KR20040000955A - Remover Composition for Organic and Inorganic Films - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A liquefacient composition for organic and inorganic films is provided, to allow both organic and inorganic films of a CRT, PDP, LCD or camera lens to be removed rapidly and simultaneously. CONSTITUTION: The liquefacient composition comprises 10-80 wt% of organic solvent; 2-30 wt% of fluoride; 5-40 wt% of acetic chloride; 0.02-1 wt% of a surfactant; and optionally 1-15 wt% of a dispersant. Preferably the organic solvent is 1-methoxy-1-propanol; the fluoride is selected from the group consisting of ZnFSiO2, HF and NH4F; the surfactant is an alkylene oxide or sulfonate; and the dispersant is isopropyl acetate.

Description

유기 및 무기 피막 용해제 조성물{Remover Composition for Organic and Inorganic Films}Organic and Inorganic Film Solvent Compositions

본 발명은 반도체 장치 등에서 사용되는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는, CRT(Cathode Ray Tube), PDP(Plasma Display Panel), LCD(Liquid Crystal Display) 또는 카메라 렌즈 등에 있어서 유기 피막 또는 무기 피막 도포시 수정이나 재생을 위해서 빠르게 그리고 동시에 피막을 제거할 수 있는 용해제 조성물에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to organic and inorganic film dissolving agent compositions used in semiconductor devices and the like, and more particularly, to organic film coatings in a cathode ray tube (CRT), a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display (LCD) or a camera lens. Or it relates to a dissolving agent composition that can remove the coating quickly and simultaneously for the correction or regeneration during the coating of the inorganic coating.

통상적인 CRT, PDP, LCD 및 카메라 렌즈를 구성하고 있는 층들을 개략적으로 살펴보면 다음과 같다.The layers constituting the conventional CRT, PDP, LCD and camera lens are outlined as follows.

CRT의 경우는 패널 전면에 유리 기판이 있고 그 위에 코발트와 PVA와의 졸(sol)로 이루어진 칼라 필터와, R.G.B. 형광층과, 흑연, PVA 및 아크릴의 졸로 이루어진 블랙 매트릭스(Black Matrix)층과, 아크릴 또는 셀룰로오즈로 이루어진 중간층과, 알루미늄 층 등으로 되어 있다. PDP의 경우에는 유리 기판, 프릿(frit)층, 형광층 및 블랙 매트릭스층으로 이루어져 있고, LCD는 상판의 경우 칼라 필터, R.G.B. 안료층, 블랙 매트릭스층, 오버코팅층으로 되어 있다. 또한 카메라 렌즈는유리에 티탄산염과 코발트가 코팅되어 있는 칼라필터를 포함하고 있다.In the case of CRT, there is a glass substrate on the front of the panel, and a color filter composed of a sol of cobalt and PVA, and R.G.B. It consists of a fluorescent layer, a black matrix layer made of graphite, PVA and acrylic sol, an intermediate layer made of acrylic or cellulose, an aluminum layer and the like. In the case of PDP, it consists of a glass substrate, a frit layer, a fluorescent layer, and a black matrix layer. In the case of an upper panel, the LCD has a color filter, R.G.B. It consists of a pigment layer, a black matrix layer, and an overcoat layer. The camera lens also includes a color filter coated with titanate and cobalt on the glass.

이러한 층들은 아크릴, 에폭시, 우레탄, 카르복시메틸셀룰로오스 등과 같은 유기 피막이나 또는 흑연, 알루미나, 티탄산염 등과 같은 무기 피막으로 형성되어 있다. 이와 같은 다양한 피막을 형성하다 보면, 이미 장치에 형성된 피막들을 수정하거나 제거할 필요가 생기게 된다. 이 때, 고가의 장치를 버리지 않고 다시 사용하기 위해서는 피막 용해제를 사용하여 이들 피막들을 수정 또는 제거해야 한다.These layers are formed of an organic coating such as acrylic, epoxy, urethane, carboxymethylcellulose, or the like, or an inorganic coating such as graphite, alumina, titanate, or the like. In forming such various coatings, it is necessary to correct or remove the coatings already formed in the apparatus. At this time, in order to reuse the expensive apparatus without throwing it away, these coatings must be modified or removed by using a film dissolving agent.

