KR20030053329A - 반도체 웨이퍼 겹침방지시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼 겹침방지시스템에 관한 것으로, 웨이퍼(10)를 이송하는 로봇부(20)와, 웨이퍼(10)를 적재하는 카세트(30)와, 카세트(30)를 놓는 로케이터(40)로 구성되어 있는 웨이퍼 이송시스템에 있어서, 상기 로봇부(20)의 아암(21) 단부에 육안으로 확인이 가능하면서 웨이퍼(10)의 유ㆍ무를 감지하는 위치감지발광센서부(50)가 구비되고, 이 센서부(50)로부터 받은 신호로 시스템을 정지시키는 인터록부(60)와, 이 신호에 의해 웨이퍼(10)를 이송시키는 로봇부(20)를 제어하도록 한 로봇 드라이버(70)로 구성되어 있다.

이러한 구성을 가지는 본 발명은 카세트에 적재된 웨이퍼를 로봇아암에 의해 이송시, 웨이퍼의 유무를 확인하여 그에따라 로봇부를 제어하고, 작업자가 육안으로 쉽게 확인할 수 있어 웨이퍼의 겹침현상등을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있 도록 한 것이다.

Description

반도체 웨이퍼 겹침방지시스템{A System for Preventing of the Semiconductor Wafer}

본 발명은 반도체 웨이퍼의 겹침방지시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 웨이퍼의 이송시 슬롯내의 웨이퍼 유ㆍ무를 감지하여 웨이퍼 겹침으로 인한 웨이퍼 손실을 방지하도록 한 시스템에 관한 것이다.

주지하는 바와 같이, 반도체 생산 초기에는 핀셋 또는 진공핀셋으로 작업자가 웨이퍼를 픽업하여 직접 옮겨주었으나, 이렇게 하는 경우에는 웨이퍼의 손상이 심화되고, 수율 또한 저하되는 문제점이 발생하였다. 더욱이 웨이퍼의 대구경화 및 패턴의 미세화에 따라 자동웨이퍼 이송시스템이 요구되었고, 이러한 요구를 충족해주기 위한 로봇이 개발되어왔다.

반도체 제조공정이 다단계공정을 거쳐 이루어지므로, 각 공정이 진행되는 관련 제조장치에 있어서, 공정 진행 대상물을 로딩 또는 언로딩시키는 단계는 자동화되어 진행되는 것이 일반적이다. 특히 웨이퍼를 운반, 보관, 공정진행동안에 보호하기위한 수단으로서 카세트가 이용되어왔다.

이러한 웨이퍼용 카세트는 본체의 전방에 개폐도어가 없는 구조와, 본체의 전방에 개폐도어가 있는 구조로 구분되며, 근래에는 웨이퍼 카세트의 대구경화가 진행됨에따라 그에 비례하여 상기 대형 웨이퍼를 수납할 수 있도록 대형화되는 추세에 있다.

이러한 웨이퍼 이송시스템을 개략적으로 살펴보면, 웨이퍼를 이송하는 로봇부와, 웨이퍼를 적재하는 카세트와, 카세트를 놓는 로케이터(Lacator)로 구성되어 있다. 상기 로봇부는 상부에서 웨이퍼를 잡아당겨 카세트에 이송할 수 있는 아암부가 형성되어 있다. 이러한 구성을 가지는 종래의 시스템은 웨이퍼 이송시, 로봇부가 회전하거나 상,하로 이동하여 카세트안에 적재된 웨이퍼 또는 장비내의 웨이퍼를 이송시키는 것이다.

그런데, 이러한 이송동작시, 자동적으로 로봇이 수행하게 되는바, 이때 카세트 슬롯내의 웨이퍼의 존재유무를 정확하게 확인하는 별도의 수단이 강구되지 못하여 웨이퍼를 이송하여 웨이퍼가 들어있는 슬롯내의 해당위치에 다시 안치하는 동작을 수행하는 경우가 발생하였다. 따라서, 웨이퍼가 겹쳐서 슬롯내에 존재하게 되면서 웨이퍼에 손상을 주어 불량률이 상승하는 요인으로 작용하는 문제점이 발생하였다.

