KR200379693Y1 - Vertical electrode structure of white light emitting diode - Google Patents

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KR200379693Y1 KR20040032492U KR20040032492U KR200379693Y1 KR 200379693 Y1 KR200379693 Y1 KR 200379693Y1 KR 20040032492 U KR20040032492 U KR 20040032492U KR 20040032492 U KR20040032492 U KR 20040032492U KR 200379693 Y1 KR200379693 Y1 KR 200379693Y1
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Abstract

본 고안은 투광 도전성 접착층을 이용하여 GaN계열 다이오드와 ZnTe 또는 ZnSe의 광변환층 기판을 결합하여 제작된 백색 발광 다이오드를 개시하고 있다. GaN의 발광 다이오가 청색 파장을 발산하는 동안, 청색 일부분은 ZnTe 또는 ZnSe의 광 변환층에 의해 흡수되어 다른 황색 파장을 발산한다. 황색광과 청색광이 함께 혼합된 후, 백색광이 생성된다.The present invention discloses a white light emitting diode manufactured by combining a GaN series diode and a photoconversion layer substrate of ZnTe or ZnSe using a transparent conductive adhesive layer. While the GaN emitting diode emits a blue wavelength, a portion of the blue is absorbed by the light converting layer of ZnTe or ZnSe to emit another yellow wavelength. After the yellow light and the blue light are mixed together, white light is produced.

Description

백색광 발광 다이오드의 수직 전극 구조{VERTICAL ELECTRODE STRUCTURE OF WHITE LIGHT EMITTING DIODE}Vertical electrode structure of white light emitting diodes {VERTICAL ELECTRODE STRUCTURE OF WHITE LIGHT EMITTING DIODE}

본 고안은 백색광 발광 다이오드의 수직 전극 구조에 관한 것으로, 특히 본 고안의 구조는 수직 구조에 기인한 이전 설계를 뛰어넘는 혁신적인 향상을 이루었다. 게다가, 수직형 GaN LED 및 광 파장 변환 기판을 조합하여 이용한다. 청색광의 일부를 흡수하고 게다가 황색광을 발산하는 광 파장 변환 기판을 이용한다. 최종적으로, 황색광 및 청색광을 함께 혼합하여 백색광을 생성한다.The present invention relates to a vertical electrode structure of a white light emitting diode, and in particular, the structure of the present invention has achieved an innovative improvement over the previous design due to the vertical structure. In addition, a vertical GaN LED and an optical wavelength conversion substrate are used in combination. An optical wavelength conversion substrate that absorbs a portion of blue light and emits yellow light is also used. Finally, yellow light and blue light are mixed together to produce white light.

도 1의 (a)은 단면으로 도시된 GaN LED의 수평 전극 구조의 종래의 이용을 나타낸다. 발광 다이오드(1')는 제1 클래딩층, 일례로서, 즉 사파이어(10')위에 위치한 N형 GaN층(11')을 포함한다. 기판과 제1 클래딩층간의 사이에는 통상적으로 버퍼층을 포함하며; 본 도면에서는 도시되지 않았다. 활성층은, 일례로서, 제1 클래딩층 상의 InGaN(12')이다. 또한, 제2 클래딩층은, 일례로서, 활성층상의 P형 GaN층(13')이다. 본 도면에 도시된 바와 같이, 제1 클래딩층(15')과 제2 클래딩층(14')은 N형 전극(15')과 P형 전극(14')과 같은 2개의 상이한 극성을 가진 서로다른 전극층들이다. 종래의 백색 LED 기술에서, 미국 특허 제5,998,925호에 나타난 것이 가장 일반적인 백색 LED 구조이다. 패키징 수지는 상술한 적층 구조에서 패키징동안 인, 예를 들면, YAG 포스퍼(16')를 포함한다. 도 1의 (b)를 참조하면, 상술한 적층층의 활성층으로부터 광, 예컨대 청색광이 발산된다. 광의 일부는, 예컨대 YAG 포스퍼에 흡수되어 상이한 파장의 황색광으로 변환된다. 이어서 그 색광은 혼합됨으로써, 백색광이 형성된다.1 (a) shows a conventional use of the horizontal electrode structure of a GaN LED shown in cross section. The light emitting diode 1 'comprises a first cladding layer, for example an N-type GaN layer 11' positioned over sapphire 10 '. A buffer layer is typically included between the substrate and the first cladding layer; It is not shown in this figure. The active layer is InGaN 12 'on the first cladding layer as an example. The second cladding layer is, for example, a P-type GaN layer 13 'on the active layer. As shown in the figure, the first cladding layer 15 'and the second cladding layer 14' are each other having two different polarities, such as the N-type electrode 15 'and the P-type electrode 14'. Other electrode layers. In conventional white LED technology, what is shown in US Pat. No. 5,998,925 is the most common white LED structure. The packaging resin comprises phosphorus, for example YAG phosphor 16 ', during packaging in the laminate structure described above. Referring to FIG. 1B, light, for example, blue light, is emitted from the active layer of the laminated layer described above. Some of the light, for example, is absorbed by the YAG phosphor and converted into yellow light of different wavelengths. Subsequently, the color light is mixed to form white light.

그러나, 상술한 수평형 전극 백색 LED는 기판내에서 절연 재료, 사파이어를 사용하고, 그 열 도전 계수는 낮고 열발산은 빈약하다. 그 결과, 장기간 동작 동안 더 큰 구동 전류가 인가되는 동안, YAG 포스퍼(16')는 열에 의해 쉽게 결핍되게 된다. 또한, 변환 효율은 저하되고, 색차(chrominance)가 시프트된다. 게다가, 절연 재료인 사파이어가 기판(10')이 사용됨에 따라, 수평 전극 제조가 필요하게 되고 또한 여분의 필요한 칩 면적을 증가시킨다. 바꾸어 말하자면, 단위 면적당 칩 생산 능력을 저하시킨다. 또한, 이는 패키징 공정에서 와이어 본딩이 보다 복잡해지기 때문에, 제조 비용을 증가시킨다.However, the above-mentioned horizontal electrode white LED uses an insulating material and sapphire in the substrate, its thermal conductivity coefficient is low and heat dissipation is poor. As a result, the YAG phosphor 16 'is easily depleted by heat while a larger drive current is applied during long term operation. In addition, the conversion efficiency is lowered and the chrominance is shifted. In addition, as the insulating material sapphire substrate 10 'is used, horizontal electrode fabrication is required and the extra required chip area is increased. In other words, it reduces the chip production capacity per unit area. In addition, this increases manufacturing costs because wire bonding becomes more complex in the packaging process.

