KR20030094998A - 가스 캐비넷 장치용 터치 스크린 제어 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 터치 스크린이 절전 모드를 수행하는 중에 장비 운용자의 수동 조작 없이 원래의 디스플레이 상태로 자동 전환시킬 수 있도록 한다는 것으로, 이를 위하여 본 발명은, 가스 캐비넷 장치용 터치 스크린이 절전 모드를 수행중인 상태일 때 원래의 디스플레이 모드로 복귀시키기 위해 터치 스크린을 수동으로 터치해야만 하는 종래 방식과는 달리, 가스 캐비넷 장치의 전면 소정 위치에 장착된 움직임 검출 센서로부터 움직임이 검출될 때 이를 인식하여 터치 스크린의 현재의 절전 모드를 원래의 디스플레이 모드로 자동 복귀시킴으로써, 절전 모드를 해제시키기 위한 장비 운용자의 조작 실수에 기인하는 가스 캐비넷 장치의 오동작으로 인해 야기될 수 있는 장비 운영의 안전성을 더욱 확보할 수 있는 것이다.

Description

가스 캐비넷 장치용 터치 스크린 제어 장치{TOUCH SCREEN CONTROLLER FOR GAS CABINET APPARATUS}

본 발명은 반도체 장비용 터치 스크린 제어 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 소자를 제조하기 위한 공정 장비(예를 들면, 증착 장비, 식각 장비 등)에서 반도체 소자의 제조에 필요로 하는 가스를 공급하는데 사용되는 가스 캐비넷 장치에 장착된 터치 스크린을 제어하는 장치에 관한 것이다.

잘 알려진 바와 같이, 반도체 소자는 웨이퍼 상에 다양한 종류의 박막(예를 들면, 산화막, 질화막, 절연막, 금속막 등)들이 차례로 적층 및 패터닝하는 여러 가지 공정들을 통해 제조하게 되는데, 이를 위해서는 웨이퍼 상에 임의의 박막을 형성하거나 형성된 박막을 패터닝하기 위한 공정 장비, 예를 들면 증착 장비, 식각 장비 등이 필수적이다.

한편, 반도체 소자를 제조하기 위한 각 공정 장비들은 박막의 형성, 패터닝 등을 수행할 때 다양한 종류의 공정 가스를 필요로 하는데, 이때 사용되는 각 공정 가스들은 통상 가스 캐비넷 장치로부터 공급받고 있다. 이때, 공정 가스로서 불활성, 부식성, 독성 등의 가스를 사용하기 때문에 무엇보다도 가스 캐비넷 장치의 안전성이 매우 중요한 실정이다.

한편, 가스 캐비넷 장치에서는 장비의 운영 방식으로서 터치 스크린을 채택하고 있으며, 이러한 터치 스크린에는, 개인용 컴퓨터의 모니터에 채용되고 있는 바와 같이, 절전 및 화면 보호의 목적으로 조작 후 일정 시간이 지나면 화면이 자동으로 꺼지는 절전 모드 기능을 채택되어 있다.

따라서, 장비 운용자가 터치 스크린을 원 상태(디스플레이 상태)로 복귀시키고자 하는 경우(즉, 현재의 가스 상태를 파악하고자 하는 경우)에는 손으로 터치하도록 설정되어 있다.

그러나, 상술한 바와 같은 종래 방식의 경우, 장비 운용자의 조작 실수로 더블 터치를 하거나 혹은 원하지 않는 부분을 터치하는 등의 오조작을 유발할 수 있으며, 이와 같은 오조작으로 인해 프로세스의 진행 중에 공정 가스의 공급이 중단되는 등의 문제를 야기시킬 수 있다는 문제점을 갖는다.

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 터치 스크린이 절전 모드를 수행하는 중에 장비 운용자의 수동 조작 없이 원래의 디스플레이 상태로 자동 전환시킬 수 있는 가스 캐비넷 장치용 터치 스크린 제어 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 디스플레이 패널로서 터치 스크린을 이용하는 가스 캐비넷 장치용 터치 스크린의 동작을 제어하는 장치에 있어서, 상기 가스 캐비넷 장치의 가동 상태를 디스플레이하는 상기 터치 스크린 수단; 상기 터치 스크린의 조작에 따른 터치 신호를 감지하는 감지 센서 수단; 상기 가스 캐비넷 장치의 전면 소정 부분에 장착되어 소정 영역으로부터 움직임을 검출하는 센서 수단; 및 상기 감지 센서 수단으로부터 제공되는 터치 신호에 의거하여 상기 터치 스크린 수단의 디스플레이 동작을 제어하고, 상기 터치 스크린의 절전 모드를 수행하는 중에 상기 센서 수단으로부터 움직임 검출신호가 입력될 때 상기 터치 스크린의 절전 모드가 원래의 디스플레이 모드로 자동 전환되도록 제어하는 수단으로 이루어진 가스 캐비넷 장치용 터치 스크린 제어 장치를 제공한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 가스 캐비넷 장치용 터치 스크린 제어 장치의 블록구성도,

도 2는 본 발명에 따른 터치 스크린 제어 장치를 장착한 가스 캐비넷 장치의 정면 외관도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

102 : 제어 블록 104 : 스크린 구동 블록

106 : 터치 스크린 108 : 감지 센서 블록

110 : 센서

본 발명의 상기 및 기타 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 하기에 기술되는 본 발명의 바람직한 실시 예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.

