KR20030016307A - 짐발포인트 드라이브시스템 - Google Patents

짐발포인트 드라이브시스템 Download PDF

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KR20030016307A
KR20030016307A KR1020027017732A KR20027017732A KR20030016307A KR 20030016307 A KR20030016307 A KR 20030016307A KR 1020027017732 A KR1020027017732 A KR 1020027017732A KR 20027017732 A KR20027017732 A KR 20027017732A KR 20030016307 A KR20030016307 A KR 20030016307A
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KR1020027017732A
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데이비드 지. 핼리
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램 리서치 코포레이션
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Abstract

본 발명에 따른 짐발포인트 드라이브시스템은, 하면이 오목한 구면으로 된 내주면을 갖고서 토크를 부여하도록 된 구동스핀들과, 이 스핀들의 하부내에 부분적으로 수용되도록 배치된 웨이퍼캐리어를 갖도록 되어 있다. 이 웨이퍼캐리어의 외주면은 상기 구동스핀들의 하부의 하면에 형성된 오목한 구면과 대응하도록 볼록한 구면을 이루도록 되어 있다. 상기 구동스핀들과 상기 웨이퍼캐리어 사이에는 구동용 컵부재가 배치되는 바, 이 구동용 컵부재는 오목한 구면으로 된 내주면과 볼록한 구면으로 된 외주면을 가져 웨이퍼캐리어가 소정의 짐발포인트에 대해 틸팅동작을 할 수 있도록 되어 있다. 따라서, 토크가 짐발동작에 영향을 끼치지 않고 가해질 수 있게 된다.

