KR20030035837A - Process for forming a colored pattern - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: To provide a method to form a color pattern (5) with stable sensitivity and resolution. CONSTITUTION: The method is carried out by irradiating a layer (1) made of a color photosensitive resin composition containing (A) a pigment, (B) a binder resin, (C) an additional polymerizable compound having an ethylenic unsaturated bond and (D) a photopolymerization initiator with rays (4) through a photomask (3), then dissolving the region (11) not irradiated with rays in the layer (1) in a developer at the dissolving rate of ≧10 nm/sec and ≤60 nm/sec. The method is suitable for the formation of a black matrix.

Description

착색 패턴의 형성방법{Process for forming a colored pattern}Process for forming a colored pattern

본 발명은 착색 패턴의 형성방법, 상세하게는 컬러 필터를 구성하는 착색 패턴, 특히 블랙 매트릭스의 형성방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of forming a colored pattern, in particular a method of forming a colored pattern constituting a color filter, in particular a black matrix.

컬러 필터(6)는 예를 들면, 액정 표시 장치에 삽입되어 당해 장치의 표시 화상을 컬러화하는 데에 사용되거나, 고체촬상 소자에 삽입되어 컬러 화상을 수득하는 데에 사용되는 광학 소자이며, 기판(2) 위의 동일 평면 위에 상호 인접하여 형성된 착색 패턴(5)으로 이루어지는 것이 알려져 있다. 여기서, 착색 패턴은 예를 들면 적색 화소(5R), 녹색 화소(5G) 및 청색 화소(5B)의 3원색의 색화소와, 각 색화소의 경계에 형성된 블랙 매트릭스(5BM)를 들 수 있다. 여기서, 각 색의 색화소는 각 색에 착색된 투명한 층으로, 블랙 매트릭스는 흑색으로 가시광을 실질적으로 투과하지 않는 층이다.The color filter 6 is, for example, an optical element inserted into a liquid crystal display device to colorize the display image of the device, or inserted into a solid-state image pickup device to obtain a color image. 2) It is known to consist of the coloring pattern 5 formed adjacent to each other on the same plane above. Here, the colored pattern includes, for example, the color pixels of the three primary colors of the red pixel 5R, the green pixel 5G, and the blue pixel 5B, and the black matrix 5BM formed at the boundary of each color pixel. Here, the color pixels of each color are transparent layers colored in each color, and the black matrix is a layer that does not substantially transmit visible light in black.

상기 컬러 필터(6)의 제조방법으로는, 착색 감광성 수지 조성물의 고형분으로 이루어진 착색 감광성 수지 조성물 층(1)을 기판(2) 위에 형성하고(도 2a), 당해 층(1)에 광마스크(3)를 개재시켜 광선(4)을 조사한 후(도 2b), 광선 미조사 영역(11)을 현상액에 용해시켜 착색 패턴(5)을 형성하는 방법이 공지되어 있다(도2 c). 착색 감광성 수지 조성물에 함유되는 안료의 색을 바꾸면서 상기 조작을 반복 수행하여, 각 색의 착색 패턴을 순차 형성함으로써(도3 및 도4), 컬러 필터(6)를 형성할 수 있다.In the manufacturing method of the said color filter 6, the colored photosensitive resin composition layer 1 which consists of solid content of a colored photosensitive resin composition is formed on the board | substrate 2 (FIG. 2A), and the photomask (the mask 1) After irradiating the light ray 4 through 3) (FIG. 2B), the method of dissolving the non-irradiation area | region 11 in the developing solution to form the coloring pattern 5 is known (FIG. 2C). By repeating the above operation while changing the color of the pigment contained in the coloring photosensitive resin composition, the color filter 6 can be formed by sequentially forming the coloring pattern of each color (FIGS. 3 and 4).

그러나, 이러한 종래의 방법에서는, 착색 감광성 수지 조성물 층(1)의 감도가 저하되어 노광에 필요한 광선 조사량이 많아지는 경우나, 수득되는 착색 패턴의 해상도가 저하되는 경우가 있다. 이 때문에, 안정된 착색 패턴을 형성하기 위해서는 충분한 양의 광선을 조사해야 하며, 또한 미세한 착색 패턴을 형성하는 경우에는 이의 보유율이 저하되기 쉬운 문제가 있다. 이러한 감도의 저하 및 해상도의 저하는 착색 패턴(5) 중에서도 빛을 투과하지 않는 블랙 매트릭스(5BM)를 형성하는 경우에 특히 현저했다.However, in such a conventional method, the sensitivity of the colored photosensitive resin composition layer 1 may fall, and the amount of light irradiation required for exposure may increase, or the resolution of the obtained colored pattern may fall. For this reason, in order to form a stable colored pattern, a sufficient amount of light must be irradiated, and when forming a fine colored pattern, there exists a problem that its retention rate tends to fall. Such a decrease in sensitivity and a decrease in resolution were particularly remarkable in the case of forming a black matrix 5BM that does not transmit light among the colored patterns 5.

여기서 본 발명자는 안정된 감도 및 해상도로 착색 패턴을 형성할 수 있는방법을 개발하기 위해 예의 검토한 결과, 광선 미조사 영역의 현상액으로의 용해 속도를 특정 범위로 하는 경우, 노광에 있어서의 감도 및 해상도를 안정시켜 향상시킬 수 있다는 것을 발견하여 본 발명에 이르렀다.As a result of earnestly examining in order to develop the method which can form a coloring pattern with stable sensitivity and resolution here, this inventor found that when the dissolution rate to the developing solution of a light non-irradiation area | region becomes a specific range, the sensitivity and the resolution in exposure The present invention was found to be able to stabilize and improve the stability.

도 1a 및 도 1b는 컬러 필터의 일례를 부분적으로 나타낸 모식도이다.1A and 1B are schematic diagrams partially showing an example of a color filter.

도 2a 내지 도 2c는 착색 감광성 수지 조성물을 사용하여 기판 위에 착색 패턴을 형성하는 공정을 나타내는 모식도이다.2A to 2C are schematic diagrams illustrating a step of forming a colored pattern on a substrate using a colored photosensitive resin composition.

도 3a 내지 도 3c는 착색 감광성 수지 조성물을 사용하여 기판 위에 착색 패턴을 형성하는 공정을 나타내는 모식도이다.3A to 3C are schematic diagrams illustrating a step of forming a colored pattern on a substrate using a colored photosensitive resin composition.

도 4a 내지 도 4c는 착색 감광성 수지 조성물을 사용하여 기판 위에 착색 패턴을 형성하는 공정을 나타내는 모식도이다.4A to 4C are schematic diagrams illustrating a step of forming a colored pattern on a substrate using a colored photosensitive resin composition.

부호의 간단한 설명Short description of the sign

1: 착색 감광성 수지 조성물 층1: coloring photosensitive resin composition layer

2: 기판2: substrate

3: 광마스크3: photomask

4: 광선4: rays

5: 착색 패턴5: coloring pattern

6: 컬러 필터6: color filter

11: 광선 미조사 영역11: light non-irradiation area

12: 광선 조사 영역12: light irradiation area

31: 유리판31: glass plate

32: 차광층32: light shielding layer

33: 투광부33: floodlight

5R: 적색 화소5R: red pixel

5G: 녹색 화소5G: green pixel

5B: 청색 화소5B: blue pixel

5BM: 블랙 매트릭스5BM: Black Matrix

즉, 본 발명은 안료(A), 결합 수지(B), 에틸렌성 불포화 결합을 갖고 부가중합 가능한 화합물(C) 및 광중합 개시제(D)를 함유하는 착색 감광성 수지 조성물로 이루어진 층(1)에 광마스크(3)를 개재시키고, 광선(4)을 조사한 후, 당해 층(1)의 광선 미조사 영역(11)을 10㎚/초 이상 60㎚/초 이하의 용해 속도로 현상액에 용해시킴을 특징으로 하는, 착색 패턴(5)의 형성방법을 제공하는 것이다.That is, the present invention is directed to a layer (1) made of a colored photosensitive resin composition containing a pigment (A), a binder resin (B), a compound having an ethylenically unsaturated bond (C), and a photopolymerization initiator (D). After irradiating the light ray 4 through the mask 3, the light non-irradiated area | region 11 of the said layer 1 is melt | dissolved in a developing solution at the dissolution rate of 10 nm / sec or more and 60 nm / sec or less. It is to provide a method of forming the colored pattern 5.

본 발명의 형성방법에서 사용되는 착색 감광성 수지 조성물에 함유되는 안료(A)는 무기 안료일 수도 있고 유기 안료일 수도 있다. 무기 안료로는 금속 산화물 및 금속 착염과 같은 금속 화합물을 들 수 있고, 구체적으로는 철, 코발트, 알루미늄, 카드뮴, 납, 구리, 티탄, 마그네슘, 크롬, 아연, 안티몬 등의 금속 산화물 또는 복합 금속 산화물을 들 수 있다. 또한, 유기 안료로는 구체적으로, 컬러인덱스(Color Index)(출판사: The Society of Dyers and Colourists)에서 염료(Pigment)로 분류되어 있는 화합물을 들 수 있다.The pigment (A) contained in the coloring photosensitive resin composition used by the formation method of this invention may be an inorganic pigment, or an organic pigment may be sufficient as it. Examples of the inorganic pigments include metal compounds such as metal oxides and metal complex salts, and specifically, metal oxides or composite metal oxides such as iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, and antimony. Can be mentioned. In addition, examples of the organic pigments include compounds classified as dyes by Color Index (Published by The Society of Dyers and Colourists).

블랙 매트릭스를 형성하기 위해서는, 흑색 안료를 함유하여 흑색으로 착색된 착색 감광성 수지 조성물을 사용한다. 적색 화소, 녹색 화소, 청색 화소 등의 각 화소를 형성하는 데에는, 목적하는 각 화소에 대응하는 색의 안료를 함유하여 각색으로 착색된 착색 감광성 수지 조성물을 사용한다.In order to form a black matrix, the coloring photosensitive resin composition containing a black pigment and colored black is used. In forming each pixel, such as a red pixel, a green pixel, and a blue pixel, the coloring photosensitive resin composition containing the pigment of the color corresponding to each pixel of interest, and colored by each color is used.

흑색 안료로는, 예를 들면 카본블랙, 일본 공개특허공보 제(평)5-311109호, 일본 공개특허공보 제(평)6-11613호 등에 기재된 흑연, 일본 공개특허공보 제(평)4-322219호, 일본 공개특허공보 제(평)3-274503호 등에 기재된 무기 흑색 안료, 일본 공개특허공보 제(평)2-216102호 등에 기재된 아조계 흑색 색소, C.I. 피그먼트 블랙 1, C.I. 피그먼트 블랙 7 등의 유기 흑색 안료 등을 사용할 수 있다. 흑색으로 착색된 착색 감광성 수지 조성물은 안료로서 적색 안료, 녹색 안료, 청색 안료, 황색 안료, 시안색 안료, 마젠타색 안료 등을 함유할 수 있다.As a black pigment, the graphite as described in carbon black, Unexamined-Japanese-Patent No. 5-311109, Unexamined-Japanese-Patent No. 6-11613, etc., for example, Unexamined-Japanese-Patent No. 4- Inorganic black pigments described in 322219, Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-274503, and the like, Azo black pigments described in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2-216102, CI Pigment Black 1, C.I. Organic black pigments, such as pigment black 7, etc. can be used. The colored photosensitive resin composition colored black may contain a red pigment, a green pigment, a blue pigment, a yellow pigment, a cyan pigment, a magenta pigment and the like as a pigment.

각 색으로 착색된 착색 감광성 수지 조성물은 각 색의 안료를 함유한다. 각 색의 안료로서 1종의 안료를 함유할 수도 있고 2종 이상의 안료를 함유할 수도 있다. 관련 안료로는 예를 들면, C.I. 피그먼트 옐로우 1, C.I. 피그먼트 옐로우 3, C.I. 피그먼트 옐로우 12, C.I. 피그먼트 옐로우 13, C.I. 피그먼트 옐로우 14, C.I. 피그먼트 옐로우 15, C.I. 피그먼트 옐로우 16, C.I. 피그먼트 옐로우 17, C.I. 피그먼트 옐로우 20, C.I. 피그먼트 옐로우 24, C.I. 피그먼트 옐로우 31, C.I. 피그먼트 옐로우 55, C.I. 피그먼트 옐로우 60, C.I. 피그먼트 옐로우 61, C.I. 피그먼트 옐로우 65, C.I. 피그먼트 옐로우 71, C.I. 피그먼트 옐로우 73, C.I. 피그먼트 옐로우 74, C.I. 피그먼트 옐로우 81, C.I. 피그먼트 옐로우 83, C.I. 피그먼트 옐로우 93, C.I. 피그먼트 옐로우 95, C.I. 피그먼트 옐로우 97, C.I. 피그먼트 옐로우 98, C.I. 피그먼트 옐로우 100, C.I. 피그먼트 옐로우 101, C.I. 피그먼트 옐로우 104, C.I. 피그먼트 옐로우 106, C.I. 피그먼트 옐로우 108,C.I. 피그먼트 옐로우 109, C.I. 피그먼트 옐로우 110, C.I. 피그먼트 옐로우 113, C.I. 피그먼트 옐로우 114, C.I. 피그먼트 옐로우 116, C.I. 피그먼트 옐로우 117, C.I. 피그먼트 옐로우 119, C.I. 피그먼트 옐로우 120, C.I. 피그먼트 옐로우 126, C.I. 피그먼트 옐로우 127, C.I. 피그먼트 옐로우 128, C.I. 피그먼트 옐로우 129, C.I. 피그먼트 옐로우 138, C.I. 피그먼트 옐로우 139, C.I. 피그먼트 옐로우 150, C.I. 피그먼트 옐로우 151, C.I. 피그먼트 옐로우 152, C.I. 피그먼트 옐로우 153, C.I. 피그먼트 옐로우 154, C.I. 피그먼트 옐로우 155, C.I. 피그먼트 옐로우 156, C.I. 피그먼트 옐로우 166, C.I. 피그먼트 옐로우 168, C.I. 피그먼트 옐로우 175,The colored photosensitive resin composition colored by each color contains the pigment of each color. As the pigment of each color, one kind of pigment may be contained, or two or more kinds of pigments may be contained. Related pigments include, for example, C.I. Pigment Yellow 1, C.I. Pigment Yellow 3, C.I. Pigment Yellow 12, C.I. Pigment Yellow 13, C.I. Pigment Yellow 14, C.I. Pigment Yellow 15, C.I. Pigment Yellow 16, C.I. Pigment Yellow 17, C.I. Pigment Yellow 20, C.I. Pigment Yellow 24, C.I. Pigment Yellow 31, C.I. Pigment Yellow 55, C.I. Pigment Yellow 60, C.I. Pigment Yellow 61, C.I. Pigment Yellow 65, C.I. Pigment Yellow 71, C.I. Pigment Yellow 73, C.I. Pigment Yellow 74, C.I. Pigment Yellow 81, C.I. Pigment Yellow 83, C.I. Pigment Yellow 93, C.I. Pigment Yellow 95, C.I. Pigment Yellow 97, C.I. Pigment Yellow 98, C.I. Pigment Yellow 100, C.I. Pigment Yellow 101, C.I. Pigment Yellow 104, C.I. Pigment Yellow 106, C.I. Pigment Yellow 108, C.I. Pigment Yellow 109, C.I. Pigment Yellow 110, C.I. Pigment Yellow 113, C.I. Pigment Yellow 114, C.I. Pigment Yellow 116, C.I. Pigment Yellow 117, C.I. Pigment Yellow 119, C.I. Pigment Yellow 120, C.I. Pigment Yellow 126, C.I. Pigment Yellow 127, C.I. Pigment Yellow 128, C.I. Pigment Yellow 129, C.I. Pigment Yellow 138, C.I. Pigment Yellow 139, C.I. Pigment Yellow 150, C.I. Pigment Yellow 151, C.I. Pigment Yellow 152, C.I. Pigment Yellow 153, C.I. Pigment Yellow 154, C.I. Pigment Yellow 155, C.I. Pigment Yellow 156, C.I. Pigment Yellow 166, C.I. Pigment Yellow 168, C.I. Pigment Yellow 175,

C.I. 피그먼트 오렌지 1, C.I. 피그먼트 오렌지 5, C.I. 피그먼트 오렌지 13, C.I. 피그먼트 오렌지 14, C.I. 피그먼트 오렌지 16, C.I. 피그먼트 오렌지 17, C.I. 피그먼트 오렌지 24, C.I. 피그먼트 오렌지 34, C.I. 피그먼트 오렌지 36, C.I. 피그먼트 오렌지 38, C.I. 피그먼트 오렌지 40, C.I. 피그먼트 오렌지 43, C.I. 피그먼트 오렌지 46, C.I. 피그먼트 오렌지 49, C.I. 피그먼트 오렌지 51, C.I. 피그먼트 오렌지 61, C.I. 피그먼트 오렌지 63, C.I. 피그먼트 오렌지 64, C.I. 피그먼트 오렌지 71, C.I. 피그먼트 오렌지 73,C.I. Pigment Orange 1, C.I. Pigment Orange 5, C.I. Pigment Orange 13, C.I. Pigment Orange 14, C.I. Pigment Orange 16, C.I. Pigment Orange 17, C.I. Pigment Orange 24, C.I. Pigment Orange 34, C.I. Pigment Orange 36, C.I. Pigment Orange 38, C.I. Pigment Orange 40, C.I. Pigment Orange 43, C.I. Pigment Orange 46, C.I. Pigment Orange 49, C.I. Pigment Orange 51, C.I. Pigment Orange 61, C.I. Pigment Orange 63, C.I. Pigment Orange 64, C.I. Pigment Orange 71, C.I. Pigment orange 73,

