KR20040025191A - Tray of test handler - Google Patents

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KR20040025191A
KR20040025191A KR1020020057037A KR20020057037A KR20040025191A KR 20040025191 A KR20040025191 A KR 20040025191A KR 1020020057037 A KR1020020057037 A KR 1020020057037A KR 20020057037 A KR20020057037 A KR 20020057037A KR 20040025191 A KR20040025191 A KR 20040025191A
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test handler
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KR1020020057037A
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김호경
김두섭
김상일
박정현
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삼성전자주식회사
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    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection

Abstract

PURPOSE: A tray for test handler is provided to minimize the loss and prevent the damage of sockets by picking a semiconductor device located on a correct position. CONSTITUTION: A tray for test handler includes a body(110) and an anti-pickup unit. The body(110) includes a plurality of pockets(112) for storing a semiconductor device. The anti-pickup unit prevents an operation for picking up the semiconductor device located on an incorrect position in a process for picking up the semiconductor device stored within the pockets(112). The anti-pickup unit includes a plate(120). The plate(120) includes openings(122) to pass the semiconductor device located on a correct position.

Description

테스트 핸들러의 트레이{TRAY OF TEST HANDLER}Tray of test handlers {TRAY OF TEST HANDLER}

본 발명은 집적회로(IC)나 반도체 칩 등과 같은 전자부품의 기능 검사에 사용되는 테스트 핸들러에 관한 것으로, 특히 BGA나 CSP형 반도체 디바이스들의 위치를 정렬하는데 사용하는 테스트 핸들러의 트레이에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to test handlers used for the functional inspection of electronic components such as integrated circuits (ICs), semiconductor chips, and the like, and more particularly, to trays of test handlers used to align BGA or CSP type semiconductor devices.

반도체 디바이스의 제조과정에서 소정의 조립공정을 거쳐 제조된 디바이스는, 최종적으로 소정의 기능을 발휘하는지 여부를 체크하는 테스트 공정을 거치게 된다. 테스트 핸들러는, 상기와 같은 반도체 디바이스의 테스트 공정에 사용되며, 일정수량의 디바이스를 반송하여 테스트 헤드에 접속시킴으로써 테스트가 이루어지도록 하고, 이 테스트 결과에 따라 디바이스들을 등급별로 분류하여 적재한다. 이러한 테스트 핸들러는 반도체 디바이스의 형상 및 종류에 따라 적절한 형태의 것이 개발되어 사용되고 있다.A device manufactured through a predetermined assembly process in the manufacturing process of a semiconductor device is finally subjected to a test process for checking whether a predetermined function is exhibited. The test handler is used in the test process of the semiconductor device as described above, the test is carried out by carrying a predetermined number of devices connected to the test head, and the devices are classified and loaded according to the test results. Such a test handler has been developed and used in an appropriate form according to the shape and type of the semiconductor device.

일반적으로, 트레이에 담겨진 반도체 디바이스들을 테스트하는 핸들러는, 통상 수평방식으로 반도체 디바이스들이 이동되는 오픈 탑(open top) 형식이다. 핸들러의 로딩부에 반도체 디바이스들을 담은 트레이가 들어오면 핸들러의 픽커(Picker)가 진공패드를 이용하여 이를 흡착, 테스터(tester)와 연결된 테스트 헤드(test head)의 소켓으로 이동시킨다. 그리고 전기적인 검사가 완료되면 테스트 결과에 따라서 픽커(picker)가 다시 흡착하여 분류되는 트레이에 위치시키게 된다.In general, the handler for testing semiconductor devices contained in a tray is an open top type in which the semiconductor devices are typically moved in a horizontal manner. When a tray containing semiconductor devices enters the loading part of the handler, the picker of the handler uses a vacuum pad to move it to a socket of a test head connected to a tester by suction. After the electrical inspection is completed, the picker is re-adsorbed and placed in a tray classified according to the test result.

