KR20040073695A - 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 외부로부터 수분이나 가스의 침투를 방지하기 위해 다층의 박막층을 형성한 유기전계발광 표시패널의 고분자 보호막 사이에 흡습제로 이루어진 박막층을 형성하여 패널의 두께를 작게 하면서도 수분 및 가스의 침투를 효과적으로 차단도록 한 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널에 관한 것이다. 본 발명에 따른 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널은 기판위에 양전극, 유기막, 격벽 및 음전극이 형성된 유기전계발광소자; 상기 유기전계발광소자의 노출면에 도포되는 제 1 무기 보호막; 상기 제 1 무기 보호막의 상부에 도포되는 제 1 고분자 보호막; 상기 제 1 고분자 보호막의 상부에 증착되는 흡습제층; 상기 흡습제층의 상부에 도포되며 상부면이 수평면으로 형성되는 제 2 고분자 보호막; 상기 제 2 고분자 보호막의 상부에 교대로 형성되는 복수의 금속막 및 복수의 제 2 무기 보호막; 및 상기 형성된 금속막 및 제 2 무기 보호막 중에서 가장 위쪽에 위치한 막의 상부에 도포되는 제 3 고분자 보호막을 포함하여 구성된다.
Description
본 발명은 흡습제층을 갖는 유기전계발광 표시패널에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 외부로부터의 수분 및 가스의 침투를 방지하기 위해 다층 박막층의 사이에 흡습제로 이루어지는 흡습제층을 형성하고 이에 더하여 다층의 무기막과 금속막을 형성한 흡습제층을 갖는 유기전계방광표시패널에 관한 것이다.
도 2는 종래의 유기전계발광 표시패널의 발광원리를 나타낸 도면이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 유기전계발광소자(62)는 기판(20)위에 양전극(21)과 발광층(22)을 포함하는 유기막(23) 및 음전극(24)이 적층되어 형성된다. 양전극(21)에 (+)전압을 인가하고 음전극(24)에는 (-)전압을 인가하면 정공과 전자가 발광층(22)에서 재결합하여 들뜬 상태로 있는 여기자(exciton)를 생성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장을 갖는 빛을 발광하며, 이 발광된 빛은 투명한 기판(20)을 통하여 볼 수 있다.
유기전계발광소자의 전극 사이에 적층되는 유기물은 산소 또는 수분과 쉽게 반응하고, 이에 따라 제작된 유기박막의 결정화 및 조성변화 등의 현상이 발생하게 되므로 유기전계발광소자의 특성이 저해되는 현상이 발생한다. 따라서 유기전계발광소자의 제작에 사용되는 유기박막을 수분 또는 산소 등으로부터 보호하기 위하여 소자 제작 후 봉지과정을 거치게 된다.
도 3은 종래의 흡습제가 내장된 캡슐을 사용한 봉지구조를 갖는 유기전계발광소자를 나타낸 단면도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 종래의 흡습제가 내장된 캡슐을 사용한 봉지구조는 흡습제 수용부(41)가 형성된 SUS CAN(40)에 흡습제(43)를 수용하고, SUS CAN(40)의 둘레에 봉지재(36; sealant)를 바른 후, 질소 가스 또는 아르곤 가스내에서 소자가 형성된 기판(30)과 SUS CAN(40)을 밀착하여 소성하는 방법으로 밀봉하는 것이다.
이러한 SUS CAN을 이용한 봉지구조의 경우에는 외부의 충격이나 수분, 가스로부터 소자를 보호하는 차단효과가 우수하며, 또한 흡습제를 사용하여 2차적으로 수분을 차단하므로 패널의 성능이 매우 우수하게 된다.
그러나, SUS CAN의 무게와 두께 때문에 완성된 패널의 두께가 두꺼워지고 결국 소형화된 제품을 추구하는 현대의 시장의 요구에 적절히 부응하지 못하는 단점이 있다.
또한, 이러한 흡습제 수용부가 형성된 SUS CAN을 사용하는 봉지구조의 단점은 SUS CAN에 흡습제 수용부를 형성하는 가공을 해야 하며, 별도로 흡습제를 사용하므로 유기전계발광 표시패널의 원가상승의 요인이 된다.