상술한 수평형 전극 LED를 향상시키기 위해, 하부 기판에 비절연 재료를 사용한다. 또한, 도 2에 나타난 바와 같이 하부에 광 파장 변환 기판을 제공하는 LED의 설계로서 수직형 전극을 이용한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 하부 기판은 N형 ZnSe 재료(22')이다. N형 ZnSe 버퍼층(23'), N형 ZnMgSSe 클래딩층(24'), ZnCdSe/ZnSeMQW 활성층(25'), P형 ZnMgSSe 클래딩층(26') 및 P형 ZnTe 콘택층(27')이 순차적으로 기판상에 배치된다. N형 ZnSe 버퍼층(23')은 주로 기판(22')과 N형 ZnMgSSe 클래딩층(24')의 중간에서 격자 미쓰매칭되는 것을 감소시키는데 사용된다. ZnCdSe/ZnSeMQW(25')의 양측, N형 ZnMgSSe 클래딩층(24')과 P형 ZnMgSSe 클래딩층(26')은 활성층(25')에 비해 더 넓은 밴드갭을 가지고 캐리어 제한 효과를 증가시킨다. In order to improve the above-described horizontal electrode LED, a non-insulating material is used for the lower substrate. In addition, as shown in FIG. 2, a vertical electrode is used as a design of an LED that provides an optical wavelength conversion substrate underneath. As shown in Fig. 2, the lower substrate is an N-type ZnSe material 22 '. N-type ZnSe buffer layer 23 ', N-type ZnMgSSe cladding layer 24', ZnCdSe / ZnSeMQW active layer 25 ', P-type ZnMgSSe cladding layer 26' and P-type ZnTe contact layer 27 'are sequentially Disposed on the substrate. The N-type ZnSe buffer layer 23 'is mainly used to reduce lattice mismatching between the substrate 22' and the N-type ZnMgSSe cladding layer 24 '. Both sides of the ZnCdSe / ZnSeMQW 25 ', the N-type ZnMgSSe cladding layer 24' and the P-type ZnMgSSe cladding layer 26 'have a wider bandgap than the active layer 25' and increase the carrier limiting effect.

또한, 상술한 적층 구조의 상하부에는, N형 전극(21')과 P형 전극(28')이 있다. N형 전극(21')과 P형 전극(28')에 적당한 전압이 제공될 때, P-N 콘택층간의 ZnCdSe/ZnSe MQW 활성층(25')은 청색광을 발산한다. 청색광의 일부는 N형 ZnSe 기판에 의해 흡수되고나서 황색광을 형성한다. 청색광과 황색광을 혼합함으로써, 백색광이 형성된다.In addition, the upper and lower portions of the above-described laminated structure include an N-type electrode 21 'and a P-type electrode 28'. When an appropriate voltage is provided to the N-type electrode 21 'and the P-type electrode 28', the ZnCdSe / ZnSe MQW active layer 25 'between the P-N contact layers emits blue light. Part of the blue light is absorbed by the N-type ZnSe substrate and then forms yellow light. By mixing blue light and yellow light, white light is formed.

첫번째로 설명한 수평형 전극 제조 및 나중에 설명한 수직형 LED 제조를 비교하면, 후자가 좀 더 간단한 프로세스를 가질 뿐만 아니라, 패키징 프로세스시 요구되는 복잡성 및 열 도전성 문제를 방지할 수 있다. 그러나, 후자의 컴포넌트의 수명은 실제 응용시 T. Nakamura 등에 의해 저널 JPN. J. Appl. Phys. Vol. 43(2004) pp. 1287에 개재된 바와 같이 10000 시간을 달성할 수 있으나, 발광 효율은 GaN 시리즈와 같이 양호하지 않아 ZnSe 시리즈의 에피택셜층의 품질은 여전히 이상적인 상태가 아니다. 게다가, M. Tamsda 등에 의해 저널 JPN. J. Appl. Phys. Vol. 41(2002) pp. L246에 그리고 B. Damilano 등에 의해 저널 JPN. J. Appl. Phys. Vol. 40(2001) pp. L918에 나타난 바와 같이, 각기 혼합형 LED를 언급했고, 여러 색광을 발산하는 InGaN 양자 우물 발광층을 제시했다. 한 발광층은 더 짧은 청색 파장을 발산하고 다른 발광층으로부터 발산된 더 긴 녹색파장과 혼합할 수 있다. 따라서, 혼합광 또는 백색광의 특정 색차를 발산할 수 있다. 그러나, 더 긴 발광 파장을 달성하기 위해서 InGaN층의 In의 구성이나 InGaN층의 두께를 조정해야 하므로, 그 발광 효율은 비교적 감소된다. 현재까지 그러한 종류의 백색 LED의 발광 효율은 YAG 시리즈 제품의 1/2 내지 1/3 수준이기에, 여전히 결점을 갖는다.Comparing the horizontal electrode fabrication described first and the vertical LED fabrication described later, the latter not only has a simpler process, but also avoids the complexity and thermal conductivity issues required during the packaging process. However, the lifetime of the latter component is described in the journal JPN. J. Appl. Phys. Vol. 43 (2004) pp. Although 10000 hours can be achieved as disclosed in 1287, the luminous efficiency is not as good as the GaN series, so the quality of the epitaxial layer of the ZnSe series is still not ideal. In addition, the journal JPN by M. Tamsda et al. J. Appl. Phys. Vol. 41 (2002) pp. The journal JPN on L246 and by B. Damilano et al. J. Appl. Phys. Vol. 40 (2001) pp. As shown in the L918, each mentions a mixed LED and presents an InGaN quantum well emitting layer that emits multiple color light. One emitting layer may emit shorter blue wavelengths and mix with longer green wavelengths emitted from another emitting layer. Therefore, it is possible to emit a specific color difference of mixed light or white light. However, in order to achieve a longer emission wavelength, the composition of In of the InGaN layer and the thickness of the InGaN layer must be adjusted, so that the luminous efficiency is relatively reduced. To date, the luminous efficiency of such types of white LEDs is on the order of 1/2 to 1/3 of the YAG series products, which still has drawbacks.

상술한 문제점을 극복하기 위해, 본 고안은 백색 LED의 혁신적인 수직 구조를 제공한다. 종래의 수평형 전극 백색 LED에서 발생한 색차 시프트 문제의 극복은 물론 종래의 수직형 전극 백색 LED에 존재하는 낮은 발광 효율의 문제를 향상시킬 수 있다. 본 고안의 고안자는 장기간동안 백색 LED 분야에서 새로운 고안을 제안하기 위해 연구하였다. 본 고안자의 수년간의 조사의 경험, 그의 경험 지식을 이용한 설계에 따르면, 본 고안은 상술한 문제점을 극복한 등록용으로 제안 및 제출한다.In order to overcome the above problems, the present invention provides an innovative vertical structure of the white LED. The problem of low luminous efficiency existing in the conventional vertical electrode white LED can be improved as well as the problem of the color shift shift caused in the conventional horizontal electrode white LED. The inventors of the present invention have studied to propose a new design in the field of white LED for a long time. According to the inventor's years of research experience and design using his experience knowledge, the present invention proposes and submits for registration which overcomes the above-mentioned problems.

