KR20040056012A - 액정표시장치용 유리기판 정렬장치 및 이를 이용한 정렬방법 - Google Patents

액정표시장치용 유리기판 정렬장치 및 이를 이용한 정렬방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 화상 카메라를 이용하여 정확하고 신속한 정렬이 가능하도록 구성된 액정표시장치용 유리기판 정렬장치 및 이를 이용한 정렬방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 프레임과, 상기 프레임에 설치되어 유리기판의 정렬과 취출 및 운반작업을 수행하도록 상하ㆍ좌우이동이 가능하게 구성된 로봇 암과, 상기 프레임에 설치되어 상기 유리기판을 평면촬영하는 화상 카메라와, 상기 화상 카메라가 평면촬영한 영상을 수신하여 유리기판의 정렬과 이동을 위한 좌표 및 회전각 계산을 수행하는 정렬 시스템 제어기와, 상기 정렬 시스템 제어기가 계산한 좌표를 수신하여 상기 로봇 암의 동작을 제어하는 로봇 제어기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 유리기판 정렬장치 및 이를 이용한 정렬방법을 제공한다.

Description

액정표시장치용 유리기판 정렬장치 및 이를 이용한 정렬방법{Glass Aligning system and Aligning Method using the same in Liquid Crystal Device}
본 발명은 액정표시장치용 유리기판 정렬장치 및 이를 이용한 정렬방법에 관한 것으로, 특히 화상 카메라를 이용하여 정확하고 신속한 정렬이 가능하도록 구성된 액정표시장치용 유리기판 정렬장치 및 이를 이용한 정렬방법에 관한 것이다.
평판 표시장치(Flat Panel Display) 중에서 a-Si 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device)는 노트북 컴퓨터 응용을 시작으로 모니터(Monitor) 등 다른 응용 분야로 그 비중이 점차 증대되고 있다. 이러한 액정표시장치 산업의 발전과 그 응용의 보편화는 크기의 증가와 해상도 증가에 의해 가속되었으며, 현재는 생산성 증대와 저가격화가 관건으로, 이를 위한 시도는 제조 공정의 단순화와 수율 향상의 관점에서 제조 업체는 물론, 관련 재료 산업과 제조 장비 업체의 공동의 노력이 요구하고 있다. 액정표시장치의 제조공정은 픽셀(Pixel) 단위의 신호를 인가하는 스위칭(Switching) 소자들을 형성하는 TFT 어레이(Array) 공정과 색상을 구현하기 위한 컬러(Color) R,G,B 어레이(Array)를 형성하는 컬러 필터(Color Filter) 공정, TFT 기판과 컬러 필터(Color Filter) 기판 사이에서 액정 셀(Cell)을 형성하는 액정 공정으로 나눌 수 있다.
이와 같은 액정표시장치 제조공정은 상기한 각 공정을 거치기 위해 로봇 암(Robot Arm)에 의해 유리기판이 각각의 공정에 사용되는 제조 장비로 순차적 또는 그룹 형태로 반송 또는 이송된다.
또한, 제조공정상 일부의 제조장치의 고장 또는 수리를 위해 모든 제조 공정라인(Line)을 중지시킬 수 없으므로, 상기 제조장치에 상기 유리기판을 일시 저장할 수 있는 카세트(Cassette)를 사용한다.
따라서, 상기한 각 제조 공정으로 기판을 운반하기 위한 작업은 로봇 암을 사용하여 상기 카세트로 부터 유리기판을 취출하여 수행된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬장치 및 이를 이용한 정렬방법을 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래 기술에 따른 액정표시장치용 유리기판의 취출 및 Y축 센서에 의한 정렬 작업을 수행하는 모습을 나타내는 평면도이다.
종래 기술에 따른 액정표시장치용 유리기판의 취출 및 Y축 센서에 의한 정렬작업은, 도 1에 도시된 바와 같이, 로봇 암(1)과 상기 로봇 암(1)의 상부에 다수 설치된 제 1 Y축 센서(Sensor)(2) 및 제 2 Y축 센서(3)에 의해 수행되어 진다.
