KR101005323B1 - 액상화학물질 흡입처리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 외부로부터 공급되거나 자체 설치된 압축공기장치를 통해 발생하는 압축공기의 압력을 이용하여 누출된 액상화학물질을 흡입하여 흡출장치에 의해 연무상태로 분사시키고, 연무상태로 분사된 연무화학물질을 기액분리장치에 의해 기체(압축공기)와 액체(액상화학물질)로 분리하여 기체(공기)는 외부로 배출시키고 액체(액상화학물질)는 별도의 수집통(액상물저장용기)에 수집할 수 있도록 된 액상화학물질 흡입처리장치에 관한 것으로서, 흡출장치에서 직접 연무되는 연무화학물질을 기액분리장치에 의해 기체(압축공기)와 액체(액상화학물질)로 분리하여 기체(압축공기)는 대기로 방출하고 액체(액상화학물질)은 수집통(액상물저장용기)에 수집시킴으로써 수집능률을 향상시킬 수 있고, 액체(액상화학물질)가 수집되는 수집통(액상물저장용기)을 규격화하지 않음으로써 임의(보통)의 통을 효율적으로 활용(사용)할 수 있으며, 수집통이 안치되는 받침틀은 가이드장치에 의해 가이드하면서 흡입처리장치하우징의 내외로 용이하게 수납/인출할 수 있도록 하여 수집통을 용이하게 설치 및 인출할 수 있다.

흡입처리장치하우징. 이동받침틀. 흡입처리장치. 흡출장치. 기액분리장치. 액상물저장용기.

Description

액상화학물질 흡입처리장치{A Recovery Device of Chemical Agents}

본 발명은 반도체 또는 액정화면(LCD)과 같은 제품을 제조할 때에 사용되는 액상의 화학물질(화학약품)이 누출되었을 때에 누출된 액상화학물질(화학약품)을 흡입 수거하는데 사용되는 액상화학물질 흡입처리장치에 관한 것이다.

이를 좀 더 상세히 설명하면, 외부로부터 공급되거나 자체 설치된 압축공기발생장치를 통해 발생하는 압축공기의 압력을 이용하여 누출된 액상화학물질을 흡입하고, 진공 흡입되는 액상화학물질을 흡출장치에 의해 분사하여 연무상태로 변형시키며, 연무상태로 분사된 연무화학물질을 기액분리장치에 의해 기체(공기)와 액체(액상화학물질)로 분리하여 기체(공기)는 외부로 배출시키고 액체(액상화학물질)는 별도의 수집통에 수집할 수 있도록 된 액상화학물질 흡입처리장치를 제공하려는 것이다.

통상적으로 반도체를 제조하거나 액정화면(LCD: Liquid Crystal Display) 등을 제조(제조공정)할 때에 산 또는 알칼리와 같은 액상화학물질(화학약품)을 사용하게 되는데, 취급 부주의로 인해 액상화학물질(화학약품)을 누출시키거나 또는 기 계장치의 기밀성이 떨어져 액상화학물질(화학약품)이 누출되어 제조공장(제조공장의 바닥)을 오염시키는 사고가 발생하기도 한다.

이와 같이 액상화학물질(화학약품)이 누출되면 누출된 화학물질(화학약품)을 회수하여야 하는데, 액상화학물질(화학약품)의 종류에 따라 회수하는 방법을 달리하게 된다.

누출되는 액상화학물질(화학약품)이 강산성 또는 강알칼리성인 경우에는 반드시 중화제를 사용하여 중화시키는 중화시키고, 수건 또는 흡수지 및 흡착포와 같은 흡착물질을 사용하여 중화된 액상화학물질(화학약품)을 흡착(흡수) 수거하였다.

이와 같이 중화제를 사용하여 액상화학물질(화학약품)을 중화하고 수건 또는 흡수지 등을 사용하여 흡착(흡수)하여 수거하는 방법은 중화제와 흡착물질(흡착수건, 흡착지, 흡착포) 등을 반드시 사용하여야 하므로 수거 공정(과정)이 번거로움이 있고, 중화제를 사용함으로써 수거하여야 하는 화학약품의 량이 증가하게 되어 작업성이 떨어지고 완전하고 용이하게 수거할 수 없으며, 수거 과정을 작업자가 직접 실시하여야 하므로 신체(피부 또는 호홉) 또는 피복 등이 오염되는 문제가 있다.

특히, 수거된 흡착물질(흡착수건, 흡착포, 흡착지)에는 액상화학물질(화학약품)이 함침되어 있으므로 이를 재처리하기도 용이치 못할 뿐만 아니라 비용이 많이 소요되는 문제가 있고, 액상화학물질(화학약품)이 함침되어 있는 흡착물질(흡착수건, 흡착포, 흡착지)을 매립하거나 소각하게 되면 환경(대지 또는 대기)을 오염시게 되는 문제가 있으며, 액상화학물질(화학약품)이 함침되어 수거된 흡착물질(흡착 수건, 흡착포, 흡착지)을 재활용(재사용)할 수 없게 되는 문제가 있다.

이와 같은 문제를 다소 나마 해소할 수 있도록 하기 위하여 제안된 것으로는 국내의 공개특허 공개번호 제10-2006-47121호 "화학약품의 수거장치"가 알려져 있다.

이는 흡입본체의 내부에 복수의 탱크를 설치하여 각 탱크의 하측에는 각 흡입라인을 통해 흡입관과 연결하고, 각 탱크의 상측에는 진공공급라인과 가압라인을 각각 연결하여 외부에서 공급되는 진공압(또는 에어압)이 진공공급라인을 통해 가압라인의 이젝터를 통해 외부로 배출되면 각 탱크의 내부에 진공이 발생하여 흡입관을 통해 액상화학물질(화학약품)이 흡입되면서 각 탱크의 내부에 충진되도록 하며, 각 탱크에 충진되는 액상화학물질(화학약품)은 흡입본체의 외부에 설치되는 드럼에 재차 수집할 수 있도록 된 것이다.