따라서 이를 해결하게 위한 방안으로 근래에 내식성의 향상을 위한 패시베이션(passivation)에 대해 많은 연구와 관심이 집중되고 있으며, 이들 중 하나가 다층의 박막을 적층하는 방법이다.
도 4는 종래의 다층 박막층의 봉지구조를 갖는 유기전계발광 표시패널을 나타낸 단면도이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 다층 박막층의 봉지구조를 갖는 유기전계발광 표시패널은 전극(52, 55)이 형성된 유기전계발광소자(62)와 그 위에 무기보호막(57), 고분자 보호막(58), 에폭시 수지막(59) 및 보호캡슐(60)이 순서대로 적층되어 구성된다.
그러나, 상기한 다층 박막층을 이용한 봉지구조는 소자에 형성되는 격벽의 구조상 격벽의 하부가 완전히 밀봉되기가 어려우므로, 이를 극복하기 위하여 고분자 수지를 이용하여 격벽 이상의 높이를 코팅하여 완전히 덮는 방법, 격벽을 타고 넘도록 파릴렌(parylene)을 증착하는 방법 또는 무기 보호막의 증착시 소자를 기울이거나(tilting)이나 회전하면서(rotation) 증착하는 방법 등에 대한 노력이 있었지만, 수분이나 가스를 완전히 차단할 수 없다는 문제점이 있었다.
또한, 이 경우 패널의 두께가 얇아지는 장점은 있지만, CAN에 의한 봉지구조에 비해 외부로부터의 수분이나 가스의 침투를 차단하는 효과가 떨어지게 되어, 침투한 수분 및 가스가 화소의 찌그러짐 현상(shrinkage)과 흑점(dark spot)의 진행요인으로 작용하여 소자의 수명을 짧게 하는 문제가 있었다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 기존의 다층 박막층을 이용한 유기전계발광 표시패널에서 수분 및 가스의 차단효과가 떨어지는 점을 극복하기 위해 다층의 박막층의 사이에 흡습제층을 형성함으로써 외부로부터 유입되는 수분 및 가스를 효과적으로 제거하는 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적은 기판위에 양전극, 유기막, 격벽 및 음전극이 형성된 유기전계발광소자; 상기 유기전계발광소자의 노출면에 도포되는 제 1 무기 보호막; 상기 제 1 무기 보호막의 상부에 도포되는 제 1 고분자 보호막; 상기 제 1 고분자 보호막의 상부에 증착되는 흡습제층; 상기 흡습제층의 상부에 도포되며 상부면이 수평면으로 형성되는 제 2 고분자 보호막; 상기 제 2 고분자 보호막의 상부에 교대로 형성되는 복수의 금속막 및 복수의 제 2 무기 보호막; 및 상기 형성된 금속막 및 제 2 무기 보호막 중에서 가장 위쪽에 위치한 막의 상부에 도포되는 제 3 고분자 보호막을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널에 의해 달성될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 상기 흡습제층은 적어도 칼슘, 산화칼슘, 산화바륨, 산화마그네슘 또는 이들의 혼합제로 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해 상기 흡습제층의 두께는 100Å 내지 10㎛로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해 상기 흡습제층은 상기 제 1 고분자 보호막의 일부에 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해 상기 고분자 보호막은 적어도 에폭시, 실리콘, 우레탄, 아크릴수지, 불소수지 또는 이들의 혼합제로 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해 상기 무기 보호막은 적어도 질산화규소, 질산규소, 산화규소, 산화이트륨, 산화탄탈, 산화알루미늄, 산화티타늄, 산화칼슘 또는 산화바륨 또는 이들의 혼합제로 구성되는 것이 바람직하다.