상기와 같은 제 1 Y축 센서(Sensor)(2) 및 제 2 Y축 센서(3)에 의한 유리기판(5)의 정렬 방법에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
우선, 상기 로봇 암(1)은 유리기판(5)의 하부를 지지하여 취출작업을 수행하게 되는데, 이러한 상기 유리기판(5)의 취출을 위한 이동중 로봇 암(1)의 좌측에설치된 제 1 Y축 센서(2)가 A점에서 작동하여 작동위치가 검출되고, 로봇 암(1)의 계속적인 이동에 의해 로봇 암(1)의 우측에 설치된 제 2 Y축 센서(3)가 B점에서 작동하여 작동위치를 검출하게 된다. 상기 각 Y축센서(2, 3)에 의해 검출된 위치로 부터 시스템 제어기(미도시)가 검출 거리의 차이와 로봇 암(1)이 도 1에 도시된 점선모양이 되기위해 필요한 이동 각도를 계산한다. 상기 계산이 끝나면 로봇 암(1)은 다시 처음 출발 위치로 복귀한 뒤에, 도 1의 점선 모양과 같이 필요한 각도 만큼 회전하고, 그 상태에서 앞으로 진행하여 유리기판(5)을 하부에서 지지한 뒤, 진공 패드(미도시)에 의해 상기 유리기판(5)을 상부에 부착하여 취출작업을 수행한다. 상기 진공 패드는 진공 장치(미도시)와 연결되어 진공에 의해 상기 유리기판(5)을 로봇 암(1)에 진공 흡착되도록 한다. 이와 같은, 상기 로봇 암(1)에 의한 유리기판(5)의 취출작업이 진행된 후에는 상기 회전 방향과 반대 방향으로 동일한 각도 만큼 회전함으로써 로봇 암(1)과 유리기판(5) 사이의 직교성을 만족시키는 제1, 제 2 Y축 센서(2, 3)에 의한 정렬작업이 완료된다.
상기와 같은 유리기판(5)의 취출 및 제1, 제 2 Y축 센서(2, 3)에 의한 정렬이 이루어진 뒤, 수납 전 작업위치까지는 유리기판(5)의 중심축(8)과 로봇 암(1)의 중심축(9)의 오차(10)를 보정하기 위하여 외부 프레임(미도시)에 설치된 X축 센서(7)에 의해 그 중심축 오차(10)를 보정하게 된다. 상기 중심축 오차(10) 보정방법에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 종래 기술에 따른 유리기판의 중심축과 로봇 암의 중심축을 보정하는 방법을 나타내는 평면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 중심축(8, 9)을 보정하는 방법은 X축 센서(7)에 의해 원래의 두 중심 축(8, 9)이 일치할때의 값 X와 실제 로봇 암(1)위에 놓여진 유리기판(5)의 위치값인 X´을 검출한다. 상기 검출된 X 값과 X´값에 의해 유리기판(5)과 로봇 암(1)의 중심축 오차(10)를 계산하고, 로봇 암(1)이 초기 셋업(Set-up)시 설정된 작업위치(유리기판(5)과 로봇 암(1)의 중심축(8, 9)을 일치시킨 후 설정한 작업위치)로 이동시 상기 X축 센서(7)에 의해 구해진 중심축 오차(10)를 감안하여 실제 작업할 위치로 이동하는 것이다. 즉, 로봇 암(1)은 검출된 중심축 오차(10) 만큼 좌측 또는 우측으로 이동하여 작업위치로 이동하게 된다. 상기와 같은 방법으로 유리기판(5)이 작업위치로 이동하게 되면 결국 X축 센서(7) 및 제 1, 제 2 Y축 센서(2 ,3)에 의해 구해진 오차가 보정되어 수납된 유리기판(5)의 중심축(8) 및 위치는 초기 셋업(Set-Up)시 설정한 작업위치와 일치하게 된다.