종래의 일반적인 용해제는 유기 용매에 페놀이나, 포름산(formic acid) 등을 희석한 것을 사용하였다. 그러나, 이러한 용해제는 도막을 제거하는 데에 있어서 5분 내지 3시간 정도의 긴 시간이 소요된다는 단점이 있고, 또한 휘발성이 강하며, 악취 확산의 문제가 있었다.Conventional solubilizers are those obtained by diluting phenol, formic acid, or the like in an organic solvent. However, such a dissolving agent has a disadvantage in that it takes a long time of about 5 minutes to 3 hours to remove the coating film, and is also highly volatile and has a problem of odor diffusion.

또한, 종래에는 CRT, PDP, LCD 등의 반도체 장치에서 유기 피막이나 무기 피막을 제거하기 위해서는 각각 따로 따로 제거해야만 했다. 다시 말해서, 유기 피막의 경우에는 유기 용제 또는 세척제를 이용하여 제거하고, 무기 피막의 경우에는 무기 세척제를 이용하거나, 물리적으로 연마하여 제거해야 했기 때문에 번거로움이 있었다.In addition, conventionally, in order to remove an organic film or an inorganic film in semiconductor devices, such as CRT, PDP, and LCD, it had to remove each separately. In other words, the organic coating had to be removed using an organic solvent or cleaning agent, and the inorganic coating had to be removed using an inorganic cleaning agent or physically polished to remove it.

본 발명은 이러한 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로, 유기 피막이나 또는 무기 피막을 수초 내지 수분 이내에 빨리 제거할 수 있는 피막 용해제 조성물을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention has been made to solve these problems, and an object thereof is to provide a film dissolving agent composition capable of quickly removing an organic film or an inorganic film within a few seconds to several minutes.

본 발명의 다른 목적은 유기 피막과 무기 피막을 동시에 제거할 필요가 있을때 이들을 따로 따로 제거하지 않고 한번에 모두 제거할 수 있는 피막 용해제 조성물을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a film dissolving agent composition which can be removed all at once without removing them separately when it is necessary to simultaneously remove the organic film and the inorganic film.

본 발명의 또 다른 목적은 휘발성과 악취 비산이 없는 피막 용해제 조성물을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a film dissolving agent composition free of volatile and malodorous scattering.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 유기 용매 10∼80 중량%, 불화물 2∼30 중량%, 염화아세트산 5∼40 중량% 및 계면활성제 0.02∼1 중량%를 포함하는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides an organic and inorganic coating solution composition comprising 10 to 80% by weight of an organic solvent, 2 to 30% by weight of fluoride, 5 to 40% by weight of acetic acid chloride and 0.02 to 1% by weight of a surfactant. to provide.

본 발명에서 사용되는 유기 용매로는 예를 들어 1-메톡시-2-프로판올(1-methoxy-2-propanol), 에틸 아세테이트, 셀로솔브 아세테이트, 염화아세트산, 메틸피롤리돈 및 메틸클로라이드등 및 톨루엔 등이 사용되며, 가장 바람직한 것은 1-메톡시-2-프로판올이다.Examples of the organic solvent used in the present invention include 1-methoxy-2-propanol, ethyl acetate, cellosolve acetate, acetic acid chloride, methylpyrrolidone and methyl chloride, and toluene. And the like are most preferred is 1-methoxy-2-propanol.

상기 불화물로는 규불화아연(ZnFSiO2), 불화수소산(HF) 또는 불화암모늄(NH4F)이 사용되는 것이 바람직하다.Zinc fluoride (ZnFSiO 2 ), hydrofluoric acid (HF) or ammonium fluoride (NH 4 F) is preferably used as the fluoride.

