KR20030096733A - 자외선 조사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼를 로딩하는 웨이퍼 척(WAFER CHUCK); 자외선을 발생하는 자외선 램프; 자외선에서 발생하는 열을 차단하는 냉각 필터(COLD FILTER); 상기 자외선을 반사하여 자외선의 강도를 증가시키는 자외선 반사기; 상기 자외선 램프, 냉각 필터, 및 자외선 반사기를 에워싸고 자외선이 외부로 방출됨을 차단하는 자외선 챔버; 및 상기 자외선 반사기의 조사 방향을 조절함에 의하여 상기 웨이퍼의 전면에 부착된 자외선 테이프를 경화하는 반사기 모터를 구비한 반도체 웨이퍼의 자외선 테이프를 경화하는 자외선 조사 장치를 제공하며 따라서, 상기 웨이퍼 척의 이동이 없으므로 상기 웨이퍼 척에 관계되는 부품들의 손상 및 오동작을 방지한다.

Description

자외선 조사 장치 {ULTRAVIOLET IRRADIATION EQUIPMENT}
본 발명은 반도체 소자 제조 백랩(BACK-LAP) 공정의 자외선 조사(IRRADIATION) 장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 백사이드(BACK SIDE) 그라인딩(GRINDING)후 웨이퍼 전면에 부착된 자외선 테이프(TAPE)를 경화하여 쉽게 분리하는 자외선 조사 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자를 형성하기 위하여 반도체의 기판 상에 임의의 특정한 막 - 예를 들면 산화막 또는 금속막-을 성장 또는 증착한 후에 포토(Photo) 공정에서 원하는 전기적 패턴(Pattern)을 패터닝(Patterning)하고 식각(Etch) 공정을 통하여 상기 패턴을 형상화하는 공정을 반복하여 수행한다. 이렇게 반도체 기판인 웨이퍼 상에 형성된 전기적 패턴을 포함한 각각의 반도체 소자를 형성하는 공정 전체를 반도체 소자 형성의 전처리 공정(Fabrication Process)라 칭한다.
상기 전처리 공정 후에 반도체 웨이퍼 상에 형성된 반도체 소자에 대하여 원하는 전기적 특성을 갖추고 있는지를 검사하기 위하여 갖가지 테스트가 수행되고, 상기 테스트를 통과한 반도체 소자에 대하여 소잉(Sawing) 작업 및 패키지(Package) 작업을 거쳐 반도체 소자를 출하한다. 상기와 같은 공정 전체를 후처리 공정, 또는 테스트 공정이라 칭한다.
상기 후처리 공정 중에 웨이퍼의 후면(BACK SIDE)을 그라인딩(GRINDING)하는 공정이 있다. 이는 상기 웨이퍼의 전면에 형성된 전기적 패턴을 구비한 반도체 소자를 박막화하여 후에 적용되는 소잉 공정을 쉽게 하여 제품화하기 위한 공정이다.
상기 백사이드 그라인딩 공정을 수행하기 위하여 상기 웨이퍼의 전면을 보호하는 테이프(TAPE)를 접착한다. 이때, 상기 백 사이드 그라인딩 공정을 수행하는 동안 견고하게 웨이퍼의 전기적 패턴을 보호하고 그라인딩 공정 후에는 웨이퍼의 전면에서 쉽게 분리될 수 있는 테이프로서 자외선 테이프가 주로 사용된다.
상기 자외선 테이프는 웨이퍼의 전면에 견고히 부착될 뿐만 아니라 자외선를 조사하면 부착 성질을 잃어 웨이퍼의 전면부에서 쉽게 분리된다. 상기 자외선 테이프를 적용하여 웨이퍼 백사이드 그라인딩 공정을 수행한 후 자외선 테이프를 웨이퍼의 전면에서 분리하기 위하여 자외선을 조사하는 장치가 자외선 조사 장치이다.
도 1은 종래의 반도체 소자 제조 백랩(BACK-LAP) 공정의 자외선 조사 장치이다.