도 3은 종래 기술에 따른 유리기판의 중심축과 로봇 암의 중심축에 대한 보정이 이루어진 뒤에 수납작업이 이루어진 모습을 나타내는 평면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 각 중심축(8, 9)에 대한 중심축 오차(10)만큼 로봇 암의 중심축(9)이 최초 설정된 지점보다 좌측으로 편향되어 있음을 알 수 있다. 이러한 로봇 암의 중심축(9)이 좌측으로 편향된 만큼 유리기판(5)의 중심축(8)도 좌측으로 편향되어 결국 유리기판(5)의 중심축(8)은 초기 셋업시 설정한 작업위치와 일치되어 카세트(4)에 수납되어 지게 되는 것이다.
그러나, 상기와 같은 X축 및 Y축센서를 이용한 종래 기술에 의한 유리기판 정렬방법은 다음과 같은 문제점이 있다.
첫째, 유리기판 정렬을 위한 위치의 검출은 X축 센서와 Y축 센서에 의해 각각 이루어짐으로 인해 상기 센서에 의한 측정을 위해서는 각 센서가 위치한 장소로의 이동이 불가피하고 이로 인한 불필요한 작업시간 낭비를 초래한다.
둘째, 유리기판 정렬시 위치 검출은 센서에 의해 이루어짐으로 유리기판의 정확한 정렬을 위해서는 센서의 작동상태에 절대적으로 의존한다. 하지만, 센서의 측정범위는 일정한 한계가 있으며, 상기와 같은 여러개의 센서중 하나라도 이상이 있을시에는 정확한 유리기판의 정렬을 수행하기 곤란 해진다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 짧은 시간에 유리기판의 정확한 정렬을 가능하게 하여 불필요한 작업시간의 낭비를 줄이고, 상하 위치에 대한 보정도 가능한 액정표시장치용 유리기판 정렬장치 및 이를 이용한 정렬방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 액정표시장치용 유리기판의 취출 및 Y축 센서에 의한 정렬 작업을 수행하는 모습을 나타내는 평면도이다.
도 2는 종래 기술에 따른 유리기판의 중심축과 로봇 암의 중심축을 보정하는 방법을 나타내는 평면도이다.
도 3은 종래 기술에 따른 유리기판의 중심축과 로봇 암의 중심축에 대한 보정이 이루어진 뒤에 수납작업이 이루어진 모습을 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬장치의 구조를 개략적으로 나타낸 구조 단면도이다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬방법의 제 1실시예를 나타내는 평면도이다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬방법의 제 2실시예를 나타내는 평면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬 방법의 제 3실시예를 나타내는 평면도이다.
도면의 주요부분에 대한 설명
10 : 프레임 11 : 로봇 암
12 : 화상 카메라 13 : 정렬 시스템 제어기
14 : 로봇 제어기 15 : 화상 변환 카드
16 : 직렬 포트 25 : 유리기판
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 프레임과, 상기 프레임에 설치되어 유리기판의 정렬과 취출 및 운반작업을 수행하도록 상하ㆍ좌우이동이 가능하게 구성된 로봇 암과, 상기 프레임에 설치되어 상기 유리기판을 평면촬영하는 화상 카메라와, 상기 화상 카메라가 평면촬영한 영상을 수신하여 유리기판의 정렬과 이동을 위한 좌표 및 회전각 계산을 수행하는 정렬 시스템 제어기와, 상기 정렬 시스템 제어기가 계산한 좌표를 수신하여 상기 로봇 암의 동작을 제어하는 로봇 제어기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 유리기판 정렬장치를제공한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 로봇 암에 의해 카세트로 부터 취출된 유리기판을 평면촬영하는 단계와, 상기 평면촬영된 영상으로 부터 유리기판의 현재 좌표와 정렬 좌표를 계산하고, 상기 정렬 좌표를 기준으로 유리기판과 작업위치 사이에 직진성을 보정하는 단계와, 상기 보정된 좌표와 정렬 좌표의 차이를 계산하여 그 차이만큼 로봇 암을 이동하여 유리기판을 정렬하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치용 유리기판 정렬 방법을 제공한다.