상기 계면활성제로는 음이온 또는 양이온성 계면활성제를 사용할 수 있으며, 보다 바람직하게는 에틸렌 옥사이드와 같은 알킬렌 옥사이드 및 술폰산염 등이 사용된다.Anionic or cationic surfactants may be used as the surfactant, and more preferably alkylene oxides such as ethylene oxide, sulfonates, and the like are used.

본 발명에 따른 다른 실시예에서는 분산제 1∼15 중량%를 더 포함하는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물을 제공한다.Another embodiment according to the present invention provides an organic and inorganic film dissolving agent composition further comprising 1 to 15% by weight dispersant.

상기 분산제로는 이소프로필 아세테이트, 메탄올, 메틸피롤리돈, 셀로솔브아세테이트 및 메틸클로라이드 등이 사용될 수 있으며, 이중에서 가장 바람직한 것은 이소프로필 아세테이트(IPA)이다.As the dispersant, isopropyl acetate, methanol, methylpyrrolidone, cellosolve acetate, methyl chloride, and the like may be used, and most preferred is isopropyl acetate (IPA).

본 발명에 따른 또 다른 실시예에서는 상기 유기 용매 중 5∼30 중량%가 물(H2O)로 대체된 유기 및 무기 피막 용해제 조성물이 제공된다.In another embodiment according to the present invention there is provided an organic and inorganic coating solubility composition in which 5-30% by weight of the organic solvent is replaced with water (H 2 O).

본 발명의 또 다른 실시예에서는 상기 유기 용매 중 5∼30 중량%가 물 대신에 부틸 카비톨(Buthyl Carbitol)이나 셀로솔브계 화합물로 대체된 유기 및 무기 피막 용해제 조성물이 제공된다. 여기서, 상기 부틸 카비톨과 셀로솔브계 화합물은 각각 독립적으로 대체될 수도 있고 서로 조합하여 대체될 수도 있다.In still another embodiment of the present invention, an organic and inorganic film dissolving agent composition in which 5 to 30% by weight of the organic solvent is replaced with butyl carbitol or cellosolve compounds instead of water is provided. Here, the butyl carbitol and cellosolve compounds may be replaced independently or in combination with each other.

본 발명의 또 다른 실시예에서는 상기 유기 용매 중 5∼30 중량%가 물(H2O), 부틸 카비톨 및 셀로솔브계 화합물의 혼합물로 대체된 유기 및 무기 피막 용해제 조성물이 제공된다.In another embodiment of the present invention there is provided an organic and inorganic film dissolving agent composition in which 5-30% by weight of the organic solvent is replaced with a mixture of water (H 2 O), butyl carbitol and cellosolve compounds.

본 발명에서 셀로솔브계 화합물은 셀로솔브 아세테이트(Cellosolve Acetate)를 사용하는 것이 가장 바람직하다.In the present invention, the cellosolve compound is most preferably used as cellosolve acetate.

일반적으로 위에서 나열된 1-메톡시-2-프로판올, 에틸 아세테이트, 셀로솔브 아세테이트, 톨루엔과 같은 유기 용매에는 불화수소산(HF), 불화암모늄(NH4F) 또는 규불화아연(ZnFSiO2)등과 같은 무기산이나 무기산염이 용해되지 않는다.Generally, organic solvents such as 1-methoxy-2-propanol, ethyl acetate, cellosolve acetate, toluene listed above include inorganic acids such as hydrofluoric acid (HF), ammonium fluoride (NH 4 F) or zinc fluoride (ZnFSiO 2 ). Inorganic acid salts are not dissolved.