도 1을 참조하면, 상기 자외선 조사 장치는 웨이퍼(110)를 로딩하는 웨이퍼 척(WAFER CHUCK, 112), 상기 웨이퍼 척(112)을 지지하는 실린더(114), 상기 웨이퍼 척을 구동하는 모터(116), 자외선 램프(130), 자외선에서 발생하는 열을 차단하는 냉각 필터(COLD FILTER, 120), 상기 자외선을 반사하여 자외선의 강도를 증가시키는 자외선 반사기(140), 및 상기 자외선 램프(130), 냉각 필터(120), 및 자외선 반사기(140)를 에워싸고 자외선이 외부로 방출됨을 차단하는 자외선 챔버(150)를 포함한다.
상기와 같은 구성 요소를 구비한 자외선 조사 장치는 자외선 테이프를 웨이퍼 전면에 부착하고 백사이드 그라인딩 공정을 완료한 후, 웨이퍼 척(112)에 로딩된 웨이퍼(110)는 상기 모터(116)에 의해 움직이면서 자외선을 조사하여 상기 자외선 테이프가 웨이퍼의 전면에서 경화되어 쉽게 분리될 수 있도록 한다.
이때, 상기 웨이퍼 척(112)에 관계되는 부품들의 자외선 노출은 불가피하다. 따라서, 웨이퍼 척(112)에 관계하는 실린더 에어 라인(CYLINDER AIR LINE, 미도시), 웨이퍼 척의 전후 이동에 관계하는 타이밍 벨트(TIMING BELT, 미도시), 웨이퍼 척(112)의 위치를 감지하는 센서(SENSOR) 등이 자외선에 노출된다. 따라서, 심한 경우, 상기 실린더 에어 라인의 누출(LEAK), 상기 타이밍 벨트의 단선, 센서의 오동작 등의 결과를 초래한다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 상기 웨이퍼 척(112)이 이동하지 않으면서 자외선이 조사될 수 있는 장치가 필요하다.
따라서, 본 발명은 반도체 후공정 백사이드 그라인딩 후 반도체 웨이퍼에 부착된 자외선 테이프를 경화하여 분리하기 위하여 자외선을 조사하는 자외선 조사 장치에 있어서 자외선의 영향에 의한 웨이퍼 척에 관련되는 부품의 손상 및 오동작을 방지할 수 있는 자외선 조사 장치를 제공한다.
도 1은 종래의 반도체 소자 제조 백랩(BACK-LAP) 공정의 자외선 조사 장치이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 반도체 소자 제조 백랩 공정의 자외선 조사 장치이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
130 자외선 램프
140 자외선 반사기 (UV REFLECTOR)
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 웨이퍼를 로딩하는 웨이퍼 척(WAFER CHUCK); 자외선을 발생하는 자외선 램프; 자외선에서 발생하는 열을 차단하는 냉각 필터(COLD FILTER); 상기 자외선을 반사하여 자외선의 강도를 증가시키는 자외선 반사기; 상기 자외선 램프, 냉각 필터, 및 자외선 반사기를 에워싸고 자외선이 외부로 방출됨을 차단하는 자외선 챔버; 및 상기 자외선 반사기의 조사 방향을 조절함에 의하여 상기 웨이퍼의 전면에 부착된 자외선 테이프를 경화하는 반사기 모터를 구비한 반도체 웨이퍼의 자외선 테이프를 경화하는 자외선 조사 장치를 제공한다.
또한, 상기 반사기 모터는 스테핑 모터(STEPPING MOTOR)를 채용한다.
이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 반도체 소자 제조 백랩 공정의 자외선 조사 장치이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 자외선 조사 장치는 웨이퍼(110)를 로딩하는 웨이퍼 척(WAFER CHUCK, 112), 자외선 램프(130), 자외선에서 발생하는 열을 차단하는 냉각 필터(COLD FILTER, 120), 상기 자외선을 반사하여 자외선의 강도를 증가시키는 자외선 반사기(140), 상기 자외선 램프(130), 냉각 필터(120), 및 자외선 반사기(140)를 에워싸고 자외선이 외부로 방출됨을 차단하는 자외선 챔버(150), 및 상기 자외선 반사기의 조사 방향을 조절함에 의하여 상기 웨이퍼의 전면에 부착된 자외선 테이프를 경화하는 자외선 반사기 조사 각도 조절 모터(이하 반사기 모터라 칭한다, 160)를 포함한다.
