KR20040050729A - 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판과 접촉을 통한 헤드의 마모 발생을 최대한 억제하는 효율적이고 안정적인 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치를 제공하기 위한 것으로서, 몸체를 이루고 수직으로 세워진 프레임과, 상기 프레임의 상부에 구비되어 이송된 기판과 접촉하여 위치를 정렬시키며 상기 기판과 접촉하는 면이 회전하면서 변화하는 롤러 헤드와, 상기 롤러 헤드를 상하측에 각각 구비된 아암의 사이로 지지하고 프레임에 고정되어 있는 헤드 브래킷과, 상기 프레임을 전,후진 시키는 프레임 이동수단과, 상기 프레임의 전,후진을 안내하는 가이드를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치를 제공한다.

Description

액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치{Substrate Aligning Apparatus for a Manufacturing Process of Liquid Crystal Display Device}

본 발명은 액정표시소자의 제조공정에 있어서, 각 공정 단계로 기판을 이송하는 과정에서 발생하는 기판 위치의 비틀림을 얼라인시키는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치에 관한 것이다.

최근 들어 액정표시장치(Liquid Crystal Display ; 이하 "LCD"라 함)는 경량, 박형, 저소비 전력구동 등의 특징과 함께 액정 재료의 개량 및 미세화소 가공기술의 개발에 의해 화질이 가속도적으로 개선되고 있으며, 또한 그 응용범위가 점차 넓어지고 있는 추세이다.

일반적으로 액정표시장치 모듈(Liquid Crystal Module, 이하 "LCM"이라 함)은 상하 유리기판 사이에 액정이 주입된 액정표시패널과, 상기 액정표시패널의 상하면에 빛을 편광시키기 위한 편광판과, 상기 액정표시패널에 일정한 빛을 공급하기 위한 광원 및 도광판을 구비한 백라이트로 구성되어 외부에서 입력되는 영상신호를 디스플레이하는 장치이며 상기 LCM을 구동시키는 구동부 및 시스템 케이스 등을 포함한 장치가 바로 액정표시장치이다. 또한, 상기 액정표시패널을 액정표시소자라고도 한다.

상기 LCM을 구성하는 핵심 부품인 액정표시패널은 앞서 설명한 바와 같이 상하 유리기판을 베이스로 하므로 액정표시패널의 제조공정시 각 공정단계로 상기 유리기판을 이동시키는 기판 이송장치의 개발이 수행되어 왔으며, 또한 기판의 이송시 진동이나 기타 이송장치의 오작동 등에 의하여 기판의 위치가 비틀리는 경우에 공정진행단계롤 돌입하기 전에 기판의 위치를 얼라인(Align)시켜 주어야 한다. 만일, 기판의 위치가 얼라인되지 않은 채로 공정단계로 진입하면 기판의 파손이나 정확한 공정수행이 이루어지지 않게 되어 제품 불량이 발생한다.

일반적으로 얼라인 허용오차는 상하/좌우로 각각 0.5mm로서 정위치로부터 0.5mm이상 벗어나는 경우 불량발생률이 증가하게 된다.

액정표시패널의 제조과정은 기판의 이송과정과 공정과정으로 나누어질 수 있으며, 상기 얼라인 작업은 기판의 이송과정 중에 수행된다 .

기판의 이송과정 중에 얼라인이 이루어져야 하며, 합착공정, 가열 프레스 공정, 냉각 공정, 세정 공정 단계와 같이 액정표시패널을 제조하기 위한 거의 전공정으로의 진입 전에 상기 얼라인 작업이 반드시 이루어져야 한다.

도 1은 종래의 기판 이송과정 중에 얼라인이 수행되는 구조를 나타내는 도면이다.

도 1에서 보는 바와 같이, 이송과정 중 기판(10)의 위치가 정위치(10a)를 벗어난 경우 기판(10)의 각 면에 배치된 얼라인 장치들의 구동에 의하여 얼라인이 수행된다.

보다 자세히 설명하면, 도 1에서 이송된 기판(10)은 정위치(10a)를 벗어나 있으며 기판의 바람직한 정위치(10a)는 도 1에서 점선 부분이다. 상기 기판(10)을 정위치(10a)로 얼라인 하기 위하여 기판(10)의 각 면에는 1개 이상의 얼라인 장치(20)가 배치되어 있으며, 얼라인 단계를 순서대로 설명하면 다음과 같다.