C.I. 피그먼트 바이올렛 1, C.I. 피그먼트 바이올렛 19, C.I. 피그먼트 바이올렛 23, C.I. 피그먼트 바이올렛 29, C.I. 피그먼트 바이올렛 32, C.I. 피그먼트 바이올렛 36, C.I. 피그먼트 바이올렛 38,C.I. Pigment Violet 1, C.I. Pigment Violet 19, C.I. Pigment Violet 23, C.I. Pigment Violet 29, C.I. Pigment violet 32, C.I. Pigment Violet 36, C.I. Pigment violet 38,

C.I. 피그먼트 레드 1, C.I. 피그먼트 레드 2, C.I. 피그먼트 레드 3, C.I. 피그먼트 레드 4, C.I. 피그먼트 레드 5, C.I. 피그먼트 레드 6, C.I. 피그먼트 레드 7, C.I. 피그먼트 레드 8, C.I. 피그먼트 레드 9, C.I. 피그먼트 레드 10, C.I. 피그먼트 레드 11, C.I. 피그먼트 레드 12, C.I. 피그먼트 레드 14, C.I. 피그먼트 레드 15, C.I. 피그먼트 레드 16, C.I. 피그먼트 레드 17, C.I. 피그먼트 레드 18, C.I. 피그먼트 레드 19, C.I. 피그먼트 레드 21, C.I. 피그먼트 레드 22, C.I. 피그먼트 레드 23, C.I. 피그먼트 레드 30, C.I. 피그먼트 레드 31, C.I. 피그먼트 레드 32, C.I. 피그먼트 레드 37, C.I. 피그먼트 레드 38, C.I. 피그먼트 레드 40, C.I. 피그먼트 레드 41, C.I. 피그먼트 레드 42, C.I. 피그먼트 레드 48:1, C.I. 피그먼트 레드 48:2, C.I. 피그먼트 레드 48:3, C.I. 피그먼트 레드 48:4, C.I. 피그먼트 레드 49:1, C.I. 피그먼트 레드 49:2, C.I. 피그먼트 레드 50:1, C.I. 피그먼트 레드 52:1, C.I. 피그먼트 레드 53:1, C.I. 피그먼트 레드 57, C.I. 피그먼트 레드 57:1, C.I. 피그먼트 레드 58:2, C.I. 피그먼트 레드 58:4, C.I. 피그먼트 레드 60:1, C.I. 피그먼트 레드 63:1, C.I. 피그먼트 레드 63:2, C.I. 피그먼트 레드 64:1, C.I. 피그먼트 레드 81:1, C.I. 피그먼트 레드 83, C.I. 피그먼트 레드 88, C.I. 피그먼트 레드 90:1, C.I. 피그먼트 레드 97, C.I. 피그먼트 레드 101, C.I. 피그먼트 레드 102, C.I. 피그먼트 레드 104, C.I. 피그먼트 레드 105, C.I. 피그먼트 레드 106, C.I. 피그먼트 레드 108, C.I. 피그먼트 레드 112, C.I. 피그먼트 레드 113, C.I. 피그먼트 레드 114, C.I. 피그먼트 레드 122, C.I. 피그먼트 레드 123, C.I. 피그먼트 레드 144, C.I. 피그먼트 레드 146, C.I. 피그먼트 레드 149, C.I. 피그먼트 레드 150, C.I. 피그먼트 레드 151, C.I. 피그먼트 레드 166, C.I. 피그먼트 레드 168, C.I. 피그먼트 레드 170, C.I. 피그먼트 레드 171,C.I. 피그먼트 레드 172, C.I. 피그먼트 레드 174, C.I. 피그먼트 레드 175, C.I. 피그먼트 레드 176, C.I. 피그먼트 레드 177, C.I. 피그먼트 레드 178, C.I. 피그먼트 레드 179, C.I. 피그먼트 레드 180, C.I. 피그먼트 레드 185, C.I. 피그먼트 레드 187, C.I. 피그먼트 레드 188, C.I. 피그먼트 레드 190, C.I. 피그먼트 레드 193, C.I. 피그먼트 레드 194, C.I. 피그먼트 레드 202, C.I. 피그먼트 레드 206, C.I. 피그먼트 레드 207, C.I. 피그먼트 레드 208, C.I. 피그먼트 레드 209, C.I. 피그먼트 레드 215, C.I. 피그먼트 레드 216, C.I. 피그먼트 레드 220, C.I. 피그먼트 레드 224, C.I. 피그먼트 레드 226, C.I. 피그먼트 레드 242, C.I. 피그먼트 레드 243, C.I. 피그먼트 레드 245, C.I. 피그먼트 레드 254, C.I. 피그먼트 레드 255, C.I. 피그먼트 레드 264, C.I. 피그먼트 레드 265,C.I. Pigment Red 1, C.I. Pigment Red 2, C.I. Pigment Red 3, C.I. Pigment Red 4, C.I. Pigment Red 5, C.I. Pigment Red 6, C.I. Pigment Red 7, C.I. Pigment Red 8, C.I. Pigment Red 9, C.I. Pigment Red 10, C.I. Pigment Red 11, C.I. Pigment Red 12, C.I. Pigment Red 14, C.I. Pigment Red 15, C.I. Pigment Red 16, C.I. Pigment Red 17, C.I. Pigment Red 18, C.I. Pigment Red 19, C.I. Pigment Red 21, C.I. Pigment Red 22, C.I. Pigment Red 23, C.I. Pigment Red 30, C.I. Pigment Red 31, C.I. Pigment Red 32, C.I. Pigment Red 37, C.I. Pigment Red 38, C.I. Pigment Red 40, C.I. Pigment Red 41, C.I. Pigment Red 42, C.I. Pigment Red 48: 1, C.I. Pigment Red 48: 2, C.I. Pigment Red 48: 3, C.I. Pigment Red 48: 4, C.I. Pigment Red 49: 1, C.I. Pigment Red 49: 2, C.I. Pigment Red 50: 1, C.I. Pigment Red 52: 1, C.I. Pigment Red 53: 1, C.I. Pigment Red 57, C.I. Pigment Red 57: 1, C.I. Pigment Red 58: 2, C.I. Pigment Red 58: 4, C.I. Pigment Red 60: 1, C.I. Pigment Red 63: 1, C.I. Pigment Red 63: 2, C.I. Pigment Red 64: 1, C.I. Pigment Red 81: 1, C.I. Pigment Red 83, C.I. Pigment Red 88, C.I. Pigment Red 90: 1, C.I. Pigment Red 97, C.I. Pigment Red 101, C.I. Pigment Red 102, C.I. Pigment Red 104, C.I. Pigment Red 105, C.I. Pigment Red 106, C.I. Pigment Red 108, C.I. Pigment Red 112, C.I. Pigment Red 113, C.I. Pigment Red 114, C.I. Pigment Red 122, C.I. Pigment Red 123, C.I. Pigment Red 144, C.I. Pigment Red 146, C.I. Pigment Red 149, C.I. Pigment Red 150, C.I. Pigment Red 151, C.I. Pigment Red 166, C.I. Pigment Red 168, C.I. Pigment Red 170, C.I. Pigment Red 171, C.I. Pigment Red 172, C.I. Pigment Red 174, C.I. Pigment Red 175, C.I. Pigment Red 176, C.I. Pigment Red 177, C.I. Pigment Red 178, C.I. Pigment Red 179, C.I. Pigment Red 180, C.I. Pigment Red 185, C.I. Pigment Red 187, C.I. Pigment Red 188, C.I. Pigment Red 190, C.I. Pigment Red 193, C.I. Pigment Red 194, C.I. Pigment Red 202, C.I. Pigment Red 206, C.I. Pigment Red 207, C.I. Pigment Red 208, C.I. Pigment Red 209, C.I. Pigment Red 215, C.I. Pigment Red 216, C.I. Pigment Red 220, C.I. Pigment Red 224, C.I. Pigment Red 226, C.I. Pigment Red 242, C.I. Pigment Red 243, C.I. Pigment Red 245, C.I. Pigment Red 254, C.I. Pigment Red 255, C.I. Pigment Red 264, C.I. Pigment Red 265,

C.I. 피그먼트 블루 15, C.I. 피그먼트 블루 15:3, C.I. 피그먼트 블루 15:4, C.I. 피그먼트 블루 15:6, C.I. 피그먼트 블루 60,C.I. Pigment Blue 15, C.I. Pigment Blue 15: 3, C.I. Pigment Blue 15: 4, C.I. Pigment Blue 15: 6, C.I. Pigment blue 60,

C.I. 피그먼트 그린 7, C.I. 피그먼트 그린 36, C.I. 피그먼트 브라운 23, C.I. 피그먼트 브라운 25 등을 들 수 있다.C.I. Pigment Green 7, C.I. Pigment Green 36, C.I. Pigment Brown 23, C.I. Pigment brown 25, etc. are mentioned.

위의 안료들 중에서도, 바람직한 안료로는 C.I. 피그먼트 옐로우 117, C.I. 피그먼트 옐로우 128, C.I. 피그먼트 옐로우 129, C.I. 피그먼트 옐로우 150, C.I. 피그먼트 옐로우 155, C.I. 피그먼트 옐로우 185, C.I. 피그먼트 레드 209, C.I. 피그먼트 레드 242, C.I. 피그먼트 레드 254, C.I. 피그먼트 블랙 1, C.I. 피그먼트 블랙 7 등을 들 수 있고, 특히 바람직하게는 C.I. 피그먼트 옐로우 150, C.I. 피그먼트 레드 254, C.I. 피그먼트 블랙 1, C.I. 피그먼트 블랙 7이다.Among the above pigments, preferred pigments are C.I. Pigment Yellow 117, C.I. Pigment Yellow 128, C.I. Pigment Yellow 129, C.I. Pigment Yellow 150, C.I. Pigment Yellow 155, C.I. Pigment Yellow 185, C.I. Pigment Red 209, C.I. Pigment Red 242, C.I. Pigment Red 254, C.I. Pigment Black 1, C.I. Pigment black 7 and the like, and particularly preferably C.I. Pigment Yellow 150, C.I. Pigment Red 254, C.I. Pigment Black 1, C.I. Pigment Black 7.

안료의 입자 직경은 평균 입자 직경이 0.005 내지 0.2㎛인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.01 내지 0.1㎛이다. 관련된 입자 직경의 안료는 예를 들면 반죽법, 황산법, 알칼리 환원 용해법 등의 공지된 방법으로 제조할 수 있다.The particle diameter of the pigment is preferably 0.005 to 0.2 µm, more preferably 0.01 to 0.1 µm. Pigments of related particle diameters can be produced, for example, by known methods such as kneading, sulfuric acid, alkali reduction dissolution.

안료는 그 표면을 중합체 등으로 개질시킬 수 있다. 중합체로는 예를 들면 일본 공개특허공보 제(평)8-259876호 등에 기재된 중합체, 및 시판되는 각종 안료 분산용 중합체 등을 들 수 있다. 구체적으로는 아크릴 수지, 비닐 클로라이드-비닐 아세테이트 수지, 말레인산 수지, 에틸셀룰로오즈 수지, 니트로셀룰로오즈 수지 등을 들 수 있다. 수지로 처리된 가공 안료의 형태로는 수지와 안료가 균일하게 분산되어 있는 분말, 페이스트상, 펠릿상이 바람직하다.The pigment can modify its surface with a polymer or the like. As a polymer, the polymer as described in Unexamined-Japanese-Patent No. 8-259876 etc., the polymer for various pigment dispersions commercially available, etc. are mentioned, for example. Specifically, an acrylic resin, vinyl chloride-vinyl acetate resin, maleic acid resin, ethyl cellulose resin, nitrocellulose resin, etc. are mentioned. As a form of the processed pigment processed with resin, the powder, paste form, and pellet form in which resin and pigment are disperse | distributed uniformly are preferable.

착색 감광성 수지 조성물에서의 안료의 함유량은 그 조성물 중의 휘발 성분이 휘발된 후의 고형분에 대해 질량분율로 통상 20% 이상 60% 이하, 바람직하게는 30% 이상 60% 이하이다.The content of the pigment in the colored photosensitive resin composition is usually 20% or more and 60% or less, preferably 30% or more and 60% or less in terms of mass fraction with respect to the solid content after the volatile components in the composition are volatilized.

본 발명의 감광성 조성물은 안료 분산제를 함유함으로써 안료를 균일하게 분산된 상태로 함유하도록 할 수 있어 균일하게 착색된 착색 패턴을 수득할 수 있기 때문에, 안료 분산제를 함유하는 것이 바람직하다. 이러한 안료 분산제로는, 예를 들면, 폴리에스테르계 고분자 분산제, 아크릴계 고분자 분산제, 폴리우레탄계 고분자 분산제 등의 분산제, 양이온성 계면활성제, 음이온성 계면활성제, 비이온성 계면활성제 등의 계면활성제 등을 들 수 있으며, 각각 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Since the photosensitive composition of this invention can be made to contain a pigment in the state disperse | distributed uniformly by containing a pigment dispersant, and can obtain a uniformly colored coloring pattern, it is preferable to contain a pigment dispersant. Examples of such pigment dispersants include dispersants such as polyester polymer dispersants, acrylic polymer dispersants, polyurethane polymer dispersants, surfactants such as cationic surfactants, anionic surfactants, and nonionic surfactants. Each can be used individually or in combination of 2 or more types.

결합 수지(B)는 착색 감광성 수지 조성물 층에 그 광선 미조사 영역이 현상액에 용해되는 성질을 부여하는 성분으로, 또한 착색 감광성 수지 조성물 층 또는 형성된 착색 패턴에서 안료를 분산시키는 분산매로서 기능한다.A binding resin (B) is a component which gives the colored photosensitive resin composition layer the property which the light non-irradiation area | region dissolves in a developing solution, and functions as a dispersion medium which disperse | distributes a pigment in a colored photosensitive resin composition layer or the formed coloring pattern.

이러한 결합 수지로는 예를 들면, 화학식 1의 화합물과 다염기산과의 축중합물(일본 공개특허공보 제(평)4-355450호, 일본 공개특허공보 제(평)9-40745호, 일본 공개특허공보 제(평)09-325494호, 일본 공개특허공보 제2000-281738호)일 수도 있고, 아크릴계 공중합체일 수도 있다.As such a binder resin, for example, a polycondensation product of a compound of formula (1) with a polybasic acid (Japanese Patent Laid-Open No. Hei 4-355450, Japanese Patent Laid-Open No. Hei 9-40745, and Japanese Laid-Open Patent Publication) Japanese Patent Application Laid-Open No. 09-325494, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-281738, or an acrylic copolymer.

위의 화학식 1에서,In Formula 1 above,

R1및 R2는 각각 독립적으로 수소원자, 탄소수 1 내지 5의 알킬기 또는 할로겐 원자이고,R 1 and R 2 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen atom,

R4는 수소원자 또는 메틸렌기이고,R 4 is a hydrogen atom or a methylene group,

X는 화학식 1a 내지 1g 중의 어느 하나로 표시되는 2가 잔기이고,X is a divalent residue represented by any one of Formulas 1a to 1g,

R3은 치환 그룹을 가질 수 있는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌기이며,R 3 is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms which may have a substituent group,

m은 0 내지 5의 정수이고,m is an integer from 0 to 5,

n은 1 내지 10의 정수이다.n is an integer from 1 to 10.

R3으로 나타내는 치환 그룹을 가질 수 있는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌기로는 탄소수 1 내지 4의 알킬렌기가 바람직하다.As a C1-C10 alkylene group which may have a substituted group represented by R <3> , a C1-C4 alkylene group is preferable.

화학식 1의 화합물과 다염기산과의 축중합물은 예를 들면, 화학식 1의 화합물과 다염기산을 축중합시켜서 수득되는 생성물, 또는 화학식 1의 화합물과 다염기산 무수물을 축중합시켜서 수득되는 생성물이다. 다염기산으로는 예를 들면, 말레인산, 석신산, 이타콘산, 프탈산, 테트라하이드로프탈산, 헥사하이드로프탈산, 메틸 말단 메틸렌테트라하이드로프탈산, 클로렌드산, 메틸테트라하이드로프탈산, 트리멜리트산, 피로멜리트산, 벤조페논테트라카복실산, 4,4'-디프탈산을 비롯한 비페닐테트라카복실산, 비페닐에테르테트라카복실산 등을 들 수 있다. 다염기산 무수물로는 상기 다염기산의 무수물 등을 들 수 있다. 이러한 다염기산 또는 그의 무수물을 각각 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.The polycondensation product of the compound of formula (1) with polybasic acid is, for example, a product obtained by condensation of the compound of formula (1) with polybasic acid, or a product obtained by condensation polymerization of the compound of formula (1) with polybasic anhydride. Examples of the polybasic acid include maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, methyl terminal methylenetetrahydrophthalic acid, chloric acid, methyltetrahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid and benzo Phenone tetracarboxylic acid, biphenyl tetracarboxylic acid, such as 4,4'- diphthalic acid, biphenyl ether tetracarboxylic acid, etc. are mentioned. Examples of the polybasic acid anhydride include anhydrides of the above polybasic acids. These polybasic acids or their anhydrides can be used individually or in mixture of 2 or more types, respectively.

