KR200301245Y1

KR200301245Y1 - 먼지측정시스템의 에어 샘플링 장치

Info

Publication number: KR200301245Y1
Application number: KR20-2002-0032356U
Authority: KR
Inventors: 안철
Original assignee: (주)수도프리미엄엔지니어링
Priority date: 2002-10-30
Filing date: 2002-10-30
Publication date: 2003-01-24

Abstract

본 고안의 먼지측정시스템의 에어 샘플링 장치는 스탠드(16), 상기 스탠드(16)의 상부에 설치된 플렉시블관(17), 상기 플렉시블관(17) 및 스탠드(16)를 관통하는 튜브(18), 그리고 상기 튜브(18)의 끝단에 결합된 프로브(12)를 포함하는 에어 샘플링 장치에 있어서, 상기 프로브(12)의 끝단부를 폐쇄하도록 형성되어 있으며, 중앙에 제로 필터(9)가 착탈가능하게 설치되도록 설치공(19a)이 형성된 밀폐덮개(19)를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 고안은 먼지측정을 할 때나 시스템의 신뢰성검사를 할 때 프로브(12)의 결합상태를 그대로 두고 실시하므로 프로브(12)와 튜브(18)사이에 리크(leak)가 발생하지 아니하여 원하는 공기가 정확하게 프로브를 통하여 흡입되고 그에 따라 먼지의 측정정밀도를 향상시키며, 또한 프로브를 지지하는 스탠드의 높이조절이 간편하고 신속하게 행할 수 있고 스탠드의 높이 조절시 마멸에 의한 먼지 입자의 발생을 방지하지 하는 효과를 발휘한다.

Description

먼지측정시스템의 에어 샘플링 장치{AIR SAMPLING APPARATUS OF DUST MEASUREMENT SYSTEM}

본 고안은 반도체 회사 및 제약회사 등에 설비되어 있는 클린 룸(clean room)의 깨끗한 환경을 유지하기 위하여 클린 룸 내부 공기 중에 포함되어 있는 먼지를 측정하는 먼지측정시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 클린 룸내의 공기 샘플을 얻기 위하여 클린 룸 내부에 설치되는 에어 샘플링 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체회사 및 제약회사 등의 클린 룸에서는 미세한 먼지에도 민감하게 반응하여 그 기능이 저하 또는 마비되는 반도체, 약품 등을 제조하므로 내부 공기 중에 먼지 입자가 일정수준 이상이 포함되지 않도록 먼지 입자에 대하여 엄격한 관리를 하고 있다. 따라서 클린 룸 내부의 먼지 입자의 함유정도를 수시로 측정하고 있다.

도 1은 일반적인 먼지측정시스템의 개념도를 나타내고 있는데, 먼지측정시스템은 다수의 유입관이 연결되어 있는 매니폴드(1), 상기 매니폴드(1)의 유입관 끝단에 연결된 프로브(probe)(2), 상기 매니폴드(1)에 설치되어 공기 샘플을 흡입하는 펌프(3), 흡입된 공기중에 포함된 먼지입자를 카운팅하는 입자 카운터(4), 그리고 상기 입자 카운터(4)에서 카운팅된 입자수를 입력받아 데이터화하고 전체 시스템을 제어하는 컴퓨터(5)로 구성되어 있다. 상기 프로브(2)는 클린 룸의 적절한 장소에 배치된다.

프로브(2)는 클린 룸의 벽면에 설치되는 경우도 있고 도 2에 도시된 바와 같이 클린 룸 내부의 적절한 장소에 배치되는 스탠드(6)에 설치되는 경우도 있다. 본 명세서에서 에어 샘플링 장치라 함은 상기 프로브(2)를 클린 룸내부에 설치하는 장치를 의미한다.

도 2의 종래의 에어 샘플링 장치는 다단으로 형성되어 회전식으로 높이조절이 가능하게 된 스탠드(6), 상기 스탠드(6)의 상부에 설치된 플렉시블관(7), 상기 플렉시블관(7) 및 스탠드(6)의 내부를 관통하는 튜브(8), 그리고 상기 튜브(8)의 선단에 착탈가능하게 연결된 프로브(2)로 이루어져 있다.

상기와 같은 에어 샘플링 장치를 이용하여 공기중의 먼지 입자수를 측정하는 경우에는 펌프(3)를 작동시켜 프로브(2)를 통하여 공기 샘플을 유입되도록 하여 측정하는데, 먼지가 공기와 함께 입자카운터(4)를 통과하면서 먼지 입자수가 카운팅되어 그 데이터를 컴퓨터(5)에 입력한다.