그러나, 기존에는 반도체 디바이스가 상기 트레이의 포켓상에 틀어진 상태로 놓여진 경우에도, 픽커가 이를 픽업(pick-up)하여 다음 단계로 투입시킴으로써, 후속공정에서 jam 또는 파손등을 유발시켜 가동 효율의 저해 요인으로 작용하고 있다.However, conventionally, even when the semiconductor device is placed in a misaligned state on the pocket of the tray, the picker picks it up and inserts it into the next step, thereby causing jam or breakage in a subsequent process, thereby inhibiting operating efficiency. It acts as a factor.

본 발명은 위와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 개발한 것으로서, 부정확하게 놓여진 반도체 디바이스의 픽업을 사전에 방지할 수 있는 새로운 형태의 테스트 핸들러의 정렬 블록을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention was developed to solve the above-mentioned conventional problems, and an object thereof is to provide an alignment block of a new type of test handler which can prevent the pickup of an incorrectly placed semiconductor device in advance.

도 1은 본 발명에 따른 테스트 핸들러를 위한 트레이의 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view of a tray for a test handler according to the present invention.

도 2는 트레이의 조립된 상태를 보여주는 사이도이다.Figure 2 is a diagram showing the assembled state of the tray.

도 3은 단면도이다.3 is a cross-sectional view.

도 4는 픽커가 트레이의 포켓에 놓여진 반도체 디바이스를 픽업하는 상태를 보여주는 도면이다.4 shows a state in which a picker picks up a semiconductor device placed in a pocket of a tray.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Explanation of symbols for main parts of the drawing

110 : 몸체110: body

112 : 포켓112: pocket

120 : 플레이트120: plate

122 : 오프닝122: opening

130 : 픽커130: Picker

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 본 발명의 테스트 핸들러의 트레이는 반도체 디바이스가 수납되는 다수개의 포켓들을 구비한 몸체와, 상기 포켓내에 수용되어 있는 디바이스를 픽업하는 과정에서 부정확하게 놓여진 디바이스의 픽업을 방지하는 수단을 갖는다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, the tray of the test handler of the present invention is incorrectly picked up the body having a plurality of pockets in which the semiconductor device is accommodated, and in the process of picking up the device accommodated in the pocket Means for preventing pick-up of the placed device.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 픽업 방지 수단은 상기 몸체의 상부에 설치되는 그리고 상기 포켓에 올바르게 놓여진 반도체 디바이스 만이 통과할 수 있는 오프닝들을 구비한다.According to an embodiment of the invention, the pick-up prevention means has openings through which only semiconductor devices installed on top of the body and correctly placed in the pockets can pass.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided to ensure that the disclosed subject matter is thorough and complete, and that the spirit of the invention will be fully conveyed to those skilled in the art. Portions denoted by like reference numerals denote like elements throughout the specification.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 4를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호가 병기되어 있다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 4. In the drawings, the same reference numerals are given to components that perform the same function.

본 발명의 실시예에 따른 트레이는 테스트헤드의 소켓으로 이송하기 전 반도체 디바이스들이 대기하는 장소이다. 그리고 이 트레이는 반도체 디바이스들이 정확한 방향 및 위치에서 픽커에 의해 픽킹되도록 이들을 정렬하는 기능을 갖는다.A tray according to an embodiment of the present invention is a place where semiconductor devices wait before transferring to a socket of a test head. The tray then has the function of aligning the semiconductor devices so that they are picked by the picker in the correct direction and position.