본 발명의 그밖의 목적, 특정한 장점 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널을 나타낸 단면도이고,
도 2는 종래의 유기전계발광 표시패널의 발광원리를 나타낸 도면이고,
도 3은 종래의 흡습제가 내장된 캡슐의 봉지구조를 갖는 유기전계발광 표시패널을 나타낸 단면도이고,
도 4는 종래의 다층 박막층의 봉지구조를 갖는 유기전계발광 표시패널을 나타낸 단면도이다.
* 주요 도면 부호의 설명 *
1: 기판 2: 양전극
3: 절연막 4: 유기막
5: 음전극 6: 격벽
7: 제 1 무기 보호막 8: 제 1 고분자 보호막
10: 흡습제층 11: 제 2 고분자 보호막
13, 15: 제 2 무기 보호막 14: 금속막
16: 제 3 고분자 보호막
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널의 구성에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널의 단면도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널은 전극(2, 5) 및 유기막(4)이 형성된 유기전계발광소자(18)와 그 상부에 형성되는 제 1 무기 보호막(7), 제 1 고분자 보호막(8), 흡습제층(10), 제 2 고분자 보호막(11), 복수의 제 2 무기 보호막(13, 15) 및 금속막(14)과 그 위에 도포되는 제 3 고분자 보호막(16)으로 구성된다.
유기전계발광소자(18)는 양전극(2)이 형성된 기판(1)의 일부에 절연막(3)과 격벽(6)의 패턴이 형성되고 그 사이에 유기막(4)과 음전극(5)이 형성되어 이루어진다. 구체적으로는 기판(1)위에 일정한 두께를 갖는 양전극(2)을 형성하고, 양전극(2)의 상면에 포지티브 포토레지스트를 코팅하며, 포토마스크(미도시)를 이용해 포토레지스트의 일부가 노출되도록 하여 절연막(3)을 형성한다. 절연막(3)의 위로는 음전극(5) 상호간의 단락을 막기 위해 격벽(6)을 형성한다. 양전극(2)의 상부로서 격벽(6) 사이의 절연막(3)이 형성되지 않은 부분에는 유기막(4)과 음전극(5)이 적층되어 형성된다.
유기전계발광소자(18)의 상부 노출면에는, 외부의 공기 및 수분의 침투를 방지하고 이하 기술될 고분자 보호막 형성과정으로부터 상기 유기전계발광소자(18)를 보호하기 위해, 유기전계발광소자(18)를 외부로 노출시키지 않도록 제 1 무기 보호막(7)이 형성되어 있다. 제 1 무기 보호막(7)으로는 SiONx(질산화규소), SiNx(질화규소) 등의 질화 무기막 또는 CaO(산화칼슘), BaO(산화바륨), SiOx(산화규소), ALxOy(산화알루미늄), YxOy(산화이트륨), TixOy(산화티타늄), ZnO(산화아연), MgO(산화마그네슘) 등의 산화 보호막을 선택하여 사용할 수 있다.
상기한 제 1 무기 보호막(7)의 형성방법으로는, 반응 가스 혼합체에 열 에너지를 가함으로써 화학 반응을 야기하여 증착을 수행하는 화학증착(Chemical Vapor Deposition)에 의한 성막방법, 가열식 증착에 의한 성막방법, 열전자들을 발생시켜 증착시키고자 하는 물질에 충격을 가함으로써 증발(evaporation)된 물질이 기판상에 증착되는 전자 빔 증착방식(E-beam evaporation)에 의한 성막방법 등이 적용될 수 있다.
상기 제 1 무기 보호막(7)의 상부에는 외부로부터의 수분이나 산소의 침투를 방지하고 다양한 충격으로부터 유기전계발광소자(18)의 손상을 막기 위하여, 우레탄 수지, 실리콘, 아크릴 수지, 불소수지 등의 고분자 수지 또는 파릴렌코터(parylene coater) 등으로 형성되는 제 1 고분자 보호막(8)이 위치한다. 제 1 고분자 보호막(8)은 유기전계발광소자(18)의 격벽(6)에 의해 돌출된 부분을 포함할 수 있도록 충분한 두께로 형성되고 그 상부면(9)은 수평으로 형성된다. 그 결과 제 1 고분자 보호막(8)의 위에 균일한 두께의 흡습제층(10)을 형성하기가 용이해진다. 또한, 상부면(9)을 수평면으로 형성하는 것은 적층될 각각의 층 사이에소자의 유기막(4)의 손상을 야기하는 수분이나 다른 가스가 개재할 공간을 없애기 위한 것이다. 상기한 제 1 고분자 보호막(8)의 재료들은 응고시에 유기전계발광소자(18)에 변형을 야기하지 않도록 수축률이 작으며 응고 후에는 충분한 강도를 지니는 것을 선택한 것이다.