그러나, 이는 흡입본체의 내부에 설치되는 복수의 탱크들이 고정 설치되므로 탱크를 임의로 분리할 수 없고, 탱크에 여러 장치가 복합적으로 설치되므로 탱크는 불특정한 것을 사용할 수 없어 특정하게 제조된 것만을 설치하여 사용하여야 하는 문제가 있다.

또, 탱크의 일측(상측)에 구비된 진공공급라인과 가압라인을 통해 유통되는 진공압(또는 에어압)에 의해 탱크의 내부 공기가 흡입되면서 진공상태로 되면 탱크의 하측에 구비된 흡입관(흡입노즐)에 흡입력이 발생하여 액상화학물질(화학약품)을 흡입하고, 흡입관을 통해 흡입되는 액상화학물질(화학약품)이 탱크의 내부에 직접 충진되므로, 진공공급라인과 가압라인의 흡입력을 강하게 유지시켜야 하고, 탱 크에 액상화학물질(화학약품)이 충진되면 흡입력을 더욱 강하게 유지시켜야만 흡입이 가능하며, 흡입력을 강하게 하여 액상화학물질(화학약품)을 흡입하게 되면 흡입되는 액상화학물질(화학약품)이 진공라인을 통해 에젝터로 유입되고 외부로 배출되어 외부를 오히려 오염시키게 되는 문제가 있다.

또, 흡입되는 액상화학물질(화학약품)과 함께 각종 이물질이 함께 탱크의 내부로 유입되므로 액상화학물질(화학약품)이 오염되고 탱크의 내부도 오염되며, 따라서 액상화학물질(화학약품)은 순 물질로 재차 분리시켜야 하고 탱크의 내부도 세정하여야 하는 문제가 있다.

뿐만 아니라 흡입본체에는 투시창이 구비되어 있지 않으므로 탱크에 충진되는 액상화학물질(화학약품)을 외부에서 확인할 수 없어 답답하고, 각 탱크의 상단에 구비된 레벨센서에 의해 충진되는 액상화학물질(화학약품)이 감지될 때까지 외부에서 쉽게 확인할 수 없는 폐단이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제와 폐단을 해소할 수 있도록 더욱 개선한 액상화학물질 흡입처리장치를 제공하려는 것이다.

본 발명은, 외부로부터 공급되거나 자체 설치된 압축공기장치에서 발생하는 압축공기의 압력(분사력)에 의해 누출된 액상화학물질을 흡입하고, 진공 흡입되는 액상화학물질을 흡출장치에 의해 분사하여 연무상태로 변형시키며, 연무상태로 분 사된 연무화학물질을 기액분리장치에 의해 기체(압축공기)와 액체(액상화학물질)로 분리하여 기체(공기)는 외부로 배출시키고 액체(액상화학물질)는 별도의 수집통(액상물저장용기)에 수집할 수 있도록 된 액상화학물질 흡입처리장치를 제공하려는데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은, 흡출장치에 공급되는 압축공기의 압력에 의해 액상화학물질이 직접 흡입되어 연무되고, 흡출장치에서 직접 연무되는 연무화학물질을 기액분리장치에 의해 기체(압축공기)와 액체(액상화학물질)로 분리하여 기체(압축공기)는 대기로 방출하고 액체(액상화학물질)은 수집통(액상물저장용기)에 수집시킴으로써 수집능률을 향상시킬 수 있도록 된 액상화학물질 흡입처리장치를 제공하려는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 액체(액상화학물질)가 수집되는 수집통(액상물저장용기)을 흡입처리장치하우징의 내부에 수납/인출할 수 있고, 수집통은 규격화하지 않음으로써 임의(보통)의 통을 효율적으로 활용(사용)할 수 있으며, 수집통이 안치되는 받침틀은 가이드장치에 의해 가이드하면서 흡입처리장치하우징의 내외로 용이하게 수납/인출할 수 있도록 하여 수집통을 용이하게 설치 및 인출할 수 있도록 된 액상화학물질 흡입처리장치를 제공하려는데 있다.

본 발명의 상기 및 기타 목적은,

외부로 공급되는 압축공기의 압력에 의해 액상화학물질을 흡입하여 흡입처리 장치하우징의 내부에 설치된 액상물저장탱크에 충진시키는 것에 있어서;

상기 흡입처리장치하우징의 내부에는, 압축공기의 배출 압력에 의해 액상화학물질을 흡입하여 연무 상태로 분사하고, 분사되는 연무화학물질을 압축공기와 액상화학물질로 분리하여 압축공기는 외부로 배출시키고 액상화학물질은 액상물저장용기에 수집하는 흡처리장치를 설치한 것;을 특징으로 하는 액상화학물질흡입처리장치(1)에 의해 달성된다.