상술한 과제에 응답하여 다음 설명에서 명확하게 될 상술한 목적 및 다른 목적을 달성하기 위한, 백색 발광 다이오드의 혁신적인 수직 전극 구조가 제공된다. 본 고안은 GaN LED와 광 파장 변환 기판의 조합을 이용한다. 광 파장 변환 기판은 GaN 시리즈 LED의 청색광을 흡수하고 황색광을 발산한다. 황색광은 GaN 시리즈 LED의 청색광과 혼합되어, 백색광을 생성한다. GaN 시리즈 LED를 이용함으로써, 백색 LED가 더 나은 발광 효율을 가지게 된다. 또한, 백색 LED의 열 도전 계수를 증가시킬 수 있다. 그 결과, 컴포넌트의 동작 수명을 증가시키고, 높은 구동 전압 어플리케이션에 보다 적합하게 된다. 또한, ESD(electostatic discharge) 내구력을 증가시킬 수 있다.In response to the above-described problems, an innovative vertical electrode structure of a white light emitting diode is provided to achieve the above and other objects that will become apparent in the following description. The present invention utilizes a combination of GaN LEDs and an optical wavelength conversion substrate. The optical wavelength conversion substrate absorbs blue light and emits yellow light of the GaN series LEDs. Yellow light is mixed with blue light of GaN series LEDs to produce white light. By using GaN series LEDs, white LEDs have better luminous efficiency. It is also possible to increase the thermal conductivity coefficient of the white LED. As a result, it increases the operating life of the component and makes it more suitable for high drive voltage applications. It can also increase electrostatic discharge (ESD) durability.

본 고안의 목적들 중의 하나는 백색 LED의 수직 전극 구조를 제공하는 것이다. GaN 시리즈 LED 및 광 파장 변환 기판을 이용하여 백색 LED를 형성한다. 게다가, 칩 프로세스의 단위 면적을 감소시킨 수직 전극 구조이며 후 제조 공정의 와이어 본딩 및 패키징 처리에 더욱 이득이 된다.One of the objects of the present invention is to provide a vertical electrode structure of a white LED. White LEDs are formed using GaN series LEDs and an optical wavelength conversion substrate. In addition, it is a vertical electrode structure that reduces the unit area of the chip process and is further beneficial to the wire bonding and packaging process of the post fabrication process.

상술한 목적 및 기능을 달성하기 위해, 본 고안은 백색 LED의 수직 전극 구조를 제공하는 것이다. 또한, 우선 기판으로서 사파이어를 사용한다. 다음으로, 에피택셜 성장형 GaN 시리즈의 화합물 반도체가 LED 구조로서 적층된다. 금속 반사층 및 도전성 기판을 열적 본딩 기술로 상술한 GaN 시리즈 LED 구조와 결합한다. 다음으로, 레이저 리프트-오프 기술을 이용하여 사파이어 기판을 제거한다. 이 방법은 수직 전극 타입의 GaN 시리즈 LED 구조를 제조할 수 있다. 다음으로, 투광 도전성 접착층을 이용하여 GaN 시리즈 LED와, ZnTe 또는 ZnSe 광 파장 변환 기판을 결합하여 본 고안의 백색 LED를 형성한다. GaN 시리즈 LED가 청색 파장을 발산하는 동안, 청색광의 일부는 ZnTe 또는 ZnSe에 의해 흡수되어 황색광을 형성한다. 황색광과 청색광을 혼합함으로써, 백색광을 형성할 수 있다.In order to achieve the above object and function, the present invention is to provide a vertical electrode structure of a white LED. First, sapphire is used as the substrate. Next, an epitaxially grown GaN series compound semiconductor is laminated as an LED structure. The metal reflective layer and conductive substrate are combined with the GaN series LED structure described above by thermal bonding techniques. Next, the sapphire substrate is removed using a laser lift-off technique. This method can produce GaN series LED structures of vertical electrode type. Next, a GaN series LED and a ZnTe or ZnSe light wavelength conversion substrate are combined to form a white LED of the present invention using a light-transmissive conductive adhesive layer. While the GaN series LEDs emit blue wavelengths, some of the blue light is absorbed by ZnTe or ZnSe to form yellow light. By mixing yellow light and blue light, white light can be formed.

본 고안은 수평 전극 백색 LED에 사용된 YAG 포스퍼(phosphor)와 같은, 종래의 백색 LED 기술을 극복하기 위한 것이다. 절연성 사파이어가 기판으로서 사용되기 때문에, 그 열 도전 효율은 낮고 열 발산은 빈약하다. 그 결과, 더 높은 구동 전류가 장기간 인가되는 동안, YAG 포스퍼(16)는 열에 의해 손상받기 쉽다. 또한, 변환 효율은 저하되고 색차가 시프트된다. 수평 전극은 제조에 필요한 칩 면적을 증가시킨다. 바꾸어 말하자면, 단위 면적당 칩 제조 능력을 감소시킨다. 또한, 패키징 제조 공정에서 와이어 본딩은 더 복잡하게 된다. 따라서, 제조 비용을 증가시킨다. 게다가, 수직 전극 기술에서도 종래의 백색 LED는 일부 결점을 갖는다. ZnSe 시리즈의 에피택셜층의 발광 효율은 GaN 시리즈와 같이 양호하지 않기 때문에 품질이 여전히 이상적이지 않다. 그 결과, 본 고안은 GaN 시리즈 LED의 발광 효율을 증가시킨 백색 LED의 수직 전극 구조를 제공하는 것이다. 또한, 수직 전극 구조는 수평 전극의 증가된 칩 면적의 결점을 방지할 수 있다. 또한, 패키지 및 와이어 본딩 문제들을 극복하여 백색광을 생성할 수 있다.The present invention seeks to overcome conventional white LED technology, such as the YAG phosphor used in horizontal electrode white LEDs. Since insulating sapphire is used as the substrate, its thermal conduction efficiency is low and heat dissipation is poor. As a result, while the higher drive current is applied for a long time, the YAG phosphor 16 is susceptible to heat damage. In addition, the conversion efficiency is lowered and the color difference is shifted. Horizontal electrodes increase the chip area required for manufacturing. In other words, the chip manufacturing capacity per unit area is reduced. In addition, wire bonding becomes more complex in the packaging manufacturing process. Therefore, the manufacturing cost is increased. In addition, even in vertical electrode technology, conventional white LEDs have some drawbacks. The luminous efficiency of the epitaxial layer of the ZnSe series is not as good as the GaN series, so the quality is still not ideal. As a result, the present invention provides a vertical electrode structure of a white LED with increased luminous efficiency of a GaN series LED. In addition, the vertical electrode structure can prevent the drawback of increased chip area of the horizontal electrode. In addition, white light may be generated by overcoming package and wire bonding problems.