이하, 상기와 같은 특징들을 갖는 본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬 장치 및 이를 이용한 정렬 방법의 바람직한 실시례를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬장치의 구조를 개략적으로 나타낸 구조 단면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬장치는 어떤 형태의 로봇 암(11)이라도 위치에 구애 받지 않도록 형성된 프레임(Frame)(10)을 가지고, 상기 프레임(10)에는 유리기판(25)의 현재 모양을 실시간으로 평면 촬영할 수있는 화상 카메라(12)가 설치되어 진다. 상기 화상 카메라(12)는 카세트(미도시)에서 취출되어 로봇 암(11)의 상부에 설치된 진공 패드(미도시)에 의해 흡착되어 있는 유리기판(25)을 실시간으로 평면 촬영하게 된다.
상기와 같은 화상 카메라(12)는 가격과 성능등을 고려 할때 CCD(Charge Coupled Device : 이하 CCD라고 함) 카메라를 사용함이 바람직 하다.
또한, 상기 화상 카메라(12)에는 평면촬영한 영상을 실제 처리시 처리가 가능하도록 디지털 데이터(Digital Data)로 바꾸는 역할을 하는 화상 변환 카드(Graphical grabber card)(15)를 내부에 가지고 상기 화상 변환 카드(15)에 의해 변환된 영상 데이터를 유리기판(25) 정렬을 위한 알고리즘(Algorithm)을 적용하여 위치, 각도 오차등을 계산하는 정렬 시스템 제어기(Align System Controller)(13)가 연결되어 있다.
그리고, 상기 정렬 시스템 제어기(13)에는 정렬 시스템 제어기(13)에 의해 계산된 좌표, 회전각등의 값을 수신하여, 상기 유리기판(25)의 정렬과 운반 작업을 수행하는 로봇 암(11)의 동작을 제어하는 로봇 제어기(Robot Controller)(14)가 연결되어 있다.
상기와 같은 정렬 시스템 제어기(13)와 로봇 제어기(14)는 정보 교환을 위한 연결을 위해 rs232C나 rs422 규격에 따른 직렬 포트(serial port)(16)를 구비한다.
이와 같은 액정표시장치용 유리기판 정렬 장치를 사용할 경우 각 공정단계별로 화상 카메라(12)에 의한 평면촬영이 이루어지고, 또 이러한 데이터를 전체 장비 제어기(미도시)로 보냄으로써 각 공정단계별 정렬을 위한 보정 값등의 통계량 및 어떤 공정단계에서 오차 값이 큰지도 알 수있어 적절한 공정관리를 위해 필요한 정보의 추정도 가능하게 된다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬방법의 제 1실시예를 나타내는 평면도이다.
본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬방법의 제 1실시예는, 도 5a및 도 5b에 도시된 바와 같이, 우선 로봇 암(11)은 카세트(미도시)로 부터 유리기판(25)을 취출한 후 그 다음 작업 명령을 기다리는 장소에서 대기하게 되고, 로봇 제어기(14)는 정렬 시스템 제어기(13)로 정렬 작업 명령을 지시한다. 이때, 화상 카메라(12)는 유리기판(25)을 평면 촬영하여 그 영상을 정렬 시스템 제어기(13)로 송신하고, 상기 영상을 수신한 정렬 시스템 제어기(13)는 내부에 장착된 화상 변환 카드(15)를 통하여 상기 영상을 디지털 데이터로 변환하고 그 변환된 데이터를 이용하여 유리기판(25)의 실제 좌표인 (X1, Y1)을 계산한 뒤에 도 5c에 도시된 바와 같이, 정렬 기준 좌표인 (X0, Y0)를 기준으로 하여 유리기판(25)과 작업위치사이의 직진성을 보정한다.
다음으로, 도 5d에 도시된 바와 같이, 보정 되어진 새로운 좌표(X2, Y2)와 기준 좌표인 (X0, Y0)사이의 차이를 계산하여 이동량을 구하고 목적지로 이동하여 수납 작업을 함으로써 유리기판(25) 정렬이 완료된다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬방법의 제 2실시예를 나타내는 평면도이다.