먼지측정시스템을 장기간 사용하면 그 측정결과의 신뢰성을 검증할 필요가 있는데, 이를 위하여 도 2에 도시된 바와 같이 프로브(2)를 튜브(8)로부터 분리하고 대신에 튜브(8)에 제로 필터(Zero Filter)(9)를 설치한다. 제로 필터(9)는 먼지를 완전히 여과하여 먼지가 없는 공기만을 유입시키는 기능을 한다.

이 상태에서 펌프(3)를 일정시간 작동시키면 먼지는 측정되지 않아야 하는데 먼지가 측정되는 경우에는 시스템의 어디 곳에 리크(leak)가 발생하여 먼지가 포함된 공기가 시스템내부로 유입되고 있다는 것을 의미한다. 이 경우에는 리크발생 부분을 찾아내어 수리를 하여야 한다.

상기와 같은 종래 에어 샘플링 장치는 시스템의 신뢰성검사를 할 때마다 프로브(2)를 튜브(8)로부터 분리하고 대신에 제로 필터(9)를 결합하는 작업을 해야 하므로 이와 같은 결합/분리의 반복작용으로 프로브(2)(또는 제로 필터(9))와 튜브(8)의 연결부분의 마모가 발생하고 또한 프로브(2)(또는 제로 필터(9))의 정확한 결합이 이루어지지 아니하여, 프로브(2)(또는 제로 필터(9))와 튜브(8)사이에 리크(leak)가 발생하여 원하는 공기의 정확한 흡입이 행해지지 아니하여 먼지 입자수의 정확한 측정이 이루어지지 않고 시스템의 신뢰성검사에 차질을 빗게 되는 문제점이 있다.

또한 종래의 스탠드(6)는 나사방식에 의한 회전식으로 높이 조절할 수 있도록 되어서 높이 조절이 용이하지 않을 뿐만 아니라 회전시에 마멸에 의한 먼지 입자가 발생되는 문제점이 있다.

본 고안은 전술한 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로서, 시스템의 신뢰성검사를 함에 있어서 프로브의 분리, 결합을 행하지 않고 실시하도록 하여 프로브 또는 제로 필터와 튜브사이에 리크가 발생하지 않게 하고 그에 따라 필요한 공기만이 정확하게 프로브 또는 제로 필터를 통하여 흡입하도록 하여 먼지의 측정정밀도를 향상시키고 시스템의 신뢰성검사를 신속하게 행할 수 있도록 한 먼지측정시스템의 에어 샘플링 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 하고 있다.

본 고안의 다른 목적은 프로브를 지지하는 스탠드의 높이조절이 용이하고 높이 조절시 마멸에 의한 먼지 입자의 발생을 방지하도록 한 먼지측정시스템의 에어 샘플링 장치를 제공하는데 있다.

상기 한 목적을 달성하기 위한 본 고안의 먼지측정시스템의 에어 샘플링 장치는 스탠드, 상기 스탠드의 상부에 설치된 플렉시블관, 상기 플렉시블관 및 스탠드를 관통하는 튜브, 그리고 상기 튜브의 끝단에 결합된 프로브를 포함하는 에어 샘플링 장치에 있어서, 상기 프로브의 끝단부를 폐쇄하도록 형성되어 있으며, 중앙에 제로 필터가 착탈가능하게 설치되도록 설치공이 형성된 밀폐덮개를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 고안의 먼지측정시스템의 에어 샘플링 장치는 상기 스탠드가 하부파이프, 상기 하부파이프의 내부에서 상하이동하는 중간파이프, 그리고 상기 중간파이프의 내부에서 상하이동하는 상부파이프로 이루어져 있으며; 상기 중간파이프의 위치를 고정하기 위하여 하부파이프의 상부 외측면에 로크 블록이 고정되어 있고 상기 로크 블록에 형성된 공간에 로크 레버가 회동가능하게 설치되어 그 선단이 내부의 중간파이프에 밀착되어 중간파이프를 고정하도록 되어 있고; 상기 상부파이프의 위치를 고정하기 위하여 중간파이프의 상부에 볼트공을 형성하고 그 볼트공에 볼트를 체결하여 볼트의 선단이 내부의 상부파이프에 밀착되어 상부파이프를 고정하도록 되어 있다.

