KR20030045597A - Vacuum pump - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 제조장치, 전자 현미경, 표면 분석장치, 질량 분석장치, 입자 가속기, 핵 융합 실험장치 등에 이용되는 진공 펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum pump used in a semiconductor manufacturing apparatus, an electron microscope, a surface analyzer, a mass spectrometer, a particle accelerator, a nuclear fusion experiment apparatus, and the like.
종래, 이러한 종류의 진공 펌프로는 터보 분자 펌프와 나사홈 펌프를 복합한 형태의 펌프(이하「복합형 진공 펌프」라고 한다.)가 알려져 있고, 이러한 복합형 진공 펌프에 있어서는, 펌프 압축비를 올리고, 또한 펌프 전체의 컴팩트화를 도모하기 위해, 도 6 또는 도 7에 도시한 바와 같이, 나사홈 펌프의 일련의배기유로(R1, R2, R3)가 리턴되는 구조를 채용하고 있다.Conventionally, a pump of a type in which a turbomolecular pump and a screw groove pump are combined (hereinafter referred to as a "composite vacuum pump") is known as this type of vacuum pump. In such a vacuum pump, the pump compression ratio is increased. In addition, in order to make the whole pump compact, the structure which returns a series of exhaust flow paths R1, R2, R3 of a screw groove pump is employ | adopted as shown in FIG.
도 6 및 도 7에 도시한 복합형 진공 펌프에 있어서는, 나사홈 펌프의 배기유로(R1, R2, R3)를 동 도면과 같은 리턴 구조로 하기 위해, 나사홈 펌프로서 기능하는 로터(회전체)(70)의 약 하부 반을 2개의 원통체(4, 5)로 이루어지는 다중 원통체(2)의 구조로 하고, 그 내외 양 원통체(4, 5) 사이와 외측 원통체(4)의 외측에 나사홈 부착의 나사 펌프 스테이터(21, 22)를 설치하고 있다. 또한, 이 도 6 및 도 7에 도시한 복합형 진공 펌프의 경우, 로터(70)의 상부 반이 터보 분자 펌프로서 기능하는 구조상, 이 로터(70)의 상부측 외주면에는 다수의 로터 날개(18)가 일체로 형성되어 있다.In the hybrid vacuum pump shown in Figs. 6 and 7, a rotor (rotary body) functioning as a screw groove pump in order to make the exhaust flow paths R1, R2, and R3 of the screw groove pump as the return structure as shown in the figure. The lower half of the 70 is a structure of the multi-cylindrical body 2 which consists of two cylindrical bodies 4 and 5, between the inner and outer cylindrical bodies 4 and 5, and the outer side of the outer cylindrical body 4; The screw pump stators 21 and 22 with a screw groove are attached to the wall. 6 and 7, in the structure in which the upper half of the rotor 70 functions as a turbomolecular pump, a plurality of rotor blades 18 are provided on the outer peripheral surface of the upper side of the rotor 70. ) Is integrally formed.
여기서, 도 6 및 도 7에 도시한 복합형 진공 펌프의 로터(70)는 어느 것이나 다중 원통체(2)의 구조와 로터 날개(18)를 구비하여 이루어지는 것인데, 도 6에 도시한 복합형 진공 펌프의 로터(70)에 대해서는 하나의 로터 형성재로부터 다중 원통체(2)와 로터 날개(18)를 절삭 등에 의해 잘라내 성형한 것으로, 도 7에 도시한 복합형 진공 펌프의 로터(70)는 로터 날개(18)의 최하단 부근의 후부에 2개의 원통체(4, 5)를 접착 또는 가열끼워맞춤 등으로 부착 접합한 것이다.Here, the rotor 70 of the hybrid vacuum pump shown in Figs. 6 and 7 is provided with the structure of the multi-cylindrical body 2 and the rotor blades 18, but the hybrid vacuum shown in Fig. 6 The rotor 70 of the pump was formed by cutting the multiple cylindrical body 2 and the rotor blades 18 from one rotor forming material by cutting or the like. The rotor 70 of the hybrid vacuum pump shown in FIG. Two cylindrical bodies 4 and 5 are attached and bonded together by the back of the rotor blade | wing 18 near the lowest end by adhesion | attachment, a heat-fitting, etc.
그러나, 상기와 같은 다중 원통체(2)의 구조와 로터 날개(18)를 구비하여 이루어지는 로터(70)를 제조하는데 있어, 전술과 같이 하나의 로터 형성재로부터 다중 원통체(2)와 로터 날개(18)를 절삭 등에 의해 잘라내 성형하는 방법에서는 잘라내는 형상이 매우 복잡하므로, 로터(70)의 성형가공이 곤란해지고, 펌프 전체의 고비용을 초래하는 문제가 있다.However, in manufacturing the rotor 70 including the structure of the multi-cylindrical body 2 and the rotor blades 18 as described above, the multi-cylindrical body 2 and the rotor blades from one rotor forming material as described above. In the method of cutting out and molding (18) by cutting or the like, the shape to be cut out is very complicated, so that the molding processing of the rotor 70 becomes difficult, resulting in a high cost of the entire pump.
또한, 상기와 같이 로터 날개(18)의 최하단 부근의 후부에서 2개의 원통체를 접착 또는 가열끼워맞춤 등으로 부착 접합하는 방법에서는 접합부의 내구성을 확보하는 것이 어렵고, 높은 가공 정밀도가 필요해져, 펌프 전체의 고비용을 초래한다. 또한, 원통체(4, 5)의 부착 접합부 주변, 즉 로터 날개(18)의 최하단 부근은 펌프 운전 중 특히 원심력에 의한 변위가 크고, 또한 펌프 운전중에 발생하는 압축열에 의해 최하단의 로터 날개(18) 부근도 열팽창하여 변위되므로, 원통체(4, 5)의 부착 간섭대가 변화하고, 원통체(4, 5)의 부착 상태가 불안정하게 되며, 원통체(4, 5)의 회전중심이 로터 샤프트(8) 및 로터 날개(18)의 회전 중심축선으로부터 벗어나는 소위 로터 날개(18)의 코어 어긋남이 발생하기 쉬워진다. 이러한 로터 날개(18)의 코어 어긋남이 발생하면, 로터(70)의 언밸런스가 증대하고, 진동의 발생, 로터(70)를 지지하는 축 베어링의 수명 저하나 파손이 생긴다.In addition, in the method of attaching and joining the two cylindrical bodies by bonding or heat-fitting at the rear end of the rotor blades 18 as described above, it is difficult to secure the durability of the joining portion, and high processing precision is necessary, and the pump Incurs a high overall cost. In addition, in the vicinity of the attachment joint of the cylindrical bodies 4 and 5, that is, near the lowermost end of the rotor blades 18, the displacement due to the centrifugal force is large during pump operation, and the rotor blade 18 at the lowermost level is caused by the heat of compression generated during the pump operation. ), The interfering bands of the cylindrical bodies 4 and 5 change, the attachment state of the cylindrical bodies 4 and 5 becomes unstable, and the rotational center of the cylindrical bodies 4 and 5 becomes the rotor shaft. Core shift of the so-called rotor blades 18 deviating from the rotational center axis of the rotor blades 18 and 8 tends to occur. When such core misalignment of the rotor blades 18 occurs, the unbalance of the rotor 70 increases, and the generation of vibration and the reduction of the life of the shaft bearing supporting the rotor 70 and the damage occur.
특히, 원통체(4, 5)와 로터 날개(18)측이 다른 종류의 재료로 형성되어 있는 경우는 이 재료사이에서의 열 팽창율·탄성 계수·푸아송(Poisson)비의 상위 등에 의한 변위차의 관계로부터, 원통체(4, 5)의 부착 상태가 보다 한층 불안정화되고, 로터(70)의 언밸런스화 등이 특히 발생하기 쉬워진다.In particular, in the case where the cylindrical bodies 4 and 5 and the rotor blades 18 are formed of different kinds of materials, displacement differences due to differences in thermal expansion coefficient, elastic modulus, Poisson ratio, etc. between these materials From this relationship, the adhered state of the cylindrical bodies 4 and 5 becomes more unstable, and unbalance of the rotor 70 tends to occur particularly.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은 펌프 운전 중의 회전체의 언밸런스화를 방지하고, 장기간에 걸쳐 안정적인 동작을 얻을 수 있는 신뢰성이 높은 저비용 진공 펌프를 제공한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a highly reliable low cost vacuum pump which prevents unbalance of the rotating body during pump operation and obtains stable operation for a long time.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 다수의 원통체를 동심원상으로 배치하여 이루어지는 다중 원통체와, 상기 다중 원통체의 중심 축선상에 회전 가능하게 설치한 로터 샤프트와, 상기 각 원통체와의 사이에 나사홈 펌프의 배기유로를 형성하는 나사 펌프 스테이터를 가지고, 상기 다중 원통체를 형성하는 다수의 원통체의 각각에 부착부를 설치함과 동시에, 이 각 부착부를 통해 상기 각 원통체가 로터 샤프트에 일체로 부착되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 것이다.In order to achieve the above object, the present invention provides a multi-cylindrical body formed by arranging a plurality of cylindrical bodies concentrically, a rotor shaft rotatably provided on a central axis of the multi-cylindrical body, and each of the cylindrical bodies. A screw pump stator for forming an exhaust flow path of the screw groove pump is provided between the plurality of cylindrical bodies forming the multi-cylindrical body, and at the same time, the cylindrical bodies are connected to the rotor shaft through the respective attaching parts. It is characterized by being integrally attached.