축중합에서의 다염기산 또는 다염기산 무수물의 사용량은 화학식 1의 화합물과 다염기산 또는 다염기산 무수물과의 합계량에 대하여 물질량비(몰비)로 5% 이상 95% 이하, 추가로 10% 이상 90% 이하 정도인 것이 바람직하다. 축중합물의 산가는 70 내지 170 정도, 추가로 80 내지 140 정도인 것이 바람직하다. 여기서 산가는 축중합물 1g을 중화시키는데 필요한 수산화칼륨의 양(㎎)으로 측정된 값으로, 통상은 수산화칼륨 수용액을 사용한 적정으로 구할 수 있는 값이다.The amount of polybasic acid or polybasic acid anhydride used in the condensation polymerization is preferably 5% or more and 95% or less, further 10% or more and 90% or less in terms of the molar ratio (molar ratio) to the total amount of the compound of Formula 1 and the polybasic or polybasic anhydride. Do. The acid value of the polycondensation product is preferably about 70 to 170, and further preferably about 80 to 140. Here, the acid value is a value measured by the amount (mg) of potassium hydroxide required to neutralize 1 g of the polycondensate, and is usually a value that can be obtained by titration using an aqueous potassium hydroxide solution.

결합 수지로서 사용할 수 있는 아크릴계 공중합체로는 예를 들면 카복실기 함유 단량체 및 이와 공중합 가능한 다른 단량체와의 공중합체를 들 수 있다.As an acryl-type copolymer which can be used as a binder resin, the copolymer of a carboxyl group-containing monomer and another monomer copolymerizable with this is mentioned, for example.

카복실기 함유 단량체로는, 예를 들면 불포화 모노카복실산, 및 불포화 디카복실산 및 불포화 트리카복실산 등의 불포화 다가 카복실산 등의 분자 중에 한 개 이상의 카복실 그룹을 갖는 불포화 카복실산을 들 수 있다. 여기서, 불포화 모노카복실산으로는 예를 들면 아크릴산, 메타크릴산, 크로톤산, α-클로로아크릴산, 신남산 등을 들 수 있다. 불포화 디카복실산으로는 예를 들면 말레인산, 푸마르산, 이타콘산, 시트라콘산, 메사콘산 등을 들 수 있다. 불포화 다가 카복실산은 이의 산 무수물, 구체적으로는 무수 말레산, 무수 이타콘산, 무수 시트라콘산 등일 수도 있다. 또한, 불포화 다가 카복실산은 이의 모노(2-메타크릴로일옥시알킬) 에스테르일 수 있고, 구체적으로는, 예를 들면, 석신산 모노(2-아크릴로일옥시에틸), 석신산 모노(2-메타크릴로일옥시메틸), 프탈산 모노(2-아크릴로일옥시에틸), 프탈산 모노(2-메타크릴로일옥시에틸) 등일 수 있다. 불포화 다가 카복실산은 이의 양 말단 디카복시중합체의 모노(메트)아크릴레이트일 수도 있고, 구체적으로는 ω-카복시폴리카프로락톤 모노아크릴레이트, ω-카복시폴리카프로락톤 모노메타크릴레이트 등일 수도 있다. 이러한 카복실기 함유 중합체는 각각 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.As a carboxyl group-containing monomer, unsaturated carboxylic acid which has one or more carboxyl groups in molecule | numerators, such as unsaturated monocarboxylic acid and unsaturated polycarboxylic acid, such as unsaturated dicarboxylic acid and unsaturated tricarboxylic acid, is mentioned, for example. Here, as unsaturated monocarboxylic acid, acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, (alpha)-chloroacrylic acid, cinnamic acid etc. are mentioned, for example. Examples of the unsaturated dicarboxylic acid include maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid, mesaconic acid, and the like. The unsaturated polyvalent carboxylic acid may be an acid anhydride thereof, specifically maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, or the like. In addition, the unsaturated polyvalent carboxylic acid may be a mono (2-methacryloyloxyalkyl) ester thereof, specifically, for example, succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl), succinic acid mono (2- Methacryloyloxymethyl), mono phthalic acid (2-acryloyloxyethyl), mono phthalic acid (2-methacryloyloxyethyl), and the like. The unsaturated polyvalent carboxylic acid may be a mono (meth) acrylate of both terminal dicarboxy polymers thereof, specifically, ω-carboxypolycaprolactone monoacrylate, ω-carboxypolycaprolactone monomethacrylate and the like. These carboxyl group-containing polymers can be used individually or in mixture of 2 or more types, respectively.

이러한 카복실기 함유 중합체와 공중합 가능한 기타 중합체로는 예를 들면 스티렌, α-메틸스티렌, o-비닐톨루엔, m-비닐톨루엔, p-비닐톨루엔, p-클로르스티렌, o-메톡시스티렌, m-메톡시스티렌, p-메톡시스티렌, o-비닐벤질 메틸 에테르, m-비닐벤질 메틸 에테르, p-비닐벤질 메틸 에테르, o-비닐벤질 글리시딜 에테르, m-비닐벤질 글리시딜 에테르, p-비닐벤질 글리시딜 에테르, 인덴 등의 방향족 비닐 화합물,Other polymers copolymerizable with such carboxyl group-containing polymers include, for example, styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorstyrene, o-methoxystyrene, m- Methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylbenzyl methyl ether, m-vinylbenzyl methyl ether, p-vinylbenzyl methyl ether, o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p Aromatic vinyl compounds such as vinylbenzyl glycidyl ether and indene;

메틸 아크릴레이트, 메틸 메타크릴레이트, 에틸 아크릴레이트, 에틸 메타크릴레이트, n-프로필 아크릴레이트, n-프로필 메타크릴레이트, i-프로필 아크릴레이트, i-프로필 메타크릴레이트, n-부틸 아크릴레이트, n-부틸 메타크릴레이트, i-부틸 아크릴레이트, i-부틸 메타크릴레이트, sec-부틸 아크릴레이트, sec-부틸 메타크릴레이트, t-부틸 아크릴레이트, t-부틸 메타크릴레이트, 2-하이드록시에틸 아크릴레이트, 2-하이드록시에틸 메타크릴레이트, 2-하이드록시프로필 아크릴레이트, 2-하이드록시프로필 메타크릴레이트, 3-하이드록시프로필 아크릴레이트, 3-하이드록시프로필 메타크릴레이트, 2-하이드록시부틸 아크릴레이트, 2-하이드록시부틸 메타크릴레이트, 3-하이드록시부틸 아크릴레이트, 3-하이드록시부틸 메타크릴레이트, 4-하이드록시부틸 아크릴레이트, 4-하이드록시부틸 메타크릴레이트, 아릴 아크릴레이트, 아릴 메타크릴레이트, 벤질 아크릴레이트, 벤질 메타크릴레이트, 사이클로헥실 아크릴레이트, 사이클로헥실 메타크릴레이트, 페닐 아크릴레이트, 페닐 메타크릴레이트, 2-메톡시에틸 아크릴레이트, 2-메톡시에틸 메타크릴레이트, 2-페녹시에틸 아크릴레이트, 2-페녹시에틸 메타크릴레이트, 메톡시 디에틸렌 글리콜 아크릴레이트, 메톡시 디에틸렌 글리콜 메타크릴레이트, 메톡시 트리에틸렌 글리콜 아크릴레이트, 메톡시 트리에틸렌 글리콜 메타크릴레이트, 메톡시 프로필렌 글리콜 아크릴레이트, 메톡시 프로필렌 글리콜 메타크릴레이트, 메톡시 디프로필렌 글리콜 아크릴레이트, 메톡시 디프로필렌 글리콜 메타크릴레이트, 이소보르닐아크릴레이트, 이소보르닐 메타크릴레이트, 디사이클로펜타디에닐 아크릴레이트, 디사이클로펜타디에닐 메타크릴레이트, 2-하이드록시-3-페녹시프로필 아크릴레이트, 2-하이드록시-3-페녹시프로필 메타크릴레이트, 글리세롤 모노아크릴레이트, 글리세롤 모노메타크릴레이트 등의 불포화 카복실산 에스테르류,Methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-propyl methacrylate, i-propyl acrylate, i-propyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, i-butyl acrylate, i-butyl methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl acrylate, t-butyl methacrylate, 2-hydroxy Ethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxy Hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxybutyl methacrylate, 3-hydroxybutyl acrylate, 3-hydroxybutyl methacrylate, 4-hydroxybutyl acrylate , 4-hydroxybutyl methacrylate, aryl acrylate, aryl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, phenyl acrylate, phenyl methacrylate, 2 -Methoxyethyl acrylate, 2-methoxyethyl methacrylate, 2-phenoxyethyl acrylate, 2-phenoxyethyl methacrylate, methoxy diethylene glycol acrylate, methoxy diethylene glycol methacrylate, Methoxy triethylene glycol acrylate, methoxy triethylene glycol methacrylate, methoxy propylene glycol acrylate, methoxy propylene glycol methacrylate, methoxy dipropylene glycol acrylate, methoxy dipropylene glycol methacrylate, iso Borylacrylate, isobornyl methacrylate, dicycle Pentadienyl acrylate, dicyclopentadienyl methacrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl methacrylate, glycerol monoacrylate, glycerol monometha Unsaturated carboxylic esters such as acrylates,

2-아미노에틸 아크릴레이트, 2-아미노에틸 메타크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸 아크릴레이트, 2-디메틸아미노에틸 메타크릴레이트, 2-아미노프로필 아크릴레이트, 2-아미노프로필 메타크릴레이트, 2-디메틸아미노프로필 아크릴레이트, 2-디메틸아미노프로필 메타크릴레이트, 3-아미노프로필 아크릴레이트 3-아미노프로필 메타크릴레이트, 3-디메틸아미노프로필 아크릴레이트, 3-디메틸아미노프로필 메타크릴레이트 등의 불포화 카복실산 아미노알킬 에스테르류,2-aminoethyl acrylate, 2-aminoethyl methacrylate, 2-dimethylaminoethyl acrylate, 2-dimethylaminoethyl methacrylate, 2-aminopropyl acrylate, 2-aminopropyl methacrylate, 2-dimethyl Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl such as aminopropyl acrylate, 2-dimethylaminopropyl methacrylate, 3-aminopropyl acrylate 3-aminopropyl methacrylate, 3-dimethylaminopropyl acrylate, 3-dimethylaminopropyl methacrylate Esters,

글리시딜 아크릴레이트, 글리시딜 메타크릴레이트 등의 불포화 카복실산 글리시딜에스테르류, 비닐 아세테이트, 비닐 프로피오네이트, 비닐 락테이트, 비닐 벤조에이트 등의 카복실산 비닐 에스테르류,Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl acrylate and glycidyl methacrylate, carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl lactate and vinyl benzoate;

비닐메틸 에테르, 비닐에틸 에테르, 아릴 글리시딜 에테르 등의 불포화 에테르류, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, α-클로로아크릴로니트릴, 시안화 비닐리덴 등의 시안화 비닐 화합물,Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, aryl glycidyl ether, vinyl cyanide compounds such as acrylonitrile, methacrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide,

아크릴아미드, 메타크릴아미드, α-클로로아크릴아미드, N-2-하이드록시에틸 아크릴아미드, N-2-하이드록시에틸 메타크릴아미드 등의 불포화 아미드류,Unsaturated amides such as acrylamide, methacrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl acrylamide, N-2-hydroxyethyl methacrylamide,

말레이미드, N-페닐 말레이미드, N-사이클로헥실 말레이미드 등의 불포화 이미드류, 1,3-부타디엔, 이소프렌, 클로로프렌 등의 지방족 공액 디엔류,Unsaturated imides such as maleimide, N-phenyl maleimide, N-cyclohexyl maleimide, aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene and chloroprene,

폴리스티렌, 폴리메틸 아크릴레이트, 폴리메틸 메타크릴레이트, 폴리-n-부틸 아크릴레이트, 폴리-n-부틸 메타크릴레이트, 폴리실록산의 중합체 분자쇄의 말단에 모노아크릴로일기 또는 모노메타크릴로일 그룹을 갖는 매크로 단량체 등을 들 수 있다. 이들 단량체는 각각 단독으로 또는 2종 이상을 혼합해서 사용할 수 있다.At the terminal of the polymer molecular chain of polystyrene, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, poly-n-butyl acrylate, poly-n-butyl methacrylate, polysiloxane, a monoacryloyl group or a monomethacryloyl group The macromonomer which has, etc. are mentioned. These monomers can be used individually or in mixture of 2 or more types, respectively.

이러한 공중합체에서의 카복실기 함유 단량체 단위의 함유량은 질량분율로 통상 10 내지 50% 정도, 바람직하게는 15 내지 40% 정도이다.Content of the carboxyl group-containing monomeric unit in such a copolymer is about 10 to 50% normally by mass fraction, Preferably it is about 15 to 40%.

이러한 아크릴계 중합체로는 예를 들면 (메트)아크릴산/메틸 (메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/벤질 (메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산 /2-하이드록시에틸 (메트)아크릴레이트/벤질 (메트)아크릴레이트 공중합체, (메트)아크릴산/메틸 (메트)아크릴레이트/폴리스티렌 매크로 단량체-공중합체, (메트)아크릴산/메틸 (메트)아크릴레이트/폴리에틸 메타크릴레이트 매크로 단량체-공중합체, (메트)아크릴산/벤질 (메트)아크릴레이트/폴리스티렌 매크로 단량체-공중합체, (메트)아크릴산/벤질 (메트)아크릴레이트/폴리메틸 메타크릴레이트 매크로 단량체-공중합체, (메트)아크릴산/벤질 (메트)아크릴레이트/폴리메틸 메타크릴레이트 매크로 단량체-공중합체, (메트)아크릴산/2-하이드록시에틸 (메트)아크릴레이트/벤질 (메트)아크릴레이트/폴리스티렌 매크로 단량체-공중합체, (메트)아크릴산/2-하이드록시에틸 (메트)아크릴레이트/벤질 (메트)아크릴레이트/폴리메틸 메타크릴레이트 매크로 단량체-공중합체, 메타크릴산/스티렌/벤질 (메트)아크릴레이트/ N-페닐말레이미드 공중합체, (메트)아크릴산/모노(2-아크릴로일옥시에틸) 석시네이트/스티렌/벤질 (메트)아크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체, (메트)아크릴산/모노(2-아크릴로일옥시에틸) 석시네이트/스티렌/아릴 (메트)아크릴레이트/N-페닐말레이미드 공중합체, (메트)아크릴산/벤질 (메트)아크릴레이트/N-페닐말레이미드/스티렌/글리세롤 모노(메트)아크릴레이트 공중합체 등을 들 수 있다. 또한, (메트)아크릴레이트란, 아크릴레이트 또는 메타크릴레이트를 나타낸다.Examples of such acrylic polymers include (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymers, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymers, and (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylates. Rate / benzyl (meth) acrylate copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polystyrene macro monomer-copolymer, (meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polyethyl methacrylate macro monomer- Copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macro monomer-copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macro monomer-copolymer, (meth) acrylic acid / Benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer-copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / Polystyrene macro monomer-copolymer, (meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macro monomer-copolymer, methacrylic acid / styrene / benzyl (meth ) Acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / mono (2-acryloyloxyethyl) succinate / styrene / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meth) Acrylic acid / mono (2-acryloyloxyethyl) succinate / styrene / aryl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide copolymer, (meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / N-phenylmaleimide / Styrene / glycerol mono (meth) acrylate copolymer etc. are mentioned. In addition, (meth) acrylate represents an acrylate or a methacrylate.

그 중에서도, 벤질 메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체, 벤질 메타크릴레이트 /메타크릴산/스티렌 공중합체, 메틸 메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체, 메틸 메타크릴레이트/메타크릴산/스티렌 공중합체 등이 바람직하다.Especially, benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, benzyl methacrylate / methacrylic acid / styrene copolymer, methyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, methyl methacrylate / methacrylic acid / styrene copolymer Etc. are preferable.

이러한 아크릴계 중합체는 GPC(검출기 UV)로 측정한 경우의 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량이 3,000 내지 400,000의 범위인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 5,000 내지 100,000의 범위이다. 또한, 산가는 30 내지 250이 바람직하고, 보다 바람직하게는 60 내지 180의 범위이다. 여기서 산가는 1g을 중화시키는 데 필요한 수산화칼륨의 양(㎎)으로서 측정된 값으로, 통상은 수산화칼륨 수용액을 사용한 적정으로 구할 수 있는 값이다.The acrylic polymer preferably has a weight average molecular weight in the range of 3,000 to 400,000 in terms of polystyrene when measured by GPC (detector UV), and more preferably in the range of 5,000 to 100,000. Moreover, 30-250 are preferable and, as for an acid value, it is the range of 60-180 more preferably. Here, the acid value is a value measured as the amount (mg) of potassium hydroxide required to neutralize 1 g, and is usually a value that can be obtained by titration using an aqueous potassium hydroxide solution.