먼저, 기판(10)의 상면과 우측면에 위치한 얼라인 장치(20)가 화살표 방향으로 전진하면서 정위치(10a)에 맞도록 얼라인 한 후 정위치(10a)의 선상에 고정된 상태로 정지한다. 이후, 기판(10)의 하면과 좌측면에 위치한 얼라인 장치(20)가 전진하면서 기판(10)을 밀어 정위치(10a)에 얼라인 시킴으로써 기판(10)의 얼라인 과정을 수행하게 된다.

상기와 같은 얼라인 과정은 상기의 구조에 한정되지 않으며 얼라인 장치(20)의 수와 얼라인 순서는 각 기판(10)의 이송공정과 주변 구조물의 배치 구조에 따라 달라질 수 있다.

상기 얼라인 장치(20)의 얼라인 방법에 대하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 종래 기술의 기판 얼라인 장치로써 얼라인을 수행하는 방법에 관한 도면이다.

도 2에서 보는 바와 같이, 기판 얼라인 장치(20)는 기판(10)을 얼라인시키기 위하여 이송되어온 기판(10)을 헤드(22)와 접촉하여 밀어주는 방식으로 작동한다. 즉, 상기 얼라인 장치(20)는 실린더 등의 이동수단에 의하여 가이드(24)를 따라서 전진 및 후진을 수행하면서 기판(10)의 얼라인을 수행한다.

상기 얼라인 장치(20)는 도시된 바와 같이 "A" 부분에서 기판(10)과 헤드(22)를 접촉시킴과 동시에 기판(10)을 정위치로 이동시킨다.

도 3은 종래 기술에 의한 얼라인 장치(20)로서, 상기 얼라인 장치(20)는 몸체를 이루는 프레임(21)에 직사각형 형태의 헤드(22)가 장착되고, 상기 프레임(21)의 하부에는 직진성을 보장하기 위한 안내 가이드(24)가 설치되어 있으며, 상기 가이드(24)를 따라 이동 수단(25)에 의하여 직진 및 후진을 수행한다. 여기서, 상기 헤드(22)는 상기 프레임(21)에 볼트(23) 등을 사용하여 고정되어 있다.

종래 기술에 의한 기판 얼라인 장치(20)는 상기 헤드(22)의 재료로서PEEK(PolyEther Ether Ketone)를 사용하였다.

상기 PEEK는 플라스틱 유화제품으로서 내화학성, 내열성, 윤활특성, 전기적 절연성, 생산성 등이 우수하여 헤드(22)의 재료로 널리 사용되었다.

그러나, 전술한 바와 같은 종래 기술의 기판 얼라인 장치는 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 얼라인 작업시 기판과 헤드 간의 마찰이 헤드의 한 점에 지속적으로 발생하여 헤드의 마모가 발생함으로써 정확한 얼라인이 이루어지지 않아 다음 공정의 진행시 기판의 파손 및 얼라인 부정확으로 인한 제품의 불량이 발생하였다.

둘째, 헤드의 일부분에 지속적인 마찰이 가해져 마모가 발생하여 상기 헤드를 이루는 물질로부터 떨어져 나온 입자들이 기판의 표면에 유입되어 제품의 불량을 유발하였다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 헤드의 구조적인 변경을 통하여 기판과 접촉을 통한 마모 발생을 최대한 억제하는 효율적이고 안정적인 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 기판 주위의 얼라인 장치의 배치도.

도 2는 종래 기술에 의한 기판과 얼라인 장치 간의 접촉 구조도.

도 3은 종래 기술에 의한 기판 얼라인 장치의 도면.

도 4는 본 발명에 의한 기판 얼라인 장치의 도면.

도 5는 본 발명에 의한 롤러 헤드의 분해도.

도 6은 본 발명에 의한 기판 얼라인 장치의 상세도.

도 7은 본 발명에 의한 제 2 볼트부의 확대도.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

21 : 프레임 30 : 헤드 브래킷

33 : 롤러 헤드 24 : 가이드

25 : 프레임 이동수단

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치는 몸체를 이루고 수직으로 세워진 프레임과, 상기 프레임의 상부에 구비되어 이송된 기판과 접촉하여 위치를 정렬시키며 상기 기판과 접촉하는 면이 회전하면서 변화하는 롤러 헤드와, 상기 롤러 헤드를 상하측에 각각 구비된 아암의 사이로 지지하고 프레임에 고정되어 있는 헤드 브래킷과, 상기 프레임을 전,후진 시키는 프레임 이동수단과, 상기 프레임의 전,후진을 안내하는 가이드를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명에 따른 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치의 개략적인 구성도이다.