본 발명에 따른 개선된 액상화학물질 흡입처리장치는,

외부로부터 공급되거나 자체 설치된 압축공기발생장치에서 발생하는 압축공기를 흡출장치에서 분사시키고, 흡출장치에서 분사되는 압축공기의 분사력에 의해 누출된 액상화학물질을 흡입하고 분사하여 연무상태로 변형시키며, 연무상태로 분사된 연무화학물질을 기액분리장치에 의해 압축공기와 액상화학물질로 분리하여 압축공기는 외부로 배출시키고 액상화학물질은 액상물저장용기에 수집하는 흡출처리장치로 형성한 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 흡출장치에서 직접 연무되는 연무화학물질을 기액분리장치에 의해 기체(압축공기)와 액체(액상화학물질)로 분리하여 기체(압축공기)는 대기로 방출하고 액체(액상화학물질)은 수집통(액상물저장용기)에 수집시킴으로써 순수 액체(액상화학물질)만을 수집할 수 있고 수집능률을 향상시킬 수 있으며, 액체(액상화학물질)가 수집되는 수집통(액상물저장용기)을 규격화하지 않음으로써 임의(보 통)의 통을 효율적으로 활용(사용)할 수 있으며, 수집통이 안치되는 받침틀은 가이드장치에 의해 가이드하면서 흡입처리장치하우징의 내외로 용이하게 수납/인출할 수 있도록 하여 수집통을 용이하게 설치 및 인출할 수 있는 것이다.

본 발명의 상기 및 기타 목적과 특징은 첨부된 도면에 의거한 다음의 상세한 설명에 의해 더욱 명확하게 이해할 수 있을 것이다.

첨부된 도면 도 1a 내지 도 11d는 본 발명에 따른 액상화학물질흡입처리장치(1)의 구체적인 실현 예를 보인 것이다.

도 1a 및 도 1b와 도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 액상화학물질흡입처리장치(1)의 사시도 및 정면도이고, 액상물저장용기(100)를 인출한 상태의 예시도이다.

도 3a 내지 도 3d는 흡입처리장치(30)를 발췌하여 전후에서 본 상태의 사시도이고, 도 4a 및 도 4b는 흡출장치(40)를 발췌하여 보인 정면도 및 단면도이다.

도 5 내지 도 10은 흡출장치(40)에서 흡출금구(41)ㆍ분사노즐(50)ㆍ결속링(55)ㆍ압축공기공급구(60)ㆍ분사배출구(70)ㆍ결속캡((65)(75)을 발췌하여 보인 각 단면도이고, 도 11a 내지 도 11e는 본 발명에 따른 액상화학물질흡입처리장치(1)에 설치되는 기액분리장치(80)를 발췌하여 보인 사시도와 정단면도 및 부분 단면도이다.

본 발명에 따른 액상화학물질흡입처리장치(1)는 도 1a 및 도 1b와 도 2a 및 도 2b에 예시된 바와 같이 흡입처리장치하우징(2)과 그 내부에 설치되는 흡입처리 장치(30)로 형성하였다.

흡입처리장치하우징(2)은 직육면체의 형상 모양으로 형성하되, 밑면에는 통상의 캐스터(3)를 장착하여 용이하게 이동시킬 수 있도록 하였다.

흡입처리장치하우징(2)의 전면에는 크기가 큰 하우징도어부(100)와 크기가 작은 조절장치도어부(15)를 각각 설치하여, 하우징도어부(100)에 의해서는 흡입처리장치(30)의 액상물정장용기(100)를 용이하게 인출/수납할 수 있도록 하였고, 조절장치도어부(15)에 의해서는 밸브와 같은 각종 조절장치를 조절(컨트롤)할 수 있도록 하였다.

상기 하우징도어부(100)와 조절장치도어부(15)는, 도어(11)(16)의 일측을 힌지(12)(17)로 장착하고 타측에는 손잡이(13)(18)를 구비하여 개폐할 수 있도록 하였고, 도어(11)(16)에는 투시창(14)(19)을 구비하여 내부를 외부에서 투시하여 볼 수 있도록 하였다.

상기 흡입처리장치하우징(2)의 내부에는, 압축공기의 배출력에 의해 액상화학물질을 흡입하여 연무 상태로 분사하고, 분사되는 연무화학물질을 압축공기와 액상화학물질로 분리하여 압축공기는 외부로 배출시키고 액상화학물질은 액상물저장용기에 수집하는 흡처리장치(30)를 설치하였다.

흡입처리장치하우징(2)에는 액상물저장용기(100)를 별도로 설치하여 수납/인출장치에 의해 하우징도어부(10)의 도어(11)를 통해 흡입처리장치하우징(2)의 내부에 수납하거나 외부로 인출할 수 있도록 하였다.

상기 액상물저장용기(100)를 흡입처리장치하우징(2)의 내외로 인출/수납할 수 있도록 하는 수납/인출장치는 도 2a 내지 도 3b에 예시된 바와 같이 형성하였다.

흡입처리장치하우징(2)에서 도어(11)의 내측에는 받침틀(21)을 고정하였고, 받침틀(21)의 상측에는 액상물저장용기(100)가 안치되고 전면에 손잡이홈(20-1)과 스톱편(22)이 형성된 이동지지틀(20)을 구비하였으며, 받침틀(21)과 이동지지틀(20)과의 사이에는 가이드수단을 형성하여 이동지지틀(20)을 흡입처리장치하우징(2)의 내외로 인출 또는 수납할 수 있도록 하였다.

상기 받침틀(21)과 이동지지틀(20)과의 사이에 형성되는 가이드수단은, 받침틀(21)의 상면 양측에 가이드레일(25)을 설치하였고, 이동지지틀(20)의 밑면 양측에는 가이드블록(24)을 설치하여 가이드블록(24)이 가이드레일(25)을 따라 슬라이딩이동되도록 하였다.

특히, 각 가이드레일(25)에는 가이드홈(26)을 각각 형성하고, 각 가이드홈(26)에 가이드블록(24)을 삽입(결합)하여 가이드블록(24)이 가이드홈(26)에서 슬리이딩 되도록 하였다.

