KR20060079928A - 분기체가 형성된 파티클 카운터 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 분기체가 형성된 파티클 카운터 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 및 LCD공정이 설치된 실내는 물론 각각의 설비의 내측부분까지 정확한 먼지의 양을 측정하기 위하여 각각의 설비의 일측으로 부착하여 사용하며 일측으로 원터치 피팅이 각각 형성된 4개의 인입구를 형성하고 타측으로 흡입부가 형성된 분기체를 형성하여 상기 4개의 인입구에 튜브를 연결하여 설비 내측의 웨이퍼가 형성된 위치까지 근접시켜 형성하고 타측의 흡입부로는 송풍기와 연결되는 튜브를 형성시켜 설비내부의 먼지의 양을 정확하기 카운터할수 있도록 형성한 분기체가 형성된 파티클 카운터 시스템에 관한 것이다.

원터치 피팅(one touch fitting), 파티클(Particle)

Description

분기체가 형성된 파티클 카운터 시스템{PARTICLE COUNTER SYSTEM WITH MULYIPLE SUCTION HOSE DISTRIBUTION DEVICE}

도 1은 종래의 파티클 카운터 시스템을 나타낸 사시도.

도 2는 본 발명에 따른 분기체가 형성된 파티클 카운터 시스템의 분기체 부분의 사시도.

도 3은 도 2은 A-A 선 단면도.

도 4는 본 발명에 따른 분기체가 형성된 파티클 카운터 시스템의 튜브부분을 나타낸 사시도.

도 5는 본 발명에 따른 분기체가 형성된 파티클 카운터 시스템이 설치된 상태의 사시도.

*도면의주요부분에대한부호의설명*

2, 4, 4' ... 튜브 100 ... 분기체

10 ... 인입구 20 ... 흡입부

10a, 20a ... 구멍 30 ... 도료

40 ... 원터치 피팅 50 ... 바닥면

50a ... 고정용 홈 50b ... 다리

일반적으로 반도체, LCD, 제약회사등 극소 청정관리(Mini-Enviromment)지역의 공간의 환경관리는 내부에 존재하는 먼지(Particle)의 양을 항상 카운터하여 그 양을 규정양 이하로 항상 일정하게 유지하여야 하는 특징이 있다.

반도체 및 LCD생산 라인의 경우 그 생산공정이 아래에 설명한 바와 같이 약 18단계의 과정을 거치며 작업이 이루어진다.

먼저 고순도로 정제된 실리콘 용융액에 시드(Seed)결정을 접촉하고 회전시키면서 단결정 규소봉(lngot)을 형성하고 이렇게 형성된 규소봉을 균일한 두께로 잘라내여 웨이퍼를 형성한다.

상기와 같이 형성된 웨이퍼의 일면으로 회로가 형성된유리판을 800∼1200도의 고온에서 산소나 수증기를 실리콘 웨이퍼표면과 화학반응시켜 얇고 균일한 실리콘산화막(SIO2)을 형성한다.

상기와 같이 형성된 웨이퍼의 상단으로 감광액(PR)을 웨이퍼 표면에 고르게 도포시키고 노광기(Stepper)를 사용하여 마스크에 그려진 회로패턴에 빛을 통과시켜 감광막이 형성된 웨이퍼 위에 회로패턴의 사진을 찍고 현상시킨다.

이후 화학물질이나 반응성 가스를 사용하여 필요없는 부분을 선택적으로 제거시키는 공정을 거쳐 이온주입(lon lmplantation)공정과, 화학기상증착(chemical Vapor Deposition)공정, 금속배선공정, 웨이퍼 자동선별공정을 거쳐 형성된 웨이퍼 를 절단(sawing)하여 칩을 집착(die bonding)하고 금속을 연결하여 성형하여 반도체 소자를 완성한다.

상기와 같은 공정에 의하여 형성되는 반도체 칩은 그 각각의 공정마다 크린롬(cleam-room)의 상태에서 진행되어야 한다.

이같은 이유은 아주 미세하고 정교하게 형성되는 반도체 칩의 공정에 먼지(파티클)가 유입될 경우 먼지가 웨이퍼상에 묻은 상태에서 공정이 진행할 경우 먼지에 의하여 반도체의 절연상태가 떨어져 불량의 원인이 되며 또는, 먼지에서 발생되는 가스에 의하여 반도체의 표면이 부식되어 이또한, 반도체의 분량의 원인이 되는 것이다.