이러한 결합 수지 중에서도, 화학식 1의 화합물과 다염기산과의 축중합물이 바람직하며, 추가로는 화학식 1에서 X가 화학식 1a의 2가의 잔기인 화합물과 다염기산과의 축중합물이 바람직하다.Among these binding resins, polycondensates of the compound of formula (1) with polybasic acid are preferred, and polycondensates of polybasic acid with compounds wherein X is a divalent residue of formula (1a) in formula (1) are preferred.

이러한 결합 수지는 착색 감광성 수지 조성물의 고형분에 대해서 질량분율로 통상 5% 이상 90% 이하, 바람직하게는 10% 이상 60% 이하의 범위로 사용할 수 있다.Such a binder resin can be used in the range of usually 5% or more and 90% or less, preferably 10% or more and 60% or less in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.

에틸렌성 불포화 결합을 갖고 부가중합 가능한 화합물(C)로서는 예를 들면 말단에 에틸렌성 불포화 결합을 적어도 한 개, 바람직하게는 두 개 이상 갖는 화합물로부터 선택되고, 단량체일 수도 있고, 이량체, 삼량체 및 올리고머 등의 프리폴리머일 수도 있고, 이들의 혼합물 또는 이들의 공중합체 등일 수도 있다.The compound (C) having an ethylenically unsaturated bond and capable of addition polymerization is selected from, for example, a compound having at least one, preferably two or more ethylenically unsaturated bonds at the terminal, and may be a monomer, a dimer or a trimer. And prepolymers such as oligomers, or mixtures thereof or copolymers thereof.

단량체로는 예를 들면 아크릴산, 메타크릴산, 이타콘산, 크로톤산, 이소크로톤산, 말레산 등의 불포화 카복실산과 지방족 다가 알콜 화합물과의 에스테르, 불포화 카복실산과 지방족 다가 아민 화합물과의 아미드 등을 들 수 있다.Examples of the monomer include esters of unsaturated carboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, and maleic acid with aliphatic polyhydric alcohol compounds, amides of unsaturated carboxylic acids with aliphatic polyamine compounds, and the like. Can be.

불포화 카복실산과 지방족 다가 알콜 화합물의 에스테르로는 예를 들면 에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 트리에틸렌 글리콜 디아크릴레이트, 1,3-부탄디올 디아크릴레이트, 테트라메틸렌 글리콜 디아크릴레이트, 프로필렌 글리콜 디아크릴레이트, 네오펜틸 글리콜 디아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리(아크릴로일옥시프로필)에테르, 트리메틸올에탄 트리아크릴레이트, 헥산디올 디아크릴레이트, 1,4-사이클로헥산디올 디아크릴레이트, 테트라에틸렌 글리콜 디아크릴레이트, 펜타에리트리톨 디아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 디아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트, 소르비톨 트리아크릴레이트, 소르비톨 테트라아크릴레이트, 소르비톨 펜타아크릴레이트, 소르비톨 헥사아크릴레이트, 트리(아크릴로일옥시에틸) 이소시아누레이트, 폴리에스테르 아크릴레이트 올리고머 등의 아크릴산에스테르,As ester of unsaturated carboxylic acid and aliphatic polyhydric alcohol compound, for example, ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, 1,3-butanediol diacrylate, tetramethylene glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, neo Pentyl glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, hexanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate, Tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol Tetraacrylate Acrylate esters such as hydrate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyester acrylate oligomer,

테트라메틸렌 글리콜 디메타크릴레이트, 트리에틸렌 글리콜 디메타크릴레이트, 네오펜틸글리콜 디메타크릴레이트, 트리메틸올프로판 트리메타크릴레이트, 트리메틸올에탄 트리메타크릴레이트, 에틸렌글리콜 디메타크릴레이트, 1,3-부탄디올 디메타크릴레이트, 헥산디올 디메타크릴레이트, 펜타에리트리톨 디메타크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리메타크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨 디메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사메타크릴레이트, 소르비톨트리메타크릴레이트, 소르비톨 테트라메타크릴레이트, 비스[p-(3-메타크릴옥시-2-하이드록시프로폭시)페닐]디메틸메탄, 비스[p-(메타크릴옥시에톡시)페닐]디메틸메탄 등의 메타크릴산 에스테르,Tetramethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, neopentylglycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane trimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, 1,3 Butanediol dimethacrylate, hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol dimethacrylate, dipentaerythrate Lithol hexamethacrylate, sorbitol trimethacrylate, sorbitol tetramethacrylate, bis [p- (3-methacryloxy-2-hydroxypropoxy) phenyl] dimethylmethane, bis [p- (methacryloxye Methacrylic acid esters such as methoxy) phenyl] dimethylmethane,

에틸렌글리콜 디이타코네이트, 프로필렌글리콜 디이타코네이트, 1,3-부탄디올 디이타코네이트, 1,4-부탄디올 디이타코네이트, 테트라메틸렌글리콜 디이타코네이트, 펜타에리트리톨 디이타코네이트, 소르비톨 테트라디이타코네이트 등의 이타콘산에스테르,Ethylene glycol diitaconate, propylene glycol diitaconate, 1,3-butanediol diitaconate, 1,4-butanediol diitaconate, tetramethylene glycol diitaconate, pentaerythritol diitaconate, sorbitol tetradiitaconate, etc. Itaconic acid ester,

에틸렌글리콜 디크로토네이트, 테트라메틸렌글리콜 디크로토네이트, 펜타에리트리톨 디크로토네이트, 소르비톨 테트라디크로토네이트의 크로톤산에스테르 등,Ethylene glycol dicrotonate, tetramethylene glycol dicrotonate, pentaerythritol dicrotonate, crotonic acid ester of sorbitol tetradicrotonate, etc.,

에틸렌글리콜 디이소크로토네이트, 펜타에리트리톨 디이소크로토네이트, 소르비톨 테트라이소크로토네이트 등의 이소크로톤산 에스테르, 에틸렌글리콜 디말레이트, 트리에틸렌 글리콜 디말레이트, 펜타에리트리톨디말레이트, 소르비톨테트라말레이트 등의 말레산 에스테르 등을 들 수 있다.Isocrotonic acid esters such as ethylene glycol diisocrotonate, pentaerythritol diisocrotonate, sorbitol tetraisocrotonate, ethylene glycol dimaleate, triethylene glycol dimaleate, pentaerythritol dimaleate, sorbitol tetramal Maleic acid ester, such as a rate, etc. are mentioned.

불포화 카복실산과 지방족 다가 아민 화합물의 아미드로서는 예를 들면, 메틸렌비스-아크릴아미드, 메틸렌비스-메타크릴아미드, 1,6-헥사메틸렌비스-아크릴아미드, 1,6-헥사메틸렌비스-메타크릴아미드, 디에틸렌트리아민트리스아크릴아미드, 크실렌비스아크릴아미드, 크실렌비스메타크릴아미드 등을 들 수 있다.Examples of the amide of the unsaturated carboxylic acid and the aliphatic polyamine compound include methylenebis-acrylamide, methylenebis-methacrylamide, 1,6-hexamethylenebis-acrylamide, 1,6-hexamethylenebis-methacrylamide, Diethylene triamine tris acrylamide, xylene bis acrylamide, xylene bis methacrylamide, etc. are mentioned.

단량체의 다른 예로서는 예를 들면, 1분자에 두 개 이상의 이소시아네이트 그룹을 갖는 폴리이소시아네이트 화합물에 화학식 2의 비닐 단량체를 부가시켜 수득되는 비닐우레탄 화합물 등을 들 수 있다.As another example of a monomer, the vinylurethane compound etc. which are obtained by adding the vinyl monomer of Formula 2 to the polyisocyanate compound which has two or more isocyanate groups in 1 molecule, for example are mentioned.

위의 화학식 2에서,In Formula 2 above,

R21및 R22는 각각 독립적으로 수소원자 또는 메틸기이다.R 21 and R 22 are each independently a hydrogen atom or a methyl group.

이러한 비닐우레탄 화합물은 1분자 중에 두 개 이상의 중합성 비닐 그룹을 함유하는 화합물이다(일본 특허공보 제(소)48-41708호). 일본 공개특허공보 제(소)51-37193호에 기재된 바와 같은 우레탄 아크릴레이트류, 일본 공개특허공보 제(소)48-64183호, 일본 특허공보 제(소)49-43191호, 일본 특허공보 제(소)52-30490호 공보에 기재된 바와 같은 폴리에스테르 아크릴레이트류 등의 다관능 아크릴레이트 및 메타크릴레이트도 들 수 있다. 일본 접착 협회지 제20권, 제7번, 300 내지 308면(1984년)에 광경화성 단량체 및 올리고머로서 소개된 것도 사용할 수 있다.Such a vinylurethane compound is a compound containing two or more polymerizable vinyl groups in 1 molecule (Japanese Patent Publication No. 48-41708). Urethane acrylates as described in JP-A-51-37193, JP-A-48-64183, JP-A-49-43191, JP-A-JP Polyfunctional acrylates and methacrylates, such as polyester acrylates as described in (S) 52-30490, are also mentioned. What was introduced as a photocurable monomer and oligomer in the 20th edition of Japan Adhesion Association No. 20, 7th, pages 300-308 (1984) can also be used.

이러한 에틸렌성 불포화 결합을 갖고 부가중합 가능한 화합물의 사용량은 조성물의 고형분에 대해 질량분율로 통상 0.5% 이상 50% 이하, 바람직하게는 5% 이상 20% 이하이다.The amount of the compound having an ethylenically unsaturated bond and capable of addition polymerization is usually 0.5% or more and 50% or less, preferably 5% or more and 20% or less in terms of mass fraction with respect to the solid content of the composition.

광중합 개시제(D)로서는 에틸렌성 불포화 결합을 갖고 부가중합 가능한 화합물의 중합을 개시할 수 있는 화합물인 한 특히 한정되지는 않고, 아세토페논계 광중합 개시제, 벤조인계 광중합 개시제, 벤조페논계 광중합 개시제, 티옥산톤계 광중합 개시제, 트리아진계 광중합 개시제, 옥사디아졸계 광중합 개시제 등을 사용할 수 있다.It does not specifically limit as a photoinitiator (D) as long as it is a compound which has an ethylenically unsaturated bond and can start superposition | polymerization of a compound which can be addition polymerization, An acetophenone type photoinitiator, a benzoin type photoinitiator, a benzophenone type photoinitiator, T An oxanthone type photoinitiator, a triazine type photoinitiator, an oxadiazole type photoinitiator, etc. can be used.

아세토페논계 광중합 개시제로서는 예를 들면, 디에톡시아세토페논, 2-하이드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 벤질디메틸케탈, 2-하이드록시-2-메틸-1-[4-(2-하이드록시에톡시)페닐]프로판-1-온, 1-하이드록시사이클로헥실페닐케톤, 2-메틸-(4-메틸티오페닐)-2-모르폴리노-1-프로판-1-온, 2-메틸-2-모르폴리노-1-(4-메틸티오페닐)프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2-하이드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로판-1-온의 올리고머 등을 들 수 있다.As an acetophenone type photoinitiator, for example, diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyl dimethyl ketal, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4 -(2-hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl- (4-methylthiophenyl) -2-morpholino-1-propane-1- On, 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1- Oligomers of on, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one, and the like.

벤조인계 광중합 개시제로서는 예를 들면 벤조인, 벤조인 메틸 에테르, 벤조인 에틸 에테르, 벤조인 이소프로필 에테르, 벤조인 이소부틸 에테르 등을 들 수 잇다.As a benzoin type photoinitiator, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, etc. are mentioned, for example.

벤조페논계 광중합 개시제로서는 예를 들면, 벤조페논, o-벤조일 메틸벤조에이트, 4-페닐벤조페논, 4-벤조일-4'-메틸디페닐설파이드, 3,3',4,4'-테트라(tert-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 2,4,6-트리메틸벤조페논 등을 들 수 있다.As a benzophenone type photoinitiator, a benzophenone, o-benzoyl methylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ', 4,4'-tetra ( tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, etc. are mentioned.

티옥산톤계 광중합 개시제로서는 예를 들면 2-이소프로필티옥산톤, 4-이소프로필티옥산톤, 2,4-디에틸티옥산톤, 2,4-디클로로티옥산톤, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤 등을 들 수 있다.As a thioxanthone type photoinitiator, 2-isopropyl thioxanthone, 4-isopropyl thioxanthone, 2, 4- diethyl thioxanthone, 2, 4- dichloro thioxanthone, 1-chloro-4- Propoxy city oxanthone etc. are mentioned.

트리아진계 광중합 개시제로는 예를 들면, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-p-메톡시스티릴-s-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(1-p-디메틸아미노페닐-1,3-부타디에닐)-s-트리아진, 2-트리클로로메틸-4-아미노-6-p-메톡시스티릴-s-트리아진, 2-(나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(4-메톡시-나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(4-에톡시-나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(4-부톡시-나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-[4-(2-메톡시에틸)-나프토-1-일]-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-[4-(2-에톡시에틸)-나프토-1-일]-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-[4-(2-부톡시에틸)-나프토-1-일]-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(2-메톡시-나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(6-메톡시-5-메틸-나프토-2-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(6-메톡시-나프토-2-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(5-메톡시-나프토-2-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(4,7-디메톡시-나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(6-에톡시-나프토-2-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 2-(4,5-디메톡시-나프토-1-일)-4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리아진, 4-[p-N,N-디(에톡시카보닐메틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[o-메틸-p-N,N-디(에톡시카보닐메틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[o-메틸-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(p-N-에톡시카보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[p-N,N-디(페닐)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(p-N-클로로에틸카보닐아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[p-N-(p-메톡시페닐)카보닐아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[m-N,N-디(에톡시카보닐메틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[m-브로모-p-N,N-디(에톡시카보닐메틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[m-클로로-p-N,N-디(에톡시카보닐메틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[m-플루오로-p-N,N-디(에톡시카보닐메틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[o-브로모-p-N,N-디(에톡시카보닐메틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[o-클로로-p-N,N-디(에톡시카보닐메틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[o-플루오로-p-N,N-디(에톡시카보닐메틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[o-브로모-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[o-클로로-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[o-플루오로-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[m-브로모-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[m-클로로-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-[m-플루오로-p-N,N-디(클로로에틸)아미노페닐]-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(m-브로모-p-N-에톡시카보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(m-클로로-p-N-에톡시카보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(m-플루오로-p-N-에톡시카보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(o-브로모-p-N-에톡시카보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(o-클로로-p-N-에톡시카보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(o-플로모-p-N-에톡시카보닐메틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(m-브로모-p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(m-클로로-p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(m-플루오로-p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(o-브로모-p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(o-클로로-p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(o-플루오로-p-N-클로로에틸아미노페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진 등을 들 수 있다.As a triazine photoinitiator, for example, 2, 4-bis (trichloromethyl) -6-p-methoxy styryl-s-triazine, 2, 4-bis (trichloromethyl) -6- (1 -p-dimethylaminophenyl-1,3-butadienyl) -s-triazine, 2-trichloromethyl-4-amino-6-p-methoxystyryl-s-triazine, 2- (naphtho -1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-methoxy-naphtho-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-tri Azine, 2- (4-ethoxy-naphtho-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-butoxy-naphtho-1-yl) -4 , 6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-methoxyethyl) -naphtho-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-ethoxyethyl) -naphtho-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-butoxyethyl) -naph To-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (2-methoxy-naphtho-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s- Triazine, 2- (6-methoxy-5-methyl- Proto-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-methoxy-naphtho-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s- Triazine, 2- (5-methoxy-naphtho-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,7-dimethoxy-naphtho-1-yl ) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-ethoxy-naphtho-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,5-dimethoxy-naphtho-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 4- [pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl]- 2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-methyl-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl)- s-triazine, 4- [pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-methyl-pN, N-di ( Chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (pN-ethoxycarbonyl Tylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [pN, N-di (phenyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-tri Azine, 4- (pN-chloroethylcarbonylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [pN- (p-methoxyphenyl) carbonylaminophenyl] -2 , 6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [mN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-chloro-pN, N -Di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-fluoro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) amino Phenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloro) Rhomethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichlorome Yl) -s-triazine, 4- [o-fluoro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-pN, N-di (chloroethyl ) Aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-fluoro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloro Methyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m- Chloro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-fluoro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl ] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s- Triazine, 4- (m-chloro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-flu R-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2, 6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-chloro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-Flumo-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-pN-chloroethylaminophenyl) -2 , 6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-chloro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m -Fluoro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di ( Trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-chloro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-fluoro-pN -Chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s- And the like Liao Jin.

옥사디아졸계 광중합 개시제로서는 예를 들면 2-트리클로로메틸-5-스티릴-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-시아노스티릴)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-메톡시스티릴)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-부톡시스티릴)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-하이드록시스티릴)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-클로로스티릴)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-메톡시페닐)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-부톡시페닐)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(2-나프틸)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(β-(2-벤조푸릴)비닐)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(β-(6-메톡시-2-벤조푸릴)비닐)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(2-벤조푸릴)-1,3,4-옥사디아졸 등을 들 수 있다.Examples of the oxadiazole-based photopolymerization initiator include 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-cyanostyryl) -1,3, 4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-methoxystyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-butoxystyryl)- 1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-hydroxystyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-chlorosty Ryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-methoxyphenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p- Butoxyphenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (2-naphthyl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (β -(2-benzofuryl) vinyl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (β- (6-methoxy-2-benzofuryl) vinyl) -1,3,4 -Oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (2-benzofuryl) -1,3,4-oxadiazole, etc. are mentioned.