상기 흡입처리장치하우징(2)의 내부에 설치되는 흡입처리장치(30)는 다음과 같이 형성하였다.

압축공기가 공급되고 압축공기의 분사력에 의해 액상물질을 흡입하는 흡출장치(40)를 흡입처리장치하우징(2)의 내부에 장착(설치)하였다.

흡출장치(40)의 압축공기공급구(60)에는 압축공기공급수단을 장착하였으며, 상기 압축공급공급수단은 선단에 에어공급컨넥터(35)가 장착된 압축공기공급관(39) 을 연결하였다.

압축공기공급관(39)에는 제1밸브(36-1)와 제2밸브(36-2)를 설치하여 압축공기의 공급을 조절(공급 또는 배출)할 수 있도록 하였고, 제1밸브(36-1)와 제2밸브(36-2)의 사이에는 T보(37)를 장착하여 압력조절구(38-1)와 스위치(38-2)를 차례로 설치하고 필터장치의 배출구에 압축공기공급관(39)을 흡출장치(40)의 압축공기공급구(60)에 연결하였으며, 제1밸브(36-1)의 공급구에 에어공급컨넥터(35)를 장착하였다.

특히, 상기 압축공기공급관(39)의 선단 즉, 제1밸브(36-1)의 공급구에 장착되는 에어공급컨넥터(35)는 흡입처리장치하우징(2)의 일면(상면 또는 측면)에 노출되게 장착하여 압축공기를 공급할 수 있는 압축공기 공급관의 밸브(구체적으로 도시하지 아니함)를 착탈할 수 있도록 하였다.

상기 흡출장치(40)의 접속부(44)에는 흡출장치(40)에서 발생하는 흡입력에 의해 흡입구(31)를 통해 액상물질을 강제로 흡입하는 액상물질흡입수단을 접속하였다.

흡출장치(40)의 접속부(44)에는 흡입구(31)를 장착하여 연결하되, 흡출장치(40)의 접속부(44)에는 액상물질공급관(34)을 접속구(34-1)에 의해 접속 연결하였고, 액상물질공급관(34)에는 선단에는 흡입측컨넥터(33)에 의해 선단에 흡입구(31)가 장착된 흡입관(32)과 연결(접속)하였다.

상기 액상물질공급관(34)과 흡입관(32)을 서로 연결(접속)하는 흡입측컨넥터(33)는 암수 중에서 어느 하나를 흡입처리장치하우징(2)의 일면(전면 또는 측면) 에 노출되게 장착하고 다른 하나를 흡입관(32)에 장착하여, 암수의 흡입측컨넥터(33)를 결합/분리시킬 수 있도록 하였으며, 흡입구(31)가 구비된 흡입관(32)을 분리하여 보관하고 사용할 때만 결합(조립)하여 사용할 수 있도록 하였다.

상기 흡출장치(40)의 분사접속구(71)에는 분사되는 연무화학물질을 기액분리장치(80)에 공급하는 연무화학물질공급수단을 연결(접속)하였는데, 연무화학물질공급수단으로는 흡출장치(40)의 분사접속구(71)에는 방출측컨넥터(78)에 의해 연무방출관(79)을 연결하고, 연무방출관(78)의 단부에 기액분리장치(80)를 장착하였다.

상기 흡출금구(41)의 양측(입구와 출구)에는 나사부(41-1)(41-2)를 형성하여 압축공기공급구(60)와 분사배출구(70)를 결속캡(65)(75)에 의해 각각 장착하여 형성하였다.

흡출금구(41)는, 내부 중앙에서 경계선(42)의 좌우 양측으로 원뿔협소공(43-1)과 역원뿔확산공(43-2)을 연통되게 형성하였고, 원뿔협소공(43-1)에는 분사노즐창착실(45)과 결속구장착실(47)을 차례로 형성하였으며, 흡출금구(41)의 측면에는 접속부(44)를 형성하여 접속공(44-1)과 액상물흡입구(44-2)를 원뿔협소공(43-1)와 연통되게 형성하였다.

상기 원뿔협소공(43-1)과 분사노즐창착실(45)에는 분사노즐(50)을 장착하였다.

상기 분사노즐(50)은 도 6에 예시된 바와 같이, 결속링(52)의 일면에 원뿔분사구(51)를 일체로 형성하여 내부에 원뿔분사공(53)이 형성되도록 하였고, 원뿔분사구(51)의 하단에 단턱(54-1)이 형성되도록 하였으며, 분사노즐(50)을 장착할 때 에 단턱(54-1)이 분사노즐창착실(45)의 전면에 결착되어 고정되도록 하였다.

분사노즐창착실(45)의 외측에 형성되는 결속구장전실(47)에는 나사부(47-1)를 형성하여 결속링(55)을 결합/분리시킬 수 있도록 하였는데, 상기 결속링(55)은 도 7에 예시된 바와 같이 유통공이 중앙에 뚫어진 결속링(55)을 나사부(56)에 의해 나사 결합시키도록 하였고, 특히 결속링(55)의 외면에는 체결홈(57)을 형성하여 드라이버와 같은 체결수단에 의해 용이하게 정역 회전시켜 체결하거나 체결상태를 해제할 수 있도록 하였다.

상기 흡출금구(41)의 외주 양측에는 나사부(41-1)(41-2)를 각각 형성하였고, 결속캡(65)(75)의 내주에는 나사부(65-1)(75-1)를 형성하였으며, 결속캡(65)(75)에 압축공기공급구(60)와 분사배출구(70)를 각각 끼워 흡출금구(41)의 외주 양측에 나사 결합하여 장착하였다.