도 4에서 보는 바와 같이, 몸통을 이루는 프레임(21)은 수직으로 세워진 형상이며 하부에서 안내 가이드(24)에 의하여 좌우 방향으로 구속되어 있어서 직진성이 보장되어 있다. 또한, 상기 프레임(21)의 상부에는 프레임(21)의 한쪽면에 볼트 등에 의하여 헤드 브래킷(30)이 고정되어 있다.

상기 헤드 브래킷(30)은 롤러 헤드(33)를 지지하기 위한 것으로 도 4와 같은 형상으로 구비될도 수 있으나 이에 한정하지 않으며, 상기 헤드 브래킷(30)의 상하부 아암(30a, 30b)에 각각 롤러 헤드(33)를 지지할 수만 있다면 기타 상부 아암(30a)과 하부 아암(30b)이 분리된 형상으로 구성되는 방식 등으로 장착될 수 있음은 본 발명의 상세한 설명과 도면을 참조하여 알 수 있을 것이다.

상기 프레임(21)이나 헤드 브래킷(30)은 그 용도가 기판 얼라인 장치에 사용되는 만큼 탄성이 작고 변형률이 거의 없는 재료를 사용하여 구성되어야 할 것이다. 따라서, 일반적으로 금속 계통의 재료를 사용하지만 강도가 높고 안정적인 플라스틱 계통의 재료를 사용하여 구성할 수도 있을 것이다.

상기 롤러 헤드(33)는 그 용어의 표현대로 롤러의 형상을 이루는 헤드이며, 도 4에 도시된 바와 같이 헤드 브래킷(33)에 체결되어 있다.

상기 프레임(21)의 하부에는 레일 형상의 안내 가이드(24)가 설치되어 있으며, 상기 안내 가이드(24)로는 LM(Linear Motor) 가이드를 사용할 것을 제시한다. 그러나, 이에 한정하지 아니하며 부드러운 운동과 직진성을 보장할 수 있는 장치라면 기타 다른 장치를 사용할 수 있음을 알 수 있을 것이다.

그리고 본 발명은 상기 롤러 헤드(33)가 상기 헤드 브래킷(30)의 상하부 아암(30a, 30b)과 롤러 헤드(33)를 동시에 관통하는 제1볼트(34)와 너트(35)에 의하여 체결되며, 상기 제1볼트(34)를 축으로 하여 회전이 가능함을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치를 제공한다.

도 5는 본 발명의 롤러 헤드(33)의 조립구조에 관한 도면이다.

도 5에서 보는 바와 같이, 롤러 헤드(33)의 중앙부에는 체결홀(33a)을 구비하고 있으며, 상기 롤러 헤드(33)는 헤드 브래킷(30)의 상부 아암(30a) 및 하부 아암(30b)의 사이로 삽입된다.

상기 헤드 브래킷(30)의 상부 아암(30a) 및 하부 아암(30b)은 각각 체결홀(50, 51)을 구비하고 있으며, 롤러 헤드(33)를 상기 상하부 아암들(30a, 30b)의 사이로 삽입시에 각각의 체결홀들(50, 33a, 51)을 일치시킨다.

이후, 상부 혹은 하부로부터 제1볼트(34)가 상기 체결홀들(50, 33a, 51)을 관통하여 동시에 삽입되며 삽입이 완료된 후 상기 제1볼트(34)는 너트(35)와 결합하여 고정된다.

제1볼트(34)와 상기 롤러 헤드(33)의 결합시 정밀한 얼라인을 위한 장치로서 기능하기 위하여 상기 제1볼트(34)와 상기 롤러 헤드(33)의 체결홀(33a)은 정밀하게 가공되어야 한다. 즉, 체결이 완료된 후 상기 제1볼트(34)와 롤러 헤드(33)의 체결홀(33a)간에 이격이 발생되지 않아야 한다.

상기 과정에 의하여 고정이 완료된 후에는 상기 롤러 헤드(33)는 제1볼트(34)를 축으로 하여 회전이 가능한 구조를 갖게 된다.

