 상기 유리 모기판을 지지하기 위한 지지대가 설치된다.

상기 지지대는 상기 유리 모기판이 적재될 경우에 상기 유리 모기판의 중앙부에 위치한다.

일반적으로, 17"인치 액정표시패널용 기판을 6매 형성하기 위한 상기 유리 모기판은 가로 길이가 920mm이고, 세로 길이가 730mm이며, 그 무게는 약 0.63t 정도이다.

이러한 대형 유리 모기판을 상기 버퍼 카세트에 적재할 경우에 상기 유리 모기판의 하중에 의해 상기 지지대가 약 3mm 정도 쳐지는 현상이 발생한다.

상기 지지대의 쳐짐은 쳐짐이 발생한 지지대의 아래에 적재된 유리 모기판과 간섭이 발생될 수 있으므로 유리 모기판이 훼손될 수 있다

또한, 상기 지지대의 쳐짐으로 인해 적재된 유리 모기판 또한 평행을 유지하지 못하고 아래로 기울어지는 현상이 발생한다.

이에 따라, 상기 기울어진 지지대의 아래에 새로운 유리 모기판을 적재하기 위한 공간 확보가 어렵고, 인접하게 적재된 유리 모기판간의 간섭이 발생할 수 있어 유리 모기판이 훼손될 수 있다.

또한, 공정 진행 중에 발생되는 상기 유리 모기판의 불량은 액정표시패널의 불량을 초래한다.

본 발명의 목적은 디스플레이 패널의 수율을 향상시키기 위한 유리 모기판용 카세트를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 디스플레이 패널 가공 장치를 나타낸 사시도이다.

도 2는 도 1에 도시된 유리 모기판을 나타낸 평면도이다.

도 3은 도 1에 도시된 버퍼 카세트에 유리 모기판을 적재하는 동작을 버퍼 카세트의 측면에서 나타낸 평면도이다.

도 4는 도 1에 도시된 버퍼 카세트에 유리 모기판을 적재하는 동작을 버퍼 카세트의 상측에서 나타낸 평면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 유리 모기판 200 : 버퍼 카세트

210 : 기판 수납부 220, 230 : 기판 지지대

240, 250 : 중앙 지지대 300 : 기판 이송장치

310 : 바디부 320, 330 : 기판 받침대

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 유리 모기판용카세트는, 유리 모기판을 수납하는 기판 수납부 및 상기 기판 수납부의 내부에 위치하고, 상부에 로딩되는 상기 유리 모기판을 지지하여 상기 유리 모기판이 휘어지는 것을 방지하기 위한 복수의 지지대를 포함하여 이루어진다.

이러한 유리 모기판용 카세트에 의하면, 상기 복수의 지지대를 이용하여 상기 유리 모기판의 무게 중심을 분산할 수 있다, 또한, 하나의 지지대가 받는 유리 모기판의 하중이 작아지므로, 상기 지지대가 아래로 기울어지는 현상을 방지할 수 있고, 더 나아가 상기 유리 모기판의 훼손을 방지 할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 디스플레이 패널 가공 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 유리 모기판을 나타낸 평면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 디스플레이 패널 가동 장치(400)는 유리 모기판(100)을 수납하는 버퍼 카세트(200) 및 상기 유리 모기판(100)을 상기 버퍼 카세트(200)에 적재하고 상기 버퍼 카세트(200)에 수납된 유리 모기판(100)을 외부로 이송하는 기판 이송장치(300)를 포함한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 유리 모기판(100)은 투명 유리 기판 상에 복수의 TFT 기판 또는 칼라필터 기판을 생성하기 위한 복수의 LCD 단위 셀(110)이 형성된다.

상기 복수의 LCD 단위 셀(110)에 TFT 기판이 형성된 유리 모기판과 상기 복수의 LCD 단위 셀(110)에 칼라필터 기판이 형성된 유리 모기판을 결합한 후 결합된 상기 TFT 기판과 칼라필터 기판 사이에 액정을 주입한다.

상기 액정이 주입된 상기 두 개의 유리 모기판을 각각의 LCD 단위 셀(110) 별로 절개하여 액정표시패널을 완성한다.

상기 유리 모기판(100)상에 형성된 LCD 단위 셀(110)은 상기 액정표시패널을 생성하기 위한 공정을 진행중인 상태이므로, 상기 LCD 단위 셀(110) 내에 오염이 발생하거나 상기 유리 모기판(100)의 에지 영역에 파티클 등이 발생할 경우 액정표시패널의 불량을 초래한다.