도 3a를 참조하면, 백색 LED 구조를 나타내는 본 고안의 바람직한 실시예들 중 하나이다. 본 도면에 나타난 바와 같이, 제1 바람직한 실시예의 수직 전극 백색 LED(1)는 우선 사파이어 기판(10)상에 저온 GaN 버퍼층(11), N형 AlInGaN 오믹 콘택층(12), AlInGaN 발광층(13) 및 P형 AlInGaN 오믹 콘택층(14)를 순차적으로 에피택셜 성장시킨다. 다음으로, 증착 또는 스퍼터 코딩 기술 중 어느 하나를 이용하여 P형 AlInGaN 오믹 콘택층(14) 상에 투광 도전성 오믹 콘택층(15)과 금속 반사층(16)을 피복시킨다. 투광 도전성 오믹 콘택층(15)과 금속 반사층(16)은 금속 접착층(17)이다. 도 3b에 나타난 바와 같이, 도전 기판(100)을 직접 또는 증착, 또는 스퍼터링에 의해 다른 도전층을 피복하여 열결합 방법으로 금속 반사층(16)과 결합한다. 다음으로, 레이저 리프트-오프 혹은 랩핑(lapping) 기술을 이용하여 사파이어 기판(10)을 제거하고 N형 AlInGaN 오믹 콘택층(12)이 보이게 한다. 다음으로, 도 3c 및 도 3d에 나타난 바와 같이, 증착 또는 스퍼터링 기술에 의해 수직 전극 타입의 GaN LED 구조(4)의 N형 AlInGaN 오믹 콘택층(12) 상에 그리고 N형 ZnSe 또는 N형 ZnTe 광 파장 변환 기판(2) 상에 N형 투광 도전성 접착층(18)을 형성한다. 다음으로, 도 3e에 나타난 바와 같이, 웨이퍼 본딩 방법을 이용하여 구조(4)와 구조(6)을 결합한다. 다음으로, 제1 전극(20)과 제2 전극(19)을 형성한다. N형 투광 도전성 접착층(18)은 N형 AlInGaN 오믹 콘택층(12) 및 N형 ZnSe 또는 N형 ZnTe 광 파장 변환 기판과 양호한 오믹 콘택을 갖는 것은 물론 더 나은 도전성 및 투광성을 갖는다. 제1 전극(20)과 제2 전극(19)에 적당한 전압이 제공될 때, P-N 콘택층사이에서 AlInGaN 발광층(13)은 청색광을 발산한다. 청색광의 일부는 N형 ZnSe 또는 N형 ZnTe 광 파장 변환 기판(2)에 의해 흡수되어 황색광을 형성한다. 청색광과 황색광을 혼합함으로써, 백색광을 형성한다.Referring to Figure 3a, it is one of the preferred embodiments of the present invention showing a white LED structure. As shown in the figure, the vertical electrode white LED 1 of the first preferred embodiment firstly comprises a low temperature GaN buffer layer 11, an N-type AlInGaN ohmic contact layer 12, and an AlInGaN light emitting layer 13 on the sapphire substrate 10. And the P-type AlInGaN ohmic contact layer 14 is sequentially epitaxially grown. Next, the transparent conductive ohmic contact layer 15 and the metal reflective layer 16 are coated on the P-type AlInGaN ohmic contact layer 14 using either a deposition or sputter coding technique. The transparent conductive ohmic contact layer 15 and the metal reflective layer 16 are metal adhesion layers 17. As shown in FIG. 3B, the conductive substrate 100 is coated with the metal reflective layer 16 by a thermal bonding method by coating another conductive layer directly or by vapor deposition or sputtering. Next, the sapphire substrate 10 is removed using a laser lift-off or lapping technique to make the N-type AlInGaN ohmic contact layer 12 visible. Next, as shown in FIGS. 3C and 3D, on the N-type AlInGaN ohmic contact layer 12 of the GaN LED structure 4 of the vertical electrode type by deposition or sputtering technique, and on the N-type ZnSe or N-type ZnTe light. An N-type transmissive conductive adhesive layer 18 is formed on the wavelength conversion substrate 2. Next, as shown in FIG. 3E, the structure 4 and the structure 6 are bonded using a wafer bonding method. Next, the first electrode 20 and the second electrode 19 are formed. The N-type transmissive conductive adhesive layer 18 has good ohmic contact with the N-type AlInGaN ohmic contact layer 12 and the N-type ZnSe or N-type ZnTe optical wavelength conversion substrate, as well as better conductivity and light transmittance. When a suitable voltage is provided to the first electrode 20 and the second electrode 19, the AlInGaN light emitting layer 13 emits blue light between the P-N contact layers. Part of the blue light is absorbed by the N-type ZnSe or N-type ZnTe optical wavelength conversion substrate 2 to form yellow light. White light is formed by mixing blue light and yellow light.

