KR200346867Y1

KR200346867Y1 - 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치

Info

Publication number: KR200346867Y1
Application number: KR20-2004-0001628U
Authority: KR
Inventors: 손용환
Original assignee: 주식회사 심우
Priority date: 2004-01-20
Filing date: 2004-01-20
Publication date: 2004-04-01

Abstract

본 고안은 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치, 보다 상세하게는 각종 전기, 전자제품의 표시장치에 사용되는 액정글라스를 제품에 적용하기 전에 그 표면에 결함 여부를 검사할 때, 액정글라스에 형성된 패턴의 방향이나 조명의 조사 위치에 구애됨이 없이 검사가 가능함과 아울러 점진적으로 액정글라스의 크기가 확대되고 있는 추세(6세대 액정글라스의 크기: 1,500 ×1,800㎜)에서 액정글라스를 지지하면서 가변 동작을 하게 되는 설비의 작동범위 공간을 축소할 수 있게 한 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치에 관한 것이다.

즉, 액정글라스의 사방 모서리 부분을 지지할 수 있게 클램프가 설치된 다수개의 실린더가 장착됨과 아울러 액정글라스의 중앙부분을 지지하도록 내부에 설치된 다수개의 지지바와 상기 지지바의 상부에 설치되어 액정글라스의 하부면을 흡입 고정하는 흡착패드를 다수개 구비하며 상, 하부가 개방된 이너스테이지와, 상기 이너스테이지의 양측 모서리 부분에 설치하되 구동모터에 의해 이너스테이지를 회동가능하게 고정 설치하는 한 쌍의 회전구와, 상기 회전구를 양측 모서리에 구비된 연결편에 설치하되 양측에서 한 쌍의 동기모터가 베이스에 구비된 지지다리에 의해 장착되어 동기모터에 의해 회동 가능한 아웃스테이지가 구비된 구성을 특징으로 한다.

Description

액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치{A variable apparatus of surface defect inspect equipment of liquid crystal glass}

일반적으로, 액정글라스는 화면 크기와 상관없이 두께가 얇고 가벼우며, 전력 소모가 적기 때문에 노트북과 같은 소형 경량, 저전력 소모가 요구되는 분야에서 사용됨은 물론 일반 데스크탑 컴퓨터용 모니터, 자동차 항법장치용 디스플레이,산업기기, 전기통신 단말 등에 이르기까지 모든 응용 분야에 침투하고 있고, CRT(음극선관 : Cathode-Ray Tube)의 아성인 TV 분야까지 확장되고 있으며, 전자산업의 발달로 두께가 얇은 표시장치(LCD, PDP, 유기EL 등)가 널리 보급되는 실정이다.

또한, 표면에 두께가 얇은 글라스가 설치되어 있고, 제조할 때에 평행한 2매의 도전 기판을 밀봉재로 밀봉하고, 양 기판 사이에 액정을 주입하여 이루어지며, 상기 도전 기판에 전압을 인가하면 액정이 도전 기판에 인가된 전압 변화에 의하여배열 방향을 달리하게 되고, 광원 또는 반사판에서 발산된 빛이 액정의 배열 형태에 따라 기판에 투과되거나 차단됨으로써 소정의 문자나 숫자 또는 임의의 화상을 사용자에게 전달하도록 하며. 다양한 패턴이 형성되도록 식각 및 세정 공정을 수행하고 있으며, 상기 글라스를 각 공정으로 이동시킬 때에는 글라스가 파손되지 않도록 공기압을 이용한 흡착패드 또는 클램프를 이용하고 있다.

또한 상기와 같이 제조된 글라스는 다양한 검사를 수행하고 있으며, 검사공정은 크게 특성검사와, 비주얼(visual)검사로 구분된다.

상기 특성검사는 글라스에 형성된 각종 패턴의 불량 상태를 검사하는 것이고, 비주얼 검사는 작업자가 육안으로 글라스 표면의 얼룩 및 이물질 등을 확인하는 검사이다.

상기 비주얼 검사는 매크로(광대역)검사와 매크로 검사에 의해서 발견된 불량부위를 확대하여 검사하는 마이크로(국소 부위)검사로 구분되고 있다.

즉, 매크로 검사는 작업자의 육안에 의한 검사로서, 글라스 전체에 대하여 얼룩이나 이물질의 부착상태를 검사는 과정이고, 마이크로 검사는 매크로 검사에서 발견된 국소 부위를 마이크로 검사기(현미경, 카메라, 영상분석 프로그램 등)를 이용하여 확대(약 25 ~ 100배)한 상태에서 불량상태를 세밀하게 검사하는 과정으로서, 마이크로 검사를 위한 국소 부위는 매크로 검사를 통하여 결정되는 것이다.

상술한 매크로 검사를 할 때에는 글라스 측으로 빛이 조사되도록 특수한 조명을 점등시킨 후 글라스를 다양한 각도로 변경시켜, 글라스를 통하여 반사 또는 투과되는 빛의 균일도와 글라스 표면에 발생된 얼룩 또는 이물질에 의한 결함을 확인하고 있다.