Description

짐발포인트 드라이브시스템 {Projected gimbal point drive}
반도체장치를 제조함에 있어서는 화학기계적 연마(Chemical Mechanical Polishing;CMP)과정을 거쳐야만 한다. 반도체집적회로는 일반적으로 복층의 구조를 이루도록 되어 있는 바, 기초재료단계에 있을 때 확산영역이 형성된 다음 연결용 금속선이 패턴으로 형성됨으로써, 반도체장치와 전기적으로 연결되어 소망하는 기능을 하는 특정한 장치로 만들어지게 된다.
이상과 같이 패턴으로 형성되는 복수의 전도체층은, 이산화규소와 같은 절연물질에 의해 다른 전도체층으로부터 절연되도록 되어 있다. 따라서, 금속화가 더 많이 진행되고 그와 관련된 절연체층이 형성되면, 절연물질을 평탄화해야 할 필요가 더 많아지게 되는 바, 이는 평탄화가 되지 않으면 표면상태에 변화가 더 많아져 위에다 금속층을 형성시키기가 더 어렵게 되기 때문이다. 즉, 다음의 다른 도포과정에서도 절연물질내에 금속성패턴이 형성되므로, 그 후에도 여분의 금속피복분을 제거하기 위한 금속CMP작업이 이루어지기 때문이다.
한편, 금속층을 형성하기 전에 먼저 도포되어 있는 절연막을 평탄화하는 것을 포함하는 작업이 이루어지기도 하는데, 그러한 절연막의 재료로 있는 절연재가 얕은 도랑으로 격리하거나 또는 수지-금속절연을 하는데 사용되기 때문이다.
상기와 같은 화학기계적 연마(CMP)과정에서 CMP를 하기 위한 기판을 운반하는 기판캐리어의 짐발포인트가 중요한 요소로 되고 있다. 이 기판캐리어는 일정하고 평탄한 연마결과를 얻을 수 있도록 표면이 정밀하게 배열되어야 한다. 한편, 연마면 상부에 위치하는 피봇포인트의 수직방향 높이도 중요한 요소로 되는데, 이는 높이가 높을수록 연마를 하는 도중 피봇포인트로 주어지는 모멘트가 커지기 때문이다. 대부분의 CMP 웨이퍼 연마장치에서 문제로 되고 있는 바는, 웨이퍼의 중앙부분에서 연마가 덜 이루어지게 된다는 점과, 웨이퍼의 공정을 바꿔가면서 엣지를 제거하기 위한 제어를 하기가 어렵다는 점이다.
예컨대, 쉽게 구할 수 있는 많은 종류의 CMP기계에 쓰이고 있는 기판캐리어에서는 이른바 "노스다이빙(nose diving)"현상을 경험하게 된다. 즉, 연마를 하는 도중에는 헤드(head)가 연마하려는 힘에 대응하는 알맞은 모멘트가 생성하도록 하는 작용을 하게 되는데, 이는 앞에서 말한 짐발포인트의 높이에 따라 직접적인 영향을 받게 된다. 이 모멘트는 상기 헤드의 이동방향에 따라 각기 다른 압력이 생겨나도록 하고, 이러한 다양한 압력의 결과로 웨이퍼와 연마면 사이에 화학적 슬러리의 정재파(定在波;standing wave)가 만들어지게 된다. 그 결과 기판캐리어의 가장끝부분에 있는 웨이퍼의 엣지가 웨이퍼의 중심부분보다 빨리, 그리고 많이 연마되게 된다.
또, 웨이퍼상의 물질을 제거하는 것은 슬러리의 화학적 작용과 관련된다. 즉, 슬러리가 웨이퍼와 연마패드 사이에 들어가 작용을 하게 되면, 웨이퍼재료를 제거하기 위한 화학물질이 점차로 소진되게 된다. 따라서, 슬러리내에서의 화학물질의 작용이 웨이퍼의 중심부분으로 갈수록 감소하기 때문에, 예컨대 기판캐리어의 가장 바깥쪽 엣지에서의 웨이퍼의 엣지에 대한 화학작용에 비해 기판캐리어의 가장 바깥쪽에서의 웨이퍼의 중심부에 대한 웨이퍼재료의 화학적 제거가 감소한다는 것을 알 수가 있다.
한편, 기판캐리어의 중앙부를 고쳐만들지 않고서 앞서 말한 "노스다이빙"과 관련한 문제를 개선하기 위한 기도가 있어 왔다. 기판캐리어의 꼭대기에 1개의 베어링을 매개로 균형을 잡을 수 있도록 된 종래의 기술에서는, 기판캐리어의 유효한 짐발포인트가 연마패드의 표면에서 확실하게 떨어진 거리에 위치하기 때문에 알맞은 모멘트가 생성되게 된다. 따라서, 연마패드의 표면에 작용하는 마찰력이 그러한 간격을 통해 상기와 같은 바람직하지 않은 모멘트를 생성하게 된다.
또, 짐발을 구동스핀들에 연결하기 위해 뒤틀려지도록 하더라도 상기와 같은 "노스다이빙"효과를 줄일 수가 없다는 것도 밝혀졌다. 특히, 1개 또는 기타의 구동수단은 다시 "노스다이빙"의 원인으로 되는 웨이퍼상에 큰 모텐트를 생성하는 원인으로 된다. 더구나, 구동핀이 뒤틀림의 원인이 되고 있는 바, 이는 각 핀마다 축선회를 위한 구멍내에서 자유로이 회전을 하도록 해야 하기 때문이다.
이상과 같은 사실에 비추어, 웨이퍼를 웨이퍼의 엣지가 다음에 오는 연마패드속으로 파고들지 않고 구동할 수 있도록 뒤틀려 구동하도록 하는 짐발이 필요하게 된다. 이와 같은 뒤틀리는 구동은 웨이퍼를 회전하도록 구동은 하지만, 회전축을 구동되어지는 웨이퍼의 표면에 접촉하도록 정렬시킬 필요가 없도록 할 수 있어야 한다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 발명한 것으로, 웨이퍼의 표면이 구동스핀들의 회전축에 정확히 직각방향을 이루지 않더라도 연마할 웨이퍼로 토크와 축방향 힘이 전달될 수 있는 구동기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 반도체웨이퍼의 표면을 연마하는 장치에 관한 것으로, 반도체웨이퍼의 표면을 연마하는 과정에서 짐발포인트(gimbal point)가 이동할 수 있도록 하는 드라이브시스템에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 다른 CMP시스템의 모식도,