따라서, 상기 액정표시패널의 공정단계에서 사용되는 상기 버퍼 카세트(200) 및 상기 기판 이송장치(300)를 설계할 경우 상기 유리 모기판(100)에 발생할 수 있는 파티클 또는 오염 등을 고려하여 설계해야한다.

상기 유리 모기판(100)을 수납하는 상기 버퍼 카세트(200)는 상기 유리 모기판(100)을 적재하는 기판 수납부(210), 상기 유리 모기판(100)의 에지 영역을 지지하는 기판 지지대(220, 230) 및 상기 유리 모기판(100)의 휨을 방지하기 위한 중앙 지지대(240, 250)를 포함한다.

보다 상세히는, 상기 기판 수납부(210)는 상기 유리 모기판(100)의 인입을 용이하게 하기 위해 일측이 개구되고, 복수의 유리 모기판을 수납하기 위한 수납 공간을 갖는다.

상기 기판 수납부(210)의 양측벽에는 상부에 로딩된 상기 유리 모기판(100)의 에지 영역을 지지하는 상기 기판 지지대(220, 230)가 위치한다.

상기 기판 지지대(220, 230)는 상기 기판 수납부(210)의 제1 내측벽으로부터 돌출되고, 상기 유리 모기판(100)의 에지 영역을 지지하는 복수의 제1 기판지지대(220) 및 상기 제1 내측벽과 대향하는 제2 내측벽으로부터 돌출되고, 상기 유리 모기판(100)의 에지 영역을 지지하는 복수의 제2 기판 지지대(230)를 포함한다.

상기 복수의 제1 기판 지지대(220)는 상기 유리 모기판(100)을 수납할 수 있는 공간을 확보하기 위해 서로 소정 간격 이격되어 위치하고, 상기 복수의 제2 기판 지지대(230) 또한 서로 소정 간격 이격되어 위치한다.

상기 기판 지지대(220, 230)는 상기 유리 모기판(100)을 적재했을 때 상기 유리 모기판(100)의 평형을 유지해야하므로, 상기 복수의 제1 기판 지지대(220)의 이격 간격과 상기 복수의 제2 기판 지지대(230)의 이격 간격은 동일하다.

상기 기판 지지대(220, 230)의 이격 간격은 하나의 유리 모기판(100)을 수납할 수 있는 기판 수납공간이 된다

상기 유리 모기판(100)이 점점 대형화됨에 따라 상기 제1 기판 지지대(220)와 상기 제2 기판 지지대(230) 사이의 간격은 점점 커지게 된다.

또한, 상기 제1 및 제2 기판 지지대(220, 230)는 상기 유리 모기판(100)의 에지 영역을 지지하고 있으므로, 상기 유리 모기판(100)의 무게 중심이 상기 유리 모기판(100)의 중앙부로 이동한다.

따라서, 상기 유리 모기판(100)이 상기 제1 및 제2 기판 지지대(220, 230)에 적재되면 상기 유리 모기판(100)의 중앙부가 상기 제1 및 제2 기판 지지대(220, 230)에 의해 지지되는 상기 에지 영역보다 아래로 휘는 현상이 발생한다.

상기 버퍼 카세트(200)는 상기 유리 모기판(100)의 중앙부를 지지하여 상기유리 모기판(100)의 휨을 방지하기 위한 상기 중앙 지지대(240, 250)를 상기 기판 수납부(210)의 내측벽에 형성한다.

상기 중앙 지지대(240, 250)는 상기 유리 모기판(100)이 인입되는 상기 기판 수납부(210)의 개구부와 서로 대향하는 제3 내측벽으로 상기 개구부 방향으로 돌출되고, 상기 유리 모기판(100)의 중앙부를 지지하는 복수의 제1 및 제2 중앙 지지대(240, 250)를 포함한다.

상기 제1 중앙 지지대(240)와 상기 제2 중앙 지지대(250)는 상기 유리 모기판(100)의 하중을 분산하여 상기 유리 모기판(100)을 지지하기 위해 서로 소정간격 이격되어 위치한다.

상기 제1 및 제2 중앙 지지대(240, 250)가 하나의 유리 모기판(100)의 중앙부를 지지하므로, 상기 유리 모기판(100)의 하중에 대한 부담감을 줄이고, 상기 제1 중앙 지지대(240) 또는 제2 중앙 지지대(240, 250)가 아래로 기울어지는 현상을 방지할 수 있다.

또한, 상기 중앙 지지대가 기울어지는 현상으로 인해 상기 기울어진 중앙 지지대의 아래에 적재된 유리 모기판(100)이 훼손되는 것을 방지할 수 있다.