도 1은 일반적인 먼지측정시스템의 개념도,

도 2는 종래 먼지측정시스템의 에어 샘플링 장치를 나타내는 구성도,

도 3은 본 고안의 먼지측정시스템의 에어 샘플링 장치를 나타내는 구성도,

도 4는 본 고안의 에어 샘플링 장치의 구성요소인 프로브, 밀폐덮개와 튜브의 결합상태 단면도,

도 5는 본 고안의 에어 샘플링 장치의 구성요소인 스탠드의 구성을 나타내는 일부절개 정면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1: 매니폴드(manifold) 2: 프로브(probe)

3: 펌프 4: 입자 카운터

5: 컴퓨터 6: 스탠드

7: 플렉시블관 8: 튜브

9: 제로 필터(zero filter) 12: 프로브

12a: 오링 12b: 오링

16: 스탠드 16a: 하부파이프

16b: 중간파이프 16c: 상부파이프

16d: 로크 블록 16e: 로크 레버

16f: 볼트 17: 플렉시블관

18: 튜브 19: 밀폐덮개

19a: 설치공 20: 니플(nipple)

이하 본 고안을 첨부도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 고안의 먼지측정시스템의 에어 샘플링 장치를 나타내는 구성도이고, 도 4는 본 고안의 에어 샘플링 장치의 구성요소인 프로브, 밀폐덮개와 튜브의 결합상태 단면도이며, 도 5는 본 고안의 에어 샘플링 장치의 구성요소인 스탠드의 구성을 나타내는 일부절개 정면도이다.

도시된 바와 같이, 본 고안의 먼지측정시스템의 에어 샘플링 장치는 스탠드(16), 상기 스탠드(16)의 상부에 설치된 플렉시블관(17), 상기 플렉시블관(17) 및 스탠드(16)를 관통하는 튜브(18), 그리고 상기 튜브(18)의 끝단에 결합된 프로브(12)로 이루어져 있다. 상기 프로브(12)는 나팔형상으로 되어 있는데 튜브(18)와 결합되는 부분에 오링(O-ring)(12a)을 설치하여 프로브(12)와 튜브(18)사이에 리크가 발생하지 않도록 하고 있다.

본 고안은 상기 프로브(12)의 끝단부를 폐쇄하도록 형성되어 있으며, 중앙에 제로 필터(9)가 착탈가능하게 설치되도록 설치공(19a)이 형성된 밀폐덮개(19)를 포함한다.

밀폐덮개(19)는 약간의 탄성을 갖는 재질로 되어 있으며, 프로브(12)의 끝단부가 탄성적으로 삽입되는 요부가 형성되어 있다. 밀폐덮개(19)의 요부(凹部)에 삽입되는 프로브(12)의 외주면에는 오링(12b)이 설치되어 있어서 밀폐덮개(19)와 프로브(12) 사이에 기밀을 유지시켜 준다.

밀폐덮개(19)의 설치공(19a)에는 제로 필터(9)가 직접 착탈가능하게 설치할수 있지만 니플(nipple)(20)을 이용하여 다양한 크기의 제로 필터(9)를 설치할 수 있다. 즉 밀폐덮개(19)는 한 종류의 것을 사용하고, 외부는 밀폐덮개(19)의 설치공(19a)에 설치되고 내부는 제로 필터(9)가 설치되는 니플(20)을 다양하게 구비하여 이를 교체하며 이용함으로써, 제로 필터(9)의 크기에 관계없이 하나의 밀폐덮개(19)를 사용하여 먼지측정을 할 수 있다.

본 고안의 스탠드(16)는 그 높이조절을 용이하게 하기 위하여 도 5에 도시된 바와 같이 하부파이프(16a), 상기 하부파이프(16a)의 내부에서 상하이동하는 중간파이프(16b), 그리고 상기 중간파이프(16b)의 내부에서 상하이동하는 상부파이프(16c)로 이루어져 있으며, 상기 중간파이프(16b)의 위치를 고정하기 위하여 하부파이프(16a)의 상부 외측면에 로크 블록(lock block)(16d)이 고정되어 있고 상기 로크 블록(16d)에 형성된 공간에 로크 레버(16e)가 회동가능하게 설치되어 그 선단이 내부의 중간파이프(16b)에 밀착되어 중간파이프(16b)를 고정하도록 되어 있다. 또한 상부파이프(16c)의 위치를 고정하기 위하여 중간파이프(16b)의 상부에 볼트공을 형성하고 그 볼트공에 볼트(16f)를 체결하여 볼트(16f)의 선단이 내부의 상부파이프(16c)에 밀착되어 상부파이프(16c)를 고정하도록 되어 있다.

상기와 같이 구성된 본 고안의 에어 샘플링 장치는 다음과 같이 작용한다.