본 발명의 핵심 기술사상은, 가스 캐비넷 장치용 터치 스크린이 절전 모드를 수행중인 상태일 때 원래의 디스플레이 모드로 복귀시키기 위해 터치 스크린을 수동으로 조작(터치)해야만 하는 전술한 종래 방식과는 달리, 가스 캐비넷 장치의 전면 소정 위치에 움직임 검출 센서를 부착해 두고, 이 움직임 검출 센서로부터 움직임이 검출될 때 터치 스크린의 절전 모드를 원래의 디스플레이 모드로 자동 복귀시키도록 한다는 것으로, 이러한 기술적 수단을 통해 본 발명에서 목적으로 하는 바를 쉽게 달성할 수 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 가스 캐비넷 장치용 터치 스크린 제어 장치의 블록구성도로서, 제어 블록(102), 스크린 구동 블록(104), 터치 스크린(106), 감지 센서 블록(108) 및 센서(110)를 포함한다.

도 1을 참조하면, 제어 블록(102)은, 예를 들면 마이크로 프로세서를 포함하는 것으로, 터치 스크린(106)의 동작을 전반적으로 제어하는 기능, 즉 감지 센서 블록(108)으로부터 소정 위치에 대한 터치 신호가 입력되면 그에 상응하는 스크린 작동 제어신호를 생성하여 스크린 구동 블록(104)으로 제공함으로써, 터치 스크린(106)의 디시플레이 동작을 제어하고, 감지 센서 블록(108)으로부터 기 설정된 소정 시간 동안 어떠한 터치 신호도 입력되지 않을 때 터치 스크린(106)을 절전 모드로 제어하며, 터치 스크린(106)을 절전 모드로 제어하는 중에 센서(110)로부터 움직임 검출신호가 입력될 때 현재의 절전 모드를 원래의 디스플레이 모드로 전환(복귀)시키는 등의 제어를 수행한다.

여기에서, 센서(110)는, 일 예로서 도 2에 도시된 바와 같이, 가스 캐비넷 장치의 전면 소정 부분(예를 들면, 전면 상단 패널의 좌측)에 장착되는 것으로, 소정 영역에서의 움직임을 검출하는 적외선 센서로 구성할 수 있다. 도 2에 있어서, 미설명 번호 200은 가스 캐비넷 전면부를 나타내고, 202는 전면 상단 패널을 나타내며, 204는 전면 하단 패널을 나타낸다.

또한, 스크린 구동 블록(104)은 제어 블록(102)으로부터의 제어에 따라 터치 스크린(106)을 디스플레이 모드로 구동하거나 절전 모드로 구동하는 등의 기능을 수행한다.

다음에, 감지 센서 블록(108)은 장비 운용자가 원하는 상태의 디스플레이를 위해 터치 스크린(106)을 터치(조작)할 때 그 터치 신호를 감지하는 것으로, 여기에서 감지된 터치 신호는 제어 블록(102)으로 전달된다. 따라서, 제어 블록(102)에서는 감지 센서 블록(108)으로부터 제공되는 터치 신호에 따라 스크린 구동 블록(104)을 제어함으로써 터치 스크린(106)의 디스플레이 모드를 제어한다.

즉, 본 발명에서는 감지 센서 블록(108)으로부터 기 설정된 소정 시간 동안 어떠한 터치 신호도 입력되지 않아 터치 스크린(106)을 절전 모드로 제어하는 중에 센서(110)로부터 움직임이 검출되면, 이 움직임 검출에 응답하여 제어 블록(102)이 터치 스크린(106)에 대한 현재의 절전 모드를 원래의 디스플레이 모드로 자동 전환시킨다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 가스 캐비넷 장치용 터치 스크린이 절전 모드를 수행중인 상태일 때 원래의 디스플레이 모드로 복귀시키기 위해 터치 스크린을 수동으로 터치해야만 하는 전술한 종래 방식과는 달리, 가스 캐비넷 장치의 전면 소정 위치에 장착된 움직임 검출 센서로부터 움직임이 검출될 때 이를 인식하여 터치 스크린의 현재의 절전 모드를 원래의 디스플레이 모드로 자동 복귀시킴으로써, 절전 모드를 해제시키기 위한 장비 운용자의 조작 실수에 기인하는 가스 캐비넷 장치의 오동작으로 인해 야기될 수 있는 장비 운영의 안전성을 더욱 확보할 수 있다.

Claims (2)

1. 디스플레이 패널로서 터치 스크린을 이용하는 가스 캐비넷 장치용 터치 스크린의 동작을 제어하는 장치에 있어서,

   상기 가스 캐비넷 장치의 가동 상태를 디스플레이하는 상기 터치 스크린 수단;

   상기 터치 스크린의 조작에 따른 터치 신호를 감지하는 감지 센서 수단;

   상기 가스 캐비넷 장치의 전면 소정 부분에 장착되어 소정 영역으로부터 움직임을 검출하는 센서 수단; 및

   상기 감지 센서 수단으로부터 제공되는 터치 신호에 의거하여 상기 터치 스크린 수단의 디스플레이 동작을 제어하고, 상기 터치 스크린의 절전 모드를 수행하는 중에 상기 센서 수단으로부터 움직임 검출신호가 입력될 때 상기 터치 스크린의 절전 모드가 원래의 디스플레이 모드로 자동 전환되도록 제어하는 수단으로 이루어진 가스 캐비넷 장치용 터치 스크린 제어 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 센서 수단은, 적외선 센서인 것을 특징으로 하는 가스 캐비넷 장치용 터치 스크린 제어 장치.