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 로봇에 의해 자동으로 웨이퍼를 슬롯안으로 이송할때, 겹침이 이루어지지 않도록 웨이퍼의 존재유무를 바로 확인할 수 있는 시스템을 제공함에 발명의 목적이 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼 이송시스템을 나타낸 사시도

도 2는 본 발명의 시스템을 나타낸 사시도

도 3은 본 발명의 시스템 작동을 설명하기 위한 블록도

* 도면의 주요부분에 대한 부호설명 *

10 : 웨이퍼

20 : 로봇부

21 : 아암

30 : 카세트

40 : 로케이터

50 : 위치감지발광센서부

60 : 인터록부

70 : 로봇드라이버

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 웨이퍼를 이송하는 로봇부와,웨이퍼를 적재하는 카세트와, 카세트를 놓는 로케이터로 구성되어 있는 웨이퍼 이송시스템에 있어서, 상기 로봇부의 아암 단부에 육안으로 확인이 가능하면서 웨이퍼의 유무를 감지하는 위치감지발광센서가 구비되고, 이 센서로부터 받은 신호로 시스템을 정지시키는 인터록부와, 이 신호에 의해 웨이퍼를 이송시키는 로봇부를 제어하도록 한 로봇 드라이버로 구성된 것을 기술적 특징으로 한다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 예시도면에 의거 상세히 설명한다.

본 발명은 웨이퍼(10)를 이송하는 로봇부(20)와, 웨이퍼(10)를 적재하는 카세트(30)와, 카세트(30)를 놓는 로케이터(40)로 구성되어 있는 웨이퍼 이송시스템에 있어서, 상기 로봇부(20)의 아암(21)위치에 육안으로 확인이 가능하면서 웨이퍼(10)의 유ㆍ무를 감지하는 위치감지발광센서부(50)가 구비되고, 이 센서부(50)로부터 받은 신호로 시스템을 정지시키는 인터록부(60)와, 이 신호에 의해 웨이퍼(10)를 이송시키는 로봇부(20)를 제어하도록 한 로봇 드라이버(70)로 구성되어 있다.

이와 같이 구성된 본 발명은 우선적으로 웨이퍼(10)를 스캐닝한 후, 언로딩하고, 로봇부(20)의 아암(21)에 형성된 위치감지발광센서부(50)가 감지하여 만일, 겹침이 없는 상태이면 정상으로 처리되고, 또 반대인 경우 즉, 겹침이 이루어진 상태이면, 상기 센서부(50)에서 발생된 신호가 인터록부(60)로 인가되어 시스템을 정지시킨다. 이와 동시에 센서부(50)가 발광램프로 이루어져 발광하므로, 작업자가쉽게 육안으로 식별할 수 있다.

이렇게 겹침현상을 바로 확인하여 다음 조치를 취하고, 다시 인터록부(60)에 의한 시스템정지상태를 해제하여 정상가동시킨다.

이와 같이 본 발명은 카세트에 적재된 웨이퍼를 로봇아암에 의해 이송하거나, 카세트안의 슬롯에 적재할시, 웨이퍼의 존재유무를 자동적으로 확인하여 그에따라 로봇부를 제어하고, 작업자가 육안으로 쉽게 확인할 수 있어 웨이퍼의 겹침현상등을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있는 것이다.

Claims (1)

1. 웨이퍼(10)를 이송하는 로봇부(20)와, 웨이퍼(10)를 적재하는 카세트(30)와, 카세트(30)를 놓는 로케이터(40)로 구성되어 있는 웨이퍼 이송시스템에 있어서,

   상기 로봇부(20)의 아암(21) 단부에 육안으로 확인이 가능하면서 웨이퍼(10)의 유ㆍ무를 감지하는 위치감지발광센서부(50)가 구비되고, 이 센서부(50)로부터 받은 신호로 시스템을 정지시키는 인터록부(60)와, 이 신호에 의해 웨이퍼(10)를 이송시키는 로봇부(20)를 제어하도록 한 로봇 드라이버(70)로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 겹침방지장치.