즉, 상기 롤러 헤드(33)가 기판의 얼라인을 수행하기 위하여 상호 접촉되는 경우 상기 롤러 헤드(33)는 접촉과 동시에 회전이 가능하여 기판과의 접촉면이 변하도록 하는 구조를 갖는다. 따라서, 기판과의 접촉면이 상기 롤러 헤드(33)의 일부분에 집중되지 않음으로써 상기 롤러 헤드(33)가 접촉에 의한 마찰로 마모되는 것을 현저히 감소시키게 된다. 이를 위하여, 상기 롤러 헤드(33)의 회전은 기판과의 접촉을 통하여 부드럽고 원활하게 이루어 질 것을 필요로 하며, 부드러운 회전을 위하여 상기 롤러 헤드(33)의 내부에 베어링을 장착하여 사용할 수도 있을 것이다.

그리고 본 발명은 상기 롤러 헤드(33)는 변형률이 낮은 플라스틱을 재료로 하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치를 제공한다.

상기 롤러 헤드(33)는 기판의 정밀한 얼라인에 사용되는 특성상 탄성이나 접촉에 의한 변형이 거의 발생하지 않는 재료를 사용함이 바람직하고 기판과의 접촉시에 기판에 손상을 주지 않도록 표면이 매끄러운 재료를 사용하여야 한다.

따라서, 본 발명은 상기 롤러 헤드(33)의 재료로서 변형률이 낮은 플라스틱을 제시한다. 그러나, 롤러 헤드(33)의 재료로 상기 프라스틱에 국한하는 것은 아니며 상기 조건을 만족한다면 금속 기타 세라믹 재료의 사용도 고려할 수 있을 것이다.

그리고 본 발명은 상기 롤러 헤드(33)의 재료로서 제시된 플라스틱이 PEEK인 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치를 제공한다.

상기 PEEK(PolyEther Ether Ketone)는 플라스틱 유화제품으로서 공정단계에서 기판에 묻어나오는 화학물질에 대한 내화학성, 가열 프레스 공정을 거친 고온의 기판에 대한 내열성, 기판과의 접촉면에서의 원활한 접촉을 보장하고 상기 체결홀(33a)과 제1볼트(34)의 접촉면에서 부드러운 회전을 이루기 위한 윤활특성, 전기적 소자를 구비한 기판을 보호하기 위한 전기적 절연성, 롤러 헤드(33)의 형상으로 가공하기 용이한 생산성 등이 우수하여 롤러 헤드(33)의 재료로 적합한 조건을 갖추고 있으므로 상기 롤러 헤드(33)의 재료로서 제시한다.

그리고 본 발명은 상기 헤드 브래킷(30)을 초기 세팅구조를 갖춘 제2볼트부에 의하여 프레임(21)에 고정됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치를 제공한다.

도 6은 본 발명 기판 얼라인 장치의 구성에 관한 도면이다.

도 6에서 보는 바와 같이, 헤드 브래킷(30)은 제2볼트(27)에 의하여 프레임(21)에 고정되어 장착되어야 한다. 제2볼트부는 "B" 부분을 말한다. 도시된바와 같이, 제2볼트(27)는 헤드 브래킷(30) 측면의 상하곳에 체결된다. 그러나, 필요한 경우 체결되는 제2볼트(27)의 수는 변화가 가능할 것이다.

상기 기판 얼라인 장치가 장시간 작동되게 되면 미세한 위치의 변화가 발생할 수 있으며, 이러한 경우 기판 얼라인 장치의 정확한 작동을 보장하기 위하여 정확한 위치로 셋팅하여 주어야 한다.

그러나, 전체 기판 얼라인 장치의 구성에서 볼 때, 하부에서는 정밀한 얼라인을 위하여 안내 가이드(24)가 바닥에 고정되어 설치되고 프레임(21)은 상기 안내 가이드(24)에 의하여 구속되며 기타 다른 구성 장비들도 그 위치의 변경이 용이하지 않다. 따라서, 정확한 위치의 셋팅을 위하여 상기 기판 얼라인 장치의 일부분에서 셋팅을 위한 구조를 갖추고 있어야 하며 상기 헤드 브래킷(30)을 프레임(21)에 장착하는 부분에서 이러한 셋팅구조를 갖추는 것을 제시한다. 상기 헤드 브래킷(30)은 제2볼트(27)에 의하여 프레임(21)에 체결되어 고정되는데 제2볼트(27)가 체결되는 제2볼트부는 셋팅을 위한 구조를 갖추고 있다.

도 6에서 프레임(21)과 가이드(24)의 접촉부분은 선택적인 구성요소로서 프레임(21)의 하부에 장착되는 가이드 블럭(37)에 의하여 접촉할 수 있다.