한편, 패턴이 형성된 액정글라스의 표면에 대한 결함 검사시 작업자를 기준으로 세로 방향의 패턴만이 검사가 가능하며 가로 방향의 패턴은 90°각도만큼 변위시켜 세로 방향으로 위치시킨 다음 표면 검사가 가능하였다.

그러나. 종래의 액정글라스 표면결함 검사장비는 액정글라스가 안착·지지되는 장방향의 스테이지를 X―Y―Z 축 방향으로 이송되는 지지대에 양측면 무게 중심부에 지지되게 하되 그 지지부에 구동모터를 설치하여 상기 구동모터를 기점으로 소정의 각도만큼 가변되도록 하면서 결함 여부를 검사하였고, 상기 스테이지를 지지하는 지지축은 세로 방향과 가로 방향으로 형성된 액정글라스의 패턴을 방향을 따라 스테이지를 좌, 우로 트위스트되게 하여 서로 직교되는 패턴을 검사하게 되는 구성이었으나, 수직축에 의해 회동하는 스테이지의 회전 반경을 고려하여 설비의 작업 공간이 확대되는 문제점이 있었다.

본 고안은 위와 같은 종래의 액정글라스 표면결함 검사장비의 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 그 목적은 용도에 맞게 패턴이 형성된 액정글라스의 표면 결함 검사시 형성된 패턴의 위치 방향에 구애받지 않고 검사가 용이하여 설비의 작동범위 공간을 축소할 수 있게 한 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치를 제공하는 것이다.

도 1은 본 고안의 실시예의 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치를 도시한 분해사시도,

도 2는 도 1의 평면도,

도 3은 상기 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치에 구비된 이너스테이지를 회동시키는 구동부가 아웃스테이지에 장착된 상태를 도시한 부분 확대사시도,

도 4a 내지 4d는 상기 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치의 작동상태를 도시한 사시도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 아웃스테이지(Out stage) 11 : 연결편

12 : 이너스테이지 (Inner stage) 13 : 회전구

14 : 지지다리 15 : 베이스

16 : 지지바 17 : 흡착패드

18 : 클램프 20 : 패턴

B : 벨트 G : 액정글라스

M : 동기모터 M' : 구동모터

P : 풀리

이러한 목적을 달성하기 위한 본 고안은, 액정글라스의 사방 모서리 부분을지지할 수 있게 클램프가 설치된 다수개의 실린더가 장착됨과 아울러 액정글라스의 중앙부분을 지지하도록 내부에 설치된 다수개의 지지바와 상기 지지바의 상부에 설치되어 액정글라스의 하부면을 흡입 고정하는 흡착패드를 다수개 구비하며 상, 하부가 개방된 이너스테이지와, 상기 이너스테이지의 양측 모서리 부분에 설치하되 구동모터에 의해 이너스테이지를 회동가능하게 고정 설치하는 한 쌍의 회전구와, 상기 회전구를 양측 모서리에 구비된 연결편에 설치하되 양측에서 한 쌍의 동기모터가 베이스에 구비된 지지다리에 의해 장착되어 동기모터에 의해 회동 가능한 아웃스테이지를 구비한 구성을 특징으로 한다.

이하, 본 고안의 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 고안의 실시예의 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치를 도시한 분해사시도이고, 도 2는 도 1의 평면도이며, 도 3은 상기 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치에 구비된 이너스테이지를 회동시키는 구동부가 아웃스테이지에 장착된 상태를 도시한 부분 확대사시도이다.

본 고안의 바람직한 실시예의 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치는 이너스테이지(12)의 내부에 다수의 지지바(16)가 설치되고 그 지지바(16)에 구비된 흡착패드(17)의 상부면에 액정글라스(G)를 안착한 다음, 액정글라스(G)의 사방 모서리 부분을 다수개의 클램프(18)에 의해 고정한 상태에서 액정글라스(G)에 패턴(20)이 형성된 표면의 결함 여부를 검사하며, 검사한 패턴(20)의 방향과 직교되게 형성된 패턴(20)은 이너스테이지(12)의 대각선을 기점으로 구동모터(M')에 의해 180° 회전시킨 상태에서 아웃스테이지(10)의 양측에 설치된 한 쌍의 동기모터(M)에 의해 아웃스테이지(10)를 180° 회전하여 가로 방향으로 형성된 패턴(20)을 세로 방향으로 위치시켜 패턴(20)의 표면 검사가 이루어진다.

즉, 검사자를 기준으로 세로 방향의 패턴(20)만이 검사가 가능하므로 검사시 가로 방향으로 형성된 패턴(20)의 위치 변경이 불가피함에 따라 액정글라스(G)가 고정, 안착된 이너스테이지(12)의 모서리 부근에 설치된 구동모터(M')에 의해 반 바퀴 회전시킨 다음, 이너스테이지(12)를 회전구(13)에 의해 지지하는 아웃스테이지(10)의 양측에 설치된 한 쌍의 동기모터(M)에 의해 아웃스테이지(10)를 반 바퀴 회전시켜 세로 방향에 위치된 패턴(20)의 방향을 이너스테이지(12)와 아웃스테이지(10)를 회전시키는 과정에서 90° 각도만큼 회전시켜 가로 방향의 패턴(20)을 세로 방향으로 위치되게 한 다음 표면 검사를 한다.