그러나, 본 발명에 따르면, 에틸렌 옥사이드와 같은 알킬렌 옥사이드 또는 술폰산염와 같은 양이온 또는 음이온성 계면활성제를 이용하여 이러한 무기산 또는무기산염을 유기 용매에 분산 또는 유화시키는 방법을 채용함으로써, 유기 피막과 무기 피막 모두를 동시에 제거할 수 있는 피막 용해제 조성물을 제공한다.However, according to the present invention, by employing a method of dispersing or emulsifying such an inorganic acid or inorganic acid salt in an organic solvent by using a cation or anionic surfactant such as an alkylene oxide such as ethylene oxide or a sulfonate salt, an organic film and an inorganic film A film dissolving agent composition capable of removing all at the same time is provided.

이하에서는 본 발명의 이해를 돕기 위해 보다 구체적인 실시예를 제시하지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, more specific examples are provided to help the understanding of the present invention, but the present invention is not limited thereto.

실시예 1Example 1

1-메톡시-2-프로판올 80 중량%, 이소프로필 아세테이트 10 중량%, 규불화아연 5 중량%, 물 4 중량% 및 SO3Na기를 포함하는 계면활성제 1 중량%를 준비한다. 이들 물질들을 모두 혼합하여 용해제를 만들었다. 이렇게 만들어진 용해제를 이용하여 브라운관 패널에 부착된 흑연, 아크릴, 형광체 등을 제거하였다. 그 결과, 이들 물질들이 일시에 모두 제거되었고, 종전의 유기, 무기 물질을 별도로 제거해야 했던 공정이 단 한번으로 마무리 되는 것을 관찰했다.Prepare 80% by weight of 1-methoxy-2-propanol, 10% by weight of isopropyl acetate, 5% by weight of zinc silicate, 4% by weight of water and 1% by weight of surfactant comprising SO 3 Na groups. All of these materials were mixed to form a solvent. The solubilizer thus prepared was used to remove graphite, acrylic, phosphor, etc. attached to the CRT panel. As a result, it was observed that all of these materials were removed at once, and that the process that had previously had to remove the organic and inorganic materials separately was completed once.

상기 1-메톡시-2-프로판올의 일부를 셀로솔브 아세테이트, 메틸피롤리돈 및 메틸클로라이드 등과 같은 물질로 대체시켜도 같은 효과를 얻을 수 있다.The same effect can be obtained by replacing a part of the 1-methoxy-2-propanol with a material such as cellosolve acetate, methylpyrrolidone and methyl chloride.

또한, 상기 이소프로필 아세테이트 대신 메탄올, 셀로솔브 아세테이트, 메틸피롤리돈 및 메틸클로라이드 등을 사용해도 같은 효과를 가지며, 투입비율로 1∼15%까지는 세정효과가 같은 것으로 나타난다. 불화물인 규불화아연과 물의 투입비율을 5∼10% 변경하여도 같은 세정효과를 보았다.In addition, methanol, cellosolve acetate, methylpyrrolidone, methyl chloride and the like instead of the isopropyl acetate has the same effect, it appears that the cleaning effect is the same to 1 to 15% in the input ratio. The same cleaning effect was obtained by changing the ratio of 5 to 10% of zinc fluoride and water, which are fluorides.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 피막 용해제 조성물은 유기 피막과 무기피막을 포함한 멀티 레이어를 수초 내지 수분 이내에 빨리 제거할 수 있고, 또한 휘발성과 악취 비산이 없다.As described above, the film dissolving agent composition according to the present invention can quickly remove the multilayer including the organic film and the inorganic film within a few seconds to several minutes, and is free of volatile and odor scattering.

한편, 이제까지는 유기 용매, 불화물, 염화아세트산 등을 함께 포함하고 있는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물에 대해 설명하였으나, 그 외에도 본 발명의 조성물과 같은 효과를 갖는, 유기 용매 및 염화아세트산을 포함하는 조성물, 또는 유기 용매 및 불화물을 포함하는 조성물이 또한 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.On the other hand, the organic and inorganic coating solubilizing agent composition containing an organic solvent, fluoride, acetic acid chloride and the like so far described, but in addition to the composition comprising an organic solvent and acetic acid chloride, having the same effect as the composition of the present invention, Or compositions comprising organic solvents and fluorides are also to be understood as being within the scope of this invention.