특히, 흡출금구(41)의 양단 면에는 환상요홈(48-1)(48-2)을 각각 형성하고 오링(49-1)(49-2)을 끼워 주어서 압축공기공급구(60)와 분사배출구(70)를 밀폐되게 결합시킬 수 있도록 하였고, 흡출금구(41)의 양측에 밀폐링(7)(77)을 각각 끼워 각 결속캡(65)(75)을 결합시킬 때에 밀폐되게 결합시킬 수 있도록 하였다.

결속캡(65)에 의해 상기 흡출금구(41)의 입구측 면에 장착되는 압축공기공급구(60)는 중앙에 공급공(62)을 뚫어진 분사접속구(61)의 외주 선단에 결속플랜지(63)를 일체로 형성하였고, 결속캡(75)에 의해 상기 흡출금구(41)의 배출구측 면에 장착되는 분사배출구(70)는 중앙에 배출공(73)이 뚫어진 분사접속구(71)의 외주 선단에 결속플랜지(72)를 일체로 형성하되 배출공(73)의 내부에는 나사부(73-1)를 형성하여 연무방출관(79)의 컨넥터(78)를 용이하게 장착할 수 있도록 하였다.

또한 연무방출관(78)의 단부에 장착되는 상기 기액분리장치(80)는 도 11a 내지 도 11e에 예시된 바와 같이 형성하였다.

직육면체의 형상으로 기액분리장치하우징(81)을 직육면체의 형상으로 형성하되 내부에 공간이 형성되도록 하였고, 기액분리장치하우징(81)의 전면에는 주입공(82-1)이 뚫어진 주입관(82)을 일체로 형성하였으며, 기액분리장치하우징(81)의 밑면 후단는 주액상배출공(83-1)이 뚫어진 액상배출관주입관(82)을 일체로 형성하였다.

기액분리장치하우징(81)의 내부에는 도 11b에 예시된 바와 같이, 주입관(82)측에서 액상배출관주입관(82)측으로 제1차단벽(86)과 제2차단벽(88)을 설치하여 내부에 제1실(85-1)과 제2실(85-2) 및 제3실(85-3)이 차례로 형성되도록 하였고, 제3실(85-3)에는 제3차단벽(89)을 설치하여 제3실(85-3)의 하측으로 배출실(85-4)이 형성되도록 하였으며, 제2실(85-2)의 중앙에는 분할벽(87)을 하측으로 연통되게 설치하였다.

특히, 제1실(85-1)의 밑면을 제2실(85-2) 및 배출실(85-4)의 밑면 보다 높게 형성하였고, 제1실(85-1)의 밑면과 제2실(85-2) 및 배출실(85-4)의 밑면은 후측으로 경사지게 형성하였다.

상기 제1실(85-1)과 제2실(85-2)을 분할하는 제1차단벽(86)은 도 11c에 예시된 바와 같이, 중간에 가로유통공(86-2)을 뚫어 주었고, 상기 가로유통공(86-2)의 상측에 분사공(86-1)을 일정한 간격으로 뚫어 주었으며, 상기 가로유통공(86-2)의 하단이 제1실(85-1)의 밑면과 일치되도록 하였다.

상기 제2실(85-2)과 제3실(85-3)을 분할하는 제2차단벽(88)은 도 11d에 예시된 바와 같이 상측부에 상측분사공(88-1)을 일정한 간격으로 뚫어 제3실(85-3)과 연통되게 하였고, 중앙 하측에는 하측분사공(88-2)을 일정한 간격으로 뚫어 배출실(85-4)과 연통되게 하였으며, 하단에는 세로유통공(88-3)을 일정한 간격으로 뚫어 배출실(85-4)과 연통되게 하였다.

상기 제3실(85-3)과 배출실(85-4)을 상하로 분할하는 제3차단벽(89)은 도 11e에 예시된 바와 같이 액상낙하공(89-1)을 일정한 간격으로 뚫어 제3실(85-3)과 배출실(85-4)이 연통되도록 하였다.

이하, 본 발명에 따른 본 발명에 따른 액상화학물질흡입처리장치(1)의 작동관계를 설명한다.

본 발명에 따른 액상화학물질흡입처리장치(1)는 흡입처리장치하우징(2)의 밑면에 통상의 캐스터(3)가 장착되어 있으므로 액상화학물질흡입처리장치(1)를 용이하게 이동시킬 수 있으며, 액상화학물질흡입처리장치(1)를 액상화학물질이 누출된 소정의 위치로 이동시킨 상태에서 사용(작동)한다.

흡입처리장치하우징(2)의 상면에 돌출되게 장착된 에어공급컨넥터(35)에는 반도체 또는 액정화면(LCD)과 같은 제품의 제조공장에 설비된 에어공급관(압축공기:구체적으로 도시하지 아니함)과 연결호스(구체적으로 도시하지 아니함) 등으로 연결하거나, 또는 에어컴프레셔와 같은 압축공기발생장치와 연결하여 압축공기를 공급하면서 실시한다.

흡입처리장치하우징(2)의 정면에 돌출되게 장착된 흡입측컨넥터(33)에는 흡입구(31)의 흡입관(32)을 접속하여 연결한다.

하우징도어부(10)의 도어(11)를 열어 이동받침틀(20)을 흡입처리장치하우징(2)의 외측(전방)으로 인출하고, 인출된 이동받침틀(20)에 특정되지 않은 액상물저장용기(100)를 안치하며, 액상물저장용기(100)의 뚜껑(110)을 제거하고 액상물저장용기(100)의 입구에 기액분리장치(80)의 액액배출관(83)을 삽입하여 결합시킨다.