상기 제 1 고분자 보호막(8)을 형성한 후에는 외부로부터 침투하는 수분이나 가스를 제거하기 위하여 칼슘, 산화칼슘, 산화바륨, 산화마그네슘 등에서 선택한 물질로 흡습제층(10)을 형성한다. 바람직하게는 흡습제층(10)의 두께는 100Å 내지 10㎛가 적절하다. 흡습제층(10)의 두께를 100Å 이하로 형성하면 산소나 수분을 충분히 차단하기가 어렵고, 흡습제층(10)의 두께를 10㎛ 이상으로 하면 흡습제층(10)을 형성하는데 너무 많은 시간이 소요된다.
흡습제층(10)의 형성방법은 도가니를 이용하는 가열식 증착에 의한 성막방법, 열전자들을 발생시켜 상기 흡습제층(10)을 형성하는 물질을 포함하는 타겟에 충격을 가함으로써 증발(evaporation)된 물질이 증착될 부분에 증착되는 전자 빔 증착방식(E-beam evaporation)에 의한 성막방법 등이 적용될 수 있다.
흡습제층(10)을 형성한 후에는 흡습제층(10)이 손상되지 않도록 보호하기 위해 고분자 수지를 사용한 제 2 고분자 보호막(11)을 형성한다. 제 2 고분자 보호막(11)의 재질은 상기 제 1 고분자 보호막(8)의 형성에서 사용된 것과 동일한 재질을 사용하거나 또는 상기한 재질 중에서 다른 것을 선택하여 사용한다. 제 2 고분자 보호막(11)은 상부에 제 2 무기 보호막(13, 15)과 금속막(14)을 용이하게 형성할 수 있도록 상부면(12)이 평면으로 형성된다.
제 2 고분자 보호막(11)의 위로는 산소 및 수분의 차단을 하기 위한 구조로서 복수의 제 2 무기 보호막(13, 15)과 복수의 금속막(14)이 교대하여 다층으로 형성된다. 제 2 무기 보호막(13, 15)으로는 상기 제 1 무기 보호막(7)의 경우와 같이 질산화규소, 질화규소 등의 질화 무기막 또는 질산규소, 산화규소 등의 산화 무기막 중에서 선택한 것을 사용하며, 금속막(14)은 질소에 산소의 농도를 조절 혼합시켜 형성한 금속산화막을 사용한다. 각각의 제 2 무기 보호막(13, 15)과 금속막(14)은 2000Å 내지 5000Å의 두께로 형성된다. 제 2 무기 보호막(13, 15)과 금속막(14)의 두께가 2000Å이하이면 수분이나 가스의 적절한 차단이 어렵고 5000Å이상이면 패널이 두꺼워지고 막의 형성에 소요되는 시간이 증가한다.
다층의 제 2 무기 보호막(13, 15)과 금속막(14)의 위로 제 3 고분자 보호막(16)이 형성된다. 제 2 무기 보호막(13, 15) 또는 금속막(14)은 두께가 2000Å 내지 5000Å에 지나지 않아서 외부의 충격에 쉽게 손상되기 때문에, 이를 방지하게 위해 가장 바깥에 형성된 제 2 무기 보호막(13, 15) 또는 금속막(14)의 위에 강도가 강한 고분자 수지를 사용하여 제 3 고분자 보호막(16)을 형성한다. 제 3 고분자 보호막(16)의 재료는 상기한 다른 고분자 보호막의 재질과 동일하거나 상기한 재료들 중에서 다른 것을 사용한다.