본 발명에 있어서, 상기 로터 샤프트의 외주면에는 차양부가 설치되고, 상기 다중 원통체를 구성하는 각 원통체에는 그 각 원통체마다, 상기 차양부측에의 부착부가 형성되어 이루어짐과 동시에, 상기 각 원통체의 부착부와 상기 로터 샤프트의 차양부가 일체로 접합되어 이루어지는 구조를 채용할 수 있다.In the present invention, a shade portion is provided on an outer circumferential surface of the rotor shaft, and each cylindrical body constituting the multi-cylindrical body is provided with an attachment portion on the shaded side for each cylindrical body, and at the same time The attachment portion and the sunshade portion of the rotor shaft are integrally joined to each other can be adopted.
상기한 바와 같이 로터 샤프트의 외주면에 차양부가 설치되는 구조인 경우는 상기 차양부의 표면측에 상기 외측 원통체의 부착부가 고정됨과 동시에, 상기 차양부의 뒷측에 상기 내측 원통체의 부착부가 고정되어 이루어지는 구성을 채용할 수 있다.As described above, in the case where the awning is provided on the outer circumferential surface of the rotor shaft, the attachment portion of the outer cylindrical body is fixed to the surface side of the awning portion, and the attachment portion of the inner cylindrical body is fixed to the rear side of the awning portion. Can be adopted.
상기한 바와 같이 로터 샤프트의 외주면에 차양부가 형성되는 구조인 경우는 상기 차양부의 표면측에 상기 내측 원통체의 부착부를 배치한 후, 그 부착부 상에 상기 외측 원통체의 부착부를 배치함과 동시에, 이 내외 양 원통체의 양 부착부를 관통하는 볼트로 그 양 부착부를 상기 차양부측에 체결 고정하여 이루어지는 구성을 채용해도 된다.In the case of the structure in which the shade is formed on the outer circumferential surface of the rotor shaft as described above, the attachment portion of the inner cylindrical body is disposed on the surface side of the shade portion, and then the attachment portion of the outer cylindrical body is disposed on the attachment portion. Or a bolt that penetrates both attachment portions of both the inner and outer cylindrical bodies, and the attachment portion may be fastened and fixed to the shade portion side.
상기한 바와 같이 로터 샤프트의 외주면에 차양부가 형성되는 구조인 경우는 상기 차양부에 단부를 형성함과 동시에, 이 단부의 상단에 상기 외측 원통체의 부착부를 볼트로 체결 고정하는 한편, 이 단부의 하단에 상기 내측 원통체의 부착부를 별도의 볼트로 체결 고정하여 이루어지는 구성을 채용할 수도 있다.As described above, in the case where the shading portion is formed on the outer circumferential surface of the rotor shaft, an end portion is formed in the shading portion, and the attachment portion of the outer cylindrical body is bolted and fixed to the upper end of the end portion of the rotor shaft. It is also possible to employ a configuration in which the attachment portion of the inner cylindrical body is fastened and fixed with a separate bolt at the lower end.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 로터 샤프트의 선단부 외주는 로터 샤프트 선단면측으로부터 상기 외측 원통체의 부착 위치까지 테이퍼상으로 형성됨과 동시에, 이 로터 샤프트의 테이퍼부에 삽입되어 끼워지는 테이퍼 구멍이 상기 외측 원통체의 부착부에 개설되어 이루어지고, 상기 테이퍼 구멍과 상기 테이퍼부가 끼워지는 인 로우 구조에 의해, 상기 로터 샤프트와 상기 외측 원통체가 일체로 접합되어 이루어지는 구성을 채용할 수 있다.Further, in the present invention, the outer periphery of the distal end of the rotor shaft is formed in a tapered shape from the rotor shaft distal end face side to the attachment position of the outer cylindrical body, and a tapered hole inserted into and inserted into the tapered portion of the rotor shaft is used. The rotor shaft and the outer cylindrical body are integrally joined to each other by an in-row structure which is formed in an attachment portion of the outer cylindrical body and which the tapered hole and the tapered part are fitted.
상기 외측 원통체가 상기 로터 샤프트에 부착 고정되는 구조에서는 상기 로터 샤프트의 선단면에, 상기 외측 원통체의 부착부의 테이퍼 구멍 원주 가장자리에 접하는 가압 링이 배치되고, 또한, 이 가압 링의 볼트 삽입 구멍을 통해 볼트를 로터 샤프트의 선단에 나사 체결 조임으로써, 상기 외측 원통체가 상기 로터 샤프트에 부착 고정되는 구성을 채용할 수 있다.In the structure in which the outer cylindrical body is fixed to the rotor shaft, a pressing ring is disposed on the front end surface of the rotor shaft in contact with the tapered hole circumferential edge of the attachment portion of the outer cylindrical body, and the bolt insertion hole of the pressing ring is disposed. By screwing and fastening a bolt to the front-end | tip of a rotor shaft through it, the structure which the said outer cylindrical body attaches and fixes to the said rotor shaft can be employ | adopted.
본 발명에 있어서, 로터 샤프트의 선단부 외주는 로터 샤프트 선단면측으로부터 상기 외측 원통체의 부착 위치를 거쳐 상기 내측 원통체의 부착 위치까지가 테이퍼상으로 형성됨과 동시에, 이 로터 샤프트의 테이퍼부에 삽입되어 끼워지는 테이퍼 구멍이 상기 외측 원통체와 상기 내측 원통체의 각 부착부에 각각 개설되어 이루어지고, 상기 테이퍼 구멍과 상기 테이퍼부가 끼워지는 인 로우 구조에 의해, 상기 로터 샤프트와 상기 외측 원통체 및 상기 내측 원통체가 일체로 접합되어 이루어지는 구성을 채용할 수도 있다.In the present invention, the outer periphery of the distal end of the rotor shaft is tapered from the rotor shaft distal end side to the attachment position of the inner cylindrical body through the attachment position of the outer cylindrical body, and is inserted into the tapered portion of the rotor shaft. The rotor shaft and the outer cylindrical body have an in-row structure in which the tapered holes to be fitted are respectively formed in the attachment portions of the outer cylindrical body and the inner cylindrical body, and the tapered holes and the tapered parts are fitted. The structure in which the said inner cylinder body is joined together can also be employ | adopted.
상기 내측 원통체가 상기 로터 샤프트에 부착 고정되는 구성에서는 상기 로터 샤프트의 선단부 외주에서 상기 내측 원통체의 부착 위치보다 조금 높은 위치에 나사부가 형성됨과 동시에, 상기 내측 원통체의 부착부 상에서 상기 나사부 상의 너트를 조임으로써, 상기 내측 원통체가 상기 로터 샤프트에 부착 고정되는 구성을 채용할 수 있다.In the configuration in which the inner cylindrical body is attached and fixed to the rotor shaft, a screw portion is formed at a position slightly higher than the attachment position of the inner cylindrical body at the outer periphery of the tip end of the rotor shaft, and a nut on the screw portion on the attaching portion of the inner cylindrical body. It is possible to adopt a configuration in which the inner cylindrical body is fixed to the rotor shaft by tightening.
또한, 본 발명에 있어서는 상기 다수의 원통체 중, 외측 원통체의 외주에 다수의 로터 날개와 스테이터 날개가 교대로 형성되고, 또한, 상기 로터 날개는 외측 원통체의 외주면에 일체로 설치되며, 상기 스테이터 날개는 펌프 케이스의 내면에 부착 고정되어 이루어지는 구성을 채용해도 된다.In the present invention, among the plurality of cylindrical bodies, a plurality of rotor blades and stator blades are alternately formed on the outer circumference of the outer cylindrical body, and the rotor blades are integrally provided on the outer circumferential surface of the outer cylindrical body. The stator blade may employ a configuration in which the stator blade is fixed to the inner surface of the pump case.