액상물저장용기(100)의 입구에 기액분리장치(80)의 액액배출관(83)을 삽입하여 결합시킨 상태에서 이동받침틀(20)을 밀어 이동받침틀(20)과 함께 액상물저장용기(100)를 흡입처리장치하우징(2)의 내부에 수납시키고, 도어(11)를 닫아 준다.

상기와 같이 에어공급관(압축공기:구체적으로 도시하지 아니함)과 흡입관(32)을 연결한 상태에서 조절장치도어부(15)의 도어(16)를 열고, 도어(16)의 내측에 설치된 제1밸브(36-1)를 ON시키고, 스위치(38-2)를 ON시킨다.

제1밸브(36-1)와 스위치(38-2)를 ON시키면 에어공급컨넥터(35)로 공급되는 압축공기는 압축공기공급관(34)을 통하여 흡출장치(40)로 공급(분사)된다.

흡출장치(40)의 압출공기공급구(60)의 공급공(62)의 공급되는 압축공기는 분사노즐(50)의 원뿔분사공(53)을 통하여 역원뿔분사공(43-2)으로 강하게 분사되고, 압출공기공급구(60)의 공급공(62)의 공급되는 압축공기가 원뿔분사공(53)을 통해 역원뿔분사공(43-2)으로 강하게 분사되면 원뿔협소공(43-1)과 액상물흡출구((44-2)에는 강력한 흡입력이 발생한다.

원뿔협소공(43-1)과 액상물흡출구((44-2)에 발생하는 강력한 흡입력에 의해 흡입관(32)의 선단에 장착된 흡입구(31)에도 흡입력이 발생하고, 강력한 흡입력이 발생하는 흡입구(31)를 누출된 액상화학물질 측으로 이동(근접)시키면 흡입구(31)에서 발생하는 강력한 흡입력에 의해 누출된 액상화학물질은 흡입구(31)로 흡입되며, 흡입구(31)로 흡입되는 액상화학물질은 흡입관(32)과 액상물질공급관(34)을 통하여 흡출장치(40)를 형성하는 흡출금구(41)의 액상물질흡입구(44-2)로 흡입된다.

흡출금구(41)의 액상물질흡입구(44-2)로 흡입되는 액상물질은 분사노즐(50)의 원뿔분사공(53)을 통하여 강력하게 분사되는 압축공기와 함께(압축공기의 분사력에 의해) 역원뿔분사공(43-2)으로 연무상태로 분사된다.

분사노즐(50)을 통하여 강력하게 분사되는 압축공기와 함께(압축공기의 분사력에 의해) 역원뿔분사공(43-2)으로 연무상태로 분사되는 연무화학물질(압축공기와 액상화학물질)은 분사배출구(70)의 분사접속구(71)로 배출되고, 분사접속구(71)로 배출되는 연무화학물질(압축공기와 액상화학물질)은 연무방출관(79)을 통해 기액분리장치(80)로 분사 공급된다.

연무방출관(79)을 통해 기액분리장치(80)로 분사 공급되는 연무화학물질(압축공기와 액상화학물질)은 주입관(82)을 통하여 제1실(85-1)로 분사 유입된다.

연무방출관(79)을 통해 기액분리장치(80)의 제1실(85-1)로 분사 유입되는 연무화학물질(압축공기와 액상화학물질)은 제1차단벽(86)와 1차충돌(1차 차단)하게 되고, 제1차단벽(86)와 1차충돌(1차 차단)하는 연무화학물질(압축공기와 액상화학물질)은 제1차단벽(86)과 접촉되면서 액상물질(화학물질)로 변형되고 일부는 분사 공(86-1)을 통하여 제2실(85-2)로 유입(분사)된다.

제1차단벽(86)과 접촉되면서 변형되는 액상물질(화학물질)은 제1차단벽(86)의 가로유통공(86-2)을 통하여 제2실(85-2)로 유입된다.

분사공(86-1)을 통하여 제2실(85-2)로 유입(분사)되는 연무화학물질(압축공기와 액상화학물질)은 분할벽(87)과 재차 충돌하여 액상물질(화학물질)을 재차 형성하고, 변형되지 않은 일부 연무화학물질(압축공기와 액상화학물질)은 제2차단벽(88)의 상측분사공(88-1)과 하측분사공(88-2)을 통하여 제3실(85-3)과 배출실(85-4)로 분할되어 유입된다.

상기 제2실(85-2)에서 발생하는 액상물질(화학물질)은 제1차단벽(86)의 가로유통공(86-2)을 통하여 유입되는 제1실(85-1)의 액상물질(화학물질)과 함께 하단의 세로유통공(88-3)을 통하여 배출실(85-4)로 유입된다.

상측분사공(88-1)과 하측분사공(88-2)을 통하여 제3실(85-3)과 배출실(85-4)로 분할되어 유입되는 연무화학물질(압축공기와 액상화학물질)은 거의 미미한 정도로서 특히 제3실(85-3)로 유입되는 연무화학물질은 압축공기가 대분이고 액상화학물질은 거의 무시할 정도로 미미한 상태이다.

제3실(85-3)로 유입되는 압축공기는 상면의 공기배출공(85-5)을 통하여 외부로 배출되며, 제3실(85-3)로 압축공기와 함께 유입되는 미미한 연무화학물질은 제3실(85-3)의 내벽과 접촉되면서 액상으로 변형되어 액상낙하공(89-1)을 통해 배출실(85-4)로 낙하한다.

또 배출실(85-4)로 유입되는 연무화학물질(압축공기와 액상화학물질)의 액상 화학물질은 배출실(85-4)의 내벽과 접촉되면서 액상으로 변형되어 흘러내린다.