이하에서는 상기한 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널의 제작 및 동작방법에 대해 상세히 설명하기로 한다.
기판(1)에 전극(2, 5) 및 유기막(4)을 형성한 소자(18)를 제작한 후 제 1 고분자 보호막(8)을 형성하기 전에 제 1 고분자 보호막(8)이 응고할 때의 변형에 의해 소자(18)가 손상되는 것을 방지하기 위해 제 1 무기 보호막(7)을 증착한다. 이후 유기막(4)과 반응하지 않는 안정한 N2가스 상태의 글로브 박스(미도시)내에서 제 1 무기 보호막(7)의 위로 제 1 고분자 보호막(8)을 도포한다.
제 1 고분자 보호막(8)이 경화된 후, 흡습제를 상기한 열증착이나 전자 빔 증착방식으로 증착하여 흡습제층(10)을 형성한다.
흡습제층(10)을 형성한 후에는 N2가스또는 Ar가스상태하에서 제 2 고분자 보호막(11)을 도포하여 경화시킨다.
다음으로 수분과 가스 등의 차단효과가 우수한 제 2 무기 보호막(13, 15)과 금속막(14)을 PECVD(플라즈마 강화 화학증착)를 이용하여 다층으로 증착한다. PECVD의 원리는 플라즈마 전력원으로 인해서 발생한 (＋)로 이온화된 플라즈마 기체가 (-)의 바이어스 전압이 가해진 타깃에 충돌하여 타깃의 물질을 스퍼터링 시키고, 이렇게 타깃으로부터 떨어져 나온 입자가 기판쪽으로 날아가서 기판에 증착되는 것을 이용한 것이다.
마지막으로 외부의 충격 등으로부터 제 2 무기 보호막(13, 15)과 금속막(14)을 보호하기 위하여 제 3 고분자 보호막(16)을 도포하여 경화한다.
상기 제 1 무기 보호막(7)의 상부에 형성되는 제 1 고분자 보호막(8)은 특히 두께가 격벽(6)의 높이보다 크게 형성될 것이 요구된다. 그 이유는 전극에 비해 높이가 높은 격벽(6)들 때문에 격벽(6)을 덮은 제 1 무기 보호막(7)의 부분은 돌출되게 되는데, 제 1 고분자 보호막(8)의 두께가 격벽(6)의 높이보다 크지 않으면 제 1고분자 보호막(8)을 형성한 이후에도 제 1 고분자 보호막(8)의 상부면(9)이 평평하지 못하게 되기 때문이다. 그 결과 제 1 고분자 보호막(8)에 흡습제층(10)을 고르게 형성하기 어렵고, 제 1 고분자 보호막(8)과 흡습제층(10) 사이에 가스가 남겨지는 공간이 생긴다. 따라서, 제 1 고분자 보호막(8)의 두께를 격벽(6)의 높이보다 크게 하여 제 1 고분자 보호막(8)의 상부면(9)을 수평면으로 형성함으로써 흡습제층(10)의 형성을 용이하게 하고 가스가 남겨질 수 있는 공간도 제거할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에서는 OELD패널의 최상층부를 고분자 보호막으로 형성하였으나, 본 발명은 이에 한하지 않고, 유리판이나 평면식 SUS CAN을 사용하는 것도 가능하다.
또한, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 제 2 고분자 보호막의 위로 수분 및 산소의 침투를 더욱 확실하게 차단하기 위해 복수의 무기 보호막과 금속막을 다층으로 번갈아 형성하였으나, 본 발명은 이에 한하지 않고, OELD패널의 두께를 작게 하기 위해 무기 보호막과 금속막 각각을 단일층으로 형성하는 것도 가능하다.
또한, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 제 1, 2, 3 고분자 보호막의 재질로 동일한 것을 사용하였지만, 본 발명은 이에 한하지 않고, 흡습제층의 부피변화가 소자에 미치는 부하를 최소화할 수 있도록 제 1 고분자 보호막은 제 2 고분자 보호막보다 상대적으로 변형률이 작은 재료를 사용하는 것도 본 발명의 범위에 포함될 것이다.