본 고안의 에어 샘플링 장치는 클린 룸 내부공간의 적절한 장소에 배치되는데, 스탠드(16)의 높이를 조절하여 프로브(12)의 높이를 조절한다. 스탠드(16)는 상부파이프(16c)를 최대한 길게 한 후 볼트(16f)를 강하게 체결하여 고정시키고, 로크 레버(16e)를 해제시킨 한 상태에서 중간파이프(16b)를 상하이동시켜프로브(12)의 높이를 조절한 후 로크 레버(16e)를 잠가 중간파이프(16b)를 고정한다. 이와 같이 스탠드(16)의 높이, 즉 프로브(12)의 높이를 조절할 경우에는 로크 레버(16e)만 돌려서 중간파이프(16b)를 상하 이동하면 되므로 회전방식의 높이조절의 경우보다 마멸에 의한 입자가 발생하지 아니하며 간편하고 신속하게 스탠드(16)의 높이를 조절할 수 있다.

그리고 먼지 측정을 하기 위하여 공기 샘플을 얻을 경우에는 펌프(3)를 작동시켜 먼지가 포함된 공기가 프로브(12)를 통해 유입되도록 측정한다. 시스템의 신뢰성을 검사하는 경우는 프로브(12)를 튜브(18)로부터 분리하지 않은 상태에서 프로브(12)의 끝단부에 밀폐덮개(19)를 결합하고 그 중앙의 설치공(19a)에 니플(20)을 게재하여 제로 필터(9)를 설치하여 먼지가 없는 공기만을 유입시킨다.

이와 같이 본 고안의 에어 샘플링 장치는 먼지를 측정하는 경우나 시스템의 신뢰성을 검사하는 경우에 프로브(12)를 튜브(18)로부터 분리하지 않으므로 프로브(12)와 튜브(18)사이에 리크가 발생하지 아니하여 필요한 공기가 프로브(12)를 통하여 유입하게 된다. 따라서 먼지측정정밀도를 높이고 시스템의 신뢰성검사를 신속하게 행할 수 있다.

또한 니플(20)을 교체하면 하나의 밀폐덮개(19)를 가지고도 다양한 종류의 제로 필터(9)를 설치할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안의 에어 샘플링 장치는 먼지측정을 할 때나 시스템의 신뢰성검사를 할 때 프로브의 결합상태를 그대로 두고 실시하므로 프로브와 튜브사이에 리크가 발생하지 아니하여 원하는 공기가 정확하게 프로브를 통하여 흡입되고 그에 따라 먼지의 측정정밀도를 향상시키며, 또한 프로브를 지지하는 스탠드의 높이조절이 간편하고 신속하게 행할 수 있고 스탠드의 높이 조절시 마멸에 의한 먼지 입자의 발생을 방지하지 하는 효과를 발휘한다.

본 고안은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 고안의 사상과 범위내에서 다양하게 변경 또는 변형할 수 있음은 본 고안이 속하는 기술분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 따라서 그러한 변경 또는 변형은 첨부된 실용신안등록청구의 범위에 속한다 해야 할 것이다.

Claims

스탠드(16), 상기 스탠드(16)의 상부에 설치된 플렉시블관(17), 상기 플렉시블관(17) 및 스탠드(16)를 관통하는 튜브(18), 그리고 상기 튜브(18)의 끝단에 결합된 프로브(12)를 포함하는 에어 샘플링 장치에 있어서,

상기 프로브(12)의 끝단부를 폐쇄하도록 형성되어 있으며, 중앙에 제로 필터(9)가 착탈가능하게 설치되도록 설치공(19a)이 형성된 밀폐덮개(19)를 포함하는 것을 특징으로 하는 먼지측정시스템의 에어 샘플링 장치.
제1항에 있어서, 상기 스탠드(16)는 하부파이프(16a), 상기 하부파이프(16a)의 내부에서 상하이동하는 중간파이프(16b), 그리고 상기 중간파이프(16b)의 내부에서 상하이동하는 상부파이프(16c)로 이루어져 있으며;

상기 중간파이프(16b)의 위치를 고정하기 위하여 하부파이프(16a)의 상부 외측면에 로크 블록(16d)이 고정되어 있고 상기 로크 블록(16d)에 형성된 공간에 로크 레버(16e)가 회동가능하게 설치되어 그 선단이 내부의 중간파이프(16b)에 밀착되어 중간파이프(16b)를 고정하도록 되어 있고;

상기 상부파이프(16c)의 위치를 고정하기 위하여 중간파이프(16b)의 상부에 볼트공을 형성하고 그 볼트공에 볼트(16f)를 체결하여 볼트(16f)의 선단이 내부의 상부파이프(16c)에 밀착되어 상부파이프(16c)를 고정하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 먼지측정시스템의 에어 샘플링 장치.