또한, 상기 본 발명에 있어서, 상기 다중 원통체에 대해서는 외측 원통체와 내측 원통체를 동심원상으로 배치한 내외 한쌍의 원통체로 이루어지는 구조를 채용하고, 상기 나사 펌프 스테이터에 대해서는 상기 외측 원통체의 외주면과 대향하는 위치에 배치한 제1 나사 펌프 스테이터와, 상기 외측 원통체와 내측 원통체 사이에 배치한 제2 나사 펌프 스테이터로 이루어지는 구조를 채용하고, 상기 나사홈 펌프의 배기유로에 대해서는 상기 제1 나사 펌프 스테이터와 상기 외측 원통체 사이에 형성된 제1 가스 배기유로와, 상기 외측 원통체와 상기 제2 나사 펌프 스테이터 사이에 형성된 제2 가스 배기유로와, 상기 제2 나사 펌프 스테이터와 상기 내측 원통체 사이에 형성된 제3 가스 배기유로로 이루어짐과 동시에, 상기 제1 가스 배기유로와 상기 제2 가스 배기유로가 상기 외측 원통체의 하단부에서 연통되고, 상기 제2 가스 배기유로와 상기 제3 가스 배기유로가 상기 제2 나사 펌프 스테이터의 상단부에서 연통되는 구조를 채용할 수 있다.In the present invention, the multi-cylindrical body has a structure composed of a pair of inner and outer cylindrical bodies arranged concentrically with the outer cylindrical body and the inner cylindrical body, and the outer circumferential surface of the outer cylindrical body with respect to the screw pump stator. And a first screw pump stator disposed at a position opposite to the second screw pump stator, and a second screw pump stator disposed between the outer cylindrical body and the inner cylindrical body, and the exhaust passage of the screw groove pump. A first gas exhaust passage formed between the screw pump stator and the outer cylinder, a second gas exhaust passage formed between the outer cylinder and the second screw pump stator, and the second screw pump stator and the inner cylinder And a third gas exhaust passage formed between the first gas exhaust passage and the second gas. Group may be a passage in communication at the lower end of the outer cylinder, to the second gas exhaust flow path and the third gas exhaust passage is employed a structure in which the communication in the second upper end of the screw pump stator.
도 1은 본 발명에 관한 진공 펌프의 일 실시 형태를 도시하는 단면도,1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a vacuum pump according to the present invention;
도 2는 본 발명에 관한 진공 펌프의 다른 실시 형태를 도시하는 단면도,2 is a cross-sectional view showing another embodiment of a vacuum pump according to the present invention;
도 3은 본 발명에 관한 진공 펌프의 다른 실시 형태를 도시하는 단면도,3 is a cross-sectional view showing another embodiment of a vacuum pump according to the present invention;
도 4는 본 발명에 관한 진공 펌프의 다른 실시 형태를 도시하는 단면도,4 is a cross-sectional view showing another embodiment of a vacuum pump according to the present invention;
도 5는 본 발명에 관한 진공 펌프의 다른 실시 형태를 도시하는 단면도,5 is a cross-sectional view showing another embodiment of a vacuum pump according to the present invention;
도 6은 종래의 진공 펌프의 단면도,6 is a cross-sectional view of a conventional vacuum pump,
도 7은 종래의 진공 펌프의 단면도이다.7 is a sectional view of a conventional vacuum pump.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
1 : 펌프 케이스 2 : 다중 원통체1: pump case 2: multi-cylindrical
3 : 가스 흡입구 4 : 외측 원통체3: gas inlet 4: outer cylindrical body
5 : 내측 원통체 6 : 레이디얼 베어링5 inner cylinder 6 radial bearing
7 : 스러스트 베어링 8 : 로터 샤프트7: thrust bearing 8: rotor shaft
9 : 차양부 10 : 외측 원통체의 부착부9: Shading part 10: Attachment part of outer cylindrical body
10a : 부착 구멍 11 : 내측 원통체의 부착부10a: mounting hole 11: mounting portion of the inner cylindrical body
11a : 부착 구멍 12, 13 : 볼트11a: mounting hole 12, 13: bolt
14 : 구동 모터 15 : 모터 스테이터 칼럼14: drive motor 15: motor stator column
16 : 모터 고정자 17 : 모터 회전자16: motor stator 17: motor rotor
18 : 로터 날개 19 : 스테이터 날개18: rotor wing 19: stator wings
20 : 스페이서 21 : 제1 나사 펌프 스테이터20: spacer 21: first screw pump stator
22 : 제2 나사 펌프 스테이터 23 : 나사홈22: second screw pump stator 23: screw groove
24 : 가스 배기구 25 : 단부24 gas exhaust port 25 end
25a : 단부의 상단 25b : 단부의 하단25a: top of the end 25b: bottom of the end
26 : 테이퍼부 27 : 테이퍼 구멍26: taper part 27: taper hole
28 : 가압 링 30 : 나사부28 pressure ring 30 thread
31 : 너트 70 : 회전체(로터)31: nut 70: rotor (rotor)
R1 : 제1 가스 배기유로 R2 : 제2 가스 배기유로R1: first gas exhaust passage R2: second gas exhaust passage
R3 : 제3 가스 배기유로R3: third gas exhaust passage
이하, 본 발명에 관한 진공 펌프를 복합형 진공 펌프에 적용한 실시 형태에 대해 도 1 내지 도 5에 의거해 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment which applied the vacuum pump which concerns on this invention to the combined type vacuum pump is described in detail based on FIG.
도 1에 도시한 복합형 진공 펌프는 원통 형상의 펌프 케이스(1)내에 회전체로서 다중 원통체(2)가 설치되어 있고, 이 다중 원통체(2)는 그 상단측이 펌프 케이스(1) 상부의 가스 흡입구(3)측과 대향하도록 배치되어 있다.In the hybrid vacuum pump shown in Fig. 1, a multi-cylindrical body 2 is provided as a rotating body in a cylindrical pump case 1, and the multi-cylindrical body 2 has a pump case 1 at an upper end thereof. It is arrange | positioned so that it may face the gas inlet port 3 side of an upper part.
본 실시 형태의 경우, 상기 다중 원통체(2)는 2개의 원통체(4, 5)를 동심원상으로 배치한 2중의 통 구조로 이루어지고, 이러한 내외 한쌍의 원통체(4, 5)로 이루어지는 다중 원통체(2)의 중심축선상에, 레이디얼 베어링(6)과 스러스트 베어링(7)을 통해 로터 샤프트(8)가 회전 가능하게 기립 설치되어 있다.In the case of this embodiment, the said multi-cylindrical body 2 consists of a double cylinder structure which arrange | positioned two cylindrical bodies 4 and 5 concentrically, and consists of such a pair of cylindrical bodies 4 and 5 inside and outside. On the central axis of the multi-cylinder body 2, the rotor shaft 8 is rotatably standing up via the radial bearing 6 and the thrust bearing 7.
로터 샤프트(8)의 상부측 외주면에는 차양부(9)가 일체로 설치되는 한편, 다중 원통체(2)를 구성하는 2개의 원통체(4, 5)의 상부측에는 각 원통체마다 상기 차양부(9)측에의 부착부(10, 11)가 설치되고, 이러한 각 원통체(4, 5)의 부착부(10, 11)와 로터 샤프트(8)의 차양부(9)가 일체로 접합되어 2개의 원통체(4, 5)는 로터 샤프트(8)측에 일체로 부착 고정된다.The sunshade 9 is integrally provided on the upper outer peripheral surface of the rotor shaft 8, while the sunshade is provided for each cylindrical body on the upper side of the two cylindrical bodies 4, 5 constituting the multiple cylindrical body 2. Attachment parts 10 and 11 on the side (9) are provided, and the attaching parts 10 and 11 of each of the cylindrical bodies 4 and 5 and the shading part 9 of the rotor shaft 8 are integrally joined. The two cylindrical bodies 4 and 5 are integrally fixed to the rotor shaft 8 side.
상기와 같은 각 원통체(4, 5)와 로터 샤프트(8)의 접합구조에 대해서는 여러 가지로 생각할 수 있는데, 본 실시 형태에 있어서는, 그 접합구조의 일 형태 예로서, 내외 양 원통체(4, 5)의 각 부착부(10, 11)에 부착 구멍(10a, 11a)을 개설하고, 이 부착 구멍(10a, 11a)을 통해 로터 샤프트(8)측에 내외 양 원통체(4, 5)의각 부착부(10, 11)를 장착하는 구성과, 외측 원통체(4)의 부착부(10)는 차양부(9)의 표면측에 볼트(12)로 체결 고정하는 한편, 내측 원통체(5)의 부착부(11)는 차양부(9)의 이면측에 별도의 볼트(13)로 체결 고정하는 구성을 채용하고 있다.The above-described joint structures of the cylindrical bodies 4 and 5 and the rotor shaft 8 can be considered in various ways. In this embodiment, as an example of the joint structure, both the inner and outer cylindrical bodies 4 are provided. Attaching holes 10a and 11a are formed in each of the attaching portions 10 and 11, and both inner and outer cylindrical bodies 4 and 5 on the rotor shaft 8 side through the attaching holes 10a and 11a. A structure for mounting the respective mounting portions 10 and 11 and the attachment portion 10 of the outer cylindrical body 4 are fastened and fixed to the surface side of the sunshade 9 with bolts 12, while the inner cylindrical body ( The attachment part 11 of 5) employ | adopts the structure which fastens and fixes with the other bolt 13 to the back surface side of the shading part 9. As shown in FIG.
