KR20040070651A - 케미컬 드럼 카트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 브러쉬(brush)가 장착된 케미컬 드럼 카트(chemical drum cart)에 관한 것이다. 종래에는 케미컬 드럼의 바닥에 먼지 등의 이물질이 묻어있는 상태에서 그 케미컬 드럼을 화학 물질 공급 장비로 밀어 넣을 경우 케미컬 드럼의 바닥에 묻어있는 이물질이 반도체 공정에 파티클(particle)로 작용하여 반도체 공정의 수율을 저하시킨다. 본 발명은 케미컬 드럼 카트에 케미컬 드럼의 바닥에 묻어 있는 먼지 등의 이물질을 제거하는 브러쉬를 장착한다. 따라서, 케미컬 드럼을 화학 물질 공급 장비로 밀어넣을 때 케미컬 드럼에 의한 파티클이 화학 물질 공급 장비 내로 유입되지 않기 때문에, 반도체 공정의 수율이 향상된다.

Description

케미컬 드럼 카트{CHEMICAL DRUM CART}

본 발명은 케미컬 드럼 카트(chemical drum cart)에 관한 것으로, 특히, 브러쉬(brush)가 장착된 케미컬 드럼 카트에 관한 것이다.

일반적으로 케미컬 드럼 카트는 반도체 제조 공정 등에 사용되는 화학 물질을 담고 있는 케미컬 드럼을 화학 물질 공급 장비로 운반하는데 사용한다. 이때, 케미컬 드럼 카트의 바닥은 다수의 로울러(roller)로 구성되어 케미컬 드럼을 화학 물질 공급 장비로 밀어넣기에 편리하게 되어있다. 물론, 케미컬 드럼 카트의 가장 하부에는 바퀴가 설치되고 소정의 부분에는 손잡이가 설치되어 작업자가 케미컬 드럼 카트를 밀고 다니기에 편리하도록 되어있다.

이와 같은 종래의 기술에 있어서는 케미컬 드럼의 바닥에 먼지 등의 이물질이 묻어있는 상태에서 그 케미컬 드럼을 화학 물질 공급 장비로 밀어 넣을 경우 케미컬 드럼의 바닥에 묻어있는 이물질이 반도체 공정에 파티클(particle)로 작용하여 반도체 공정의 수율을 저하시킨다.

본 발명은 상술한 결점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 케미컬 드럼의 바닥에 묻어 있는 먼지 등의 이물질을 제거하는 브러쉬가 장착된 케미컬 드럼 카트를 제공하는 데 그 목적이 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 케미컬 드럼 카트에 있어서, 상기 케미컬 드럼 카트의 바닥에 장착되되, 케미컬 드럼이 유출되는 쪽의 가장자리에 설치되어 상기 케미컬 드럼이 유출될 때 상기 케미컬 드럼의 바닥을 쓸어주는 브러쉬를 구비하는 것을 특징으로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 케미컬 드럼 카트의 일 실시예를 나타낸 도면,

도 2는 도 1에 도시된 브러쉬의 일 실시예를 나타낸 도면.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 케미컬 드럼 카트의 일 실시예를 나타낸 도면으로, 케미컬 드럼 카트는 케미컬 드럼(10)을 싣고 화학 물질 공급 장비로 운반하기에 편리하도록 되어있다. 이때, 케미컬 드럼(10)이 유출되는 쪽의 가장자리에는 브러쉬(12)가 설치되어 있다.

동 도면에 있어서, 케미컬 드럼 카트는 반도체 제조 공정 등에 사용되는 화학 물질을 담고 있는 케미컬 드럼(10)을 화학 물질 공급 장비로 운반하는데 사용한다. 이때, 케미컬 드럼 카트의 바닥은 다수의 로울러로 구성되어 케미컬 드럼(10)을 화학 물질 공급 장비로 밀어넣기에 편리하게 되어있다. 물론, 케미컬 드럼 카트의 가장 하부에는 바퀴가 설치되고 소정의 부분에는 손잡이가 설치되어 작업자가 케미컬 드럼 카트를 밀고 다니기에 편리하도록 되어있는 것은 종래와 같다.

도 2와 같은 브러쉬(12)는 케미컬 드럼 카트의 바닥에 장착되되, 케미컬 드럼(10)이 유출되는 쪽의 가장자리에 설치되어 케미컬 드럼(10)이 유출될 때 상 케미컬 드럼(10)의 바닥을 쓸어주어 케미컬 드럼(10)의 바닥에 묻어 있는 먼지 등의 이물질이 화학 물질 공급 장비로 유입되지 않도록 한다.

한편, 본 발명은 상술한 실시예에 국한되는 것이 아니라 후술되는 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상과 범주 내에서 당업자에 의해 여러 가지 변형이 가능하다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 케미컬 드럼 카트에 케미컬 드럼의 바닥에 묻어 있는 먼지 등의 이물질을 제거하는 브러쉬를 장착한다. 따라서, 케미컬 드럼을 화학 물질 공급 장비로 밀어넣을 때 케미컬 드럼에 의한 파티클이 화학 물질 공급 장비 내로 유입되지 않기 때문에, 반도체 공정의 수율이 향상된다.

Claims (1)

1. 케미컬 드럼 카트에 있어서,

   상기 케미컬 드럼 카트의 바닥에 장착되되, 케미컬 드럼이 유출되는 쪽의 가장자리에 설치되어 상기 케미컬 드럼이 유출될 때 상기 케미컬 드럼의 바닥을 쓸어주는 브러쉬를 구비하는 케미컬 드럼 카트.