바람직한 실시예에서 가장 보편적으로 사용된 구조는 GaN LED 구조(4), 도전성 기판(100) 및 금속 반사층(16)에 의해 형성된 수직 전극 구조이다. N형 투광 도전성 접착층(18)을 이용함으로써, 광 파장 변환 기판(2)이 GaN LED 구조(4)에 접착되게 한다. 금속 반사층(16)은 입사각에 대해 반사를 선택할 수 없다. 따라서, 반사각의 대역폭은 증가될 수 있다. 게다가, 발광층(13)의 광을 효과적으로 반사시켜서 발광 효율을 증가시킬 수 있다. 또한, 본 구조는 열 도전성 및 ESD 내구력을 증가시킬 수 있다. 그 결과, 컴포넌트의 동작 수명을 증가시키고 높은 구동 전압 어플리케이션에 보다 적당하게 된다. 상술한 이점 이외에, 수직 전극 구조는 칩 제조의 단위 면적을 감소시킬 수 있다. 또한, 후자 프로세스의 종래의 와이어 본딩 및 패키징 프로세스에 비해 유익하다. 도 4a를 참조하면, 백색 LED 구조를 나타내는 본 고안의 바람직한 실시예들 중 하나이다. 도면에 나타난 바와 같이, 백색 LED를 나타내는 본 고안의 제2 바람직한 실시예이다. 첫번째로, 저온 GaN 버퍼층(11), N형 AlInGaN 오믹 콘택층(12), AlInGaN 발광층(13) 및 P형 AlInGaN 오믹 콘택층(14)이 사파이어 기판(10) 상에 순차적으로 에피택셜 성장되어 GaN LED 구조를 형성한다. 다음으로, 임시 기판(110)을 열적 본딩 방법을 이용하여 P형 AlInGaN 오믹층(14)에 본딩시킨다. 도 4b에 나타난 바와 같이, 이후 레이저 리프트-오프 또는 랩핑 기술을 이용하여 사파이어 기판(10)을 제거하고 N형 AlInGaN 오믹 콘택층(12)이 나타난다. 다음으로, 증착 또는 스퍼터링 기술에 의해 수직 전극 타입의 GaN LED 구조(4)를 형성하는 N형 AlInGaN 오믹 콘택층(12) 상에 그리고 도 3d에 나타난 바와 같이, N형 ZnSe 또는 N형 ZnTe 광 파장 변환 기판(2) 상에 N형 투광 도전성 접착층(18)을 형성한다. 다음으로, 도 4c에 나타난 바와 같이, 웨이퍼 본딩 방법을 이용하여 구조(8)과 구조(6)을 결합시킨다. 다음으로, 임시 기판(110)을 제거하고 P형 AlInGaN 오믹 콘택층(12) 상에 전류 확산층으로서 투광 도전성 오믹 콘택층을 형성한다. 또한, 제1 전극(20)과 제2 전극(19)이 제조된다. 도 4d에 나타난 바와 같이, N형 투광 도전성 접착층(18)은 N형 AlInGaN 오믹 콘택층(12) 및 N형 ZnSe 또는 N형 ZnTe 광 파장 변환 기판과 양호한 오믹 콘택을 갖는 것은 물론 더 나은 도전성 및 투광성을 갖는다. 제1 전극(20)과 제2 전극(19)에 적당한 전압이 제공될 때, P-N 콘택층 사이의 AlInGaN 발광층(13)은 청색광을 발산한다. 청색광의 일부는 N형 ZnSe 또는 N형 ZnTe 광 파장 변환 기판(2)에 의해 흡수되어 황색광을 형성한다. 청색광과 황색광을 혼합함으로써, 백색광을 형성한다. 본 고안의 바람직한 실시예는 높은 발광 효율의 GaN LED 구조를 이용한다. 게다가, N형 투광 도전성 접착층(18)은 광 파장 변환 기판(2)을 GaN LED 구조에 접착시켜서 수직 구조를 형성하는데 사용된다. 본 구조는 백색 LED가 더 나은 발광 효율을 갖게 한다. 또한, 백색 LED의 열 도전 효율을 증가시킬 수 있다. 그 결과, 컴포넌트의 동작 수명을 증가시키고 높은 구동 전압 어플리케이션에 대해 보다 적합하게 된다. 또한, ESD 내구력을 증가시킬 수 있다. 상술한 이점 이외에, 수직 전극 구조는 칩 제조의 단위 면적을 감소시킬 수 있다. 또한, 종래 이용의 와이어 본딩 및 패키징 프로세스에 비해 유익하다. The most commonly used structure in the preferred embodiment is a vertical electrode structure formed by the GaN LED structure 4, the conductive substrate 100, and the metal reflective layer 16. By using the N-type transmissive conductive adhesive layer 18, the optical wavelength conversion substrate 2 is adhered to the GaN LED structure 4. The metal reflective layer 16 cannot select reflection for the angle of incidence. Thus, the bandwidth of the reflection angle can be increased. In addition, the light efficiency of the light emitting layer 13 can be effectively reflected to increase the light emission efficiency. In addition, the present structure can increase thermal conductivity and ESD durability. As a result, it increases the operating life of the component and makes it more suitable for high drive voltage applications. In addition to the advantages described above, the vertical electrode structure can reduce the unit area of chip fabrication. It is also advantageous over the conventional wire bonding and packaging process of the latter process. Referring to Figure 4a, it is one of the preferred embodiments of the present invention showing a white LED structure. As shown in the figure, it is a second preferred embodiment of the present invention showing a white LED. First, the low-temperature GaN buffer layer 11, the N-type AlInGaN ohmic contact layer 12, the AlInGaN light emitting layer 13, and the P-type AlInGaN ohmic contact layer 14 are sequentially epitaxially grown on the sapphire substrate 10 to GaN. Form the LED structure. Next, the temporary substrate 110 is bonded to the P-type AlInGaN ohmic layer 14 using a thermal bonding method. As shown in FIG. 4B, the sapphire substrate 10 is then removed using laser lift-off or lapping techniques and the N-type AlInGaN ohmic contact layer 12 is shown. Next, on the N-type AlInGaN ohmic contact layer 12 forming the vertical electrode type GaN LED structure 4 by vapor deposition or sputtering technique and as shown in FIG. 3D, an N-type ZnSe or N-type ZnTe optical wavelength. The N-type transmissive conductive adhesive layer 18 is formed on the conversion substrate 2. Next, as shown in FIG. 4C, the structure 8 and the structure 6 are bonded using a wafer bonding method. Next, the temporary substrate 110 is removed to form a transparent conductive ohmic contact layer as a current diffusion layer on the P-type AlInGaN ohmic contact layer 12. In addition, the first electrode 20 and the second electrode 19 are manufactured. As shown in FIG. 4D, the N-type transmissive conductive adhesive layer 18 has good ohmic contact with the N-type AlInGaN ohmic contact layer 12 and the N-type ZnSe or N-type ZnTe optical wavelength converting substrate, as well as better conductivity and light transmission. Has When a suitable voltage is provided to the first electrode 20 and the second electrode 19, the AlInGaN light emitting layer 13 between the P-N contact layers emits blue light. Part of the blue light is absorbed by the N-type ZnSe or N-type ZnTe optical wavelength conversion substrate 2 to form yellow light. White light is formed by mixing blue light and yellow light. A preferred embodiment of the present invention uses a GaN LED structure of high luminous efficiency. In addition, the N-type transmissive conductive adhesive layer 18 is used to bond the optical wavelength converting substrate 2 to the GaN LED structure to form a vertical structure. This structure allows the white LED to have better luminous efficiency. In addition, the thermal conduction efficiency of the white LED can be increased. As a result, it increases the operating life of the component and makes it more suitable for high drive voltage applications. It can also increase ESD durability. In addition to the advantages described above, the vertical electrode structure can reduce the unit area of chip fabrication. It is also advantageous over conventional wire bonding and packaging processes.