로터 샤프트(8)를 지지하는 레이디얼 베어링(6)과 스러스트 베어링(7)에 대해서는 본 실시 형태에서는 레이디얼 베어링(6)과 스러스트 베어링(7)을 자기 베어링으로 하고, 이 자기 베어링에 의해 로터 샤프트(8)의 레이디얼 방향과 스러스트 방향을 지지하는 구성을 채용하고 있다.About the radial bearing 6 and the thrust bearing 7 which support the rotor shaft 8 In this embodiment, the radial bearing 6 and the thrust bearing 7 are used as a magnetic bearing, and a rotor by this magnetic bearing The structure which supports the radial direction and thrust direction of the shaft 8 is employ | adopted.
로터 샤프트(8)는 구동 모터(14)에 의해 회전 구동된다. 이 구동 모터(14)의 구조에 대해서 본 실시 형태에서는 다중 원통체(2)의 내측에 설치되어 있는 모터 스테이터 칼럼(15)에, 모터 고정자(16)를 부착함과 동시에, 이 모터 고정자(16)와 대향하는 로터 샤프트(8)의 외주면측에 모터 회전자(17)를 설치하는 것으로 한다.The rotor shaft 8 is rotationally driven by the drive motor 14. Regarding the structure of the drive motor 14 In the present embodiment, the motor stator 16 is attached to the motor stator column 15 provided inside the multiple cylinder 2, and the motor stator 16 is attached. It is assumed that the motor rotor 17 is provided on the outer circumferential surface side of the rotor shaft 8 opposite to).
그런데, 도 1에 도시한 복합형 진공 펌프의 경우, 다중 원통체(2)의 대략 상부 반은 터보 분자 펌프로서 기능하는 한편, 다중 원통체(2)의 대략 하부 반은 나사홈 펌프로서 기능한다.By the way, in the case of the hybrid vacuum pump shown in FIG. 1, approximately the upper half of the multiple cylinder 2 functions as a turbo molecular pump, while the approximately lower half of the multiple cylinder 2 functions as a screw groove pump. .
여기서, 우선, 터보 분자 펌프로서 기능하는 다중 원통체(2)의 대략 상부 반의 구성을 설명한다.Here, the structure of the substantially upper half of the multiple cylinder 2 which functions as a turbo molecular pump is demonstrated first.
다중 원통체(2)의 상부측 외주, 즉 내외 한 쌍의 원통체(4, 5) 중, 외측 원통체(4)의 상부측 외주에는 가공된 블레이드 형상의 로터 날개(18)와 스테이터 날개(19)가 다수 형성되어 있고, 이들 로터 날개(18)와 스테이터 날개(19)는 다중 원통체(2)의 회전 중심 축선에 따라 교대로 배치되어 있다.In the upper outer periphery of the multiple cylindrical body 2, ie, the inner and outer pairs of cylindrical bodies 4 and 5, the upper rotor outer periphery of the outer cylindrical body 4 has a blade-shaped rotor blade 18 and a stator blade ( 19 are formed in many numbers, and these rotor blades 18 and the stator blades 19 are alternately arrange | positioned along the rotation center axis line of the multiple cylindrical body 2. As shown in FIG.
즉, 다중 원통체(2)의 상부측 외주는 상하단의 로터 날개(18, 18, …) 사이에 스테이터 날개(19, 19, …)가 배치되는 또는 상하단의 스테이터 날개(19, 19, …) 사이에 로터 날개(18, 18, …)가 배치되는 구조로 되어있다.That is, the upper outer periphery of the multi-cylindrical body 2 is provided with stator blades 19, 19,... Between the upper and lower rotor blades 18, 18,... Or stator blades 19, 19,... The rotor blades 18, 18, ... are arranged in between.
로터 날개(18)는 외측 원통체(4)의 일체 가공에 의해 상기 외측 원통체(4)의 상부측 외주면에 일체로 형성되고, 또한, 내외 양 회전체(4, 5)와 일체적으로 회전할 수 있는데, 스테이터 날개(19)는 펌프 케이스(1)의 내면에 스페이서(20)를 통해 부착 고정되어 있다.The rotor blades 18 are integrally formed on the upper outer peripheral surface of the outer cylindrical body 4 by integral processing of the outer cylindrical body 4, and are also integrally rotated with both the inner and outer rotary bodies 4 and 5. The stator blade 19 is attached and fixed to the inner surface of the pump case 1 through the spacer 20.
본 실시 형태의 복합형 진공 펌프의 경우, 로터 샤프트(8)와 일체로 다중 원통체(2)가 회전하면, 다중 원통체(2)의 대략 상부 반에서는 로터 날개(18)와 스테이터 날개(19)의 상호작용에 의해, 펌프 케이스(1) 상부의 가스 흡입구(3)측에서 최하단의 로터 날개(18) 및 스테이터 날개(19)측으로 향해 가스의 분자를 배기하는 동작이 행해진다. 그리고, 이 배기 가스는 계속해서 다음 스테이지, 즉 나사홈 펌프로서 기능하는 다중 원통체(2)의 대략 하부 반측으로 이송된다.In the case of the combined vacuum pump of the present embodiment, when the multi-cylinder body 2 rotates integrally with the rotor shaft 8, the rotor blades 18 and the stator blades 19 in approximately the upper half of the multi-cylinder body 2. ), The operation of exhausting gas molecules from the gas suction port 3 side of the pump case 1 toward the lower rotor blade 18 and the stator blade 19 side is performed. And this exhaust gas is continuously conveyed to the substantially lower half side of the multiple cylinder 2 which functions as a next stage, ie, a screw groove pump.
다음에, 도 1에 도시한 복합형 진공 펌프에 있어서, 나사홈 펌프로서 기능하는 다중 원통체(2)의 대략 하부 반의 구성을 설명한다.Next, the structure of the substantially lower half of the multi-cylindrical body 2 which functions as a screw groove pump in the composite vacuum pump shown in FIG. 1 is demonstrated.
다중 원통체(2)는 상술한 대로 내외 한쌍의 원통체(4, 5)로 구성되어 있는데, 이러한 내외 양 원통체(4, 5)중, 외측 원통체(4)의 외주면과 대향하는 위치에는 제1 나사 펌프 스테이터(21)가 배치되고, 또한, 외측 원통체(4)와 내측 원통체(5)의 사이에도 제2 나사 펌프 스테이터(22)가 배치되어 있다. 또한, 제1및 제2 나사 펌프 스테이터(21, 22)는 어느 것이나 다중 원통체(2)를 구성하는 원통체(4, 5)와 마찬가지로 원통형상으로 형성되어 있다.The multi-cylindrical body 2 is constituted by a pair of inner and outer cylindrical bodies 4 and 5 as described above. Among these inner and outer cylindrical bodies 4 and 5, a position opposite to the outer circumferential surface of the outer cylindrical body 4 is provided. The first screw pump stator 21 is disposed, and the second screw pump stator 22 is disposed between the outer cylindrical body 4 and the inner cylindrical body 5. In addition, both the 1st and 2nd screw pump stators 21 and 22 are formed in cylindrical shape similarly to the cylindrical bodies 4 and 5 which comprise the multiple cylindrical body 2. As shown in FIG.
제1 나사 펌프 스테이터(21)에는 그 내면, 즉 외측 원통체(4)의 외주면과 대향하는 면에 나사홈(23)이 형성되고, 또한, 제2 나사 펌프 스테이터(22)에는 그 내외 양면, 즉 외측 원통체(4)의 내주면에 대향하는 면과 내측 원통체(5)의 외주면에 대향하는 면에 나사홈(23, 23)이 각각 형성되어 있다.The first screw pump stator 21 is provided with a screw groove 23 on its inner surface, that is, a surface opposing the outer circumferential surface of the outer cylindrical body 4, and the second screw pump stator 22 has its inner and outer surfaces, That is, the screw grooves 23 and 23 are formed in the surface which opposes the inner peripheral surface of the outer cylindrical body 4, and the surface which opposes the outer peripheral surface of the inner cylindrical body 5, respectively.