이처럼, 본 명세서에 기재된 것으로만 한정되는 것이 아니며, 하기 특허청구범위에서 한정된 범위를 벗어나지 않는 한, 변형이나 변경이 가능하다는 것은 당업자라면 쉽게 이해할 수 있을 것이다.As such, it is not limited only to what is described in this specification, and it will be easily understood by those skilled in the art that modifications and variations are possible without departing from the scope defined in the following claims.

Claims (14)

유기 용매 10∼80 중량%, 불화물 2∼30 중량%, 염화아세트산 5∼40 중량% 및 계면활성제 0.02∼1 중량%를 포함하는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.An organic and inorganic film dissolving agent composition comprising 10 to 80% by weight of an organic solvent, 2 to 30% by weight of fluoride, 5 to 40% by weight of acetic acid chloride, and 0.02 to 1% by weight of a surfactant. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기 용매는 1-메톡시-2-프로판올인 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.Wherein said organic solvent is 1-methoxy-2-propanol. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 불화물은 규불화아연(ZnFSiO2), 불화수소산(HF) 및 불화암모늄(NH4F)로 이루어진 군으로부터 선택되는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.The fluoride is selected from the group consisting of zinc silicate (ZnFSiO 2 ), hydrofluoric acid (HF) and ammonium fluoride (NH 4 F). 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 계면활성제는 알킬렌 옥사이드 및 술폰산염으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.Wherein said surfactant is any one selected from the group consisting of alkylene oxides and sulfonates. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 알킬렌 옥사이드는 에틸렌 옥사이드인 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.Wherein said alkylene oxide is ethylene oxide. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 술폰산염은 SO3Na기를 포함하는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.The sulfonate is an organic and inorganic coating solution composition comprising a SO 3 Na group. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 조성물은 분산제 1∼15 중량%를 더 포함하는 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.The composition is an organic and inorganic coating solution composition further comprises 1 to 15% by weight dispersant. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 분산제는 이소프로필 아세테이트인 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.Wherein said dispersant is isopropyl acetate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기 용매 중 5∼30 중량%가 물(H2O)로 대체된 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.5 to 30% by weight of the organic solvent is replaced with water (H 2 O) organic and inorganic coating solvent composition. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기 용매 중 5∼30 중량%가 부틸 카비톨(Buthyl Carbitol)로 대체된 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.5 to 30% by weight of the organic solvent is substituted with butyl carbitol (Buthyl Carbitol). 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기 용매 중 5∼30 중량%가 셀로솔브계 화합물로 대체된 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.5 to 30% by weight of the organic solvent of the organic and inorganic film solubilizer composition is replaced with a cellosolve compound. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기 용매 중 5∼30 중량%가 부틸 카비톨 및 셀로솔브계 화합물의 혼합물로 대체된 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.5 to 30% by weight of the organic solvent of the organic and inorganic coating solubilizer composition is replaced with a mixture of butyl carbitol and cellosolve compounds. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기 용매 중 5∼30 중량%가 물(H2O), 부틸 카비톨 및 셀로솔브계 화합물의 혼합물로 대체된 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.5 to 30% by weight of the organic solvent of the organic and inorganic film solubilizer composition is replaced by a mixture of water (H 2 O), butyl carbitol and cellosolve compounds. 제 11 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 11 to 13, 상기 셀로솔브계 화합물은 셀로솔브 아세테이트(Cellosolve Acetate)인 유기 및 무기 피막 용해제 조성물.The cellosolve compound is a cellosolve acetate (Cellosolve Acetate) organic and inorganic coating solution composition.
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