이같은 이유에 의하여 거의 대부분의 공정들이 웨이퍼 상에서 이루어지므로 설배 내부의 웨이퍼가 안착되는 부분의 먼지의 양은 항상 측정하야 한다.

상기와 같은 이유에 있어서 도 1에 도시한 바와 같이 종래의 먼지의 양을 측정하는 시스템이 도시되어 있다.

도시한 바와 같이 종래의 시스템은 크게 모터와 일체로 형성된 송풍기(1)와 이 송풍기의 일측과 호스(2)로 매니폴드(Mani fold)(3)의 일측 토출구(3a)가 연결되여 형성된다.

상기의 매니폴드(Mani fold)(3)는 일측으로 각각 튜브(4)가 결합되는 24개의 인입구(3b)가 형성되며 타측으로는 상기의 송풍기(1)와 연결되는 토출구(3a)가 형성되며 내부로는 상기의 인입구(3b)와 토출구(3a)를 연결하는 회전체(미도시)가 하나의 호스(미도시)가 형성된 상태로 회전하며 하나의 인입구(3b)와 토출구(3a)만을 연결하게 형성된다.

또한, 상기 송풍기(1)의 상단으로는 형성된 파티클 이송장치(1a)의 일측이 계측기(Particle Sensor)(5)와 호스로 연결되여 형성되며 계측기는 먼지의 양을 데이터화 하여 출력함으로써 작업자는 실내 먼지의 양을 측정할 수 있는 시스템이 사용되고 있다.

상기 시스템의 매니폴드(3)는 일측으로 형성된 여러개의 인입구(3b)에 각각 호스(4)가 삽입되여 형성되며 삽입된 호스는 각각 실내의 어느한 부분으로 위치시켜 각각의 위치의 먼지를 흡입하게 형성된다.

한편, 각각의 호스는 그 길이가 36미터로 한정되어 사용하게 형성된다.

이는 호스의 길이를 길게 형성하면 호스 내부로 유입된 먼지가 호스의 내부로 정체되거나 작은 송풍기로 유입시키는 힘이 작은 이유에서 수월하게 유입이 되지 아니하는 이유에서 사용되는 호스의 길이는 36미터 이내로 한정하는 것이다.

또한, 상기의 호스에서 흡입하는 속도는 상기 시스템이 형성된 실내의 기류를 흐리지 아니하는 정도의 아주 미세하게 흡입하게 형성함으로써 호스가 설치된 지역의 먼지량을 정확하게 측정하는 것이다.

이와 같은 시스템에 의하여 측정되는 먼지의 양은 호스의 크기가 크고 길이의 제약에 의하여 반도체 공정등의 소규모 작업에 사용되며 LCD공정등과 같은 대형의 공정에서는 여러대의 시스템을 각각 형성시켜 먼지의 양을 측정하여야 함으로 인하여 비용이 많이 발생되는 문제가 발생되고 있으며 또한, 실질적으로 먼지가 문제시 되는 설비 내부의 위이퍼에 근접한 부분의 먼지는 카운트하지 못하고 실내 전 체의 먼지의 양만을 측정하게 형성되어 있어 정확한 데이터를 얻을 수 없는 문제가 발생되었다.