제1 나사 펌프 스테이터(21)와 외측 원통체(4) 사이에는 제1 가스 배기유로(R1)가 형성되고, 또한, 외측 원통체(4)와 제2 나사 펌프 스테이터(22) 사이에는 제2 가스 배기유로(R2)가 형성되며, 또한, 제2 나사 펌프 스테이터(22)와 내측 원통체(5) 사이에는 제3 가스 배기유로(R3)가 형성된다. 그리고, 제1 가스 배기유로(R1)와 제2 가스 배기유로(R2)는 외측 원통체(4)의 하단부에서 연통되고, 제2 가스 배기유로(R2)와 제3 가스 배기유로(R3)는 제2 나사 펌프 스테이터(22)의 상단부에서 연통되도록 구성되어 있다.A first gas exhaust flow path R1 is formed between the first screw pump stator 21 and the outer cylindrical body 4, and a second between the outer cylindrical body 4 and the second screw pump stator 22. A gas exhaust passage R2 is formed, and a third gas exhaust passage R3 is formed between the second screw pump stator 22 and the inner cylindrical body 5. The first gas exhaust passage R1 and the second gas exhaust passage R2 communicate with each other at the lower end of the outer cylindrical body 4, and the second gas exhaust passage R2 and the third gas exhaust passage R3 are connected to each other. It is comprised so that it may communicate in the upper end part of the 2nd screw pump stator 22. As shown in FIG.
본 실시 형태의 복합형 진공 펌프의 경우, 로터 샤프트(8)와 일체로 다중 원통체(2)가 회전하면, 이 다중 원통체(2)의 대략 하부 반은 나사홈 펌프로서 기능한다. 즉, 다중 원통체(2)의 대략 하부 반에서는 2개의 원통체(4, 5)와 나사 펌프 스테이터(21, 22)측의 나사홈(23, 23, 23)의 상대적인 운동에 의해, 가스의 배기동작이 행해진다. 이 때, 배기되는 가스의 유통을 설명하면, 다음과 같다.In the case of the combined vacuum pump of the present embodiment, when the multiple cylindrical body 2 rotates integrally with the rotor shaft 8, approximately the lower half of the multiple cylindrical body 2 functions as a screw groove pump. That is, in approximately the lower half of the multi-cylinder body 2, by the relative movement of the two cylinders 4, 5 and the screw grooves 23, 23, 23 on the screw pump stator 21, 22 side, The exhaust operation is performed. At this time, the distribution of the exhaust gas is as follows.
배기되는 가스는 우선, 최하단의 로터 날개(18) 및 스테이터 날개(19)측으로부터 제1 가스 배기유로(R1)에 유입되고, 또한, 도면상 그 가스 배기유로(R1)에서하향으로 흐른다. 그리고, 이 하향으로 흐르는 가스는 외측 원통체(4)의 하단부측에서 180°반전하여 리턴된 후, 제2 가스 배기유로(R2)로 유입되고, 또한, 도면상 그 가스 배기유로(R2)에서 상향으로 흐른다. 다음에, 이 상향으로 흐르는 가스는 제2 나사 펌프 스테이터(22)의 상단부측에서 180°반전하여 리턴된 후, 제3 가스 배기유로(R3)에 유입되고, 또한, 도면상 그 가스 배기유로(R3)에서 하향으로 흘러, 마지막에 내측 원통체(5)의 하단부측에서 가스 배기구(24)측으로 이행하여 배기된다.The gas to be exhausted first flows into the first gas exhaust passage R1 from the lower rotor blade 18 and the stator blade 19 side, and further flows downward in the gas exhaust passage R1 in the drawing. The gas flowing downward is returned 180 degrees on the lower end side of the outer cylindrical body 4 and then returned to the second gas exhaust passage R2. In addition, in the drawing, the gas exhaust passage R2 Flow upwards. Next, the gas flowing upward is inverted by 180 ° from the upper end side of the second screw pump stator 22 and returned to the third gas exhaust passage R3, and the gas exhaust passage in the drawing ( It flows downward in R3) and finally moves to the gas exhaust port 24 side from the lower end side of the inner cylindrical body 5 and is exhausted.
본 실시 형태의 복합형 진공 펌프의 경우, 전술과 같이, 다중 원통체(2)의 약 하부 반은 나사홈 펌프로서 기능하지만, 이 나사홈 펌프에 있어서의 일련의 가스 배기유로(가스 배기유로(R1, R2, R3))는 상기와 같이 상하 2점, 즉 외측 원통체(4)의 하단부측과 제2 나사 펌프 스테이터(22)의 상단부측에서 리턴되는 구조로 되어있다.In the case of the combined vacuum pump of the present embodiment, as described above, about the lower half of the multi-cylindrical body 2 functions as a screw groove pump, but a series of gas exhaust passages (gas exhaust passages) in this screw groove pump R1, R2, and R3) are configured to be returned from the upper and lower two points, that is, from the lower end side of the outer cylindrical body 4 and the upper end side of the second screw pump stator 22 as described above.
또한, 펌프 케이스(1) 상부측의 가스 흡입구(3)는 예를들면 반도체 제조장치의 프로세스 챔버 등, 고진공으로 되는 진공 용기측에 접속되고, 펌프 케이스(1) 하부측의 가스 배기구(24)는 도시하지 않은 보조 펌프측에 연통하도록 세트된다. 따라서, 본 실시 형태의 복합형 진공 펌프는 로터 날개(18)와 스테이터 날개(19)의 상호작용에 의해 배기의 동작을 행하는 터보 분자 펌프 기능부가 고진공으로 되는 측에 위치하고, 또한, 내외 양 원통체(4, 5)와 나사홈(23)의 상호작용에 의해 배기의 동작을 행하는 나사홈 펌프 기능부가 도시하지 않은 보조 펌프측에 위치하는 구조로 된다.In addition, the gas intake port 3 on the upper side of the pump case 1 is connected to a high vacuum chamber side, such as a process chamber of a semiconductor manufacturing apparatus, for example, and the gas exhaust port 24 on the lower side of the pump case 1 is provided. Is set to communicate with an auxiliary pump side (not shown). Therefore, the hybrid vacuum pump of this embodiment is located on the side where the turbomolecular pump function part which performs the operation | movement of exhaust by the interaction of the rotor blade 18 and the stator blade 19 becomes high vacuum, and is a cylinder inside and outside. The screw groove pump function part which performs the operation | movement of exhaust by interaction of (4, 5) and the screw groove 23 becomes a structure located in the auxiliary pump side which is not shown in figure.
다음에, 상기와 같이 구성된 본 실시 형태의 복합형 진공 펌프의 사용예와 동작에 대해 도 1을 이용하여 설명한다. 또한, 도면 중 화살표는 본 펌프내에서의 배기가스의 흐름 방향을 도시하고 있다.Next, the use example and operation | movement of the hybrid vacuum pump of this embodiment comprised as mentioned above are demonstrated using FIG. In addition, the arrow in the figure shows the flow direction of the exhaust gas in this pump.
동 도면의 복합형 진공 펌프는 예를들면, 반도체 제조장치의 프로세스 챔버내를 진공으로 배기하는 수단으로서 사용할 수 있고, 이 사용예의 경우, 본 펌프는 펌프 케이스(1)의 가스 흡기구(3)를 프로세스 챔버측에 접속하는 것으로 한다.The combined vacuum pump of the same figure can be used, for example, as a means for evacuating the inside of a process chamber of a semiconductor manufacturing apparatus to vacuum. In this use example, the pump uses the gas intake port 3 of the pump case 1. Assume that it is connected to the process chamber side.
상기와 같이 접속된 복합형 진공 펌프에 있어서, 가스 배기구(24)에 접속되어 있는 도시하지 않은 보조 펌프를 작동시키고, 프로세스 챔버내를 일정한 진공도까지 진공을 뺀 후, 운전개시 스위치를 온으로 하면, 구동 모터(14)가 작동하고, 로터 샤프트(8)와 일체로 다중 원통체(2) 및 로터 날개(18, 18, …)가 회전한다.In the combined vacuum pump connected as described above, when the auxiliary pump (not shown) connected to the gas exhaust port 24 is operated, the vacuum is released to a certain degree of vacuum in the process chamber, and the operation start switch is turned on. The drive motor 14 operates, and the multi-cylindrical body 2 and the rotor blades 18, 18, ... rotate integrally with the rotor shaft 8.
이 경우, 터보 분자 펌프 기능부에서의 가스분자의 배기동작은, 고속으로 회전하는 최상단의 로터 날개(18)가 가스 흡입구(3)로부터 입사한 가스 분자에 가스 배기구(24) 방향의 운동량을 부여하고, 이 하향 방향의 운동량을 가지는 가스 분자가 스테이터 날개(19)로 이송되며, 다음 하단의 로터 날개(18)측으로 보내지는 동작으로, 이러한 운동량의 부여를 반복함으로써, 가스 흡입구(3)측에서 최하단의 스테이터 날개(19)측으로 가스 분자가 이행되어 배기된다.In this case, the gas molecule exhaust operation in the turbomolecular pump function unit gives the momentum in the direction of the gas exhaust port 24 to the gas molecules in which the uppermost rotor blades 18 rotating at high speed are incident from the gas inlet port 3. The gas molecules having the downward momentum are transferred to the stator blade 19, and are then sent to the rotor blade 18 side of the lower end. The gas molecules are transferred to the lowermost stator blade 19 side and exhausted.