제2차단벽(88)의 세로유통공(88-3)을 통해 제2실(85-2)에서 공급되는 액상물질(화학물질)과 배출실(85-4)의 내벽과 접촉되면서 액상으로 변형되어 흘러내리는 액상물질(화학물질)은 액상배출관(83)의 액상배출공(83-1)을 통하여 액상저장용기(100)에 충전된다.

특히, 기액분리장치(80)의 공기배출공(85-5)을 통해 방출(배출)되는 공기는 액상화학물질에 오염에 되지 않은 순순한 공기만 배출되므로 실내 도는 외기를 오염시킬 염려는 전혀 없게 되고, 액상저장용기(100)에는 순수한 액상물질(화학물질)이 충전된다.

상기와 같이 실시하여 액상저장용기(100)에는 순수한 액상물질(화학물질)이 완전히 충전되면 스위치(38-2)를 OFF시켜 주입을 일시 중단한 상태에서 이동지지틀(20)과 함께 액상저장용기(100)를 흡입처리장치하우징(2)의 외측으로 인출하고, 액상저장용기(100)를 새로운 용기로 교체한다.

이동지지틀(20)과 함께 교체한 액상저장용기(100)를 흡입처리장치하우징(2)의 내부로 인입시킨 후에 스위치(38-2)를 다시 ON시켜 회수를 재차 실시한다.

상기와 같은 누출된 액상화학물질의 회수를 완료한 후에는, 에어공급컨넥터(35)에서 에어공급관(호스)을 제거하고, 흡입구(31)가 구비된 흡입관(32)을 흡입측컨넥터(33)에서 분리하여 조절장치도어부(15)의 내측에 수납하며, 액상화학물질흡입처리장치(1)를 소정의 장소로 이동시켜 보관한다.

본 발명은 기재된 구체적인 실시 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상범위 내에서 다양하게 변형 및 수정할 수 있음은 당업자에 있어서 당연한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연하다 할 것이다.

도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 액상화학물질 흡입처리장치의 사시도 및 정면도.

도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 액상화학물질 흡입처리장치에서 흡입처리장치의 액상물저장용기를 인출한 상태를 좌측 및 우측에서 본 사시도.

도 3a 내지 도 3d는 본 발명에 따른 액상화학물질 흡입처리장치에 설치되는 흡입처리장치를 발췌하여 전후에서 본 상태의 사시도.

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 액상화학물질 흡입처리장치에 설치되는 흡출장치를 발췌하여 보인 정면도 및 단면도.

도 5 내지 도 10은 본 발명에 따른 액상화학물질 흡입처리장치에 설치되는 흡출장치에서 흡출금구, 분사노즐, 결속링, 압축공기공급구, 분사배출구, 결속캡을 발췌하여 보인 각 단면도.

도 11a 내지 도 11e는 본 발명에 따른 액상화학물질 흡입처리장치에 설치되는 기액분리장치를 발췌하여 보인 사시도와 정단면도 및 부분 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1: 액상화학물질흡입처리장치 2: 흡입처리장치하우징

10: 하우징도어부 15: 조절장치도어부 20: 이동받침틀

21: 고정지지틀 23: 가이드수단 30: 흡입처리장치

31: 흡입구 35: 에어공급컨넥터 40: 흡출장치

41: 흡출금구 50: 분사노즐 60: 압축공기공급구

70: 분사배출구 80: 기액분리장치 100: 액상물저장용기

Claims (12)

1. 외부로 공급되는 압축공기의 압력에 의해 액상화학물질을 흡입구로 흡입하여 흡입처리장치하우징의 내부에 설치된 액상물저장탱크에 충진시키는 것에 있어서;

   상기 흡입처리장치하우징의 내부에는, 압축공기의 배출 압력에 의해 액상화학물질을 흡입하여 연무 상태로 분사하고, 분사되는 연무화학물질을 압축공기와 액상화학물질로 분리하여 압축공기는 외부로 배출시키고 액상화학물질은 별도로 설치되는 액상물저장용기에 수집하는 흡출처리장치를 설치한 것;을 특징으로 하며,

   상기 흡출처리장치가 설치되는 흡입처리장치하우징은;

   흡입처리장치하우징의 전면에는, 흡입처리장치의 액상물정장용기를 인출 또는 수납할 수 있는 하우징도어부와, 각종 조절장치를 조절할 수 있는 조절장치도어부를 각각 설치한 것과;

   상기 하우징도어부와 조절장치도어부는, 도어를 개폐할 수 있도록 장착하고, 도어에는 내부를 투시할 수 있도록 투시창을 구비한 것;을 특징으로 하는 액상화학물질 흡입처리장치.
2. 삭제
3. 청구항 1에 있어서, 상기 흡입처리장치하우징에 설치되는 흡출처리장치는;

   선단에 에어공급컨넥터가 장착되고 밸브에 의해 압축공기의 공급을 컨트롤 하도록 된 압축공급관을 통해 흡출장치에 압축공기를 공급하는 압축공기공급수단과;

   압축공기공급수단에 의해 공급되는 압축공기의 분사력에 의해 액상물질을 흡입하는 흡입력을 발생시키고, 흡입되는 액상물질을 분사되는 압축공기에 의해 분사하여 분사시키는 흡출장치와;

   상기 흡출장치의 접속부에 연결되어 흡출장치에서 발생하는 흡입력에 의해 흡입구를 통해 액상물질을 강제로 흡입하도록 액상물질흡입수단과;

   상기 흡출장치의 분사접속구에 연결되어 분사되는 연무화학물질을 기액분리장치에 공급하는 연무화학물질공급수단과;