한편, 상기 기판 이송장치(300)는 바퀴 등의 이동 수단을 포함하는 바디부(310), 일측이 상기 바디부(310)와 결합하고 상기 유리 모기판(100)을 적재하는 제1 및 제2 기판 받침대(320, 330)를 포함한다.

구체적으로, 상기 제1 및 제2 기판 받침대(320, 330)는 서로 소정간격 이격하여 상기 유리 모기판(100)을 지지한다.

상기 유리 모기판(100)을 상기 기판 수납부(230)에 적재할 시, 상기 제1 및 제2 기판 받침대(320, 330)는 상기 기판 수납부(230)의 개구부로부터 상기 기판 수납부(230)의 내부로 슬라이딩되어 적정 위치에 상기 유리 모기판(100)을 적재한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 버퍼 카세트(200)는 상기 유리 모기판(100) 기판의 하중을 복수의 중앙 지지대를 이용하여 분산할 수 있으므로, 상기 유리 모기판(100)의 하중에 대한 부담으로 인해 중앙 지지대가 아래로 기울어지는 것을 방지할 수 있다.

상기 제1 및 제2 중앙 지지대(240, 250)는 상기 유리 모기판(100)이 적재되기 전과 동일하게 평형을 유지할 수 있으므로, 상측에 위치한 중앙 지지대의 간섭으로 인해 유리 모기판이 훼손되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 상기 유리 모기판의 훼손을 방지할 수 있으므로 상기 액정표시패널의 수율을 향상시킬 수 있다.

도 3은 도 1에 도시된 버퍼 카세트에 유리 모기판을 적재하는 동작을 버퍼 카세트의 측면에서 나타낸 평면도로서, 상기 유리 모기판의 수납 상태를 보다 명확하게 나타내기 위해 상기 버퍼 카세트(200)의 내측벽들 중에서 상기 기판 지지대(220, 230)가 형성된 제1 및 제2 내측벽을 생략하여 도시하였다.

도 3을 참조하면, 유리 모기판(100a)이 적재된 상기 기판 이송장치(300)는 상기 버퍼 카세트(200)로 이동한 후 상기 버퍼 카세트(200)의 기판 수납공간들 중에서 유리 기판이 적재되지 않은 기판 수납공간에 상기 유리 모기판(100a)을 적재한다.

상기 버퍼 카세트(200)에 상기 유리 모기판(100a)이 수납되면 상기 중앙 지지대(240, 250)는 상기 유리 모기판(100a)의 중앙부를 지지한다.

상기 중앙 지지대(240, 250)는 서로 소정 간격 이격되어 상기 유리 모기판(100a)의 하중을 분산하여 상면에 로딩된 상기 유리 모기판(100a)의 중앙부를 지지한다.

예를 들어, 상기 버퍼 카세트(200)의 복수의 기판 수납공간 중에서 제1 기판 수납공간(261)에 제1 유리 모기판(100b)이 수납되면, 상기 제1 유리 모기판(100b)의 중앙부는 상기 제1 기판 수납공간(261)에 대응하는 제1 중앙 지지대(미도시)와 제2 중앙 지지대(250b)에 의해 지지된다.

이때, 상기 제1 유리 모기판(100b)의 하중이 두 개의 중앙 지지대에 의해 분산되므로, 하나의 중앙 지지대가 받는 상기 제1 유리 모기판(100b)의 하중에 대한 부담이 줄어든다.

따라서, 상기 제1 기판 수납공간(261)에 대응하는 상기 중앙 지지대가 상기 제1 유리 모기판(100b)이 적재되기 전과 동일하게 수평을 유지할 수 있으므로, 상기 기판 이송장치(300)는 상기 제1 기판 수납공간(261)의 아래에 위치하는 제2 기판 수납공간(262)에 제2 유리 모기판(100a)을 적재하기가 용이하다.

즉, 상기 제1 및 제2 유리 모기판(100a, 100b)이 상기 버퍼 카세트(200)의 제1 및 제2 기판 수납공간(261, 262)에 수납되어도, 상기 중앙 지지대(250a, 250b)는 상기 유리 모기판(100a, 100b)이 적재되기 전과 같이 수평을 유지한다.

상기 중앙 지지대의 수평 유지는 상면에 로딩된 유리 모기판으로 인해 상기중앙 지지대가 기울어지는 것을 방지할 수 있고, 상기 기판 수납공간의 협소화를 방지할 수 있다.

따라서, 새로운 유리 모기판의 적재를 용이하게 하고, 유리 모기판의 훼손을 방지할 수 있다.