따라서, 본 발명에서 상기 셋팅구조는 제2볼트부에서 상기 헤드 브래킷(30)의 제2볼트(27) 체결홀에 좌우로 여유공간을 두는 구조인 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치를 제공한다.

도 7은 도 6의 "B" 부분을 확대한 상기 제2볼트부의 상세도이다.

도 7에서 보는 바와 같이, 헤드 브래킷(30) 상에 구비된 제2볼트부는 좌우로여유공간을 가진 제2볼트 체결홀(29)과 상기 체결홀(29) 주위로 일정한 폭을 가진 볼트 접촉면(28)을 구성하고 있다. 따라서, 제2볼트(27)는 상기 제2볼트 제결홀(29)을 관통하여 프레임(21)에 구비된 암나사(미도시)에 체결된다. 제2볼트(27)는 상기 체결홀(29)의 좌우 여유공간을 따라 선택적인 위치에 고정이 가능하여 결과적으로 헤드 브래킷(30)의 고정 위치가 프레임(21)을 기준으로 그 위치가 가변될 수 있게 된다.

즉, 초기 셋팅을 위하여 상기 헤드 브래킷(30)이 전방으로 더 돌출될 필요가 있는 경우에는 상기 헤드 브래킷(30)을 전방으로 고정시킬 수 있는 상기 체결홀(29) 상의 위치에 제2볼트(27)를 체결시킴으로써 정밀한 얼라인을 위한 셋팅이 가능하게 된다.

그리고 본 발명은 프레임(21)의 전방이동 한계치를 제한하는 제한 수단을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치를 제공한다.

프레임(21)이 이동수단의 구동에 의하여 전진할 때 정확한 위치를 보장하기 위하여 전방이동 한계치를 설정하여 상기 위치 상에 제한 수단을 구비시켜 프레임(21)이 정확한 위치상에 멈출 수 있도록 한다.

또한, 상기 제한 수단은 이동수단(25)의 오작동 등에 의하여 정해진 얼라인 위치 이상으로 전진되어 기판이 파손되거나 미스 얼라인이 발생하지 않도록 하는 기능도 수행하게 된다.

따라서, 본 발명에 의한 상기 제한 수단은 얼라인 작업 위치를 측정하는 센서(40)와, 상기 프레임(21)의 전면에서 한계 이동치를 벗어나지 않도록 제한하는 걸림턱(41)을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

도 6에서 보는 바와 같이, 인내 가이드(24)를 따라 전진 및 후진을 수행하는 프레임(21)의 전방에 걸림턱(41)이 설치되며, 상기 걸림턱(41)의 후면에는 센서(40)가 구비되어 있다.

작동 원리를 설명하면, 프레임(21)의 전진하여 정해진 얼라인 위치에 도달하면 상기 걸림턱(41)에 의하여 구속되어 얼라인을 위한 위치에서 멈추게 된다.

상기 걸림턱(41)의 후면에 위치한 센서(40)는 길이를 측정하는 센서로서 정해진 얼라인 위치로 세팅되어 있다. 여러종류의 센서가 사용될 수 있으나 마이크로미터 헤드가 사용됨이 일반적이다.

즉, 본 발명은 상기 센서(40)로 마이크로 미터 헤드를 사용할 것을 제시한다.

마이크로미터 헤드는 일반적인 마이크로미터에서 지지부가 제거된 모양으로서, 상기 걸림턱(41)과 접촉되어 걸림턱(41)을 전방 또는 후방으로 이동시킬 수 있는 구조를 가진다.

본 발명의 기판 얼라인 장치는 초기 셋팅을 위한 두가지 구조를 갖는다. 즉, 앞서 설명한 헤드 브래킷(30)를 프레임(21)에 체결시 제2볼트부에서의 셋팅구조와, 프레임의 전방에 구성된 걸림턱(41)과 센서(40)에 의한 셋팅구조를 갖는다.

그러나 일반적으로 기판 얼라인 장치의 마모 등에 기인하는 오차를 제거하기 위한 셋팅이 아니라면 상기 걸림턱(41)과 센서(40)에 의한 셋팅이 보다 용이하므로많이 사용된다.

상기 구성에 있어서, 센서(40)와 걸림턱(41)이 접촉하지 않는 구성도 고려할 수 잇을 것이다. 즉, 센서는 단순히 프레임의 위치만 측정하고 제어장비에 연결되어 걸림턱(41)을 구동하여 프레임(21)의 위치를 바로 잡는 구성도 가능할 것이다.