또한, 도 5a를 참조하면, 백색 LED 구조를 나타내는 본 고안의 다른 바람직한 실시예이다. 도면에 나타난 바와 같이, 본 고안의 제1 바람직한 실시예의 다른 실시예의 특징은 N형 AlInGaN 오믹 콘택층(12)의 표면이 텍스쳐링 구조를 갖는다는 것이다. 따라서, 외부 발광 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.In addition, referring to Figure 5a, another preferred embodiment of the present invention showing a white LED structure. As shown in the figure, a feature of another embodiment of the first preferred embodiment of the present invention is that the surface of the N-type AlInGaN ohmic contact layer 12 has a texturing structure. Therefore, the external light emission efficiency can be further improved.

도 5b를 참조하면, 백색 LED 구조를 나타내는 본 고안의 다른 바람직한 실시예이다. 도면에 나타난 바와 같이, 본 고안의 제1 실시예 이외의 다른 실시예의 특징은 광 파장 변환 기판(2)의 표면이 텍스쳐링 구조 또는 2D 광결정 구조(도 5c를 참조)를 형성하는 것이다.Referring to Figure 5b, another preferred embodiment of the present invention showing a white LED structure. As shown in the figure, a feature of another embodiment other than the first embodiment of the present invention is that the surface of the optical wavelength conversion substrate 2 forms a texturing structure or a 2D photonic crystal structure (see FIG. 5C).

도 5d는 백색 LED 구조를 나타내는 본 고안의 다른 바람직한 실시예이다. 도면에 나타난 바와 같이, 본 고안의 제1 실시예 이외의 다른 실시예의 특징은 광 파장 변환 기판(2)과 투광 도전성 접착층의 접촉 면적이 광 파장 변환 기판(2)과 제2 전극(19)사이 표면보다 더 작다는 것이다. 또한, 투광 도전성 접착층과 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조의 접촉 면적은 투광 도전성 접착층과 광 파장 변환 기판의 접촉 면적과 동일하다. 그 결과, 광 파장 변환 기판(2)은 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조의 표면에 평행하지 않다. 수직 방향에 대해 상대적으로 빗각은 50∼70도이다.Figure 5d is another preferred embodiment of the present invention showing a white LED structure. As shown in the figure, the features of the embodiments other than the first embodiment of the present invention are that the contact area between the optical wavelength converting substrate 2 and the transparent conductive adhesive layer is between the optical wavelength converting substrate 2 and the second electrode 19. Is smaller than the surface. In addition, the contact area of the laminated structure of a transparent conductive adhesive layer and a GaN series semiconductor is the same as the contact area of a transparent conductive adhesive layer and an optical wavelength conversion substrate. As a result, the optical wavelength conversion substrate 2 is not parallel to the surface of the laminated structure of the GaN series semiconductor. The oblique angle is 50 to 70 degrees relative to the vertical direction.

또한, 도 6a를 참조하면, 도 6a는 백색 LED 구조를 나타내는 본 고안의 바람직한 실시예들 중 하나이다. 도면에 나타난 바와 같이, 본 고안의 제2 실시예 이외의 다른 실시예의 특징은 P형 GaN 시리즈 반도체의 오믹 콘택층(14)의 표면이 텍스쳐링 구조라는 것이다.Also, referring to FIG. 6A, FIG. 6A is one of preferred embodiments of the present invention showing a white LED structure. As shown in the figure, a feature of another embodiment other than the second embodiment of the present invention is that the surface of the ohmic contact layer 14 of the P-type GaN series semiconductor is a texturing structure.

도 6b를 참조하면, 백색 LED 구조를 나타내는 본 고안의 바람직한 실시예들 중 하나이다. 도면에 나타난 바와 같이, 본 고안의 제2 실시예 이외의 다른 실시예의 특징은 N형 투광 도전성 접착층(18)이 텍스쳐링 구조라는 것이다.Referring to Figure 6b, it is one of the preferred embodiments of the present invention showing a white LED structure. As shown in the figure, a feature of another embodiment other than the second embodiment of the present invention is that the N-type transmissive conductive adhesive layer 18 is a texturing structure.

도 6c는 백색 LED 구조를 나타내는 본 고안의 다른 바람직한 실시예이다. 도면에 나타난 바와 같이, 본 고안의 제2 실시예 이외의 다른 실시예의 특징은 광 파장 변환 기판(2)과 투광 도전성 접착층의 접촉 면적이 광 파장 변환 기판(2)과 제2 전극(20) 사이 접촉 면적보다 작다는 것이다. 또한, 투광 도전성 접착층과 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조의 접촉 면적은 투광 도전성 접착층과 광 파장 변환 기판의 접촉 면적과 동일하다. 그 결과, 광 파장 변환 기판(2)은 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조의 표면에 평행하지 않다. 수직 방향에 대해 상대적으로 빗각은 30∼50도이다.Figure 6c is another preferred embodiment of the present invention showing a white LED structure. As shown in the figure, a feature of another embodiment other than the second embodiment of the present invention is that the contact area between the optical wavelength converting substrate 2 and the transparent conductive adhesive layer is between the optical wavelength converting substrate 2 and the second electrode 20. It is smaller than the contact area. In addition, the contact area of the laminated structure of a transparent conductive adhesive layer and a GaN series semiconductor is the same as the contact area of a transparent conductive adhesive layer and an optical wavelength conversion substrate. As a result, the optical wavelength conversion substrate 2 is not parallel to the surface of the laminated structure of the GaN series semiconductor. The oblique angle is 30 to 50 degrees relative to the vertical direction.

본 고안은 종래의 수평형 전극 백색 LED에서 발생한 색차 시프트 문제의 극복은 물론 종래의 수직형 전극 백색 LED에 존재하는 낮은 발광 효율의 문제를 향상시킬 수 있다. The present invention can improve the problem of low luminous efficiency existing in the conventional vertical electrode white LED as well as overcoming the chrominance shift problem caused in the conventional horizontal electrode white LED.

현재까지, 본 고안의 실시예들은 특정 실시예들을 참조하여 기술되었다. 그러나, 본 고안은 이들 특정 실시예들에 국한되지 않는다. 결론적으로, 본 고안은 신규성 및 진보성에 부합되며 산업에 적용가능하다. 따라서, 등록될 수 있는 필수 구성요소에 부합된다. 본 고안은 등록받기 충분하다고 생각하며 실제로 본 출원이 등록될 수 있기를 희망한다.To date, embodiments of the present invention have been described with reference to specific embodiments. However, the present invention is not limited to these specific embodiments. In conclusion, the present invention is consistent with novelty and inventiveness and is applicable to industry. Thus, it complies with the essential components that can be registered. The present invention is deemed sufficient to be registered and hopes that the present application can be registered in practice.