또한, 종래의 시스템에서 각각의 장치를 연결하는 호스가 일반적으로 사용되는 호스를 사용함으로 인하여 호스 내부에서 발생되는 정전기 등에 의하여 먼지가 호스의 내측벽면에 붇어있다가 빠저나가는 등에 문제가 발생되어 계측기에서 출력되는 데이터값이 원활하지 못하는 문제점 또한 발생되고 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안측한 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 및 LCD공정이 형성된 실내는 물론 각각의 설비의 내측부분까지 정확한 먼지의 양을 측정하기 위하여 각각의 설비의 일측으로 부착하여 사용하며 일측으로 원터치 피팅이 각각 형성된 4개의 인입구를 형성하고 타측으로 흡입부가 형성된 분기체를 형성하여 상기 4개의 인입구에 튜브를 연결하여 설비 내측의 웨이퍼가 형성된 위치까지 근접시켜 형성하고 타측의 흡입부로는 송풍기와 연결되는 튜브를 형성시켜 설비내부의 먼지의 양을 정확하기 카운터할수 있도록 형성한 분기체가 형성된 파티클 카운터 시스템을 제공함에 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 분기체가 형성된 파티클 카운터 시스템의 특징은, 모터와 일체로 형성된 송풍기(1)와 이 송풍기의 일측과 호스(2) 로 매니폴드(Mani fold)(3)의 일측 토출구(3a)가 연결되여 형성되며 이 매니폴드(3)는 일측으로 각각 튜브(4)가 결합되는 24개의 인입구(3b)가 형성되며 내부로는 상기의 인입구(3b)와 토출구(3a)를 연결하는 회전체(미도시)가 하나의 호스(미도시)가 형된 상태로 회전하며 하나의 인입구(3b)와 토출구(3a)만을 연결하여 매니폴드의 어느한 인입구에서 포집된 파티클을 상기 송풍기(1)의 상단으로는 형성된 파티클 이송장치(1a)를 통하여 계측기(Particle Sensor)(5)로 연결하고 계측기는 먼지의 양을 데이터화 하여 출력되는 통상의 파티클 카운터 시스템에 있어서, 상기 튜브(2,4)는 정전기 발생 방지제(대전방지제인 이레칸, 케미스닷도, 에렉트로스트릿퍼, 레오스탓도중에 선택된 하나 이상의 대전방지제를 PVC(폴리비닐 크로라이드)에 0.05 ∼ 2HP범위로 첨가한 재료와 통상의 PVC재료로 2중압출하므로서 내피튜브(4b)는 정 전기 발생방지기능을 갖고 외피튜브(4a)는 커버용 튜브로 2중으로 적층된 튜브로 형성되며 이 튜브(4)의 일측 끝단이 분기체(100)의 일측이 결합되여 형성되며 이 분기체(100)에 형성된 여러개의 인입구(10)에 다시 상기의 튜브(4)보다 지름이 작은 튜브(4')를 삽입하여 연결시켜 설비의 내측 각각의 중요부분의 파티클의 양을 측정하며 상기의 분기체(100)는 일측으로 튜브(4)와 연결되는 흡입부(20)가 형성되고 타측으로는 여러개의 인입구(10)가 내측의 구멍(10a, 20a)을 통하여 연결되게 형성되는데 인입구(10)의 구멍의 지름은 흡입구(20)의 지름의 1/4의 크기로 형성되며 구멍의 내면으로는 합성수지재 도료에 계면활성제계정전발생방지제를 첨가하여 형성한 도료(30)를 코팅처리하여 형성하며 각각의 흡입구(20)와 인입구(10)의 끝단으로는 원터치피팅(one touch fltting)(40)을 결합하여 형성하며 하단 으로는 설비의 어느한 부분에 위치가 원활하도록 고정용 홈(50a)이 형성된 바닥면(50)이 형성되며 이 바닥면(50)과 분기체(100)는 여러개의 다리(50b)로 연결되여 형성됨을 특징으로 한다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 분기체가 형성된 파티클 카운터 시스템의 작용을 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도 5에 도시한 바와 같이 청정관리실의 내부로는 어느한 부분으로 형성된 반도체 및 lcd설비가 설치된다.

도시한 바와 같이 청정관리실의 어느한 부분으로 송풍기와 계측기 및 매니폴드가 형성되고 상기 매니폴드에 형성된 24개의 인입구에 각각 2중압출구조로 형성되여 내피튜브에는 정전기 발생방지기능이 형성되고 외피튜브로는 커버의 기능을 갖도록 형성한 튜브의 일측이 결합되여 형성되고 타측으로는 설비의 일측으로 바닥면이 고정되어 형성된 분기체의 일측으로 형성된 흡입부에 결합되여 형성되며 이 분기체의 타측으로 형성된 여러개의 인입구에 튜브가 삽입되여 형성되며 이 튜브는 설비의 내측으로 삽입되여 설비 내측의 웨이퍼 작업부분 근처까지 유입되여 웨이퍼 근처의 먼지를 흡입함으로써 실내는 물론 설비의 주요부분의 근처에 까지 근접하여 먼지 시료를 채취함으로써 더욱 정확한 만지양의 데이터를 얻을 수 있으므로 좀더 구체적인 크린롬의 청정관리를 할 수 있는 것이다.