또한, 광중합 개시제로서 예를 들면 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 2,2'-비스(o-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 10-부틸-2-클로로아크리돈, 2-에틸안트라퀴논, 벤질, 9,10-페난스렌퀴논, 캄퍼퀴논, 페닐글리옥실산메틸, 티타노센 화합물 등을 들 수 있다.Further, for example, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1, as a photopolymerization initiator, 2'-biimidazole, 10-butyl- 2-chloroacridone, 2-ethyl anthraquinone, benzyl, 9, 10- phenanthrene quinone, camphor quinone, methyl phenylglyoxylate, a titanocene compound, etc. are mentioned. have.

상기 광중합 개시제 중에서는 트리클로로메틸기가 도입되어 있는 트리아진계 광중합 개시제, 트리클로로메틸기가 도입되어 있는 옥사디아졸계 광중합 개시제가 바람직하게 사용된다.In the said photoinitiator, the triazine type photoinitiator which the trichloromethyl group introduce | transduced, and the oxadiazole type photoinitiator which the trichloromethyl group introduce | transduced are used preferably.

트리클로로메틸기가 도입되어 있는 트리아진계 광중합 개시제로서는 예를 들면, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시페닐)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시나프틸)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-피페로닐-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시스티릴)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(푸란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진 등을 들 수 있다.As a triazine type photoinitiator into which the trichloromethyl group is introduce | transduced, it is 2, 4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1, 3, 5- triazine, 2, 4-, for example. Bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5- Triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl]- 1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2 , 4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine and the like.

트리클로로메틸기가 도입되어 있는 옥사디아졸계 광중합 개시제로서는 예를 들면, 2-트리클로로메틸-5-스티릴-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-시아노스티릴)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-메톡시스티릴)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(p-부톡시스티릴)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(β-(2-벤조푸릴)비닐)-1,3,4-옥사디아졸 등을 들 수 있다.Examples of the oxadiazole-based photopolymerization initiator into which the trichloromethyl group is introduced include 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole and 2-trichloromethyl-5- (p-sia Nostiryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-methoxystyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- ( p-butoxystyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (β- (2-benzofuryl) vinyl) -1,3,4-oxadiazole, etc. are mentioned. Can be.

이러한 광중합 개시제는 각각 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수있다.These photoinitiators can be used individually or in combination of 2 types or more, respectively.

착색 감광성 수지 조성물은 광중합 개시제를 함유할 수도 있다. 광중합 개시 보조제로서는 예를 들면, 트리에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 트리이소프로판올아민, 4-디메틸아미노메틸 벤조에이트, 4-디메틸아미노에틸 벤조에이트, 4-디메틸아미노이소아밀 벤조에이트, 4-디메틸아미노 2-에틸헥실 벤조에이트, 2-디메틸아미노에틸 벤조에이트, N,N-디메틸파라톨루이딘, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논(통칭 미흘러 케톤), 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 9,10-디메톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디메톡시안트라센, 9,10-디에톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디에톡시안트라센 등을 들 수 있다. 이들 광중합 개시제는 각각 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.The coloring photosensitive resin composition may contain a photoinitiator. Examples of the photopolymerization start adjuvant include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, 4-dimethylaminomethyl benzoate, 4-dimethylaminoethyl benzoate, 4-dimethylaminoisoamyl benzoate, and 4-dimethylamino 2 -Ethylhexyl benzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, N, N-dimethyl paratoluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as kehlorton), 4,4'-bis (diethyl Amino) benzophenone, 9, 10- dimethoxy anthracene, 2-ethyl-9, 10- dimethoxy anthracene, 9, 10- diethoxy anthracene, 2-ethyl-9, 10- diethoxy anthracene, etc. are mentioned. These photoinitiators can be used individually or in combination of 2 types or more, respectively.

이러한 광중합 개시제를 사용하는 경우, 그 사용량은 광중합 개시제 1mol에 대해 통상 0.01mol 이상 10mol 이하이다. 광중합 개시제 및 광중합 개시 보조제의 합계 사용량은 착색 감광성 수지 조성물의 고형분에 대해 질량분율로 통상 1% 이상 50% 이하, 바람직하게는 3% 이상 15% 이하이다.When using such a photoinitiator, the usage-amount is normally 0.01 mol or more and 10 mol or less with respect to 1 mol of photoinitiators. The total amount of the photopolymerization initiator and the photopolymerization initiation aid is usually 1% or more and 50% or less, preferably 3% or more and 15% or less in terms of mass fraction with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition.

착색 감광성 수지 조성물은 열중합 방지제, 충전제, 결합 수지 이외의 고분자 화합물, 계면활성제, 밀착 촉진제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 응집 방지제 등의 첨가제를 함유할 수도 있다.The colored photosensitive resin composition may contain additives such as a thermal polymerization inhibitor, a filler, a polymer compound other than the binder resin, a surfactant, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, and an anti-agglomerating agent.

열중합 방지제는 예를 들면 착색 감광성 수지 조성물의 보존 중에 한 개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 갖고 부가중합 가능한 화합물(C)이 열중합을 개시하는 것을 방지하기 위해 함유된다. 이러한 열중합 방지제로는 예를 들면 할로이드퀴논, p-메톡시페놀, 디-t-부틸-p-크레졸, 피로가롤, t-부틸카테콜, 벤조퀴논, 4,4'-티오비스(3-메틸-6-t-부틸페놀), 2,2'-메틸렌비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), N-니트로소페닐하이드록시아민 제1 셀륨염 등을 들 수 있다. 열중합 방지제를 함유하는 경우, 그 함유량은 착색 감광성 수지 조성물의 전체량에 대해서 질량분율로 통상 0.01% 이상 5% 이하 정도이다.A thermal polymerization inhibitor is contained in order to prevent the compound (C) which has one or more ethylenically unsaturated bonds and can add-polymerize, for example during storage of a coloring photosensitive resin composition. Such thermal polymerization inhibitors include, for example, halidequinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogarol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4'-thiobis ( 3-methyl-6-t-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), N-nitrosophenylhydroxyamine 1st cerium salt, etc. are mentioned. When it contains a heat polymerization inhibitor, the content is about 0.01% or more and 5% or less normally in a mass fraction with respect to the whole quantity of a coloring photosensitive resin composition.

충진제로는 예를 들면 유리, 알루미나 등을 들 수 있다.As a filler, glass, alumina, etc. are mentioned, for example.

결합 수지 이외의 고분자 화합물로는 예를 들면 폴리비닐 알콜, 폴리아크릴산, 폴리에틸렌 글리콜 모노알킬 에테르, 폴리플루오로알킬 아크릴레이트 등을 들 수 있다.Examples of the high molecular compound other than the binder resin include polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, polyfluoroalkyl acrylate, and the like.

계면활성제는 비이온성 계면활성제, 양이온성 계면활성제, 음이온성 계면활성제 중 어느 하나일 수도 있다.The surfactant may be any one of a nonionic surfactant, a cationic surfactant, and an anionic surfactant.

밀착 촉진제로는 예를 들면 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-멜캅토프로필트리메톡시실란 등을 들 수 있다.Examples of the adhesion promoter include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N -(2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltri Methoxysilane, etc. are mentioned.

산화 방지제로서는 예를 들면 2,2-티오비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), 2,6-디-t-부틸페놀 등을 들 수 있다.As antioxidant, 2, 2- thiobis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2, 6- di-t- butylphenol, etc. are mentioned, for example.

자외선 흡수제로서는 예를 들면 2-(3-t-부틸-5-메틸-2-하이드록시페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 알콕시벤조페논 등을 들 수 있다. 응집 방지제로서는 예를 들면 폴리아크릴산 나트륨 등을 들 수 있다.As a ultraviolet absorber, 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxy benzophenone, etc. are mentioned, for example. As an aggregation inhibitor, sodium polyacrylate etc. are mentioned, for example.

착색 감광성 수지 조성물은 유기카복실산, 유기아미노화합물 등을 함유할 수도 있다.The colored photosensitive resin composition may contain an organic carboxylic acid, an organic amino compound, or the like.

유기카복실산으로는 예를 들면 포름산, 아세트산, 프로피온산, 부티르산, 발레르산, 피발산, 카프론산, 디에틸아세트산, 에난트산, 카프릴산 등의 지방족 모노카복실산,As the organic carboxylic acid, for example, aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, capronic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid,

수산, 마론산, 석신산, 글루타르산, 아디핀산, 피메린산, 스베린산, 아젤라인산, 세바신산, 브라실산, 메틸마론산, 에틸마론산, 디메틸마론산, 메틸석신산, 테트라메틸석신산, 시트라콘산 등의 지방족 디카복실산,Fisheries, maronic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimeric acid, sublinic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassylic acid, methylmaronic acid, ethylmaronic acid, dimethylmaronic acid, methylsuccinic acid, tetramethyl Aliphatic dicarboxylic acids such as succinic acid and citraconic acid,

트리카바릴산, 아코니토산, 캄호론산 등의 지방족 트리카복실산, 벤조산, 톨루일산, 크민산, 헤메리토산, 메시틸렌산 등의 방향족 모노카복실산,Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarbaric acid, aconitoic acid and camhoronic acid, aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, xmic acid, hemeric acid, mesitylene acid,

프탈산, 이소프탈산, 테레프탈산, 트리멜리트산, 트리메신산, 멜로판산, 피로멜리트산 등의 방향족 폴리카복실산, 페닐아세트산, 하이드로아트로프산, 하이드로신남산, 만델산, 페닐석신산, 아트로프산, 신남산, 메틸 신나메이트, 벤질 신나메이트, 신나밀리덴아세트산, 쿠마르산, 움벨루라르산(umbellularic acid) 등의 분자량 1000 이하의 저분자량 유기카복실산 등을 들 수 있다.Aromatic polycarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, trimesic acid, melanoic acid, pyromellitic acid, phenylacetic acid, hydroatroic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenylsuccinic acid, atroic acid, Low molecular weight organic carboxylic acids having a molecular weight of 1,000 or less, such as cinnamic acid, methyl cinnamate, benzyl cinnamate, cinnamylidene acetic acid, kumaric acid, and umbellularic acid.

유기아미노 화합물로서는 통상 분자량 1000 이하의 저분자량 유기아미노 화합물이 사용되며, 예를 들면 n-프로필아민, 이소프로필아민, n-부틸아민, 이소부틸아민, t-부틸아민, n-펜틸아민, n-헥실아민, n-헵틸아민, n-옥틸아민, n-노닐아민, n-디실아민, n-운데실아민, n-도데실아민, 사이클로헥실아민, o-메틸사이클로헥실아민, m-메틸사이클로헥실아민, p-메틸사이클로헥실아민, o-에틸사이클로헥실아민, m-에틸사이클로헥실아민, p-에틸사이클로헥실아민 등의 모노(사이클로)알킬아민류,As the organic amino compound, a low molecular weight organic amino compound having a molecular weight of 1,000 or less is usually used. For example, n-propylamine, isopropylamine, n-butylamine, isobutylamine, t-butylamine, n-pentylamine, n -Hexylamine, n-heptylamine, n-octylamine, n-nonylamine, n-disylamine, n-undecylamine, n-dodecylamine, cyclohexylamine, o-methylcyclohexylamine, m-methyl Mono (cyclo) alkylamines such as cyclohexylamine, p-methylcyclohexylamine, o-ethylcyclohexylamine, m-ethylcyclohexylamine, p-ethylcyclohexylamine,

메틸ㆍ에틸아민, 디에틸아민, 메틸ㆍn-프로필아민, 에틸ㆍn-프로필아민, 디-n-프로필아민, 디이소프로필아민, 디-n-부틸아민, 디이소부틸아민, 디-t-부틸아민, 디-n-펜틸아민, 디-n-헥실아민, 메틸ㆍ사이클로헥실아민, 에틸ㆍ사이클로헥실아민, 디사이클로헥실아민 등의 디(사이클로)알킬아민류,Methyl ethylamine, diethylamine, methyl n-propylamine, ethyl n-propylamine, di-n-propylamine, diisopropylamine, di-n-butylamine, diisobutylamine, di-t Di (cyclo) alkylamines such as -butylamine, di-n-pentylamine, di-n-hexylamine, methyl cyclohexylamine, ethyl cyclohexylamine, dicyclohexylamine,

디메틸ㆍ에틸아민, 메틸ㆍ디에틸아민, 트리에틸아민, 디메틸ㆍn-프로필아민, 디에틸ㆍn-프로필아민, 메틸ㆍ디-n-프로필아민, 에틸ㆍ디-n-프로필아민, 트리-n-프로필아민, 트리이소프로필아민, 트리-n-부틸아민, 트리이소부틸아민, 트리-t-부틸아민, 트리-n-펜틸아민, 트리-n-헥실아민, 디메틸ㆍ사이클로헥실아민, 디에틸ㆍ사이클로헥실아민, 메틸ㆍ디사이클로헥실아민, 에틸ㆍ디사이클로헥실아민, 트리사이클로헥실아민 등의 트리(사이클로)알킬아민류,Dimethyl ethylamine, methyl diethylamine, triethylamine, dimethyl n-propylamine, diethyl n-propylamine, methyl di-n-propylamine, ethyl di-n-propylamine, tri- n-propylamine, triisopropylamine, tri-n-butylamine, triisobutylamine, tri-t-butylamine, tri-n-pentylamine, tri-n-hexylamine, dimethylcyclohexylamine, di Tri (cyclo) alkylamines such as ethylcyclohexylamine, methyl dicyclohexylamine, ethyl dicyclohexylamine, tricyclohexylamine,

2-아미노에탄올, 3-아미노-1-프로판올, 1-아미노-2-프로판올, 4-아미노-1-부탄올, 5-아미노-1-펜탄올, 6-아미노-1-헥산올, 4-아미노-1-사이클로헥산올 등의 모노(사이클로)알칸올아민류,2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-butanol, 5-amino-1-pentanol, 6-amino-1-hexanol, 4-amino Mono (cyclo) alkanolamines such as -1-cyclohexanol,

디에탄올아민, 디-n-프로판올아민, 디이소프로판올아민, 디-n-부탄올아민, 디이소부탄올아민, 디-n-헵탄올아민, 디-n-헥산올아민, 디(4-사이클로헥산올)아민 등의 디(사이클로)알칸올아민류,Diethanolamine, di-n-propanolamine, diisopropanolamine, di-n-butanolamine, diisobutanolamine, di-n-heptanolamine, di-n-hexanolamine, di (4-cyclohexanol Di (cyclo) alkanolamines such as amines,

트리에탄올아민, 트리-n-프로판올아민, 트리이소프로판올아민, 트리-n-부탄올아민, 트리이소부탄올아민, 트리-n-펜탄올아민, 트리-n-헥산올아민, 트리(4-사이클로헥산올)아민 등의 트리(사이클로)알칸올아민,Triethanolamine, tri-n-propanolamine, triisopropanolamine, tri-n-butanolamine, triisobutanolamine, tri-n-pentanolamine, tri-n-hexanolamine, tri (4-cyclohexanol) Tri (cyclo) alkanolamines such as amines,

3-아미노-1,2-프로판디올, 2-아미노-1,3-프로판디올, 4-아미노-1,2-부탄디올, 4-아미노-1,3-부탄디올, 4-아미노-1,2-사이클로헥산디올, 4-아미노-1,3-사이클로헥산디올, 3-디메틸아미노-1,2-프로판디올, 3-디에틸아미노-1,2-프로판디올, 2-디메틸아미노-1,3-프로판디올, 2-디에틸아미노-1,3-프로판디올 등의 아미노(사이클로)알칸디올류,3-amino-1,2-propanediol, 2-amino-1,3-propanediol, 4-amino-1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 4-amino-1,2- Cyclohexanediol, 4-amino-1,3-cyclohexanediol, 3-dimethylamino-1,2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3- Amino (cyclo) alkanediols such as propanediol and 2-diethylamino-1,3-propanediol,

1-아미노사이클로펜탄메탄올, 4-아미노사이클로펜탄메탄올, 1-아미노사이클로헥산메탄올, 4-아미노사이클로헥산메탄올, 4-디메틸아미노사이클로펜탄메탄올, 4-디에틸아미노사이클로펜탄메탄올, 4-디메틸아미노사이클로헥산메탄올, 4-디에틸아미노사이클로헥산메탄올 등의 아미노기 함유 사이클로알칸메탄올류,1-aminocyclopentanmethanol, 4-aminocyclopentanmethanol, 1-aminocyclohexanemethanol, 4-aminocyclohexanemethanol, 4-dimethylaminocyclopentanmethanol, 4-diethylaminocyclopentanmethanol, 4-dimethylaminocyclo Amino group-containing cycloalkanethanols such as hexanemethanol and 4-diethylaminocyclohexanemethanol,

β-알라닌, 2-아미노부티르산, 3-아미노부티르산, 4-아미노부티르산, 2-아미노이소부티르산, 3-아미노이소부티르산, 2-아미노발레르산, 5-아미노발레르산, 6-아미노카프론산, 1-아미노사이클로프로판카복실산, 1-아미노사이클로헥산카복실산, 4-아미노사이클로헥산카복실산 등의 아미노카복실산류 등을 들 수 있다.β-alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisobutyric acid, 3-aminoisobutyric acid, 2-aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid, 6-aminocaproic acid, 1 And aminocarboxylic acids such as aminocyclopropanecarboxylic acid, 1-aminocyclohexanecarboxylic acid, and 4-aminocyclohexanecarboxylic acid.