우선, 도 6a에 도시된 바와 같이, 유리기판(25)을 카세트(미도시)로 부터 로봇 암(11)을 이용하여 취출하고 이 상태의 유리기판(25)을 화상 카메라(12)로 평면촬영하여 그 영상을 읽어온다. 이에 대한 설명은 상기 제 1실시예에서 자세히 다룬 내용이므로 이하 생략한다. 다음으로, 상기 읽어드린 영상으로 부터 유리기판(25)의 사이즈(size)(가로, 세로의 폭)와 실제 좌표(X1, Y1)과(X2, Y2)를 구하고, 내부적으로 동일한 원점 0를 가지고 유리기판(25)의 직진성을 만족시키기 위한 정렬 좌표(X1′, Y1′)과(X2′, Y2′)를 계산한 후, 상기 얻은 두 좌표정보로 부터 로봇 암(11)상의 유리기판(25)의 상태가 도 6b에 도시된 상태와 같이 되도록 회전각(30)을 계산하여 상기 계산된 회전각(30) 만큼 로봇 암(11)을 회전하여 유리기판(25)과 작업 위치사이의 직진성을 보정한다.
상기 회전각(30)은 다음과 같은 회전 축 원리에 의해 계산된다.
상기와 같은 유리기판(25)의 수직성 보정후에 도 6c에 도시된 바와 같이, 초기 셋업시 기준으로 잡았던 좌표의 원점 0′과 상기 수직성 보정시 계산을 위해 사용된 좌표의 원점 0를 비교하여, 유리기판(25)의 원점위치가 0에서 0′으로 이동되도록 로봇 암(11)을 작동시킨다.
도 7은 본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬 방법의 제 3실시예를 나타내는 평면도이다.
본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬방법의 제 3실시예는 상기한 제 1실시예 또는 제 2실시예에 의한 유리기판(25)과 작업 위치사이의 직진성 보정전 또는 보정후에 유리기판(25)의 상하 높이 보정이 추가로 이루어 짐에 특징이 있다. 이는 도 7에 도시된 바와 같이, 현재 유리기판(25)의 사이즈(26)와 초기 설정시 기준(정렬좌표)으로 잡았던 유리기판(25)의 사이즈(27)를 비교하여 비례식에 의해 차이나는 높이을 구함으로써 이루어 진다.
이에 대해 좀 더 상세히 설명하면, 우선 h(29)는 초기 설정시 기준으로 잡은화상 카메라(12)에서 유리기판(25) 까지의 거리이고, h´(28)은 화상 카메라(12)에서 현재 실제 동작중인 유리기판(25) 까지의 거리이다. 그리고, x(27)는 초기 설정시 기준으로 잡은 유리기판의 사이즈(27)이고, x´(26)은 화상 카메라(12)로 평면촬영된 화상으로 부터 계산된 현재 실제 동작중인 유리기판의 사이즈(26)이다.
따라서, 상기 높이 차의 계산은 다음과 같은 비례식에 의해 계산된다.
h : h´= x : x´ h´= (x´/x)*h
∴ 높이 오차 = h´- h
상기와 같은 높이 차가 계산되면, 로봇 암(11)을 높이 차이 만큼 상하이동 시켜 유리기판(25)의 상하 보정이 이루어진다.
상기한 높이 오차는 로봇 암(11)의 동작특성 또는 하드웨어(hardware)적인 특성 변화로 인한 양으로, 상기와 같은 방법으로 보정이 이루어지게 된다.
또한, 상기 본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬방법의 각 실시례에서 사용되는 화상 카메라는 CCD 카메라를 사용함이 바람직함은 이미 설명한 바와 같다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 액정표시장치용 유리기판 정렬장치 및 이를 이용한 정렬방법에 있어서는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 실시간 평면촬영이 가능한 화상 카메라에 의한 위치정렬이 이루어져 정확한 유리기판 정렬이 가능하므로, 유리기판의 위치오차에 따른 유리기판 충돌과 그에 따른 파손을 줄일 수 있다.
둘째, 유리기판이 취출된 상태에서 각 정렬을 위한 단계로의 별도의 이동없이 동일 위치에서 유리기판의 정렬을 위한 작업이 이루어 지므로 짧은 시간에 정확한 유리기판의 정렬이 이루어져 작업시간을 단축할 수 있다.