또한, 상기와 같이 최하단의 스테이터 날개(19)측에 도달한 가스 분자는 가스 배기유로(가스 배기유로(R1, R2, R3))를 통과해 가스 배기구(24)측으로 이행하는데, 이 이행 과정에서, 해당 가스분자는 원통체(4, 5)와 나사홈(23)의 상대적인 운동에 의해 천이류에서 점성류로 압축된다. 그리고, 이와 같이 압축된 가스가 가스 배기구(24)로부터 도시하지 않은 보조 펌프를 통해 펌프 외부로 배기된다.In addition, the gas molecules reaching the lowermost stator blade 19 side as described above pass through the gas exhaust passage (gas exhaust passages R1, R2, and R3) to the gas exhaust port 24 side. The gas molecules are compressed from viscous to viscous by the relative motion of the cylindrical bodies 4 and 5 and the screw groove 23. And the gas compressed in this way is exhausted from the gas exhaust port 24 to the exterior of a pump through the auxiliary pump which is not shown in figure.
본 실시 형태의 복합형 진공 펌프에 있어서는, 상기와 같이 다중 원통체(2)를 형성하는 2개의 원통체(4, 5)의 각각에 부착부(10, 11)를 설치함과 동시에, 이 각 부착부(10, 11)를 통해 각 원통체(4, 5)가 로터 샤프트(8)에 일체로 부착 고정되는 구조를 채용한 것이다. 이 때문에, 로터 날개(18) 부착 외측 원통체(4)와 로터 날개(18)가 없는 내측 원통체(5)로 이루어지는 다중 원통체(2)의 회전체(로터)를 제조할 때, 종래와 같이 하나의 로터 형성재로부터 다중 원통구조의 부분과 로터 날개(18)를 절삭 등에 의해 잘라내 성형할 필요가 없고, 로터 날개(18) 부착 외측 원통체(4)를 형성하는 가공과, 로터 날개(18)가 없는 내측 원통체(5)를 형성하는 가공을 행한 후, 그 양 외측 원통체(4, 5)를 동심원상으로 조합하여 로터 샤프트(8)에 부착 고정하는 것만으로 되므로, 종래에 비해 가공이 간단하게 되어, 펌프 전체의 비용 저감을 도모할 수 있다.In the combined vacuum pump of the present embodiment, the attachment portions 10, 11 are provided on each of the two cylindrical bodies 4, 5 forming the multiple cylindrical body 2 as described above. The cylindrical bodies 4 and 5 are attached to the rotor shaft 8 integrally and fixed through the attachment parts 10 and 11, and employ | adopted. For this reason, when manufacturing the rotating body (rotor) of the multiple cylindrical body 2 which consists of the outer cylindrical body 4 with the rotor blade 18 and the inner cylindrical body 5 without the rotor blade 18, Likewise, it is not necessary to cut and shape the portion of the multi-cylindrical structure and the rotor blades 18 by cutting or the like from one rotor forming material, and to form the outer cylindrical body 4 with the rotor blades 18 and the rotor blades ( 18) After performing the process of forming the inner cylindrical body 5 without, the two outer cylindrical bodies 4 and 5 are only combined and fixed to the rotor shaft 8 by concentrically combining them. Processing becomes simple, and the cost of the whole pump can be reduced.
또한, 펌프 운전중에, 펌프 압축열 등에 의한 로터 샤프트(8)의 변위는 로터 날개(18) 등과 비교해 작고, 본 실시 형태에서는 그 변위가 작은 로터 샤프트(8)에 각 원통체(4, 5)가 부착 고정되는 구조를 채용하였으므로 원통체(4, 5)의 부착 고정부에 걸리는 부하가 작고, 각 원통체(4, 5)의 부착 상태를 장기간에 걸쳐 안정되게 유지할 수 있으며, 그 부착 고정상태의 불안정화에 의한 문제점, 예를들면, 외측 원통체(4)에 일체로 설치되어 있는 로터 날개(18)의 회전 중심축선이, 로터 샤프트(8) 및 로터 날개(18)의 기하학적 중심축선으로부터 벗어나는 소위 로터 날개(18)의 코어 어긋남이나, 이에 의한 다중 원통체(2)의 언밸런스화를 방지할 수있고, 장기간에 걸쳐 안정된 동작을 얻을 수 있는 신뢰성이 높은 진공 펌프가 얻어진다.In addition, during the pump operation, the displacement of the rotor shaft 8 due to the pump compression heat or the like is smaller than the rotor blades 18 or the like, and in the present embodiment, the cylindrical bodies 4 and 5 are arranged on the rotor shaft 8 having a small displacement. Since the structure adopts a structure in which the cylindrical body 4 and 5 is attached, the load applied to the fixing portion of the cylindrical bodies 4 and 5 is small, and the attachment state of each cylindrical body 4 and 5 can be stably maintained for a long time. Problem caused by destabilization of the rotor blade 18, for example, the rotor blade 18, which is provided integrally with the outer cylindrical body 4, deviates from the geometric center axis of the rotor shaft 8 and the rotor blade 18. A highly reliable vacuum pump capable of preventing the core misalignment of the so-called rotor blades 18 and the unbalance of the multi-cylindrical body 2 by this, and obtaining a stable operation for a long time is obtained.
그런데, 원통체(4, 5)와 로터 샤프트(8)의 접합구조에 대해서는 도 1에 도시한 상기 실시 형태 이외, 도 2 내지 도 5에 도시한 다른 접합구조를 채용할 수 있고, 이들 접합구조를 채용한 경우에도 상기와 동일한 효과가 얻어진다.By the way, the joining structure of the cylindrical bodies 4 and 5 and the rotor shaft 8 can employ | adopt other joining structures shown in FIGS. 2-5 other than the said embodiment shown in FIG. Also in the case of employing the same effect as described above can be obtained.
도 2의 접합구조는 차양부(9)의 표면측에 내측 원통체(5)의 부착부(11)를 배치한 후, 그 상측보다 외측 원통체(4)의 부착부(10)를 배치함과 동시에, 그 내외 양 원통체(4, 5)의 부착부(10, 11)를 관통하는 볼트(12)로, 상기 부착부(10, 11)를 로터 샤프트(8)의 차양부(9)측에 체결 고정한 구조이다.In the joining structure of FIG. 2, after the attachment portion 11 of the inner cylindrical body 5 is disposed on the surface side of the shade 9, the attachment portion 10 of the outer cylindrical body 4 is disposed from the upper side thereof. At the same time, the bolts 12 penetrate the attachment portions 10, 11 of the inner and outer cylindrical bodies 4, 5, and the attachment portions 10, 11 are provided with the shade portion 9 of the rotor shaft 8. The structure is fastened to the side.
도 3의 접합 구조는 차양부(9)에 단부(25)를 설치함과 동시에, 이 단부(25)의 상단(25a)에 외측 원통체(4)의 부착부(10)를 하나의 볼트(12)로 체결 고정하는 한편, 이 단부(25)의 하단(25b)에 내측 원통체(5)의 부착부(11)를 다른 볼트(13)로 체결 고정한 구조이다.In the joining structure of FIG. 3, the end portion 25 is provided on the sunshade 9, and the attachment portion 10 of the outer cylindrical body 4 is attached to the upper end 25a of the end portion 25 by one bolt ( 12), the attachment portion 11 of the inner cylindrical body 5 is fastened and fixed by another bolt 13 to the lower end 25b of the end portion 25. As shown in FIG.
도 4의 접합구조는 외측 원통체(4)의 부착부(10)를 로터 샤프트(8)의 선단 중앙부에 볼트(12)로 체결 고정한 센터 록 구조이다. 이 센터 록 구조인 경우, 로터 샤프트(8)의 선단부 외주는 로터 샤프트 선단면측에서 외측 원통체(4) 부착위치까지 테이퍼 형상으로 형성되고, 또한, 이러한 로터 샤프트(8)의 테이퍼부(26)에 삽입되어 끼워지는 테이퍼 구멍(27)이 외측 원통체(4)의 부착부(10)에 개설되어 있고, 그 테이퍼 구멍(27)과 테이퍼부(26)가 끼워지는 인 로우 구조에 의해, 로터 샤프트(8)와 외측 원통체(4)는 일체로 접합되도록 되어 있다.The joining structure of FIG. 4 is the center lock structure which fastened and fixed the attachment part 10 of the outer cylindrical body 4 to the center part of the front end of the rotor shaft 8 with the bolt 12. As shown in FIG. In the case of the center lock structure, the outer periphery of the distal end of the rotor shaft 8 is formed in a tapered shape from the rotor shaft distal end side to the outer cylindrical body 4 attachment position, and the tapered portion 26 of the rotor shaft 8 is formed. The tapered hole 27 inserted and inserted into the) is opened in the attachment portion 10 of the outer cylindrical body 4, and the tapered hole 27 and the tapered portion 26 are fitted in the in-low structure. The rotor shaft 8 and the outer cylindrical body 4 are integrally joined together.