상기 이너스테이지(12)는 상, 하부가 개방된 상태로 내부에 액정글라스(G)의 중앙을 지지하도록 다수개의 지지바(16)가 설치되고 그 지지바(16)의 부분 돌출된 상부에 설치되어 액정글라스(G)의 하부면을 공압으로 흡입하여 고정하는 흡착패드(17)가 다수개 구비됨과 아울러 액정글라스(G)의 사방 모서리 부분을 지지할 수 있게 클램프(18)가 설치된 다수개의 실린더(19)가 장착된다.

상기 회전구(13)는 이너스테이지(12)의 양측 모서리 부분에 설치하되 아웃스테이지(10)의 연결편(11)에 설치된 구동모터(M')의 풀리(P)와 회전구(13)에 설치된 풀리(P)를 벨트(B)에 의해 구동력을 전달하여 이너스테이지(12)의 회동이 가능하다.

상기 아웃스테이지(10)는 상, 하부가 개방됨과 아울러 모서리 부분에 구동모터(M')가 장착된 연결편(13)이 장착되며 양측에서 한 쌍의 동기모터(M : 교류 전동기의 일종으로 일정 주파수 하에서 부하와는 관계없이 정해진 속도로 회전하는 정속도 전동기)가 베이스(15)에 구비된 지지다리(14)에 의해 장착되어 동기모터(M)에 의해 회동이 가능하다.

도 4a 내지 4d는 상기 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치의 작동상태를 도시한 사시도로써, 이너스테이지(12) 내부에 설치된 흡착패드(17) 상부면에 액정글라스(G)를 안착시킨 다음, 그 액정글라스(G)의 사방 모서리에 설치하되 실린더(19)에 의해 90°각도로 회동하는 클램프(18)가 액정글라스(G)를 고정, 해제시킨다.

액정글라스(G)를 고정시킨 다음, 검사자를 기준으로 수직되게 형성된 액정글라스(G)의 패턴(20)에 대해 표면 검사를 하고 가로로 형성된 패턴(20)을 검사하기 위해 일측 모서리에 장착된 구동모터(M')를 구동시켜 아웃스테이지(10)의 양측 모서리를 기점으로 이너스테이지(12)를 180° 만큼 회전시키고 최초의 액정글라스(G)의 저면이 위쪽을 향하게 한다.

그리고, 아웃스테이지(10)의 양측에 설치된 한 쌍의 동기모터(M)를 구동시켜 이너스테이지(12)를 지지하는 아웃스테이지(10)를 180° 만큼 회전시킨다.

그러므로, 최초의 세로로 위치된 액정글라스(G)의 패턴(20)은 이너스테이지(12)가 대각선을 기점으로 180° 회전함과 아울러 아웃스테이지(10)도 180° 회전함에 따라 가로 방향으로 위치되어 표면 결함검사를 하며 가로 방향의패턴(20)은 아웃스테이지(10)의 회전하는 과정에서 세로 방향에 위치된다.

이와 같은 본 고안의 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치는 액정글라스를 이너스테이지 내부에 고정한 상태에서 액정글라스에 세로로 형성된 패턴 표면의 결함 여부를 검사하며, 검사한 패턴의 방향과 직교되게 형성된 패턴은 이너스테이지를 대각선을 기점으로 아웃스테이지에 장착된 구동모터에 의해 180° 회전시킨 상태에서 한 차례 더 아웃스테이지의 양측에 설치된 한 쌍의 동기모터에 의해 아웃스테이지를 180° 회전시켜 가로 방향으로 형성된 패턴을 세로 방향으로 위치시키므로 패턴의 방향과는 상관없이 가로, 세로 방향의 패턴 표면의 검사가 용이함은 물론, 조명의 조사 위치에 구애됨이 없이 검사가 가능하여 설비의 작동범위 공간을 축소할 수 있는 효과가 있다.

Claims

액정글라스(G)의 사방 모서리 부분을 지지할 수 있게 클램프(18)가 설치된 다수개의 실린더(19)가 장착됨과 아울러 액정글라스(G)의 중앙부분을 지지하도록 내부에 설치된 다수개의 지지바(16)와, 상기 지지바(16)의 상부에 설치되어 액정글라스(G)의 하부면을 흡입 고정하는 흡착패드(17)를 다수개 구비하며 상, 하부가 개방된 이너스테이지(12)와, 상기 이너스테이지(12)의 양측 모서리 부분에 설치하되 구동모터(M')에 의해 이너스테이지(12)를 회동가능하게 고정 설치하는 한 쌍의 회전구(13)와, 상기 회전구(13)를 양측 모서리에 구비된 연결편(11)에 설치하되 양측에서 한 쌍의 동기모터(M)가 베이스(15)에 구비된 지지다리(14)에 의해 장착되어 동기모터(M)에 의해 회동 가능한 아웃스테이지(10)를 구비한 구성을 특징으로 하는 액정글라스 표면결함 검사장비의 가변장치.