CN114288793A - 粉尘收集装置及抽真空系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种粉尘收集装置及抽真空系统，该粉尘收集装置包括粉尘收集罐体，其上端具有能够装配在冗余管道上并与冗余管道相连通的开口，其下端未封闭或未完全封闭；阻流板，为拱起结构，设置在粉尘收集罐体的内部，阻流板的边缘与粉尘收集罐体的内壁之间留有间隙；过滤器，位于阻流板的下方设置在粉尘收集罐体的内部，过滤器将粉尘收集罐体分隔为粉尘处理室和粉尘收集室，粉尘处理室和粉尘收集室分别位于过滤器的上下方；舱盖，可拆卸连接在粉尘收集罐体的下端。本发明能够防止真空泵机的回抽造成失效风险，确保机台的正常运行，具有粉尘清理方便、清理效率高、清理难度低、清理成本低的优点，不会造成环境污染，避免了对洁净室的洁净度的影响。

Description

粉尘收集装置及抽真空系统

技术领域

本发明涉及半导体集成电路技术领域，特别涉及一种粉尘收集装置及抽真空系统。

背景技术

在半导体工艺中，常用到抽真空系统，请参考图1，传统的抽真空系统包括机台10和真空泵机30，以及连通在机台10与真空泵机30之间的抽气管道20，其中抽气管道20包括主管道21以及连通在主管道21上的两个支管道，其中一个支管道为冗余管道22，其下端封闭，另一个支管道为盲管23。机台10通过主管道21连通，真空泵机30通过盲管23连通。真空泵机30启动后，产生负压气体，将机台10上的粉尘通过抽气管道20的主管道21和盲管23吸入，并通过排气管道40排出。其缺陷在于，进入盲管23内的气体经常会因为粉尘沉积堆积在盲管23内，则真空泵机30产生的负压吸力将冗余管道22的粉尘通过盲管23吸入，从而导致盲管23的管路堵塞致使真空泵机30卡顿等故障，甚至会导致吸入的粉尘在负压的作用下通过抽气管道20对机台10造成倒灌的危害。因此需要对冗余管道22和盲管23进行清理。本领域中常规的管道清理方法是暂停盲管23前后端的加热带，待冷却后，通过打开阀门24将冗余管道22和盲管23拆卸下来，通过滚刷等工具伸入冗余管道22和盲管23的内管壁进行清理，然后将冗余管道22和盲管23的重新装配在主管道21上并且测漏之后恢复使用。不仅造成了人工清理工作量大的缺陷，还增加滚刷等辅助工具增加了清理成本，在对盲管进行清理时会造成环境污染，从而影响了洁净室的洁净度，而且当清理不干净时增加了真空泵停机重启之后出现宕机的概率。

发明内容

本发明的目的在于，提供了一种粉尘收集装置及抽真空系统，以解决冗余管道及盲管清理难度大、清理成本高、易造成环境污染及增加真空泵宕机概率的问题。

为达到上述目的，本发明提供一种粉尘收集装置，包括：

粉尘收集罐体，所述粉尘收集罐体的上端具有能够装配在抽真空系统的冗余管道上的开口，所述开口与所述冗余管道相连通，所述粉尘收集罐体的下端未封闭或者未完全封闭；

阻流板，为拱起结构，靠近所述开口设置在所述粉尘收集罐体的内部，所述阻流板的边缘与所述粉尘收集罐体的内壁之间留有间隙；

过滤器，位于所述阻流板的下方设置在所述粉尘收集罐体的内部，所述过滤器将所述粉尘收集罐体分隔为粉尘处理室和粉尘收集室，位于所述过滤器以上的部分为粉尘处理室，位于所述过滤器以下的部分为所述粉尘收集室；