   상기 연무화학물질공급수단을 통해 공급되는 연무화학물질을 압축공기와 액상화학물질로 분리하는 기액분리장치;를 포함하여 형성한 것을 특징으로 하는 액상화학물질 흡입처리장치.
4. 청구항 1에 있어서, 상기 흡입처리장치하우징에 별도로 설치되는 액상물저장용기는;

   수납 또는 인출장치에 의해 하우징도어부를 통해 흡입처리장치하우징의 내부에 수납하거나 외부로 인출할 수 있도록 한 것;을 특징으로 하는 액상화학물질 흡입처리장치.
5. 청구항 1에 있어서, 상기 흡출처리장치의 기액분리장치는;

   직육면체의 형상으로 형성되고 전면과 밑면 후단에 주입관과 액상배출관주입관이 일체로 형성된 기액분리장치하우징과;

   기액분리장치하우징(81)의 내부에는 주입관측에서 액상배출관주입관측으로 제1차단벽과 제2차단벽을 설치하여 내부를 제1실과 제2실 및 제3실로 분할 형성하고, 제3실에는 제3차단벽을 설치하여 제3실의 하측으로 배출실을 형성한 것과;

   제2실의 중앙에는 분할벽을 상측에서 하측으로 설치하여 분할벽의 하측이 연통되게 한 것과;

   상기 제1실과 제2실을 분할하는 제1차단벽은, 중간에 가로유통공을 뚫어 주었고, 상기 가로유통공의 상측에 분사공을 일정한 간격으로 뚫어 주며, 상기 가로유통공의 하단이 제1실의 밑면과 일치되도록 한 것과;

   상기 제2실과 제3실을 분할하는 제2차단벽은, 상측부에 상측분사공을 일정한 간격으로 뚫어 제3실과 연통되게 하였고, 중앙 하측에는 하측분사공을 일정한 간격으로 뚫어 배출실과 연통되게 하며, 하단에는 세로유통공을 일정한 간격으로 뚫어 배출실과 연통되게 한 것과;

   상기 제3실과 배출실을 상하로 분할하는 제3차단벽은, 액상낙하공을 일정한 간격으로 뚫어 제3실과 배출실을 연통시켜 형성한 것;을 특징으로 하는 액상화학물질 흡입처리장치.
6. 청구항 3에 있어서, 상기 흡출처리장치의 흡출장치는;

   내부 중앙에서 경계선을 기준으로 좌우 양측으로 원뿔협소공과 역원뿔확산공이 연통되게 형성되고, 원뿔협소공에는 분사노즐창착실과 결속구장착실이 차례로 형성되며, 흡출금구의 측면에 형성된 접속부에는 접속공과 액상물흡입구를 원뿔협소공과 연통되게 형성한 흡출금구와;

   상기 흡출금구의 원뿔협소공과 분사노즐창착실에 장전되어 공급되는 압축공기를 역원뿔확산공으로 분사시키는 분사노즐과;

   상기 결속구장착실에 장착되어 분사노즐을 억류시키는 결속링과;

   각 결속캡에 의해 상기 흡출금구의 양면에 각각 밀폐되게 장착되는 압축공기공급구 및 분사접속구;를 포함하여 형성한 것을 특징으로 하는 액상화학물질 흡입처리장치.
7. 청구항 6에 있어서, 상기 흡출장치의 원뿔협소공과 분사노즐창착실에 장전되는 분사노즐은;

   결속링의 일면에 원뿔분사구를 일체로 형성한 것과;

   결속링과 원뿔분사구의 내부에 원뿔분사공을 형성한 것;을 특징으로 하는 액상화학물질 흡입처리장치.
8. 청구항 6에 있어서, 상기 결속캡에 의해 흡출금구의 입구와 출구에 장착되는 압축공기공급구와 분사배출구는;

   중앙에 공급공 또는 배출공이 뚫어진 분사접속구 또는 분사접속구의 외주 선단에 결속플랜지를 일체로 각각 형성한 것;을 특징으로 하는 액상화학물질 흡입처리장치.
9. 청구항 4에 있어서, 상기 액상물저장용기를 흡입처리장치하우징의 내외로 인출 또는 수납하는 수납 또는 인출장치는;

   흡입처리장치하우징에서 도어의 내측에 고정되는 받침틀과;

   액상물저장용기가 안치되고 전면에 손잡이홈과 스톱편이 형성되며 받침틀의 상측에 구비되는 이동지지틀과;

   받침틀과 이동지지틀과의 사이에 형성되어 이동지지틀의 이동을 지지하는 가이드수단;을 포함하여 형성한 것을 특징으로 하는 액상화학물질 흡입처리장치.
10. 청구항 9에 있어서, 상기 받침틀과 이동지지틀과의 사이에 형성되는 가이드수단은;

    받침틀의 상면 양측과 이동지지틀의 밑면 양측에 대응되게 형성되는 가이드레일 및 가이드블록과;

    가이드레일 및 가이드블록을 결합하여 가이드블록이 가이드레일을 따라 슬라이딩되도록 한 것;을 특징으로 하는 액상화학물질 흡입처리장치.
11. 청구항 10에 있어서, 상기 가이드레일에는 가이드홈을 형성하고, 가이드에 가이드블록을 결합하여 가이드블록이 가이드홈에서 슬리이딩 되도록 한 것;을 특징으로 하는 액상화학물질 흡입처리장치.
12. 청구항 5에 있어서, 상기 기액분리장치는;

    상기 제1실의 밑면을 제2실 및 배출실의 밑면 보다 높게 형성한 것과;

    상기 제1실의 밑면과 제2실 및 배출실의 밑면은 후측으로 경사지게 형성한 것;을 특징으로 하는 액상화학물질 흡입처리장치.

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