도 4는 도 1에 도시된 버퍼 카세트에 유리 모기판을 적재하는 동작을 버퍼 카세트의 상측에서 나타낸 평면도로서, 상기 제1 및 제2 기판 받침대(320, 330)와 상기 중앙 지지대(220, 230)의 위치를 보다 명확하게 나타내기 위해 상기 버퍼 카세트(200)의 상면을 생략하여 도시하였다.

도 4를 참조하면, 유리 모기판(100)이 적재된 제1 및 제2 기판 받침대(320, 330)는 상기 기판 수납부(310)의 개구부를 이용하여 상기 기판 수납부(310)의 내부로 슬라이딩되고, 상기 유리 모기판(100)을 상기 버퍼 카세트(200)에 적정 위치에 적재한다.

상기 제1 및 제2 중앙 지지대(240, 250) 사이의 간격은 상기 제1 및 제2 기판 받침대(320, 330) 사이의 간격(L1) 보다 좁게 형성하여 상기 제1 및 제2 기판 받침대(320, 330)가 상기 기판 수납부(310) 내부로 슬라이딩되어도 상기 제1 및 제2 중앙 지지대(240, 250)와 충돌하지 않도록 한다.

즉, 상기 제1 및 제2 기판 받침대(320, 330) 상기 기판 수납부(210) 내부로 슬라이딩되면, 상기 제1 기판 받침대(320)는 상기 제1 기판 지지대(220)와 상기 제1 중앙 지지대(240) 사이에 소정 간격으로 이격하여 위치한다. 그리고, 상기 제2 기판 받침대(330)는 상기 제2 기판 지지대(230)와 상기 제2 중앙 지지대(250) 사이에 소정 간격으로 이격하여 위치한다.

상기 제1 및 제2 받침대(320, 330)는 상기 유리 모기판(100)을 상기 제1 및 제2 기판 지지대(220, 230)의 상면에 적재한 후 상기 기판 수납부(210)로부터 분리되어 나온다.

상기 기판 수납부(210) 내부에 적재된 상기 유리 모기판(100)은 상기 제1 및 제2 기판 지지대(320, 330)에 의해 상기 유리 모기판(100)의 에지 영역이 지지되고, 상기 제1 및 제2 중앙 지지대(240, 250)에 의해 상기 유리 모기판(100)의 중앙부가 지지된다.

상기 버퍼 카세트(200)는 상기 유리 모기판(100)의 중앙부를 상기 제1 및 제2 중앙 지지대(320, 330)를 이용하여 지지하므로 상기 유리 모기판(100)의 중앙부가 휘어지는 것을 방지할 수 있다.

또한, 하나의 유리 모기판을 상기 제1 및 제2 중앙 지지대(320, 330)를 이용하여 지지하므로, 상기 유리 모기판(100)의 하중을 분산시키고 상기 제1 및 제2 중앙 지지대(320, 330)가 아래로 쳐지는 것을 방지할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 액정표시패널을 생산하기 위한 유리 모기판을 수납하는 버퍼 카세트의 내부에 복수의 중앙 지지대를 구비하여 유리 모기판의 하중을 분산시킨다.

이에 따라, 유리 모기판의 하중이 하나의 중앙 지지대로 집중되는 것을 방지할 수 있으므로 중앙 지지대가 아래로 기울어지는 것을 방지하고, 유리 모기판의훼손을 방지한다.

또한, 유리 모기판의 훼손으로 인한 액정표시패널의 불량을 방지할 수 있으므로 액정표시패널의 수율을 향상시킬 수 있다.

이상에서는 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

유리 모기판을 수납하는 기판 수납부; 및

상기 기판 수납부의 내부에 위치하고, 상부에 로딩되는 상기 유리 모기판을 지지하여 상기 유리모 기판이 휘어지는 것을 방지하기 위한 복수의 지지대를 포함하는 유리 모기판용 카세트.
제1항에 있어서, 상기 복수의 지지대는 상기 기판 수납부의 내벽으로부터 상기 유리 모기판이 인입되는 입구측으로 돌출하여 형성된 것을 특징으로 하는 유리 모기판용 카세트.
제1항에 있어서, 상기 복수의 지지대는 상기 유리 모기판의 중앙부를 지지하는 것을 특징으로 하는 유리 모기판용 카세트.
제1항에 있어서, 상기 복수의 지지대는 서로 소정의 간격으로 이격되는 것을 특징으로 하는 유리 모기판용 카세트.
제1항에 있어서, 상기 기판 수납부의 내부에 위치하고 상기 유리 모기판의 에지 영역을 지지하기 위한 제1 및 제2 기판 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 모기판용 카세트.