舱盖，可拆卸连接在所述粉尘收集罐体的下端。

进一步的，本发明提供的粉尘收集装置，所述开口上设置有用于将所述粉尘收集罐体装配在抽真空系统的冗余管道上的锁紧装置。

进一步的，本发明提供的粉尘收集装置，所述锁紧装置为抱箍。

进一步的，本发明提供的粉尘收集装置，所述拱起结构的顶端位于所述开口的中心线上。

进一步的，本发明提供的粉尘收集装置，所述阻流板可拆卸设置在所述粉尘收集罐体的内部。

进一步的，本发明提供的粉尘收集装置，所述过滤器为海帕过滤器或者为网孔结构。

进一步的，本发明提供的粉尘收集装置，所述舱盖与所述粉尘收集罐体铰接或者卡扣连接。

为达到上述目的，本发明还提供一种抽真空系统，包括：

机台；

真空泵机；

抽气管道，包括与所述机台连通的主管道，所述主管道至少连通两路支管道，其中一路支管道为盲管，另一支管道为冗余管道，所述盲管与所述真空泵机连通，所述冗余管道为竖直设置，所述冗余管道上连通有如权利要求1-7中任一项所述的粉尘收集装置。

进一步的，本发明提供的抽真空系统，还包括：

冷凝器，与所述真空泵机连通；

废气排放装置，通过排废管道与所述冷凝器连通。

进一步的，本发明提供的抽真空系统，所述真空泵机为干式真空泵。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

本发明提供的粉尘收集装置及抽真空系统，通过在传统抽真空系统的冗余管道上连通粉尘收集装置，则真空泵机启动后产生的负压通过抽气管道将机台上的粉尘通过抽气管道吸出，粉尘由于重力作用下沉进入到粉尘收集装置，通过粉尘收集装置的粉尘收集罐体的开口进入的粉尘气流进入粉尘处理室，进入粉尘处理室内的粉尘气流将粉尘颗粒通过阻流板滑落至过滤器上，将较大尺寸的粉尘颗粒收集在粉尘处理室，较小尺寸的粉尘颗粒在负压气流的作用下从过滤器渗透收集在粉尘收集室内，此时真空泵机的负压吸力通过盲管和冗余管道对粉尘收集装置进行吸气时，位于粉尘收集室内的较小尺寸的粉尘颗粒被过滤器吸附很难反向流入粉尘处理室内，当有较小部分较小尺寸的粉尘颗粒流向粉尘处理室时，位于粉尘处理室内的较小尺寸和较大尺寸的粉尘颗粒被阻流板阻挡而留存在粉尘处理室及粉尘收集室内，无法从粉尘收集罐体的开口经冗余管道和盲管反向流入到真空泵机内，从而不会对真空泵机造成堵塞造成卡顿等故障，也不会通过真空泵机对机台产生粉尘倒灌的危害。也就说是，本发明的粉尘收集装置具有防止真空泵机的回抽功能，有效降低由于真空泵机回抽造成失效风险，确保机台的正常运行。

本发明提供的粉尘收集装置及抽真空系统，由于增加了粉尘收集装置，则从机台吸出的粉尘颗粒被粉尘收集装置回收，不会留存在冗余管道及盲管的管壁上，因此，无需对冗余管道和盲管进行直接清理，通过将冗余管道上的粉尘收集装置拆除，在指定位置打开舱盖将粉尘收集罐体的粉尘收集室内的粉尘颗粒倾倒即可实现对冗余管道及盲管的间接清理，从而避免了对冗余管道和盲管的反复拆装通过清洁工具清理的工序。与传统清理方式相比，具有粉尘清理方便、清理效率高、清理难度低、清理成本低的优点，减少了粉尘清理时间和工作量，以及不会造成环境污染，避免了对洁净室的洁净度的影响，克服了管壁清理不干净增加了真空泵停机重启之后出现宕机的概率。通过更换新旧粉尘收集装置，能够提高了抽真空系统的利用率，无需等待清理完毕之后经检测是否合格之后再恢复抽真空系统的使用的情形。

附图说明

图1是传统的抽真空系统部分组成的结构示意图；

图2至图3是本发明实施例的抽真空系统的结构示意图；

图4是本发明实施例的粉尘收集装置的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的金属线的挖孔结构及方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

请参考图2至图4，本发明实施例提供一种粉尘收集装置100，包括：

粉尘收集罐体110，所述粉尘收集罐体110的上端具有能够装配在抽真空系统的冗余管道22上的开口，所述开口与所述冗余管道22相连通，所述粉尘收集罐体110的下端未封闭或者未完全封闭。即将冗余管道22由封闭状态改进为未封闭状态，以实现与粉尘收集罐体110的连通。所述开口上设置有用于将所述粉尘收集罐体110装配在抽真空系统的冗余管道22上的锁紧装置130，其中锁紧装置130可以为抱箍。锁紧装置130能够将粉尘收集罐体110可靠地连接在冗余管道22上，防止二者相脱离。