추가적인 이점 및 변형은 본 분야의 숙련된 자에 의해 가능할 것이다. 따라서, 더 넓은 관점에서 본 고안은 본 명세서에 도시되고 기술된 대표 실시예들 및 특정 상세에 국한되지 않는다. 따라서, 다양한 변형은 첨부된 청구항 및 그 등가물에 의해 정의된 일반적인 고안의 개념의 범위 또는 사상으로부터 동떨어짐없이 이루어질 것이다.Additional advantages and modifications will be possible by those skilled in the art. Thus, in a broader sense, the present invention is not limited to the representative embodiments and specific details shown and described herein. Accordingly, various modifications will be made without departing from the spirit or scope of the inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents.

도 1의 (a)는 GaN 시리즈 LED의 종래의 수평형 전극 구조를 나타낸 도면.Figure 1 (a) is a view showing a conventional horizontal electrode structure of the GaN series LED.

도 1의 (b)는 백색 LED의 종래의 수평형 전극 구조를 나타낸 도면.Figure 1 (b) is a view showing a conventional horizontal electrode structure of a white LED.

도 2는 GaN 시리즈 LED의 종래의 수직 전극 설계를 나타낸 도면.2 shows a conventional vertical electrode design of a GaN series LED.

도 3a 내지 도 3e는 수직 전극 백색 LED에 대한 제조 흐름도를 나타낸 본 고안의 바람직한 실시예의 일부를 도시한 도면.3A-3E show some of the preferred embodiments of the present invention showing a manufacturing flow diagram for a vertical electrode white LED.

도 4a 내지 도 4d는 수직 전극 백색 LED에 대한 제조 흐름도를 나타낸 본 고안의 바람직한 실시예의 일부를 도시한 도면.4A-4D show some of the preferred embodiments of the present invention showing a manufacturing flow diagram for a vertical electrode white LED.

도 5a는 백색 LED 구조를 나타낸 본 고안의 다른 바람직한 실시예를 도시한 도면.Figure 5a is a view showing another preferred embodiment of the present invention showing a white LED structure.

도 5b는 백색 LED 구조를 나타낸 본 고안의 다른 바람직한 실시예를 도시한 도면.Figure 5b is a view showing another preferred embodiment of the present invention showing a white LED structure.

도 5c는 2D 광결정 구조를 구비한 광파장 변환 기판을 나타낸 본 고안의 다른 바람직한 실시예를 도시한 도면.FIG. 5C illustrates another preferred embodiment of the present invention showing an optical wavelength conversion substrate having a 2D photonic crystal structure. FIG.

도 5d는 백색 LED 구조를 나타낸 본 고안의 다른 바람직한 실시예를 도시한 도면.Figure 5d is a view showing another preferred embodiment of the present invention showing a white LED structure.

도 6a는 백색 LED 구조를 나타낸 본 고안의 바람직한 실시예들 중 하나를 도시한 도면.Figure 6a is a view showing one of the preferred embodiments of the present invention showing a white LED structure.

도 6b는 백색 LED 구조를 나타낸 본 고안의 바람직한 실시예들 중 하나를 도시한 도면.Figure 6b is a view showing one of the preferred embodiments of the present invention showing a white LED structure.

도 6c는 백색 LED 구조를 나타낸 본 고안의 다른 바람직한 실시예를 도시한 도면.Figure 6c is a view showing another preferred embodiment of the present invention showing a white LED structure.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 수직 전극 백색 LED1: vertical electrode white LED

11 : 저온 GaN 버퍼층11: low temperature GaN buffer layer

12 : N형 AlInGaN 오믹 콘택층12: N-type AlInGaN ohmic contact layer

13 : AlInGaN 발광층13: AlInGaN light emitting layer

14 : P형 AlInGaN 오믹 콘택층14: P-type AlInGaN ohmic contact layer

15 : 투광 도전성 오믹 콘택층15: transparent conductive ohmic contact layer

16 : 금속 반사층16: metal reflective layer

17 : 금속 접착층17 metal bonding layer

19 : 제2 전극19: second electrode

20 : 제1 전극20: first electrode

100 : 도전성 기판100: conductive substrate

Claims (18)