또한, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 흡습제층을 제 1 고분자 보호막의 일부에 형성하였으나, 본 발명은 이에 한하지 않고 흡습제층을 제 1 고분자 보호막의 전부에 걸쳐 형성하는 것도 가능하다.
또한, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 단일의 흡습제층을 형성하였으나, 본 발명은 이에 한하지 않고, 요구되는 차단효과의 정도를 고려하여 복수의 흡습제층을 형성하는 것도 가능하다.
상기한 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널에 의하면 종래에 SUS CAN에서 사용되고 있는 흡습제를 다층 박막층을 이용한 패시베이션에 적용함으로써 박막을 침투하는 수분이나 가스를 효과적으로 제거할 수 있다.
흡습제의 경우 수분과 접촉하게 되면 화학반응을 일으키게 되고, 그 결과 흡습제의 부피가 증가하여 소자에 직접 접촉하는 박막층의 경우 소자에 스트레스를 주게 되는데 본 발명에서는 충격에서 소자를 보호하는 기능이 우수한 고분자 보호막을 도포한 후에 흡습제층을 형성함으로써 흡습제의 부피팽창으로부터 소자가 손상되는 것을 방지할 수 있는 현저한 효과가 있다.
또한, 흡습제를 포함하기 위한 SUS CAN의 구조가 없이 흡습제를 증착하기 때문에 패널의 두께가 얇아지고, 그 결과 패널이 사용되는 장치의 소형화를 이룰 수 있는 현저한 효과가 있다.
또한 패널의 내부공간이 존재하지 않으므로 패널의 제조공정에서 외부공기와 차단한 상태에서 부착하는 공정이 필요하지 않으므로, 제작공정에 소요되는 시간이 단축되고 고가의 장비를 필요로 하지 않는 효과가 있다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
Claims (6)
- 기판(1)위에 양전극(2), 유기막(4), 격벽(6) 및 음전극(5)이 형성된 유기전계발광소자(18);상기 유기전계발광소자(18)의 노출면에 도포되는 제 1 무기 보호막(7);상기 제 1 무기 보호막(7)의 상부에 도포되는 제 1 고분자 보호막(8);상기 제 1 고분자 보호막(8)의 상부에 증착되는 흡습제층(10);상기 흡습제층(10)의 상부에 도포되며 상부면(12)이 수평면으로 형성되는 제 2 고분자 보호막(11);상기 제 2 고분자 보호막(11)의 상부에 교대로 형성되는 복수의 금속막(14) 및 복수의 제 2 무기 보호막(13, 15); 및상기 형성된 금속막(14) 및 제 2 무기 보호막(13, 15) 중에서 가장 위쪽에 위치한 막의 상부에 도포되는 제 3 고분자 보호막(16)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널.
- 제 1 항에 있어서, 상기 흡습제층(10)은 적어도 칼슘, 산화칼슘, 산화바륨, 산화마그네슘 또는 이들의 혼합제로 구성되는 것을 특징으로 하는 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 흡습제층(10)의 두께는 100Å 내지 10㎛로 형성되는 것을 특징으로 하는 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널.
- 제 1 항에 있어서, 상기 흡습제층(10)은 상기 제 1 고분자 보호막(8)의 일부에 형성되는 것을 특징으로 하는 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널.
- 제 1 항에 있어서, 상기 고분자 보호막(8, 11, 16)은 적어도 에폭시, 실리콘, 우레탄, 아크릴수지, 불소수지 또는 이들의 혼합제로 구성되는 것을 특징으로 하는 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널.
- 제 1항에 있어서, 상기 무기 보호막(7, 13, 15)은 적어도 질산화규소, 질산규소, 산화규소, 산화이트륨, 산화탄탈, 산화알루미늄, 산화티타늄, 산화칼슘 또는 산화바륨 또는 이들의 혼합제로 구성되는 것을 특징으로 하는 흡습제층을 포함하는 유기전계발광 표시패널.
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| E902 | Notification of reason for refusal | ||
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| NORF | Unpaid initial registration fee |