또한, 예를 들면 아미노기가 직접 페닐기에 결합된 화합물, 아미노기가 탄소쇄를 개재로 페닐기에 결합된 화합물 등도 들 수 있다. 아미노기가 직접 페닐기에 결합된 화합물로는 예를 들면 아닐린, o-메틸아닐린, m-메틸아닐린, p-메틸아닐린, p-에틸아닐린, p-n-프로필아닐린, p-이소프로필아닐린, p-n-부틸아닐린, p-t-부틸아닐린, 1-나프틸아민, 2-나프틸아민, N,N-디메틸아닐린, N,N-디에틸아닐린, p-메틸-N,N-디메틸아닐린 등의 방향족 아민류,Moreover, the compound etc. which the amino group couple | bonded with the phenyl group directly, the amino group couple | bonded with the phenyl group via a carbon chain, etc. are mentioned, for example. Examples of the compound in which the amino group is directly bonded to the phenyl group include aniline, o-methylaniline, m-methylaniline, p-methylaniline, p-ethylaniline, pn-propylaniline, p-isopropylaniline, pn-butylaniline aromatic amines such as pt-butylaniline, 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-diethylaniline, p-methyl-N, N-dimethylaniline,

o-아미노벤질알콜, m-아미노벤질알콜, p-아미노벤질알콜, p-디메틸아미노벤질알콜, p-디에틸아미노벤질알콜 등의 아미노벤질알콜류,aminobenzyl alcohols such as o-aminobenzyl alcohol, m-aminobenzyl alcohol, p-aminobenzyl alcohol, p-dimethylaminobenzyl alcohol and p-diethylaminobenzyl alcohol,

o-아미노페놀, m-아미노페놀, p-아미노페놀, p-디메틸아미노페놀, p-디에틸아미노페놀 등의 아미노페놀류,aminophenols such as o-aminophenol, m-aminophenol, p-aminophenol, p-dimethylaminophenol and p-diethylaminophenol,

m-아미노벤조산, p-아미노벤조산, p-디메틸아미노벤조산, p-디에틸아미노벤조산 등의 아미노벤조산(유도체)류 등을 들 수 있다.and aminobenzoic acids (derivatives) such as m-aminobenzoic acid, p-aminobenzoic acid, p-dimethylaminobenzoic acid and p-diethylaminobenzoic acid.

이러한 유기카복실산, 유기아미노 화합물은 각각 단독으로 또는 2종 이상을 혼합해서 사용한다. 이러한 유기카복실산, 유기아미노 화합물을 사용하는 경우, 착색 감광성 수지 조성물에서의 그의 함유량은 통상 착색 감광성 수지 조성물에 대해 질량분율로 통상 0.001% 이상 15% 이하, 바람직하게는 0.01% 이상 10% 이하이다.These organic carboxylic acids and organic amino compounds are used individually or in mixture of 2 or more types, respectively. When using such an organic carboxylic acid and an organic amino compound, its content in a coloring photosensitive resin composition is normally 0.001% or more and 15% or less by mass ratio with respect to a coloring photosensitive resin composition, Preferably it is 0.01% or more and 10% or less.

상기 착색 감광성 수지 조성물은 통상 용제로 희석된 상태에서 기판(2) 위에 도포된다(도 2a). 용제로서는 예를 들면 에스테르류, 에테르류, 케톤류, 방향족 탄화수소류 등을 들 수 있다.The said colored photosensitive resin composition is apply | coated on the board | substrate 2 in the state normally diluted with the solvent (FIG. 2A). Examples of the solvent include esters, ethers, ketones and aromatic hydrocarbons.

에스테르류로서는 예를 들면 아세트산에틸, 아세트산-n-부틸, 아세트산이소부틸, 포름산아민, 아세트산이소아밀, 아세트산이소부틸, 프로피온산부틸, 부티르산이소프로필, 부티르산에틸, 부티르산부틸, 알킬 에스테르류, 락트산메틸, 락트산에틸, 옥시아세트산메틸, 옥시아세트산에틸, 옥시아세트산부틸, 메톡시아세트산메틸, 에톡시아세트산에틸, 메톡시아세트산부틸, 에톡시아세트산메틸, 에톡시아세트산에틸, 3-옥시프로피온산메틸, 3-옥시프로피온산에틸 등의 3-옥시프로피온산 알킬 에스테르류,As esters, for example, ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amine formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters and methyl lactate , Ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, butyl acetate, ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-oxypropionate, 3-oxy 3-oxypropionic acid alkyl esters such as ethyl propionate,

3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 2-옥시프로피온산메틸, 2-옥시프로피온산에틸, 2-옥시프로피온산프로필, 2-메톡시프로피온산메틸, 2-메톡시프로피온산에틸, 2-메톡시프로피온산프로필, 2-에톡시프로피온산메틸, 2-에톡시프로피온산에틸, 2-옥시-2-메틸프로피온산메틸, 2-옥시-2-메틸프로피온산에틸, 2-메톡시-2-메틸프로피온산메틸, 2-에톡시-2-메틸프로피온산에틸, 피루브산메틸, 피루브산에틸, 피루브산프로필, 아세토아세트산메틸, 아세토아세트산에틸, 2-옥소부탄산메틸, 2-옥소부탄산에틸 등을 들 수 있다.Methyl 3-methoxy propionate, 3-methoxy ethylpropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, 2-methoxy Methyl propionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate , 2-methoxy-2-methylpropionate, 2-ethoxy-2-methylpropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutyrate, 2-oxo Ethyl butane, and the like.

에테르류로서는 예를 들면 디에틸렌 글리콜 디메틸 에테르, 테트라하이드로푸란, 에틸렌 글리콜 모노메틸 에테르, 에틸렌 글리콜 모노에틸 에테르, 메틸세로소르브아세테이트, 에틸세로소르브아세테이트, 디에틸렌 글리콜 모노메틸 에테르, 디에틸렌 글리콜 모노에틸 에테르, 디에틸렌 글리콜 모노부틸 에테르, 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세테이트, 프로필렌 글리콜 에틸 에테르 아세테이트, 프로필렌 글리콜 프로필 에테르 아세테이트 등을 들 수 있다.As ethers, for example, diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl vertical sorbate acetate, ethyl vertical sorbate acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol Monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate and the like.

케톤류로서는 예를 들면 메틸 에틸 케톤, 사이클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논 등을 들 수 있다. 방향족 탄화수소류로는 예를 들면 톨루엔, 크실렌 등을 들 수 있다.As ketones, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, etc. are mentioned, for example. As aromatic hydrocarbons, toluene, xylene, etc. are mentioned, for example.

상기 용제 중에서도 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 에틸세로소르브아세테이트, 락트산에틸, 디에틸렌 글리콜 디메틸 에테르, 아세트산부틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 2-헵탄, 사이클로헥사논, 에틸카르비톨아세테이트, 부틸카르비톨아세테이트, 프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세테이트 등을 사용하는 것이 바람직하다.Among the above solvents, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cersorbate acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, 3-methoxypropionate methyl, 2-heptane, cyclohexanone, Ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether acetate and the like are preferably used.

이러한 용제는 각각 단독으로 또는 2종 이상을 혼합해서 사용할 수 있고, 그 사용량은 착색 감광성 수지 조성물에서의 고형분의 농도가 질량분율로 통상 2% 이상 50% 이하의 범위가 되도록 선택한다.These solvents can be used individually or in mixture of 2 or more types, respectively, and the usage-amount is chosen so that the density | concentration of solid content in a coloring photosensitive resin composition may be 2 to 50% of a range by mass fraction normally.

이러한 안료(A), 결합 수지(B), 에틸렌성 불포화 결합을 갖고 부가중합 가능한 화합물(C) 및 광중합 개시제(D)를 함유하는 착색 감광성 수지 조성물의 용액은 예를 들면, 회전 도포법(스핀 도포법), 유연(流延) 도포법, 롤 도포법 등의 통상의 도포방법으로 기판(2) 위에 도포한다.The solution of the coloring photosensitive resin composition containing such a pigment (A), a binder resin (B), an ethylenically unsaturated bond, and a compound (C) capable of addition polymerization and a photopolymerization initiator (D) is, for example, a rotary coating method (spinning Coating on the substrate 2 by a common coating method such as a coating method, a casting method, a roll coating method, or the like.

기판(2)으로는 예를 들면 유리 기판, 실리콘 기판 등 이외에, 폴리카보네이트 기판, 폴리에스테르 기판, 방향족 폴리아미드 기판, 폴리아미드이미드 기판, 폴리이미드 기판 등의 수지 기판을 사용할 수 있다. 이러한 기판은 실란 커플링제 등의 약품에 의한 약품 처리, 플라즈마 처리, 이온플레이팅 처리, 스퍼터링 처리, 기상 반응 처리, 진공 증착 처리 등의 전처리를 실시할 수도 있다.As the board | substrate 2, resin board | substrates, such as a polycarbonate board | substrate, a polyester board | substrate, an aromatic polyamide board | substrate, a polyamideimide board | substrate, and a polyimide board | substrate, can be used besides a glass substrate, a silicon substrate, etc., for example. Such a substrate may be subjected to pretreatment such as chemical treatment with a chemical such as a silane coupling agent, plasma treatment, ion plating treatment, sputtering treatment, vapor phase reaction treatment, vacuum deposition treatment, or the like.

상기와 같이 하여 착색 감광성 수지 조성물 용액을 기판(2) 위에 도포한 후, 건조시켜 용제를 휘발시킴으로써, 기판 위에 착색 감광성 수지 조성물 층(1)이 형성된다(도2(a)). 당해 층은 착색 감광성 수지 조성물의 고형분으로 이루어진 층으로, 그 두께는 통상 0.1 내지 10㎛, 바람직하게는 0.2 내지 5.0㎛, 특히 바람직하게는 0.2 내지 3.0㎛이다.After apply | coating a coloring photosensitive resin composition solution on the board | substrate 2 as mentioned above, it dries and volatilizes a solvent, and the coloring photosensitive resin composition layer 1 is formed on a board | substrate (FIG. 2 (a)). The said layer is a layer which consists of solid content of a coloring photosensitive resin composition, The thickness is 0.1-10 micrometers normally, Preferably it is 0.2-5.0 micrometers, Especially preferably, it is 0.2-3.0 micrometers.

이어서, 착색 감광성 수지 조성물 층(1)에 광마스크(3)를 개재하여 광선(4)를 조사한다(도2(b)).Next, the light ray 4 is irradiated to the coloring photosensitive resin composition layer 1 through the photomask 3 (FIG. 2 (b)).

광마스크(3)는 예를 들면 유리판(31) 등의 표면에 차광층(32)이 제공된 것이다. 차광층에 의해 광선(4)은 차폐된다. 유리판 중에 차광층이 제공되지 않은 부분은 투광부(33)이며, 광선은 그 투광부를 투과하여 착색 감광성 수지 조성물 층(1)에 조사되고, 그 층(1)은 당해 투광부의 패턴에 따라 노광된다.The photomask 3 is provided with the light shielding layer 32 on the surface of the glass plate 31 etc., for example. The light ray 4 is shielded by the light shielding layer. The part in which the light shielding layer was not provided in the glass plate is the light-transmitting part 33, the light ray passes through the light-transmitting part, it is irradiated to the coloring photosensitive resin composition layer 1, and the layer 1 is exposed according to the pattern of the said light-transmitting part. .

광선(4)으로는 통상, g선(파장 436㎚), i선(파장 365㎚) 등의 자외선이 사용된다. 광선은 평행광이 되어 착색 감광성 수지 조성물 층(1)에 조사하는 것이 바람직하고, 통상은 마스크 정렬기(도면에 표시하지 않음) 등을 개재시켜 조사한다. 본 발명의 형성방법에 의하면, 높은 해상도로 착색 패턴을 형성하기 때문에 예를 들면, 폭이 20㎛ 정도 이하, 추가로는 10㎛ 정도 이하, 특히 5㎛ 이하의 착색 패턴을 용이하게 안정시켜 형성할 수 있다.As the light ray 4, ultraviolet rays such as g line (wavelength 436 nm) and i line (wavelength 365 nm) are usually used. It is preferable that a light ray becomes parallel light and irradiates to the coloring photosensitive resin composition layer 1, Usually, it irradiates through a mask aligner (not shown) and the like. According to the forming method of the present invention, since a colored pattern is formed at a high resolution, for example, a width of about 20 μm or less, further about 10 μm or less, particularly 5 μm or less can be easily stabilized and formed. Can be.

광선의 조사량은 사용된 안료(A)의 색 및 함유량, 결합 수지(B)의 종류 및 함유량, 한 개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 갖고 부가중합 가능한 화합물(C)의 종류 및 함유량, 광중합 개시제(D)의 종류 및 함유량 등에 따라 적의 선택되나, 본 발명의 형성방법에 의하면, 높은 감도로 착색 패턴(5)을 형성할 수 있으므로 통상의 착색 패턴의 형성방법과 비교해서 단시간의 조사량일 수도 있다.The amount of irradiation of the light rays may include the color and content of the pigment (A) used, the type and content of the binder resin (B), the type and content of the compound (C) having at least one ethylenically unsaturated bond and capable of addition polymerization, and the photopolymerization initiator (D Although it is suitably selected according to the kind, content, etc. of this), according to the formation method of this invention, since the coloring pattern 5 can be formed with high sensitivity, the irradiation amount of a short time may be compared with the normal formation method of the coloring pattern.

노광 후, 현상한다(도 2c). 현상에는, 노광 후의 착색 감광성 수지 조성물층(1)을 현상액에 접촉시키면 된다. 현상액에 접촉시킴으로써, 착색 감광성 수지 조성물 층 중에 광선에 조사되지 않은 광선 미조사 영역(11)이 현상액에 용해된다.It develops after exposure (FIG. 2C). What is necessary is just to contact the developing solution with the coloring photosensitive resin composition layer 1 after exposure in image development. By making it contact with a developing solution, the light non-irradiated area | region 11 which was not irradiated to the light ray in a colored photosensitive resin composition layer melt | dissolves in a developing solution.

현상액으로는 예를 들면 알칼리성 수용액을 사용할 수 있다. 알칼리성 수용액으로는 예를 들면 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 규산나트륨, 메타규산나트륨, 암모니아수, 에틸아민, 디에틸아민, 디메틸에탄올아민, 테트라메틸암모늄하이드록사이드, 테트라에틸암모늄 하이드록사이드, 콜린, 피롤, 피페리딘, 1,8-디아자비사이클로-[5,4,0]-7-운데센 등의 수용성 알칼리 화합물의 수용액이 사용되며, 그 농도는 알칼리성 수용액에 대해 질량분율로 통상 0.001% 이상 10% 이하, 바람직하게는 0.01% 이상 1% 이하 정도이다. 이러한 알칼리성 수용액은 메탄올, 에탄올 등의 수용액의 유기 용제, 계면활성제 등을 함유할 수도 있다. 현상액으로서 유기 용제를 사용할 수 있고, 예를 들면 착색 감광성 수지 조성물을 희석하는 데에 사용되는 용제로서 상기한 바와 같은 유기 용제를 적의 조합해서 사용할 수도 있다.As a developing solution, alkaline aqueous solution can be used, for example. As alkaline aqueous solution, for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, ammonia water, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline Aqueous solutions of water-soluble alkali compounds such as, pyrrole, piperidine, and 1,8-diazabicyclo- [5,4,0] -7-undecene are used, and the concentration is usually 0.001 in mass fraction relative to the alkaline aqueous solution. % Or more and 10% or less, preferably 0.01% or more and about 1% or less. Such alkaline aqueous solution may contain the organic solvent, surfactant, etc. of aqueous solutions, such as methanol and ethanol. An organic solvent can be used as a developing solution, For example, it can also use combining the above-mentioned organic solvent suitably as a solvent used for diluting a coloring photosensitive resin composition.

현상 방법은 특히 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 딥 현상법(침적 현상법), 스프레이 현상법, 분무 현상법, 패들 현상법(액체담기 현상법) 등의 방법으로 현상할 수 있다. 현상 온도는 통상 10 내지 40℃의 범위이며, 현상 시간은 통상 10 내지 300초이다.The image development method is not specifically limited, For example, it can develop by methods, such as the dip image development method (dipping development method), the spray image development method, the spray image development method, and the paddle image development method (liquid carrier development method). Developing temperature is the range of 10-40 degreeC normally, and developing time is 10 to 300 second normally.

현상에 의해, 착색 감광성 수지 조성물 층 중에 광선에 조사되지 않은 광선 미조사 영역(11)은 현상액에 용해되어 제거된다. 그런 한편, 광선이 조사된 광선 조사 영역(12)은 잔류하여 착색 패턴(5)을 구성한다.By image development, the light non-irradiated area | region 11 which was not irradiated to the light ray in the colored photosensitive resin composition layer is melt | dissolved in a developing solution, and is removed. On the other hand, the light irradiation region 12 irradiated with the light rays remains to constitute the coloring pattern 5.