셋째, 로봇 암의 동작특성을 수집된 자료로부터 분석하여 그 동작 패턴을 구함으로써 미래의 사고를 예측 또는 방지할 수 있고, 카세트 별 또는 각 공정별 유리기판 위치오차에 대한 통계를 구할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (8)

  1. 프레임;
    상기 프레임에 설치되어 유리기판의 정렬과 취출 및 운반작업을 수행하도록 상하ㆍ좌우이동이 가능하게 구성된 로봇 암;
    상기 프레임에 설치되어 상기 유리기판을 평면촬영하는 화상 카메라;
    상기 화상 카메라가 평면촬영한 영상을 수신하여 유리기판의 정렬과 이동을 위한 좌표 및 회전각 계산을 수행하는 정렬 시스템 제어기;
    상기 정렬 시스템 제어기가 계산한 좌표를 수신하여 상기 로봇 암의 동작을 제어하는 로봇 제어기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 유리기판 정렬장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 화상카메라는 CCD 카메라를 사용함을 특징으로 하는 액정표시장치용 유리기판 정렬 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 정렬 시스템 제어기는 상기 화상 카메라가 평면촬영한 영상을 디지털 데이터로 바꾸는 화상 처리 카드를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 유리기판 정렬장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 정렬 시스템 제어기와 상기 로봇 제어기는 정보교환을 위한 연결을 위해 rs232C 나 rs422 규격에 따르는 직렬 포트를 구비함을 특징으로 하는 액정표시장치용 유리기판 정렬장치.
  5. 로봇 암에 의해 카세트로 부터 취출된 유리기판을 평면촬영하는 단계;
    상기 평면촬영된 영상으로 부터 유리기판의 현재 좌표와 정렬 좌표를 계산하고, 상기 정렬 좌표를 기준으로 상기 유리기판과 작업위치 사이에 직진성을 보정하는 단계;
    상기 보정된 좌표와 정렬 좌표의 차이를 계산하여 그 차이만큼 로봇 암을 이동하여 유리기판을 정렬하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치용 유리기판 정렬 방법.
  6. 로봇 암에 의해 카세트로 부터 취출된 유리기판을 평면촬영하는 단계;
    상기 평면촬영된 영상으로 부터 유리기판의 현재 좌표와 정렬 좌표를 계산하고, 상기 계산된 좌표로 부터 유리기판의 정렬을 위한 회전각을 계산하는 단계;
    상기 계산된 회전각에 따라 로봇 암을 회전시켜 유리기판을 정렬하는 단계; 그리고,
    상기 유리기판의 좌표 및 회전각 계산단계에서 기준으로 잡은 원점 좌표와최초 설정된 원점좌표와의 차이를 계산하고, 상기 계산된 차이만큼 로봇 암을 이동시켜 유리기판을 정렬하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치용 유리기판 정렬 방법.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 평면촬영에 의해 계산된 현재 유리기판의 크기와 정렬위치에서 계산된 유리기판의 크기를 비교하여 높이 차이를 계산하는 단계; 그리고,
    상기 계산된 높이 차이 만큼 로봇 암을 상하 이동시켜 유리 기판을 정렬시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 유리기판 정렬 방법.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 평면촬영에 의해 계산된 현재 유리기판의 크기와 정렬위치에서 계산된 유리기판의 크기를 비교하여 높이 차이를 계산하는 단계; 그리고,
    상기 계산된 높이 차이 만큼 로봇 암을 상하 이동시켜 유리 기판을 정렬시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 유리기판 정렬 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100772843B1 (ko) * 2006-02-13 2007-11-02 삼성전자주식회사 웨이퍼 얼라인 장치 및 방법
WO2020186568A1 (zh) * 2019-03-21 2020-09-24 深圳市华星光电技术有限公司 配向紫外线照射机
CN112348895A (zh) * 2020-11-18 2021-02-09 深圳创维－Rgb电子有限公司 液晶平板贴合的控制方法、控制设备及介质

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