이 도 4의 접합구조에 있어서, 로터 샤프트(8)에 외측 원통체(4)를 부착 고정할 때는 외측 원통체(4)의 부착부(10)의 테이퍼 구멍(27)을 통해 로터 샤프트(8)의 외측 원통체(4) 부착 위치에 외측 원통체(4)의 부착부(10)를 장착한 후, 그 부착부(10)의 테이퍼 구멍(27) 원주 가장자리에 접하는 가압 링(28)을 로터 샤프트(8)의 선단면에 배치하며, 또한, 이 가압 링(28)의 볼트 삽입구멍을 통해 볼트(12)를 로터 샤프트(8)의 선단에 체결 고정하면 된다. 그렇게 하면, 이 조이는 힘이 가압 링(28)을 통해 외측 원통체(4)의 부착부(10)에 작용하고, 또한 테이퍼부(26)와 테이퍼 구멍(27) 사이에 웨지(Wedge) 효과가 발생하고, 이에 따라 외측 원통체(4)는 로터 샤프트(8)에 견고하게 체결 고정된다.In the joining structure of FIG. 4, when attaching and fixing the outer cylindrical body 4 to the rotor shaft 8, the rotor shaft 8 is provided via a taper hole 27 of the attachment portion 10 of the outer cylindrical body 4. After attaching the attachment portion 10 of the outer cylindrical body 4 at the attachment position of the outer cylindrical body 4), the pressing ring 28 in contact with the circumferential edge of the tapered hole 27 of the attachment portion 10 is attached. What is necessary is just to arrange | position to the front end surface of the rotor shaft 8, and to fasten and fix the bolt 12 to the front end of the rotor shaft 8 through the bolt insertion hole of this pressurization ring 28. Then, this tightening force acts on the attachment portion 10 of the outer cylindrical body 4 via the pressure ring 28, and a wedge effect is applied between the taper portion 26 and the taper hole 27. And the outer cylindrical body 4 is firmly fastened to the rotor shaft 8 accordingly.
또한, 이 도 4의 접합구조에 있어서, 내측 원통체(5)는 외측 원통체(4)와 같은 센터 록 구조를 채용하지 않고, 그 원통체(5)의 부착부(11)가 로터 샤프트(8) 외주면의 차양부(9)에 볼트(13)로 체결 고정되는 구조를 채용하고 있다.In addition, in this joining structure of FIG. 4, the inner cylindrical body 5 does not employ the center lock structure like the outer cylindrical body 4, and the attachment part 11 of the cylindrical body 5 is a rotor shaft ( 8) A structure in which the bolt 13 is fastened and fixed to the sunshade 9 on the outer circumferential surface is adopted.
도 5의 접합구조는 내외 양 원통체(4, 5)의 양쪽에 대해 센터 록 구조를 채용한 것이다. 이 구조의 경우, 로터 샤프트(8)의 선단부 외주는 로터 샤프트 선단면측에서 외측 원통체(4)의 부착 위치를 거쳐 내측 원통체(5)의 부착 위치까지가 테이퍼 형상으로 형성되고, 또한, 이러한 로터 샤프트(8)의 테이퍼부(26)에 삽입되어 끼워지는 테이퍼 구멍(27)이 내측 원통체(5)의 부착부(11)에 개설되며, 그 테이퍼 구멍(27)과 테이퍼부(26)가 끼워지는 인 로우 구조에 의해, 로터 샤프트(8)와 내측 원통체(5)가 일체로 접합되게 되어 있다. 또한, 로터 샤프트(8)의 선단부 외주에는 내측 원통체(5)의 부착 위치보다 조금 높은 위치에 나사부(30)가 형성되고,이 나사부(30)에 너트(31)가 끼워지는 구조로 되어 있다.The joining structure of FIG. 5 employs a center lock structure for both the inner and outer cylindrical bodies 4 and 5. In the case of this structure, the outer periphery of the tip end of the rotor shaft 8 is formed in the taper shape from the rotor shaft end face side to the attachment position of the inner cylindrical body 5 via the attachment position of the outer cylindrical body 4, A tapered hole 27 inserted into the tapered portion 26 of the rotor shaft 8 is opened in the attachment portion 11 of the inner cylindrical body 5, and the tapered hole 27 and the tapered portion 26 are formed. The rotor shaft 8 and the inner cylindrical body 5 are integrally joined by the in-row structure into which the () is fitted. Moreover, the screw part 30 is formed in the outer periphery of the front end of the rotor shaft 8 at the position slightly higher than the attachment position of the inner cylindrical body 5, and the nut 31 is fitted in this screw part 30. As shown in FIG. .
이 도 5의 접합구조에 있어서, 로터 샤프트(8)에 내측 원통체(5)를 부착 고정할 때는 내측 원통체(5)의 부착부(10)의 테이퍼 구멍(27)을 통해 로터 샤프트(8)의 내측 원통체(5) 부착 위치에 내측 원통체(5)의 부착부(11)를 장착한 후, 이 장착부(11) 상에서 나사부(30)상의 너트(31)를 체결 고정하면 된다. 그렇게 하면, 너트(31)의 조이는 힘으로 테이퍼부(26)와 테이퍼 구멍(27) 사이에 웨지 효과가 발생하고, 이에 따라 내측 원통체(5)는 로터 샤프트(8)에 강고하게 체결 고정된다. 또한, 외측 원통체(4)의 센터 록 구조에 대해서는 도 4에 도시한 예와 동일하므로, 그 상세한 설명은 생략한다.In the joining structure of FIG. 5, when attaching and fixing the inner cylindrical body 5 to the rotor shaft 8, the rotor shaft 8 is provided via a taper hole 27 of the attachment portion 10 of the inner cylindrical body 5. What is necessary is just to mount the attachment part 11 of the inner cylindrical body 5 to the inner cylindrical body 5 attachment position of (), and to fasten and fix the nut 31 on the threaded part 30 on this mounting part 11. Then, a wedge effect occurs between the tapered portion 26 and the tapered hole 27 by the tightening force of the nut 31, whereby the inner cylindrical body 5 is firmly fastened to the rotor shaft 8. . In addition, since the center lock structure of the outer cylindrical body 4 is the same as the example shown in FIG. 4, the detailed description is abbreviate | omitted.
또한, 상기 실시 형태에서는 나사 펌프 스테이터(21, 22)측에 나사홈(23)을 형성한 예에 대해 설명했는데, 이에 대신해 원통체(4, 5)측에 나사홈(23)을 형성하는 구조를 채용해도 된다.Moreover, in the said embodiment, the example which formed the screw groove 23 in the screw pump stator 21 and 22 side was demonstrated, but the structure which forms the screw groove 23 in the cylindrical body 4 and 5 side instead. You may employ | adopt.
상기 실시 형태에 있어서는 2개의 원통체(4, 5)로 이루어지는 다중 원통체(2)를 채용한 예에 대해 설명했는데, 본 발명은 2이상의 원통체를 동심원상으로 배치하여 이루어지는 다중 원통체에도 적용할 수 있고, 다중 원통체를 구성하는 원통체의 수는 2개로 한정되지 않는다.In the said embodiment, the example which employ | adopted the multicylindrical body 2 which consists of two cylindrical bodies 4 and 5 was demonstrated, but this invention is applied also to the multicylindrical body which arrange | positions two or more cylindrical bodies concentrically. The number of cylinders constituting the multi-cylindrical body is not limited to two.
또한, 상기 실시 형태에서는 다중 원통체(2)의 상부 반이 터보 분자 펌프로서 기능하고, 다중 원통체(2)의 하부 반이 나사홈 펌프로서 기능하는 소위 복합형 진공 펌프의 예에 대해 설명했는데, 본 발명은 다중 원통체(2) 전체가 터보 분자 펌프로서 기능하는 구조, 즉, 외측 원통체(4)의 전 외주면에 로터 날개(18)가 설치되는 소위 전체 날개 타입의 진공 펌프나, 외측 원통체(4)의 전 외주면의 어디에도 로터 날개(18)가 없고, 나사홈 펌프로서의 기능만을 가지는 구조의 진공 펌프에도 적용할 수 있다.In the above embodiment, an example of a so-called hybrid vacuum pump in which the upper half of the multi-cylindrical body 2 functions as a turbo molecular pump and the lower half of the multi-cylindrical body 2 functions as a screw groove pump has been described. The present invention is a vacuum pump of the so-called all-wing type in which the rotor blades 18 are provided on the entire outer circumferential surface of the outer cylindrical body 4, that is, the structure in which the entire multicylinder body 2 functions as a turbomolecular pump, It is applicable also to the vacuum pump of the structure which does not have the rotor blade 18 anywhere in the front outer peripheral surface of the cylindrical body 4, and has only the function as a screw groove pump.