본 발명의 형성방법에서는 상기 현상에 있어 착색 감광성 수지 조성물 층의 미조사 영역(11)을 10㎚/초 이상, 60㎚/초 이하의 용해 속도, 바람직하게는 50㎚/초 이하의 용해 속도로 현상액에 용해시킨다. 여기서, 용해 속도(r)은 착색 감광성 수지 조성물 층(1)의 두께(t)와 그 층을 현상액에 용해하는 데에 요구되는 시간(T)으로부터 수학식 1로 구해지는 속도이다.In the formation method of this invention, in the said image development, the unirradiated area | region 11 of the coloring photosensitive resin composition layer was melt | dissolved at 10 nm / sec or more and 60 nm / sec or less, Preferably it is 50 nm / sec or less It is dissolved in the developer. Here, the dissolution rate r is a rate obtained by the formula (1) from the thickness (t) of the colored photosensitive resin composition layer (1) and the time (T) required for dissolving the layer in the developer.

이러한 용해 속도로 현상액에 용해시키기 위해서는 현상액으로서 알칼리성 수용액을 사용하는 경우에는 그 수용액의 알칼리 화합물의 농도, 현상액의 온도 등을 적의 선택하면 된다. 구체적으로는 알칼리 화합물의 농도를 묽게 함으로써 용해 속도를 낮출 수 있고, 현상 온도를 낮춤으로써 용해 속도를 낮출 수 있다.In order to melt | dissolve in a developing solution at such a dissolution rate, when using alkaline aqueous solution as a developing solution, what is necessary is just to select the density | concentration of the alkali compound of the aqueous solution, the temperature of a developing solution, etc. suitably. Specifically, the dissolution rate can be lowered by decreasing the concentration of the alkali compound, and the dissolution rate can be lowered by lowering the developing temperature.

또한, 현상액으로서 통상은 질량분율로 0.05% 정도의 수산칼륨을 함유하는 수산화칼륨 수용액이 23℃에서 사용되는 경우가 많기 때문에, 기판 위에 형성되는 착색 감광성 수지 조성물 층이 당해 수산화칼륨 수용액에 23℃에서 10㎚/초 이상 60㎚/초 이하의 용해 속도, 바람직하게는 50㎚/초 이하의 용해 속도로 용해되는 착색 감광성 수지 조성물을 사용할 수도 있다. 이러한 용해 속도에서 용해 가능한 착색 감광성 수지 조성물은 예를 들면, 결합 수지(B)의 사용량(착색 감광성 수지 조성물에서의 함유량)을 적의 선택함으로써 조제할 수 있으며, 예를 들면 결합 수지(B)의 사용량(착색 감광성 수지 조성물에서의 함유량)을 에틸렌성 불포화 결합을갖고 부가중합 가능한 화합물(C)에 대하여 1.5질량배 이상 5질량배 이하로 함으로써 조제할 수 있다.In addition, since a potassium hydroxide aqueous solution containing about 0.05% of potassium hydroxide in a mass fraction is usually used at 23 degreeC as a developing solution, the coloring photosensitive resin composition layer formed on a board | substrate is 23 degreeC in the said potassium hydroxide aqueous solution. The colored photosensitive resin composition which melt | dissolves at the dissolution rate of 10 nm / sec or more and 60 nm / sec or less, Preferably it is 50 nm / sec or less, can also be used. The colored photosensitive resin composition which can be melt | dissolved at such a dissolution rate can be prepared by selecting the usage-amount (content in a coloring photosensitive resin composition) of binder resin (B) suitably, for example, the usage-amount of binder resin (B). It can prepare by making (content in a coloring photosensitive resin composition) 1.5 mass times or more and 5 mass times or less with respect to the compound (C) which can add-polymerize with ethylenically unsaturated bond.

현상 후, 건조시킴으로써 착색 패턴(5)을 수득하며(도 2c), 현상액으로서 알칼리성 수용액을 사용한 경우에는 통상 현상 후 수세한 후에 건조시킨다. 건조 후, 추가로 가열 처리할 수도 있다.After image development, the coloring pattern 5 is obtained by drying (FIG. 2C), and when alkaline aqueous solution is used as a developing solution, after washing, after image development, it is dried normally. After drying, it can also heat-process further.

이렇게 하여 착색 패턴을 수득하는데, 본 발명의 형성방법에 의하면, 노광에 있어서의 감도가 좋기 때문에, 노광 시간을 단축할 수 있고, 또한 해상도가 좋기 때문에 미세한 착색 패턴이라도 용이하게 형성할 수 있다.In this way, although a coloring pattern is obtained, according to the formation method of this invention, since the sensitivity in exposure is favorable, an exposure time can be shortened and since the resolution is good, even a fine coloring pattern can be formed easily.

추가로, 착색 감광성 수지 조성물에 함유되는 안료(A)의 색을 바꾸어 기판(2) 위에 착색 감광성 수지 조성물 층(1')을 재차 형성하고(도 3a), 그 층(1')에 광마스크(3)를 개재시켜 광선(4)을 조사하여 노광한 후(도 3b), 현상함으로써 추가로 다른 색의 착색 패턴(5')을 형성할 수 있다. 착색 감광성 수지 조성물을 함유하는 안료(A)의 색을 바꾸면서 상기 조작을 반복 수행함으로써(도 4), 추가로 다른 색의 화소(5")를 형성할 수 있어서, 목적하는 컬러 필터(6)를 수득할 수 있다.Furthermore, the color of the pigment (A) contained in a coloring photosensitive resin composition is changed, and the coloring photosensitive resin composition layer 1 'is formed again on the board | substrate 2 (FIG. 3A), and the photomask is applied to the layer 1'. After the light ray 4 is irradiated and exposed through (3) (FIG. 3B), it develops and the coloring pattern 5 'of a different color can be formed further. By repeating the above operation while changing the color of the pigment (A) containing the colored photosensitive resin composition (Fig. 4), the pixel 5 " of another color can be further formed, whereby the desired color filter 6 is formed. Can be obtained.

본 발명의 형성방법에 의하면, 높은 감도 및 해상도로 착색 패턴을 형성할 수 있다.According to the formation method of this invention, a coloring pattern can be formed with high sensitivity and a resolution.

이하, 실시예에 의해 본 발명을 보다 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited by these Examples.

실시예 1Example 1

[착색 감광성 수지 조성물의 제조][Production of Colored Photosensitive Resin Composition]

안료(A)[흑색 안료(C.I. 피그먼트 블랙 7) 40질량부와 분산제 12질량부와의 혼합물] 52질량부,52 mass parts of pigments (A) [40 mass parts of black pigments (C.I. pigment black 7) and 12 mass parts of dispersing agents],

결합 수지(B)[화학식 3의 화합물 50질량부와 4,4'-디프탈산 무수물 17질량부의 축중합물, 산가는 100] 32질량부,32 mass parts of coupling resins (B) [50 mass parts of compounds of General formula 3, and 17 mass parts of 4,4'- diphthalic anhydrides, acid value 100],

에틸렌성 불포화 결합을 갖고 부가중합 가능한 화합물(C)(디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트) 11질량부,11 parts by mass of a compound (C) (dipentaerythritol hexaacrylate) having an ethylenically unsaturated bond and capable of addition polymerization;

광중합 개시제(D)[2,4-비스(트리클로로메틸)-6-피페로닐-1,3,5-트리아진] 5.0질량부 및5.0 parts by mass of a photopolymerization initiator (D) [2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine] and

용제(프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트) 374질량부를 혼합하여 착색 감광성 수지 조성물(흑색)을 수득하였다.374 mass parts of solvents (propylene glycol monomethyl ether acetate) were mixed, and the coloring photosensitive resin composition (black) was obtained.

[착색 감광성 수지 조성물 층의 형성][Formation of Colored Photosensitive Resin Composition Layer]

위에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물을 유리 기판(「#7059」코닝사 제품)(2)의 표면에 스핀코팅법으로 도포하고, 100℃에서 3분간 가열하여 건조시켜서 착색 감광성 수지 조성물 층(1)을 기판(2) 위에 형성한다. 이 건조 후의 착색감광성 수지 조성물 층의 두께는 1.2㎛였다.The colored photosensitive resin composition obtained above is apply | coated to the surface of a glass substrate (made by "# 7059" Corning Corporation) 2, by a spin coating method, it heats and heats at 100 degreeC for 3 minutes, and the colored photosensitive resin composition layer 1 is board | substrate (2) formed on. The thickness of the coloring photosensitive resin composition layer after this drying was 1.2 micrometers.

[착색 패턴의 형성(해상도의 평가)][Formation of Colored Pattern (Evaluation of Resolution)]

상기에서 착색 감광성 수지 조성물 층(1)을 형성한 기판(2)에 광마스크(3)를 개재시켜 초고압 수은등으로 자외선을 조사하여(조사량은 400mJ/㎠) 노광시켰다. 광마스크(3)로는 선폭이 3㎛, 4㎛, 5㎛, 6㎛, 7㎛, 8㎛, 9㎛, 10㎛, 20㎛, 30㎛, 40㎛, 50㎛ 및 100㎛인 선상(선 및 간격)의 착색 패턴(5)을 형성하기 위한 광마스크를 사용했다.The ultraviolet-ray was irradiated to the board | substrate 2 in which the coloring photosensitive resin composition layer 1 was formed above through the photomask 3, and the ultraviolet-ray was irradiated with the ultra-high pressure mercury lamp (the irradiation amount is 400mJ / cm <2>), and it exposed. As the optical mask 3, line widths of 3 占 퐉, 4 占 퐉, 5 占 퐉, 6 占 퐉, 7 占 퐉, 8 占 퐉, 9 占 퐉, 10 占 퐉, 20 占 퐉, 30 占 퐉, 40 占 퐉, 50 占 퐉 and 100 占 퐉 are provided. And an optical mask for forming the colored pattern 5 in the interval).

노광 후의 착색 감광성 수지 조성물 층을 현상액(수산화칼륨을 질량분율로 0.05% 함유하고 비이온성 계면활성제를 함유하는 수용액, 23℃)에 90초 동안 침적시켜서 현상했다.The colored photosensitive resin composition layer after exposure was developed by immersing for 90 seconds in the developing solution (aqueous solution containing 23% of potassium hydroxide as a mass fraction and containing a nonionic surfactant, 23 degreeC).

현상 후, 수세하고 230 ℃로 20분간 가열하여, 기판(2) 위에 흑색의 착색 패턴(블랙 매트릭스)을 형성했다. 이 블랙 매트릭스를 광학 현미경으로 관찰한 바, 선폭이 3㎛인 착색 패턴이 높은 재현성으로 형성되었다.After image development, the resultant was washed with water and heated at 230 ° C. for 20 minutes to form a black colored pattern (black matrix) on the substrate 2. When this black matrix was observed with the optical microscope, the coloring pattern with a line width of 3 micrometers was formed with high reproducibility.

[감도의 평가][Evaluation of sensitivity]

광선 조사 영역의 두께가 현상에 있어서 변화하지 않는 최저의 광선 조사량을 감도로 하여 이하의 방법으로 평가했다.The following method evaluated the minimum light irradiation amount which the thickness of a light irradiation area does not change in image development as a sensitivity.

상기한 바와 같이 하여 기판 위에 형성한 착색 감광성 수지 조성물 층(1)에 광마스크(3)를 개재시켜 초고압 수은등으로 자외선을 조사해서 노광시켰다. 노광에서는 광마스크(3)로서 투광부만으로 이루어지고 그의 투과율이 계단상으로 변화한 것을 사용하여 4 내지 400mJ/㎠의 범위의 광선을 조사했다.The ultraviolet-ray was irradiated with the ultra-high pressure mercury lamp, and exposed through the photomask 3 to the coloring photosensitive resin composition layer 1 formed on the board | substrate as mentioned above. In exposure, the light mask of the range of 4-400 mJ / cm <2> was irradiated using the light mask 3 which consists only of a light transmission part, and whose transmittance changed to step shape.

이어서, 상기에서 노광한 착색 감광성 수지 조성물 층을 상기에 사용한 것과 동일한 현상액에 90초 동안 침적시켜 현상하고, 이의 두께가 변화하지 않고 현상된 광선 조사 영역(12)의 최저 광선 조사량(100mJ/㎠)을 감도로 했다. 표 1에 감도를 기재한다.Subsequently, the above-mentioned colored photosensitive resin composition layer was developed by immersion for 90 seconds in the same developing solution as used above, and the minimum light irradiation amount (100mJ / cm 2) of the developed light irradiation region 12 without changing its thickness. Was the sensitivity. Table 1 describes the sensitivity.

[착색 감광성 수지 조성물 층의 용해 속도의 평가][Evaluation of Dissolution Rate of Colored Photosensitive Resin Composition Layer]

상기한 바와 같이 하여 기판(2) 위에 형성한 착색 감광성 수지 조성물 층(1)을 현상액(수산화칼륨을 질량분율로 0.05% 함유하고 비이온성 계면활성제를 함유하는 수용액, 23℃)에 침적시켜서 현상했다. 침적 시간은 0초부터 120초까지 1초 간격으로 착색 감광성 수지 조성물 층이 완전히 소실될 때까지의 시간을 용출 시간으로 하여, 이 용출 시간과 착색 감광성 수지 조성물 층의 두께로부터 용해 속도를 산출했다. 결과를 표 1에 기재한다.The coloring photosensitive resin composition layer 1 formed on the board | substrate 2 as mentioned above was developed by immersing in developing solution (an aqueous solution which contains 0.05% of potassium hydroxide as a mass fraction and containing a nonionic surfactant, 23 degreeC). . The immersion time used the time until the colored photosensitive resin composition layer disappear | disappears completely at the interval of 1 second from 0 second to 120 second, and computed the dissolution rate from this elution time and the thickness of the colored photosensitive resin composition layer. The results are shown in Table 1.

실시예 2Example 2

[착색 감광성 수지 조성물의 제조 및 착색 감광성 수지 조성물 층의 형성][Preparation of colored photosensitive resin composition and formation of colored photosensitive resin composition layer]

실시예 1에서 사용한 결합 수지 대신에 결합 수지[화학식 3의 화합물 50질량부와 벤조페논테트라카복실산 이무수물 15질량부와의 축중합물, 산가는 103] 32질량부를 사용함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 착색 감광성 수지 조성물(흑색)을 수득하고, 착색 감광성 수지 조성물 층(두께 1.2㎛)을 형성했다.Example 1 except that 32 mass parts of binder resin [50 mass parts of compounds of Formula 3 and 15 mass parts of benzophenone tetracarboxylic dianhydride, acid value 103] were used instead of the binder resin used. In the same manner as the above, a colored photosensitive resin composition (black) was obtained, and the colored photosensitive resin composition layer (thickness 1.2 micrometers) was formed.

[평가][evaluation]

실시예 1에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 층(1)이 형성된 기판(2) 대신에 상기에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 층이 형성된 기판을 사용함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 용해 속도를 산출하고 감도를 평가했다. 결과를 표 1에 기재한다.The same procedure as in Example 1 was conducted except that the substrate on which the colored photosensitive resin composition layer obtained above was formed was used instead of the substrate 2 on which the colored photosensitive resin composition layer 1 obtained in Example 1 was formed. The speed was calculated and the sensitivity was evaluated. The results are shown in Table 1.

[착색 패턴의 형성(해상도의 평가)][Formation of Colored Pattern (Evaluation of Resolution)]

실시예 1에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 대신에 위에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물을 사용함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 기판(2) 위에 흑색의 착색 패턴(블랙 매트릭스)을 형성했다. 이 블랙 매트릭스를 광학 현미경으로 관찰한 바, 선폭이 3㎛인 착색 패턴이 높은 재현성으로 형성되어 있었다. 결과를 표 1에 기재한다.A black colored pattern (black matrix) was formed on the substrate 2 in the same manner as in Example 1, except that the colored photosensitive resin composition obtained above was used instead of the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1. . When this black matrix was observed with the optical microscope, the coloring pattern with a line width of 3 micrometers was formed with high reproducibility. The results are shown in Table 1.

실시예 3Example 3

[착색 감광성 수지 조성물의 제조 및 착색 감광성 수지 조성물 층의 형성][Preparation of colored photosensitive resin composition and formation of colored photosensitive resin composition layer]

실시예 1에서 사용한 결합 수지 대신에 결합 수지[화학식 3의 화합물 50질량부와 테트라하이드로프탈산 무수물 25질량부와의 축중합물, 산가는 95] 32질량부를 사용함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 착색 감광성 수지 조성물(흑색)을 수득하고, 착색 감광성 수지 조성물 층(두께 1.2㎛)을 형성했다.Instead of the binder resin used in Example 1, the same as in Example 1, except that 32 parts by mass of a binder resin [50 parts by mass of the compound of Formula 3 and 25 parts by mass of tetrahydrophthalic anhydride, acid value thereof] was used. It operated so that the coloring photosensitive resin composition (black) was obtained, and the coloring photosensitive resin composition layer (thickness 1.2 micrometers) was formed.

