KR20040059739A - 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기에 관한 것이다.
본 발명은 원통형 본체의 집수기는, 상기 본체의 수직면 일측에 설치되어 물과 대기중의 공기를 같이 흡입하는 흡입구와; 상기 흡입구의 대향면에 길이 방향으로 "ㄷ"자 설치되어 내부의 수위 집수 상태를 관찰할 수 있는 점검관과; 상기 본체의 수직면 하부 일측에 설치되어 집수된 내부 물을 배출하기 위한 배출관과; 상기 본체의 내측 상부에 설치되어 흡입된 물과 분리된 공기에 비산되어 있는 잔류수를 제거하는 차단막과; 상기 차단막에서 분리된 공기를 토출시킬 수 있도록 상기 본체의 상부면에 설치되는 토출구로; 구성된 것을 특징으로 한다. 따라서 반도체소자 공장에서 발생하는 물 또는 화학약품이 누출되었을 시 신속하고 안전하게 누출수를 처리하여 누출수에 의한 2차 사고유발을 방지하고, 유독성 또는 환경유해 물질로 인한 환경오염 및 작업자의 안전을 도모하는 효과가 있다.

Description

반도체소자 공장에서 사용되는 집수기{CATCHMENT DEVICE THAT IS USED IN SEMICONDUCTOR FACTORY}
본 발명은 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기에 관한 것으로써, 반도체소자 공장에서 발생하는 누출수의 효율적인 집수와 이를 빠른 시간 내에 제거하기 위한 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자 제조 공장에서 사용되어지는 초순수, 냉각수, 공수, 시수, 소화수 등 여러 종류의 많은 물을 사용하고, 그 사용한 물을 재활용하기 위하여 회수하는 시설과 재활용이 불가한 물은 회수 후 폐수처리하기 위하여 포설한 배관이 복잡하고 다양하게 설치되어 있다.
또한, 20여 종류의 화공약품을 공급하고 회수하는 배관이 수없이 포설되어 항상 노출의 위험이 존재하며, 실제로 누출사고가 빈번히 발생한다. 누출 사고시 누출수 처리 및 제거에 상당한 에로 사항이 있으며, 누출수에 의한 2차 사고를 유발할 가능성이 매우 높다.
한 편, 현재 생산라인에서 누출사고 발생시 누출수 제거 작업은, 와이퍼 또는 걸레 등을 이용하여 닦아내는 방법과 쓰레받이를 사용하여 양동이에 퍼 담는 방법 외에는 별다른 방법이 없으며, 이는 많은 작업자를 필요로 하고 오랜 시간이 소요되며, 유해성 화공약품 또는 화공약품과 혼합한 누출수일 경우 제거작업은 더욱 어렵고 조심하여야 함으로 작업자의 안전 관리에 지대한 영향을 미치는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 바와 같은 결점을 해소시키기 위하여 안출된 것으로서, 반도체소자 공장에서 발생하는 물 또는 화학약품이 누출되었을 시 신속하고 안전하게 누출수를 처리하여 누출수에 의한 2차 사고유발을 방지한 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 반도체소자 공장에서 발생하는 누출수를 집수 및 제거하기 위한 집수기에 있어서; 상기 원통형 본체의 집수기는, 상기 본체의 수직면 일측에 설치되어 물과 대기중의 공기를 같이 흡입하는 흡입구와; 상기 흡입구의 대향면에 길이 방향으로 "ㄷ"자 설치되어 내부의 수위 집수 상태를 관찰할 수 있는 점검관과; 상기 본체의 수직면 하부 일측에 설치되어 집수된 내부 물을 배출하기 위한 배출관과; 상기 본체의 내측 상부에 설치되어 흡입된 물과 분리된 공기에 비산되어 있는 잔류수를 제거하는 차단막과; 상기 차단막에서 분리된 공기를 토출시킬 수 있도록 상기 본체의 상부면에 설치되는 토출구로; 구성된 것을 특징으로 하는 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기를 제공한다.
본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시 예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기를 도시한 개략적인 구성도이고,
도 2는 본 발명에 따른 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기의 사용 상태도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 집수기 10 : 본체
11 : 바퀴 12 : 흡입구
13 : 배출구 14 : 점검관
15 : 차단막 16 : 토출구
20 : 물흡입용 호스 30 : 진공펌프
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기를 도시한 개략적인 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기의 사용 상태도이다.