도 1 내지 도 2를 참고하면, 상기 트레이(100)는 반도체 디바이스(d)를 수용하는 복수의 포켓(112)을 갖는 몸체(110)와, 이 몸체(110) 상부에 설치되는 플레이트(120)를 갖는다.1 to 2, the tray 100 includes a body 110 having a plurality of pockets 112 for accommodating a semiconductor device d, and a plate 120 installed on the body 110. Has

상기 포켓(112)상에 있는 반도체 디바이스는 픽커 조립체의 픽커(130)에 의해 픽업된다. 상기 플레이트(120)는 픽커(130)가 상기 몸체(110)의 포켓(112)내에 수용되어 있는 디바이스(d)를 픽업하는 과정에서, 위치가 틀어진 디바이스의 픽업을 방지하기 위한 기능을 갖는다. 이를 위해 상기 플레이트(120)는 상기 포켓(112)에 정확하게 놓여진 디바이스만 통과할 수 있는 오프닝(122)을 구비한다. 따라서, 디바이스의 픽업 과정을 살펴보면, 디바이스들은 픽커(130)에 의해 픽업된다. 이때, 상기 포켓(112)내에 정확하게 놓여있는 디바이스(d)는 플레이트(120)의 오프닝(122)을 통과하여 픽업되지만(도 3 참고), 부정확하게(픽업 위치에서 벗어난) 놓여진 디바이스는 상기 플레이트의 오프닝(122)을 통과하지 못하고, 픽업이 사전에 차단되는 것이다.The semiconductor device on the pocket 112 is picked up by the picker 130 of the picker assembly. The plate 120 has a function of preventing pick-up of a device that is misplaced while the picker 130 picks up the device d accommodated in the pocket 112 of the body 110. To this end, the plate 120 has an opening 122 through which only the device correctly placed in the pocket 112 can pass. Thus, looking at the pickup process of the devices, the devices are picked up by the picker 130. At this time, the device d correctly placed in the pocket 112 is picked up through the opening 122 of the plate 120 (see FIG. 3), but the device placed incorrectly (out of the pick-up position) may be It does not pass through the opening 122 and the pickup is blocked in advance.

이와 같이, 본 발명의 구조적인 특징은 디바이스를 픽업하는 과정에서 위치가 틀어진 다비이스의 픽업을 사전에 차단할 수 있는 플레이트를 갖는데 있다.As such, the structural feature of the present invention is that it has a plate that can block the pickup of the device is out of position in the process of picking up the device.

예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.For example, embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of the elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize a clearer description.

이상에서, 본 발명에 따른 테스트 핸들러에 사용되는 트레이의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the tray used in the test handler according to the present invention is shown in accordance with the above description and drawings, but this is merely described, for example, and various changes and modifications within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. Of course this is possible.

이와 같은 본 발명에 의해 얻을 수 있는 효과는 정확한 위치에 놓여진 반도체 디바이스만을 픽업할 수 있다는데 있다. 따라서, 공손의 최소화, 소켓의 파손 방지 등의 가동효율증가에 이점이 있다.Such an effect obtained by the present invention is that only the semiconductor device placed at the correct position can be picked up. Therefore, there is an advantage in increasing operation efficiency such as minimizing politeness and preventing breakage of the socket.

Claims (2)

테스트 핸들러의 트레이에 있어서:In the test handler's tray: 반도체 디바이스가 수납되는 다수개의 포켓들을 구비한 몸체와,A body having a plurality of pockets in which the semiconductor device is accommodated; 상기 포켓내에 수용되어 있는 디바이스를 픽업하는 과정에서 부정확하게 놓여진 디바이스의 픽업을 방지하는 수단을 포함하여, 틀어진 디바이스의 설비내 투입을 사전에 방지할 수 있는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 트레이.And means for preventing pick-up of the incorrectly placed device in the process of picking up the device accommodated in the pocket, so that the input of the wrong device in the installation can be prevented in advance. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 픽업 방지 수단은The pickup preventing means 상기 몸체의 상부에 설치되는 그리고 상기 포켓에 올바르게 놓여진 반도체 디바이스 만이 통과할 수 있는 오프닝들을 구비한 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 트레이.A tray having openings mounted on top of the body and through which only semiconductor devices correctly placed in the pocket can pass therethrough.
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