상기에서 상기 설비의 일측으로 형성되는 분기체는 일측으로 하나의 흡입부와 타측으로 4개의 인입구가 형성되며 각각의 흡입부와 인입구는 상기 분기체의 내측으로 형성된 구멍에 의하여 서로 연통되게 형성되며 상기 인입구의 구멍의 지름은 상기 흡입부의 구멍의 1/4크기로 형성하여 각각의 인입구의 흡입력을 동일하게 형성한다.

상기와 같이 형성된 각각의 인입구에 튜브의 일측으로 삽입하여 형성하고 튜브의 타측을 설비 내측의 중요 포인트에 위치시켜 청정공간의 먼지를 흡입함으로써 사용자는 정확한 데이터를 얻을 수 있는 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의한 분기체가 형성된 파티클 카운터 시스템을 이용하면 반도체 설비가 설치된 실내는 물론 설비 내부에 까지 먼지를 포집할 수 있는 튜브를 설치할 수 있음으로 실질적으로 먼지 발생시 제거하여야 하는 웨이퍼의 위치에 금접한 부분에서 데이터가 되는 먼지를 포집함으로 정확한 데이터를 얻을 수 있으므로 설비의 청정관리를 효과적으로 수행 할 수 있으며 규모가 큰 LCD용 설비에서도 각각 계측기를 설치할 필요가 없이 분기체를 이용하여 기존의 계측기에 연결된 매니폴드를 분기해서 사용할 수 있으므로 청정관리에 소요되는 비용을 효과적으로 줄일 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 모터와 일체로 형성된 송풍기(1)와 이 송풍기의 일측과 튜브(2)로 매니폴드(Mani fold)(3)의 일측 토출구(3a)가 연결되여 형성되며 이 매니폴드(3)는 일측으로 각각 튜브(4)가 결합되는 24개의 인입구(3b)가 형성되며 내부로는 상기의 인입구(3b)와 토출구(3a)를 연결하는 회전체(미도시)가 하나의 호스(미도시)가 형된 상태로 회전하며 하나의 인입구(3b)와 토출구(3a)만을 연결하여 매니폴드(3)의 어느한 인입구에서 포집된 파티클을 상기 송풍기(1)의 상단으로는 형성된 파티클 이송장치(1a)를 통하여 계측기(Particle Sensor)(5)로 연결하고 계측기는 먼지의 양을 데이터화 하여 출력되는 통상의 파티클 카운터 시스템에 있어서,

   상기 튜브(2,4)는 정전기 발생 방지제(대전방지제인 이레칸, 케미스닷도, 에렉트로스트릿퍼, 레오스탓도중에 선택된 하나 이상의 대전방지제를 PVC(폴리비닐 크로라이드)에 0.05 ∼ 2HP범위로 첨가한 재료와 통상의 PVC재료로 2중압출하므로서 내피튜브(4b)는 정 전기 발생방지기능을 갖고 외피튜브(4a)는 커버용 튜브로 2중으로 적층된 튜브로 형성되며 일측 끝단이 분기체(100)의 일측이 결합되여 형성되며 이 분기체(100)에 형성된 여러개의 인입구(10)에 다시 상기의 튜브(2,4)보다 지름이 작은 튜브(4')를 삽입하여 연결시켜 설비의 내측 각각의 중요부분의 파티클의 양을 측정하는 것을 특징으로 하는 분기체가 형성된 파티클 카운터 시스템
2. 제 1항에 있어서,

   분기체(100)는 일측으로 튜브와 연결되는 흡입부(20)가 형성되고 타측으로는 여러개의 인입구(10)가 내측의 구멍(10a, 20a)을 통하여 연결되게 형성되는데 인입구(10)의 구멍의 지름은 흡입구(20)의 지름의 1/4의 크기로 형성되며 구멍(10a, 20a)의 내면으로는 합성수지재 도료에 계면활성제계정전발생방지제를 첨가하여 형성한 도료(30)를 코팅처라하여 형성하며 각각의 흡입구(20)와 인입구(10)의 끝단으로는 원터치피팅(one touch fltting)(40)을 결합하여 형성하며 하단으로는 설비의 어느한 부분에 위치가 원활하도록 고정용 홈(50a)이 형성된 바닥면(50)이 형성되며 이 바닥면(50)과 분기체(100)는 여러개의 다리(50b)로 연결되여 형성됨을 특징으로 하는 분기체가 형성된 파티클 카운터 시스템

Images