도 2에 도시된 바와 같이 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기(1)는, 상면이 플랜지 나사 결합되어 개방되는 원통형의 본체(10) 구조를 가진다. 상기본체(10)의 하면에는 용이한 이동을 돕는 복수개의 바퀴(11)와, 본체(10) 상에 흡입구(12), 배출구(13), 점검관(14), 차단막(15), 토출구(16)로 구성된다.
흡입구(12)는 본체(10)의 수직면 일측에 설치되어 물과 대기중의 공기를 함께 흡입할 수 있게 설치되고, 외측으로 향한 일단부는 물흡입용 호스(20)와의 연결을 용이하게 하기 위한 흡입변(wall mount type inlet valve)을 부착하고 본체(10)의 내측으로는 90°의 곡관으로 이어져 흡입구(12)의 흡입 방향을 전환시켜 본체(10)의 바닥면을 향하도록 하여 집수된 물이 비산되는 현상을 최소화시킨다.
그리고 점검관(14)은 투명관으로 본체(10)의 상, 하부를 "ㄷ"자로 연결하여 수시로 집수기(1) 내로 흡입되는 수위를 확인할 수 있다.
배출구(13)는 본체(10) 수직면의 하부에 밸브로 설치되어 집수된 물을 신속히 배출한다.
그리고 본체(10)의 내측 상부에 흡입된 물과 분리된 공기중에 비산되어 존재하는 잔류수를 분리하는 차단막(15)이 설치된다. 차단막(15)은 잔류수 상태의 물이 토출구(16)를 통하여 배출되지 않도록 부직포를 이용하며, 오염된 차단막(15)은 교체가 가능하게 설치된다.
상기 차단막(15)을 통과한 공기가 배출될 수 있도록 본체(10)의 상부면에 돌출 형성된 토출구(16)가 형성된다. 토출구(16)는 도 2에 도시된 바와 같이, 토출변에 연결된 호스로 하여 진공펌프(30)에 연결 설치된다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기의 작동을 설명하면 다음과 같다.
도 2를 참조하면, 반도체소자 공장내에서 화학약품의 누출 사고가 발생하면 누출수의 제거를 위하여 먼저, 집수기(1)의 토출구(16)에 진공펌프(30)에서 분기된 호스를 연결한다. 이와 같이 흡입구(12)에도 별도의 물흡입용 호스(20)를 연결한다.
그리고 작업자가 물흡입용 호스(20)를 누출수 근접부에 갔다대면 진공펌프(30)의 흡입력이 토출구(16)와 집수기(1) 본체(10)의 흡입구(12)로 이어져 외부의 누출수를 빨아들이게 된다.
흡입구(12)를 통하여 본체(10) 내부로 유입된 누출수는 차단막(15)에 의하여 물과 공기로 분리되고 공기는 토출구(16)를 통하여 배출되고, 본체(10)의 하부에 고인 물은 배출구(13)를 통하여 외부로 배출된다.
따라서, 크린룸의 진공펌프(30)를 이용하여 누출수를 수거할 수 있는 별도의 집수기(1)를 제작하여 누수 발생시 사용하여 작업 시간의 절감 및 작업자의 안전 유지에 탁월한 효과가 있다.
이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일실시 예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기는, 반도체소자 공장에서 발생하는 물 또는 화학약품이 누출되었을 시 신속하고 안전하게 누출수를 처리하여 누출수에 의한 2차 사고유발을 방지하고, 유독성또는 환경유해 물질로 인한 환경오염 및 작업자의 안전을 도모하는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 반도체소자 공장에서 발생하는 누출수를 집수 및 제거하기 위한 집수기에 있어서;
    상기 원통형 본체의 집수기는,
    상기 본체의 수직면 일측에 설치되어 물과 대기중의 공기를 같이 흡입하는 흡입구와;
    상기 흡입구의 대향면에 길이 방향으로 "ㄷ"자 설치되어 내부의 수위 집수 상태를 관찰할 수 있는 점검관과;
    상기 본체의 수직면 하부 일측에 설치되어 집수된 내부 물을 배출하기 위한 배출관과;
    상기 본체의 내측 상부에 설치되어 흡입된 물과 분리된 공기에 비산되어 있는 잔류수를 제거하는 차단막과;
    상기 차단막에서 분리된 공기를 토출시킬 수 있도록 상기 본체의 상부면에 설치되는 토출구로; 구성된 것을 특징으로 하는 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체의 하면에 이동을 위한 복수개의 바퀴가 설치된 것을 특징으로 하는 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 점검관은, 투명관으로 설치된 것을 특징으로 하는 반도체소자 공장에서 사용되는 집수기.
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