백색 발광 다이오드의 수직 구조에 있어서, In the vertical structure of the white light emitting diode, 제1 전극;A first electrode; 상기 제1 전극 상의 도전성 기판;A conductive substrate on the first electrode; 상기 도전성 기판상의 금속 접착층;A metal adhesive layer on the conductive substrate; 상기 금속 접착층상의 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조;A laminated structure of a GaN series semiconductor on the metal adhesive layer; 상기 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조 상의 투광 도전성 접착층;A transparent conductive adhesive layer on the laminated structure of the GaN series semiconductor; 상기 투광 도전성 접착층상의 광 파장 변환 기판; 및An optical wavelength conversion substrate on the translucent conductive adhesive layer; And 상기 광 파장 변환 기판상의 제2 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.And a second electrode on the optical wavelength conversion substrate. 제1항에 있어서, 상기 금속 접착층은 투광 도전성 오믹 콘택층과 금속 반사층을 포함하고, 상기 금속 반사층은 상기 도전성 기판상에 형성되고, 상기 투광 도전성 오믹 콘택층은 상기 금속 반사층 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The metal adhesion layer of claim 1, wherein the metal adhesive layer comprises a light transmissive ohmic contact layer and a metal reflecting layer, the metal reflecting layer is formed on the conductive substrate, and the light transmissive ohmic contact layer is formed on the metal reflecting layer. Vertical structure of white light emitting diode. 제1항에 있어서, 상기 투광 도전성 접착층은 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 몰리브덴 산화물(IMO), 인듐 산화물, 주석 산화물, 카드뮴 주석 산화물, 갈륨 산화물, 인듐 아연 산화물, 갈륨 아연 산화물 또는 아연 산화물로부터 선택된 하나로 이루어진 N형 투광 도전성 접착층인 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The method of claim 1, wherein the transparent conductive adhesive layer is selected from indium tin oxide (ITO), indium molybdenum oxide (IMO), indium oxide, tin oxide, cadmium tin oxide, gallium oxide, indium zinc oxide, gallium zinc oxide or zinc oxide. A vertical structure of a white light emitting diode, characterized in that the N-type transparent conductive adhesive layer consisting of one. 제1항에 있어서, 상기 광 파장 변환 기판은 N형 ZnSe 및 N형 ZnTe로부터 선택된 것인 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The vertical structure of a white light emitting diode according to claim 1, wherein the optical wavelength conversion substrate is selected from N-type ZnSe and N-type ZnTe. 제1항에 있어서, 상기 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조의 표면은 텍스쳐링 구조인 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The vertical structure of a white light emitting diode according to claim 1, wherein the surface of the stacked structure of the GaN series semiconductor is a texturing structure. 제1항에 있어서, 상기 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조는 P형 GaN 시리즈 반도체 오믹 콘택층, 발광층 및 N형 GaN 시리즈 반도체 오믹 콘택층이 순차적으로 적층되는 포함하는 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The vertical structure of a white light emitting diode according to claim 1, wherein the stacked structure of the GaN series semiconductor includes a P-type GaN series semiconductor ohmic contact layer, a light emitting layer, and an N-type GaN series semiconductor ohmic contact layer sequentially stacked. . 제1항에 있어서, 상기 N형 GaN 시리즈 반도체의 오믹 콘택층의 표면은 텍스쳐링 구조인 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The vertical structure of a white light emitting diode according to claim 1, wherein the surface of the ohmic contact layer of the N-type GaN series semiconductor has a texturing structure. 제1항에 있어서, 상기 광 파장 변환 기판의 표면은 텍스쳐링 구조인 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The vertical structure of a white light emitting diode according to claim 1, wherein the surface of the optical wavelength conversion substrate is a texturing structure. 제8항에 있어서, 상기 텍스쳐링 구조는 2D 광결정 구조인 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The vertical structure of a white light emitting diode according to claim 8, wherein the texturing structure is a 2D photonic crystal structure. 제1항에 있어서, 상기 광 파장 변환 기판은 상기 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조의 표면에 평행하지 않고, 수직 방향에 대해 상대적으로 빗각은 30∼50도인 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The vertical structure of a white light emitting diode according to claim 1, wherein the optical wavelength conversion substrate is not parallel to the surface of the laminated structure of the GaN series semiconductor, and has an oblique angle of 30 to 50 degrees relative to a vertical direction. 백색 발광 다이오드의 수직 구조에 있어서, In the vertical structure of the white light emitting diode, 제1 전극;A first electrode; 상기 제1 전극밑의 투광 도전성 오믹 콘택층;A transparent conductive ohmic contact layer under the first electrode; 상기 투광 도전성 오믹 콘택층밑의 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조;A laminated structure of a GaN series semiconductor under the translucent conductive ohmic contact layer; 상기 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조밑의 투광 도전성 접착층;A transparent conductive adhesive layer under the laminated structure of the GaN series semiconductor; 상기 투광 도전성 접착층밑의 광 파장 변환 기판; 및An optical wavelength conversion substrate under the transparent conductive adhesive layer; And 상기 광 파장 변환 기판밑의 제2 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.And a second electrode under the optical wavelength conversion substrate. 제11항에 있어서, 상기 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조는 N형 GaN 시리즈 반도체 오믹 콘택층, 발광층 및 P형 GaN 시리즈 반도체 오믹 콘택층이 순차적으로 적층되는 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.12. The vertical structure of a white light emitting diode according to claim 11, wherein the GaN series semiconductor stacked structure is formed by sequentially stacking an N-type GaN series semiconductor ohmic contact layer, a light emitting layer, and a P-type GaN series semiconductor ohmic contact layer. 제11항에 있어서, 상기 투광 도전성 접착층은 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 몰리브덴 산화물(IMO), 인듐 산화물, 주석 산화물, 카드뮴 주석 산화물(CTO), 갈륨 산화물, 인듐 아연 산화물(IZO), 갈륨 아연 산화물(GZO) 또는 아연 산화물(ZnO)로부터 선택된 하나로 이루어진 N형 투광 도전성 접착층인 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The method of claim 11, wherein the transparent conductive adhesive layer is indium tin oxide (ITO), indium molybdenum oxide (IMO), indium oxide, tin oxide, cadmium tin oxide (CTO), gallium oxide, indium zinc oxide (IZO), gallium zinc A vertical structure of a white light emitting diode, characterized in that the N-type transmissive conductive adhesive layer consisting of one selected from oxide (GZO) or zinc oxide (ZnO). 제11항에 있어서, 상기 광 파장 변환 기판은 N형 ZnSe 및 N형 ZnTe로부터 선택된 것인 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The vertical structure of a white light emitting diode according to claim 11, wherein the optical wavelength conversion substrate is selected from N-type ZnSe and N-type ZnTe. 제11항에 있어서, 상기 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조의 표면은 텍스쳐링 구조인 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The vertical structure of a white light emitting diode according to claim 11, wherein the surface of the stacked structure of the GaN series semiconductor is a texturing structure. 제11항에 있어서, 상기 P형 GaN 시리즈 반도체의 오믹 콘택층의 표면은 텍스쳐링 구조인 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The vertical structure of a white light emitting diode according to claim 11, wherein the surface of the ohmic contact layer of the P-type GaN series semiconductor has a texturing structure. 제11항에 있어서, 상기 투광 도전성 접착층의 표면은 텍스쳐링 구조인 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.The vertical structure of a white light emitting diode according to claim 11, wherein the surface of the transparent conductive adhesive layer has a texturing structure. 제11항에 있어서, 상기 광 파장 변환 기판은 상기 GaN 시리즈 반도체의 적층 구조의 표면에 평행하지 않고, 수직 방향에 대해 상대적으로 빗각은 30∼50도인 것을 특징으로 하는 백색 발광 다이오드의 수직 구조.12. The vertical structure of a white light emitting diode according to claim 11, wherein the optical wavelength conversion substrate is not parallel to the surface of the laminated structure of the GaN series semiconductor, and has an oblique angle of 30 to 50 degrees relative to a vertical direction.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100826379B1 (en) * 2006-08-08 2008-05-02 삼성전기주식회사 monolithic white light emitting device
US7688933B2 (en) 2006-01-26 2010-03-30 Casio Computer Co., Ltd. Shift register circuit and display drive device
KR100969126B1 (en) 2009-03-10 2010-07-09 엘지이노텍 주식회사 Light emitting device
KR20110126793A (en) * 2010-05-18 2011-11-24 엘지이노텍 주식회사 Light emitting device, method for fabricating the light emitting device and light emitting device package

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7688933B2 (en) 2006-01-26 2010-03-30 Casio Computer Co., Ltd. Shift register circuit and display drive device
KR100826379B1 (en) * 2006-08-08 2008-05-02 삼성전기주식회사 monolithic white light emitting device
KR100969126B1 (en) 2009-03-10 2010-07-09 엘지이노텍 주식회사 Light emitting device
US7956376B2 (en) 2009-03-10 2011-06-07 Lg Innotek Co., Ltd. Light emitting device, method for manufacturing light emitting device, and light emitting apparatus
US8168993B2 (en) 2009-03-10 2012-05-01 Lg Innotek Co., Ltd. Light emtting device, method for manufacturing light emitting device, and light emitting apparatus
KR20110126793A (en) * 2010-05-18 2011-11-24 엘지이노텍 주식회사 Light emitting device, method for fabricating the light emitting device and light emitting device package
KR101646664B1 (en) * 2010-05-18 2016-08-08 엘지이노텍 주식회사 Light emitting device, method for fabricating the light emitting device and light emitting device package

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