阻流板140，为拱起结构，靠近所述开口设置在所述粉尘收集罐体110的内部，所述阻流板140的边缘与所述粉尘收集罐体110的内壁之间留有间隙。其中拱起结构的顶端至边缘的起拱角度包括但不限于5度至30度，其能够实现对吸入的粉尘颗粒进行滑落即可。

过滤器150，位于所述阻流板140的下方设置在所述粉尘收集罐体110的内部，所述过滤器150将所述粉尘收集罐体110分隔为粉尘处理室和粉尘收集室，位于所述过滤器150以上的部分为粉尘处理室，位于所述过滤器150以下的部分为所述粉尘收集室。

舱盖120，可拆卸连接在所述粉尘收集罐体110的下端。其中舱盖120与所述粉尘收集罐体110可以为铰接或者卡扣连接。

请参考图4，为了实现较好的粉尘收集效果，本发明实施例提供的粉尘收集装置100，所述拱起结构的顶端位于所述开口的中心线上。其能够保证通过粉尘收集罐体110进入的粉尘气体通过阻流板140的拱起结构均匀的滑落到过滤器150上。

请参考图4，为了实现对粉尘收集罐体110的全面清理，本发明实施例提供的粉尘收集装置100，所述阻流板140可拆卸设置在所述粉尘收集罐体110的内部。通过对阻流板140进行拆卸，通过对堆积在阻流板140上的较大尺寸的粉尘颗粒进行清理，避免过多的较大尺寸的粉尘颗粒阻塞在阻流板140与粉尘收集罐体110的管壁之间的间隙的不利情形。

请参考图4，为了实现对粉尘颗粒的过滤收集，本发明实施例提供的粉尘收集装置100，所述过滤器150可以为海帕过滤器150或者为网孔结构的过滤器。过滤器150过滤吸附较大尺寸粉尘颗粒和渗透较小尺寸粉尘颗粒的功能。

请参考图2至图4，本发明实施例还提供一种抽真空系统，可以包括：

机台10；其中机台10处也即真空腔空(Chamber)所在位置。

真空泵机30；其中真空泵机30可以为干式真空泵。

抽气管道20，包括与所述机台10连通的主管道21，所述主管道21至少连通两路支管道，其中一路支管道为盲管(Dead leg)23，另一支管道为冗余管道22，所述盲管23与所述真空泵机30连通，所述冗余管道22为竖直设置，所述冗余管道22上连通有上述的粉尘收集装置100。

冷凝器(Cold Trap)50，与所述真空泵机30连通；具体为冷凝器50通过排出管道40与真空泵机30相连通。

废气排放装置(Scrubber)70，通过排废管道60与所述冷凝器50连通。

本发明实施例提供的粉尘收集装置100及抽真空系统，通过在传统抽真空系统的冗余管道22上连通粉尘收集装置100，则真空泵机30启动后产生的负压通过抽气管道将机台10上的粉尘通过抽气管道20吸出，粉尘由于重力作用下沉进入到粉尘收集装置100，通过粉尘收集装置100的粉尘收集罐体110的开口进入的粉尘气流进入粉尘处理室，进入粉尘处理室内的粉尘气流将粉尘颗粒通过阻流板140滑落至过滤器150上，将较大尺寸的粉尘颗粒收集在粉尘处理室，较小尺寸的粉尘颗粒在负压气流的作用下从过滤器150渗透收集在粉尘收集室内，此时真空泵机30的负压吸力通过盲管23和冗余管道22对粉尘收集装置100进行吸气时，位于粉尘收集室内的较小尺寸的粉尘颗粒被过滤器150吸附很难反向流入粉尘处理室内，当有较小部分较小尺寸的粉尘颗粒流向粉尘处理室时，位于粉尘处理室内的较小尺寸和较大尺寸的粉尘颗粒被阻流板140阻挡而留存在粉尘处理室及粉尘收集室内，无法从粉尘收集罐体110的开口经冗余管道22和盲管23反向流入到真空泵机30内，从而不会对真空泵机30造成堵塞造成卡顿等故障，也不会通过真空泵机30对机台10产生粉尘倒灌的危害。也就说是，粉尘收集装置100具有防止真空泵机30的回抽功能，有效降低由于真空泵机30回抽造成失效风险，确保机台10的正常运行。