본 발명에 있어서는 상기와 같이 다중 원통체를 형성하는 다수의 원통체의 각각에 부착부를 설치함과 동시에, 이 각 부착부를 통해 상기 각 원통체가 로터 샤프트에 일체로 부착 고정되어 이루어지는 구조를 채용한 것이다. 이 때문에, 예를들면, 로터 날개 부착 외측 원통체와 로터 날개가 없는 내측 원통체로 이루어지는 다중 원통체의 회전체(로터)를 제조하는 경우, 종래와 같이 하나의 로터 형성재로부터 다중 원통구조의 부분과 로터 날개를 절삭 등에 의해 잘라내 성형할 필요가 없고, 로터 날개 부착 외측 원통체를 형성하는 가공과, 로터 날개가 없는 내측 원통체를 형성하는 가공을 별도로 행한 후, 그 양 원통체를 동심원상으로 조합하여 로터 샤프트에 부착 고정하는 것만으로 되므로, 종래에 비해 가공이 간단하게 되어, 펌프 전체의 비용 저감을 도모할 수 있다.In the present invention, an attachment portion is provided on each of a plurality of cylindrical bodies forming a multi-cylindrical body as described above, and at the same time, the cylindrical body is integrally attached and fixed to the rotor shaft through the attachment portions. . For this reason, when manufacturing the rotating body (rotor) of the multi-cylindrical body which consists of an outer cylindrical body with a rotor blade and an inner cylindrical body without a rotor blade, the part of a multi-cylindrical structure from one rotor forming material like a conventional one, It is not necessary to cut and shape the rotor blades by cutting or the like, and separately perform the processing for forming the outer cylindrical body with the rotor blades and the processing for forming the inner cylindrical body without the rotor blades, and then the two cylindrical bodies are concentrically. Since only the attachment and fixing to the rotor shaft are combined, processing becomes simple compared with the conventional one, and the cost of the whole pump can be reduced.
펌프 운전중에 있어, 펌프 압축열 등에 의한 로터 샤프트의 변위는 로터 날개 등과 비교해 작고, 본 발명에서는 그 변위가 작은 로터 샤프트에 각 원통체가 부착 고정되므로, 원통체의 고정부에 걸리는 부하가 작고, 각 원통체의 부착 상태를 장기간에 걸쳐 안정되게 유지할 수 있어, 그 부착 고정상태의 불안정화에 의한 문제점, 예를들면, 다중 원통체를 구성하는 외측 원통체에 로터 날개가 있고, 이 로터 날개의 회전 중심축선이 로터 샤프트 및 로터 날개의 기하학적 중심축선으로부터 벗어나는 소위 로터 날개의 코어 어긋남이나, 이에 따른 다중 원통체의 언밸런스화를 방지할 수 있고, 장기간에 걸쳐 안정적인 동작을 얻을 수 있는 신뢰성이 높은 진공 펌프를 제공할 수 있다.During pump operation, the displacement of the rotor shaft due to the heat of compression of the pump is smaller than that of the rotor blade or the like. In the present invention, since each cylindrical body is attached and fixed to the rotor shaft with small displacement, the load applied to the fixed portion of the cylindrical body is small, and The state of attachment of the cylindrical body can be stably maintained for a long time, and there are problems caused by the destabilization of the fixed state of the cylinder, for example, the outer cylinder constituting the multiple cylinder has a rotor blade, and the center of rotation of the rotor blade. A highly reliable vacuum pump which can prevent core misalignment of the so-called rotor blades from which the axes deviate from the geometric center axis of the rotor shaft and rotor blades, and thus unbalance of multiple cylinders, and obtain stable operation over a long period of time. Can provide.
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| JP5284940B2 (en) * | 2009-12-24 | 2013-09-11 | アネスト岩田株式会社 | Multistage vacuum pump |
| US9790946B2 (en) * | 2010-09-28 | 2017-10-17 | Edwards Japan Limited | Exhaust pump |
| TWI424121B (en) * | 2010-12-10 | 2014-01-21 | Prosol Corp | Turbo molecular pump with improved blade structures |
| EP2722528B1 (en) * | 2011-06-16 | 2018-05-30 | Edwards Japan Limited | Rotor assembly and vacuum pump there with |
| KR102106658B1 (en) * | 2012-09-26 | 2020-05-04 | 에드워즈 가부시키가이샤 | Rotor, and vacuum pump equipped with rotor |
| JP6353195B2 (en) * | 2013-05-09 | 2018-07-04 | エドワーズ株式会社 | Fixed disk and vacuum pump |
| KR102185479B1 (en) * | 2013-09-30 | 2020-12-02 | 에드워즈 가부시키가이샤 | Thread groove pump mechanism, vacuum pump using this thread groove pump mechanism, and rotor, outer-circumferential stator, and inner-circumferential stator used in this thread screw pump mechanism |
| JP6973348B2 (en) * | 2018-10-15 | 2021-11-24 | 株式会社島津製作所 | Vacuum pump |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60139098U (en) * | 1984-02-24 | 1985-09-13 | セイコ−精機株式会社 | Combined axial flow molecular pump |
| DE3410905A1 (en) * | 1984-03-24 | 1985-10-03 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | DEVICE FOR CONVEYING GASES IN SUBATMOSPHAERIC PRESSURES |
| US4923614A (en) * | 1986-06-12 | 1990-05-08 | Wilke Engelbart | Process and device for large surface-area fine-bubble gasification of liquids |
| NL8602052A (en) * | 1986-08-12 | 1988-03-01 | Ultra Centrifuge Nederland Nv | HIGH VACUUM PUMP. |
| US5639373A (en) * | 1995-08-11 | 1997-06-17 | Zenon Environmental Inc. | Vertical skein of hollow fiber membranes and method of maintaining clean fiber surfaces while filtering a substrate to withdraw a permeate |
| US5248424A (en) * | 1990-08-17 | 1993-09-28 | Zenon Environmental Inc. | Frameless array of hollow fiber membranes and method of maintaining clean fiber surfaces while filtering a substrate to withdraw a permeate |
| US5922201A (en) * | 1992-02-12 | 1999-07-13 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Hollow fiber membrane module |
| EP0598909B1 (en) * | 1992-02-12 | 1998-01-14 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Hollow yarn membrane module |
| JPH08100779A (en) * | 1994-10-04 | 1996-04-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Vacuum pump |
| US5944997A (en) * | 1995-08-11 | 1999-08-31 | Zenon Environmental Inc. | System for maintaining a clean skein of hollow fibers while filtering suspended solids |
| US6656356B2 (en) * | 1998-10-09 | 2003-12-02 | Zenon Environmental Inc. | Aerated immersed membrane system |
| DE69636357T2 (en) * | 1995-08-11 | 2007-08-09 | Zenon Environmental Inc., Oakville | Membrane module with free-swinging hollow-fiber membranes |
| US6193890B1 (en) * | 1995-08-11 | 2001-02-27 | Zenon Environmental Inc. | System for maintaining a clean skein of hollow fibers while filtering suspended solids |
| GB9609281D0 (en) * | 1996-05-03 | 1996-07-10 | Boc Group Plc | Improved vacuum pumps |
| JP3866399B2 (en) * | 1997-12-16 | 2007-01-10 | 住友重機械工業株式会社 | Membrane filtration device and operation method thereof |
| JPH11210674A (en) * | 1998-01-27 | 1999-08-03 | Ebara Corp | Turbo molecular pump |
| US6280626B1 (en) * | 1998-08-12 | 2001-08-28 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Membrane separator assembly and method of cleaning the assembly utilizing gas diffuser underneath the assembly |
| ATE264272T1 (en) * | 1998-10-09 | 2004-04-15 | Zenon Environmental Inc | CYCLICAL VENTILATION SYSTEM FOR DIVING MEMBRANE MODULE |
| US6550747B2 (en) * | 1998-10-09 | 2003-04-22 | Zenon Environmental Inc. | Cyclic aeration system for submerged membrane modules |
| US6319411B1 (en) * | 1998-10-09 | 2001-11-20 | Zenon Environmental Inc. | Method of maintaining clean vertical skeins of hollow fiber membranes and system therefor |
| JP2001248587A (en) * | 1999-12-28 | 2001-09-14 | Kashiyama Kogyo Kk | Composite vacuum pump |
| JP2001323892A (en) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Shimadzu Corp | Turbo type vacuum instrument |
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