그리고 본 발명은 상기 프레임 이동수단은 릴리프 밸브(Relief Valve)가 구비된 실린더(25)를 이용하여 동작되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치를 제공한다.

프레임(21)의 이동을 위한 구동장치로는 리니어 모터등이 사용될 수 있으나, 본 발명에서는 프레임(21)이 정해진 얼라인 위치에 도달한 경우 걸림턱(41)에 의하여 정지하여야 하므로 구동이 정지할 때 완충을 위한 액츄에이터가 필요하다. 즉, 걸림턱(41)에 접촉한 이후에도 계속적으로 강한 전진력이 가해지는 경우 걸림턱(41)과 센서(40)로 이루어진 위치 제한 수단의 구조가 손상될 수 있으므로 이동수단으로서 실린더(25)를 제시한다. 즉, 실린더(25)를 이동수단의 중간체로서 사용하는 경우에는 걸림턱(41)에 걸리는 경우 자동적으로 전진력을 발생시키기 위해 실린더(25) 내부를 고압으로 유지시키는 유체를 외부로 배출시킬 수 있도록 릴리프 밸브를 구비하여 걸림턱(41)에 걸림으로 인하여 실린더(25) 내부에 일정압 이상이 걸리는 경우 릴리프 밸브가 열림으로써 전진력이 더이상 증가되는 것을 방지하고 기판 얼라인이 안정적으로 수행될 수 있도록 한다. 상기 실린더(25)는 프레임(21)과 축(26)으로 연결되어 있다.

또한, 상기 실린더(25)는 완충작용의 수행이 가능하도록 공압 실린더를 사용하는 것을 제시한다. 공압 실린더에 사용되는 공기는 유압실린더에 사용되는 기름 등의 액체에 비하여 완충효과를 이룰 수 있기 때문이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치는 다음과 같은 효과를 갖는다.

첫째, 얼라인 작업시 기판과 헤드 간의 접촉면이 회전에 의하여 변할수 있도록 롤러 헤드를 장착하여 헤드의 한 점에 지속적으로 발생하는 마찰을 줄이어 헤드의 마모를 방지함으로써, 헤드의 마모로 인한 정확한 얼라인이 이루어지지 않는 문제점을 해결하여 제품의 불량을 미연에 방지할 수 있다.

둘째, 롤러 헤드를 사용하여 헤드가 마모되지 않도록 함으로써, 헤드에서 마모되어 떨어져 나온 입자들이 기판의 표면에 유입되어 제품 불량이 발생하는 문제를 해결할 수 있다.

Claims (10)

1. 몸체를 이루고 수직으로 세워진 프레임;

   상기 프레임의 상부에 구비되어 이송된 기판과 접촉하여 위치를 정렬시키며 상기 기판과 접촉하는 면이 회전하면서 변화하는 롤러 헤드;

   상기 롤러 헤드를 상하측에 각각 구비된 아암의 사이로 지지하고 프레임에 고정되어 있는 헤드 브래킷;

   상기 프레임을 전,후진 시키는 프레임 이동수단;

   상기 프레임의 전,후진을 안내하는 가이드 수단를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 롤러 헤드는

   상기 헤드 브래킷의 상하측 아암과 롤러 헤드를 동시에 관통하는 제 1 볼트와 너트에 의하여 체결되며, 상기 제 1 볼트를 축으로 하여 회전이 가능함을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 롤러 헤드는 변형률이 낮은 플라스틱을 재료로 하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 플라스틱은 PEEK인 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 헤드 브래킷을 초기 셋팅구조를 갖춘 제 2 볼트부에 의하여 프레임에 고정됨를 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 셋팅구조는 제 2 볼트가 체결되는 부분에서 상기 헤드 브래킷의 제2볼트 체결홀에 좌우로 여유공간을 두는 구조인 것을 특징으로 하는 액정표시소자 체조 공정용 기판 얼라인 장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 프레임의 전방이동 한계치를 제한하는 제한 수단을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치.
8. 제 6 항에 있어서,

   상기 제한 수단은

   얼라인 작업 위치를 측정하는 센서;

   상기 프레임의 전면에서 한계 이동치를 벗어나지 않도록 제한하는 걸림턱:을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치.
9. 제 7 항에 있어서,

   상기 센서로는 마이크로 미터 헤드를 사용하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치.
10. 제 1 항에 있어서,

    상기 프레임 이동수단은 릴리프 밸브를 구비한 실린더를 이용하여 동작되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 얼라인 장치.