상기 반사기 모터(160)는 스테핑 모터(STEPPING MOTOR)로 이루어져 미세한 각도의 조절이 가능하다.
본 발명에 의한 자외선 조사 장치는 종래의 자외선 조사 장치와는 다르게 상기 자외선 반사기(140)의 반사 각도를 조절하여 웨이퍼의 전면에 조사한다. 따라서, 상기 웨이퍼 척(112)은 이동할 필요가 없어 상기 웨이퍼 척(112)에 관계되는 부품들을 자외선으로부터 보호할 수 있다.
상기와 같은 구성 요소를 구비한 자외선 조사 장치는 다음과 같이 동작한다.
먼저, 백사이드 그라인딩 공정 진행시 웨이퍼의 전면에 형성된 전기적 패턴을 구비한 반도체 소자를 보호하기 위하여 웨이퍼 전면에 자외선 테이프를 부착한 웨이퍼는 백사이드 그라인딩 공정의 완료후 상기 자외선 조사 장치로 이송된다.
이송된 웨이퍼는 상기 웨이퍼 척(112)에 로딩되고 자외선 램프(130)에서 조사되는 자외선에 의하여 웨이퍼 전면에 부착된 자외선 테이프를 경화한다. 이때, 상기 자외선 조사 장치는 발생하는 열이 장비 또는 웨이퍼로 전달됨을 방지하기 위하여 냉각 필터(120)를 구비하고 있다.
이때, 상기 자외선 반사기(140)는 상기 자외선 램프(130)에서 조사되는 자외선의 강도를 증가하여 웨이퍼에 조사하여 웨이퍼 전면에 부착된 자외선 테이프를 경화하고 후속 공정에서 웨이퍼와 쉽게 분리될 수 있도록 한다.
이때, 상기 반사기 모터(160)는 자외선 반사기(140)의 조사 각도를 조절하여 웨이퍼 척의 이동 없이 자외선을 웨이퍼의 표면에 조사한다.
따라서, 상기 웨이퍼 척(112)에 관련되는 부품들은 자외선으로부터의 노출을 방지할 수 있어 종래의 자외선 조사 장치에서 발생하는 부품의 손상 및 오동작을 방지할 수 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체 예에 대해서만 상세히 설명하였지만 본 발명의 기술 사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 의한 자외선 조사 장치는 반사기 모터에 의하여 자외선 반사기의 반사 각도를 조절하여 웨이퍼의 전면에 자외선을 조사한다. 따라서, 웨이퍼 척의 이동을 방지하여 웨이퍼 척에 관련되는 부품의 손상 및 오동작을 방지할 수 있다.

Claims (2)

  1. 웨이퍼를 로딩하는 웨이퍼 척(WAFER CHUCK);
    자외선을 발생하는 자외선 램프;
    자외선에서 발생하는 열을 차단하는 냉각 필터(COLD FILTER);
    상기 자외선을 반사하여 자외선의 강도를 증가시키는 자외선 반사기;
    상기 자외선 램프, 냉각 필터, 및 자외선 반사기를 에워싸고 자외선이 외부로 방출됨을 차단하는 자외선 챔버; 및
    상기 자외선 반사기의 조사 방향을 조절함에 의하여 상기 웨이퍼의 전면에 부착된 자외선 테이프를 경화하는 반사기 모터를 구비한 반도체 웨이퍼의 자외선 테이프를 경화하는 자외선 조사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 반사기 모터는 스테핑 모터(STEPPING MOTOR)를 채용함을 특징으로 하는 자외선 조사 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100670113B1 (ko) * 2005-07-07 2007-01-17 주은유브이텍 주식회사 자외선 경화장치
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KR101273666B1 (ko) * 2011-04-21 2013-06-11 미르호주식회사 오븐 타입 ∪∨ 경화 장치

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