本发明实施例提供的粉尘收集装置100及抽真空系统，由于增加了粉尘收集装置100，则从机台10吸出的粉尘颗粒被粉尘收集装置100回收，不会留存在冗余管道22及盲管23的管壁上，因此，无需对冗余管道22和盲管23进行直接清理，通过将冗余管道22上的粉尘收集装置100拆除，在指定位置打开舱盖120将粉尘收集罐体110的粉尘收集室内的粉尘颗粒倾倒即可实现对冗余管道22及盲管23的间接清理，从而避免了对冗余管道22和盲管23的反复拆装通过清洁工具清理的工序。与传统清理方式相比，具有粉尘清理方便、清理效率高、清理难度低、清理成本低的优点，减少了粉尘清理时间和工作量，以及不会造成环境污染，避免了对洁净室的洁净度的影响，克服了管壁清理不干净增加了真空泵停机重启之后出现宕机的概率。通过更换新旧粉尘收集装置100，能够提高了抽真空系统的利用率，无需等待清理完毕之后经检测是否合格之后再恢复抽真空系统的使用的情形。

本发明实施例提供的粉尘收集装置100及抽真空系统，避免了扬尘被回抽的风险，无需拆装整个堵口抽气管道20即可对堵口处进行清理，使得清理更加便捷省力，节约管道清理的时间，减小了清理工作难度和工作量，清管次数大大减少，同时减小了触发环境报警的可能。通过粉尘收集装置100能够更好地收集管路中的粉尘颗粒等沉积物，保证粉尘掉落至装置内重新被吸出结构的安全性，可有效降低由于干泵回抽造成干泵失效的风险。

上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于本发明权利要求书的保护范围。

Claims (10)

1.一种粉尘收集装置，其特征在于，包括：

粉尘收集罐体，所述粉尘收集罐体的上端具有能够装配在抽真空系统的冗余管道上的开口，所述开口与所述冗余管道相连通，所述粉尘收集罐体的下端未封闭或者未完全封闭；

阻流板，为拱起结构，靠近所述开口设置在所述粉尘收集罐体的内部，所述阻流板的边缘与所述粉尘收集罐体的内壁之间留有间隙；

过滤器，位于所述阻流板的下方设置在所述粉尘收集罐体的内部，所述过滤器将所述粉尘收集罐体分隔为粉尘处理室和粉尘收集室，位于所述过滤器以上的部分为粉尘处理室，位于所述过滤器以下的部分为所述粉尘收集室；

舱盖，可拆卸连接在所述粉尘收集罐体的下端。

2.如权利要求1所述的粉尘收集装置，其特征在于，所述开口上设置有用于将所述粉尘收集罐体装配在抽真空系统的冗余管道上的锁紧装置。

3.如权利要求2所述的粉尘收集装置，其特征在于，所述锁紧装置为抱箍。

4.如权利要求1所述的粉尘收集装置，其特征在于，所述拱起结构的顶端位于所述开口的中心线上。

5.如权利要求1所述的粉尘收集装置，其特征在于，所述阻流板可拆卸设置在所述粉尘收集罐体的内部。

6.如权利要求1所述的粉尘收集装置，其特征在于，所述过滤器为海帕过滤器或者为网孔结构。

7.如权利要求1所述的粉尘收集装置，其特征在于，所述舱盖与所述粉尘收集罐体铰接或者卡扣连接。

8.一种抽真空系统，其特征在于，包括：

机台；

真空泵机；

抽气管道，包括与所述机台连通的主管道，所述主管道至少连通两路支管道，其中一路支管道为盲管，另一支管道为冗余管道，所述盲管与所述真空泵机连通，所述冗余管道为竖直设置，所述冗余管道上连通有如权利要求1-7中任一项所述的粉尘收集装置。

9.如权利要求8所述的抽真空系统，其特征在于，还包括：

冷凝器，与所述真空泵机连通；

废气排放装置，通过排废管道与所述冷凝器连通。

10.如权利要求8所述的抽真空系统，其特征在于，所述真空泵机为干式真空泵。

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