[평가][evaluation]

실시예 1에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 층(1)이 형성된 기판(2) 대신에 위에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 층이 형성된 기판을 사용함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 용해 속도를 산출하고 감도를 평가했다. 결과를 표 1에 기재한다.The dissolution rate was obtained in the same manner as in Example 1, except that the substrate on which the colored photosensitive resin composition layer obtained above was formed was used instead of the substrate 2 on which the colored photosensitive resin composition layer 1 obtained in Example 1 was formed. Was calculated and the sensitivity was evaluated. The results are shown in Table 1.

[착색 패턴의 형성(해상도의 평가)][Formation of Colored Pattern (Evaluation of Resolution)]

실시예 1에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 대신에 위에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물을 사용함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 기판(2) 위에 흑색의 착색 패턴(블랙 매트릭스)을 형성했다. 이 블랙 매트릭스를 광학 현미경으로 관찰한 바, 선폭이 3㎛인 착색 패턴이 높은 재현성으로 형성되어 있었다. 결과를 표 1에 기재한다.A black colored pattern (black matrix) was formed on the substrate 2 in the same manner as in Example 1, except that the colored photosensitive resin composition obtained above was used instead of the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1. . When this black matrix was observed with the optical microscope, the coloring pattern with a line width of 3 micrometers was formed with high reproducibility. The results are shown in Table 1.

비교예 1Comparative Example 1

[착색 감광성 수지 조성물의 제조 및 착색 감광성 수지 조성물 층의 형성][Preparation of colored photosensitive resin composition and formation of colored photosensitive resin composition layer]

결합 수지의 사용량을 21질량부로 하고, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트의 사용량을 22질량부로 함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 착색 감광성 수지 조성물(흑색)을 수득하고, 착색 감광성 수지 조성물 층(두께 1.2㎛)을 형성하였다.A colored photosensitive resin composition (black) was obtained in the same manner as in Example 1 except that the amount of the binder resin was 21 parts by mass and the amount of dipentaerythritol hexaacrylate was 22 parts by mass to obtain a colored photosensitive resin composition (black). The resin composition layer (thickness 1.2 micrometers) was formed.

[평가][evaluation]

실시예 1에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 층(1)이 형성된 기판(2) 대신에 위에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 층이 형성된 기판을 사용함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 용해 속도를 산출하고 감도를 평가했다. 결과를 표 1에 기재한다.The dissolution rate was obtained in the same manner as in Example 1, except that the substrate on which the colored photosensitive resin composition layer obtained above was formed was used instead of the substrate 2 on which the colored photosensitive resin composition layer 1 obtained in Example 1 was formed. Was calculated and the sensitivity was evaluated. The results are shown in Table 1.

[착색 패턴의 형성(해상도의 평가)][Formation of Colored Pattern (Evaluation of Resolution)]

실시예 1에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 대신에 위에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물을 사용함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 기판(2) 위에 흑색의 착색 패턴(블랙 매트릭스)을 형성했다. 이 블랙 매트릭스를 광학 현미경으로 관찰한 바, 선폭이 30㎛ 및 그 이상인 착색 패턴이 높은 재현성으로 형성되어 있었지만, 선폭이 20㎛ 이하인 착색 패턴은 높은 재현성을 형성되어 있지 않았다. 결과를 표 1에 기재한다.A black colored pattern (black matrix) was formed on the substrate 2 in the same manner as in Example 1, except that the colored photosensitive resin composition obtained above was used instead of the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1. . When this black matrix was observed with the optical microscope, the coloring pattern with a line width of 30 micrometers or more was formed with high reproducibility, but the coloring pattern with a line width of 20 micrometers or less did not form high reproducibility. The results are shown in Table 1.

Yes (B)/(C)(B) / (C) 감도(mJ/㎠)Sensitivity (mJ / ㎠) 해상도(㎛)Resolution (μm) 용해속도(nm/초)Dissolution Rate (nm / sec) 실시예 1Example 1 32/1132/11 100100 33 1616 실시예 2Example 2 32/1132/11 120120 33 2020 실시예 3Example 3 32/1132/11 110110 33 2222 비교예 1Comparative Example 1 21/2221/22 150150 3030 120120

(B)/(C): 결합 수지와 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트의 사용량비(질량비)(B) / (C): Usage ratio (mass ratio) of binding resin and dipentaerythritol hexaacrylate

실시예 4Example 4

실시예 1에서 사용한 결합 수지(B) 대신에 벤질 메타크릴레이트와 메타크릴산과의 공중합체(벤질 메타크릴레이트 단위의 함유량은 몰 분율로 65%, 메타크릴산 단위의 함유량은 몰 분율로 35%, 중량 평균 분자량은 9700) 28질량부를 사용하고, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트의 사용량을 15질량부로 함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 착색 감광성 수지 조성물(흑색)을 수득하고, 착색 감광성 수지 조성물 층(두께 1.2㎛)을 형성했다.A copolymer of benzyl methacrylate and methacrylic acid instead of the binder resin (B) used in Example 1 (content of the benzyl methacrylate unit is 65% in mole fraction, and content of the methacrylic acid unit is 35% in mole fraction) The weight average molecular weight was used in the same manner as in Example 1 except that 28 parts by mass of 9700) was used, and the amount of dipentaerythritol hexaacrylate was set to 15 parts by mass to obtain a colored photosensitive resin composition (black). And the coloring photosensitive resin composition layer (thickness 1.2 micrometers) were formed.

[평가][evaluation]

실시예 1에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 층(1)이 형성된 기판(2) 대신에 위에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 층이 형성된 기판을 사용함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 용해 속도를 산출하고 감도를 평가했다. 결과를 표 1에 기재한다.The dissolution rate was obtained in the same manner as in Example 1, except that the substrate on which the colored photosensitive resin composition layer obtained above was formed was used instead of the substrate 2 on which the colored photosensitive resin composition layer 1 obtained in Example 1 was formed. Was calculated and the sensitivity was evaluated. The results are shown in Table 1.

[착색 패턴의 형성(해상도의 평가)][Formation of Colored Pattern (Evaluation of Resolution)]

실시예 1에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 대신에 위에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물을 사용함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 기판(2) 위에 흑색의 착색 패턴(블랙 매트릭스)을 형성했다. 이 블랙 매트릭스를 광학 현미경으로 관찰한 바, 선폭이 10㎛ 및 이를 초과하는 착색 패턴이 높은 재현성으로 형성되어 있었지만, 선폭이 9㎛ 이하인 착색 패턴은 높은 재현성으로 형성되어 있지 않았다. 결과를 표 2에 기재한다.A black colored pattern (black matrix) was formed on the substrate 2 in the same manner as in Example 1, except that the colored photosensitive resin composition obtained above was used instead of the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1. . When this black matrix was observed with the optical microscope, although the line width of 10 micrometers and the coloring pattern exceeding this were formed with high reproducibility, the coloring pattern with a line width of 9 micrometers or less was not formed with high reproducibility. The results are shown in Table 2.

비교예 2Comparative Example 2

[착색 감광성 수지 조성물의 제조 및 착색 감광성 수지 조성물 층의 형성][Preparation of colored photosensitive resin composition and formation of colored photosensitive resin composition layer]

벤질 메타크릴레이트와 메타크릴산과의 공중합체의 사용량을 21질량부로 하고, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트의 사용량을 22질량부로 함을 제외하고는, 실시예 4와 동일하게 조작하여 착색 감광성 수지 조성물(흑색)을 수득하고, 착색 감광성 수지 조성물 층(두께 1.2㎛)을 형성하였다.A colored photosensitive resin composition was produced in the same manner as in Example 4 except that the amount of the copolymer of benzyl methacrylate and methacrylic acid was 21 parts by mass and the amount of dipentaerythritol hexaacrylate was set to 22 parts by mass. (Black) was obtained, and the coloring photosensitive resin composition layer (thickness 1.2 micrometers) was formed.

[평가][evaluation]

실시예 1에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 층(1)이 형성된 기판(2) 대신에 위에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 층이 형성된 기판을 사용함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 용해 속도를 산출하고 감도를 평가했다. 결과를 표 1에 기재한다.The dissolution rate was obtained in the same manner as in Example 1, except that the substrate on which the colored photosensitive resin composition layer obtained above was formed was used instead of the substrate 2 on which the colored photosensitive resin composition layer 1 obtained in Example 1 was formed. Was calculated and the sensitivity was evaluated. The results are shown in Table 1.

[착색 패턴의 형성(해상도의 평가)][Formation of Colored Pattern (Evaluation of Resolution)]

실시예 1에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물 대신에 위에서 수득한 착색 감광성 수지 조성물을 사용함을 제외하고는, 실시예 1과 동일하게 조작하여 기판(2) 위에 흑색의 착색 패턴(블랙 매트릭스)을 형성했다. 이 블랙 매트릭스를 광학 현미경으로 관찰한 바, 선폭이 50㎛ 및 그 이상인 착색 패턴이 높은 재현성으로 형성되어 있었지만, 선폭이 40㎛ 이하인 착색 패턴은 높은 재현성으로 형성되어 있지 않았다. 결과를 표 2에 기재한다.A black colored pattern (black matrix) was formed on the substrate 2 in the same manner as in Example 1, except that the colored photosensitive resin composition obtained above was used instead of the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1. . When this black matrix was observed with the optical microscope, the coloring pattern with a line width of 50 micrometers or more was formed with high reproducibility, but the coloring pattern with a line width of 40 micrometers or less was not formed with high reproducibility. The results are shown in Table 2.

Yes (B)/(C)(B) / (C) 감도(mJ/㎠)Sensitivity (mJ / ㎠) 해상도(㎛)Resolution (μm) 용해속도(nm/초)Dissolution Rate (nm / sec) 실시예 4Example 4 28/1528/15 100100 1010 2424 비교예 2Comparative Example 2 21/2221/22 250250 5050 100100

(B)/(C): 결합 수지와 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트의 사용량비(질량비)(B) / (C): Usage ratio (mass ratio) of binding resin and dipentaerythritol hexaacrylate

본 발명의 형성방법에 의하면, 안정된 감도 및 높은 해상도로 착색 패턴을 형성할 수 있고, 특히 블랙 매트릭스의 형성에 적합하다.According to the formation method of this invention, a coloring pattern can be formed with stable sensitivity and high resolution, and it is especially suitable for formation of a black matrix.

Claims (12)

안료(A), 결합 수지(B), 에틸렌성 불포화 결합을 갖고 부가중합 가능한 화합물(C) 및 광중합 개시제(D)를 함유하는 착색 감광성 수지 조성물로 이루어진 층에 광마스크를 개재시키고, 광선을 조사한 후, 당해 층의 광선 미조사 영역을 10㎚/초 이상 60㎚/초 이하의 용해 속도로 현상액에 용해시킴을 특징으로 하는, 착색 패턴의 형성방법.A photomask was interposed through a layer made of a colored photosensitive resin composition containing a pigment (A), a binder resin (B), an ethylenically unsaturated bond, and a compound (C) capable of addition polymerization and a photopolymerization initiator (D). Thereafter, the light non-irradiated region of the layer is dissolved in a developer at a dissolution rate of 10 nm / sec or more and 60 nm / sec or less. 제1항에 있어서, 안료(A)가 흑색 안료인 착색 패턴의 형성방법.The formation method of the coloring pattern of Claim 1 whose pigment (A) is a black pigment. 제1항 또는 제2항에 있어서, 착색 감광성 수지 조성물의 안료(A)의 함유량이 착색 감광성 수지 조성물의 고형분에 대해 질량분율로 20% 이상인 착색 패턴의 형성방법.The formation method of the coloring pattern of Claim 1 or 2 whose content of the pigment (A) of a coloring photosensitive resin composition is 20% or more by mass fraction with respect to solid content of a coloring photosensitive resin composition. 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 결합 수지(B)가 화학식 1의 화합물과 다염기산과의 축중합물인 착색 패턴의 형성방법.The method of forming a colored pattern according to any one of claims 1 to 3, wherein the binder resin (B) is a condensation polymer of a compound of the formula (1) with a polybasic acid. 화학식 1Formula 1 위의 화학식 1에서,In Formula 1 above, R1및 R2는 각각 독립적으로 수소원자, 탄소수 1 내지 5의 알킬기 또는 할로겐 원자이고,R 1 and R 2 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen atom, R4는 수소원자 또는 메틸렌기이고,R 4 is a hydrogen atom or a methylene group, X는 화학식 1a 내지 1g 중의 어느 하나로 표시되는 2가 잔기이고,X is a divalent residue represented by any one of Formulas 1a to 1g, R3은 치환 그룹을 가질 수 있는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌기이며,R 3 is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms which may have a substituent group, m은 0 내지 5의 정수이고,m is an integer from 0 to 5, n은 1 내지 10의 정수이다.n is an integer from 1 to 10. 화학식 1aFormula 1a 화학식 1bFormula 1b 화학식 1cFormula 1c 화학식 1dFormula 1d 화학식 1eFormula 1e 화학식 1fFormula 1f 화학식 1gFormula 1g 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 결합 수지(B)가 아크릴계 중합체인 착색 패턴의 형성방법.The method of forming a colored pattern according to any one of claims 1 to 3, wherein the binder resin (B) is an acrylic polymer. 제1항 내지 제5항 중의 어느 한 항에 있어서, 결합 수지(B)의 사용량이 에틸렌성 불포화 결합을 갖고 부가중합 가능한 화합물(C)의 사용량에 대해 1.5질량배 이상 5질량배 이하인 착색 패턴의 형성방법.The colored pattern according to any one of claims 1 to 5, wherein the amount of the use of the binder resin (B) is 1.5% by mass or more and 5% by mass or less with respect to the amount of the compound (C) which has an ethylenically unsaturated bond and is capable of addition polymerization. Formation method. 제1항 내지 제6항 중의 어느 한 항에 따르는 방법으로 착색 패턴을 형성하는, 컬러 필터의 제조방법.The manufacturing method of a color filter which forms a coloring pattern by the method in any one of Claims 1-6. 안료(A), 결합 수지(B), 에틸렌성 불포화 결합을 갖고 부가중합 가능한 화합물(C) 및 광중합 개시제(D)를 함유하는 착색 감광성 수지 조성물로서, 이의 고형분으로 이루어진 층이 질량분율로 0.05%의 수산화칼륨을 함유하는 수산화칼륨 수용액에 23℃에서 10㎚/초 이상 60㎚/초 이하의 용해 속도로 용해되는 착색 감광성 수지 조성물.A colored photosensitive resin composition comprising a pigment (A), a binder resin (B), an ethylenically unsaturated bond, and a compound (C) capable of addition polymerization and a photopolymerization initiator (D), wherein the layer composed of solids has a mass fraction of 0.05%. The coloring photosensitive resin composition melt | dissolved in the potassium hydroxide aqueous solution containing the potassium hydroxide at 23 degreeC at the melt rate of 10 nm / sec or more and 60 nm / sec or less. 제8항에 있어서, 안료(A)가 흑색 안료인 착색 감광성 수지 조성물.The coloring photosensitive resin composition of Claim 8 whose pigment (A) is a black pigment. 제8항 또는 제9항에 있어서, 착색 감광성 수지 조성물의 안료(A)의 함유량이 착색 감광성 수지 조성물의 고형분에 대해 질량분율로 20% 이상인 착색 감광성 수지 조성물.The coloring photosensitive resin composition of Claim 8 or 9 whose content of the pigment (A) of a coloring photosensitive resin composition is 20% or more by mass fraction with respect to solid content of a coloring photosensitive resin composition. 제8항 내지 제10항 중의 어느 한 항에 있어서, 결합 수지(B)가 화학식 1의 화합물과 다염기산과의 축중합물인 착색 감광성 수지 조성물.The colored photosensitive resin composition according to any one of claims 8 to 10, wherein the binder resin (B) is a condensation product of a compound of the general formula (1) with a polybasic acid. 화학식 1Formula 1 위의 화학식 1에서,In Formula 1 above, R1및 R2는 각각 독립적으로 수소원자, 탄소수 1 내지 5의 알킬기 또는 할로겐 원자이고,R 1 and R 2 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen atom, R4는 수소원자 또는 메틸렌기이고,R 4 is a hydrogen atom or a methylene group, X는 화학식 1a 내지 1g 중의 어느 하나로 표시되는 2가 잔기이고,X is a divalent residue represented by any one of Formulas 1a to 1g, R3은 치환 그룹을 가질 수 있는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌기이며,R 3 is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms which may have a substituent group, m은 0 내지 5의 정수이고,m is an integer from 0 to 5, n은 1 내지 10의 정수이다.n is an integer from 1 to 10. 화학식 1aFormula 1a 화학식 1bFormula 1b 화학식 1cFormula 1c 화학식 1dFormula 1d 화학식 1eFormula 1e 화학식 1fFormula 1f 화학식 1gFormula 1g 제8항 내지 제12항 중의 어느 한 항에 있어서, 결합 수지(B)의 함유량이 에틸렌성 불포화 결합을 갖고 부가중합 가능한 화합물(C)의 사용량에 대해 1.5질량배 이상 5질량배 이하인 착색 감광성 수지 조성물.The coloring photosensitive resin of any one of Claims 8-12 whose content of binding resin (B) is 1.5 mass times or more and 5 mass times or less with respect to the usage-amount of the compound (C) which has an ethylenically unsaturated bond and can add-polymerize. Composition.
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