도 2는 본 발명에 따른 돌출된 짐발포인트 드라이브시스템을 가진 웨이퍼캐리어기구를 나타낸 도면,
도 3은 스핀들의 회전축을 지나도록 절단한 웨이퍼캐리어기구의 A-A선 단면도,
도 4는 스핀들의 회전축을 지나도록 절단한 웨이퍼캐리어기구의 B-B선 단면도이다.
이상과 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 웨이퍼가 이 웨이퍼의 표면상에 위치하는 짐발포인트에 대해 틸팅동작을 할 수 있도록 되어 있다. 즉, 본 발명에 따른 짐발포인트 드라이브시스템은, 하면에 오목한 구면을 가진 하부를 갖고서 토크가 가해질 수 있도록 된 구동스핀들과, 상기 하부에 부분적으로 설치되고서 상기 구동스핀들의 오목한 구면과 마주보도록 형성된 볼록한 구면을 가진 웨이퍼캐리어 및, 안쪽은 오목한 구면을, 바깥쪽은 볼록한 구면을 각각 이룬 것으로 상기 구동스핀들과 웨이퍼캐리어 사이에 설치되는 구동용 컵부재를 갖추어, 이 구동용 컵부재가 상기 웨이퍼캐리어를 소정의 짐발포인트에 대해 틸팅동작을 할 수 있도록 되어 있다.
상기 짐발포인트는 상기 연마패드와 상기 웨이퍼캐리어에 부착된 웨이퍼의표면 사이에 위치할 수도 있고, 또 필요하면 상기 연마패드와 상기 웨이퍼캐리어에 부착된 웨이퍼의 표면 사이의 접촉면 위쪽(nose diving) 또는 아래쪽(skiing)에 위치하도록 할 수도 있다.
또한, 본 발명에서는 상기 구동용 컵부재에, 볼록한 구면으로 된 외주면에 세로방향으로 1쌍의 긴 슬롯이 형성되는 한편, 오목한 구면으로 된 내주면에는 세로방향으로 1쌍의 긴 슬롯이 형성되어, 이들 슬롯에 의해 웨이퍼캐리어가 소정의 짐발포인트에 대해 틸팅동작을 할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다. 또, 상기 구동스핀들의 하부의 구면에 돌출하도록 형성된 1쌍의 구동용 키가 구동용 컵부재의 외주면에 형성된 1쌍의 슬롯에 들어가 끼워지는 한편, 상기 웨이퍼캐리어의 볼록한 구면으로 된 외주면에 돌출하도록 형성된 1쌍의 구동용 키가 상기 구동용 컵부재의 내주면에 형성된 1쌍의 슬롯에 들어가 끼워지도록 되어 있다.
여기서, 상기 1쌍의 슬롯은 길이가 긴 형상을 하고서 상기 구동용 컵부재의 외주면에 180°의 간격으로 떨어져 형성되는 한편, 상기 구동용 컵부재의 오목한 구면에 형성된 1쌍의 슬롯도 길이가 긴 형상을 하고서 상기 구동용 컵부재의 내주면에 180°의 간격으로 떨어져 형성되도록 되어 있다. 또, 상기 구동용 컵부재의 내주면에 형성된 1쌍의 슬롯이 상기 구동용 컵부재의 외주면에 형성된 1쌍의 슬롯과 회전중심을 기준으로 대략 90°만큼의 간격으로 배치되어 있다.
이상과 같이 구성된 본 발명에 따른 짐발포인트 드라이브시스템은 다음과 같은 방법으로 구동시키게 된다. 즉, 먼저 하부면이 오목한 구면을 이루는 하부를 가지고서 토크를 부여할 수 있도록 된 구동스핀들을 배치하고서, 이 구동스핀들의 하부에 상기 구동스핀들의 오목한 구면과 마주보도록 배치되는 볼록한 구면으로 된 외주면을 가진 웨이퍼캐리어가 부분적으로 수용되도록 배치한 다음, 상기 구동스핀들의 하부와 상기 웨이퍼캐리어 사이에 끼워지는 오목한 구면으로 된 내주면과 볼록한 구면으로 된 외주면을 가진 구동용 컵부재를 이용해서 상기 구동스핀들과 웨이퍼캐리어를 결합하게 되면, 상기 구동용 컵부재에 의해 상기 웨이퍼캐리어가 소정의 짐발포인트에 대해 틸팅동작이 이루어지게 된다.
이때, 상기 짐발포인트가 연마패드와 웨이퍼캐리어에 부착된 웨이퍼의 표면 사이의 접촉면상에 위치하게 되는 바, 필요한 경우 상기 짐발포인트가 연마패드와 웨이퍼캐리어에 부착된 웨이퍼의 표면 사이의 접촉면 아래쪽 또는 위쪽에 위치하도록 할 수도 있다.
이상과 같이 구동스핀들의 하부의 표면과 웨이퍼캐리어의 표면이 중심을 같이하는 구면을 이루게 됨으로써, 웨이퍼가 웨이퍼-패드 접촉면인 평면상에 위치하는 축을 중심으로 틸팅동작을 할 수가 있게 된다. 만일, 상기 축이 웨이퍼에 대해 웨이퍼-패드 접촉면보다 위쪽 또는 아래쪽으로 틸팅된다면, 웨이퍼의 한쪽을 연마패드내로 미는 힘이 생겨나 웨이퍼의 반대쪽이 밀려지는 힘보다 커져 바람직하지 않은 결과를 낳게 된다. 본 발명에서는 이러한 힘을 줄이거나 제거 또는 바람직한 결과가 되도록 적절히 조절할 수 있게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 해서 본 발명의 실시예에 대해 설명한다.
본 발명은 웨이퍼의 평면이 구동스핀들의 회전축에 대해 정확하게 수직방향으로 되지 않더라도, 연마되는 웨이퍼로 전달되는 토크 및 축방향 힘을 감내할 수 있도록 격리된 구동용 컵부재를 가진 짐발포인트 드라이브시스템을 제공하기 위한 것으로, 다음의 설명에서는 본 발명을 보다 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위해 특별한 다수의 세부적인 설명을 하게 된다. 그러나, 본 발명과 관련한 기술자라면 이들 특별한 설명을 전부 필요하지 않고서도 실시할 수가 있을 것이다. 한편으로는, 널리 알려진 공정에 대해서는 상세하게 설명을 하지 않는 바, 이는 본 발명의 실질적인 내용이 필요없이 모호해지지 않도록 하기 위해서이다.
도 1은 본 발명의 실시예와 관련된 화학기계적 평탄화시스템의 모식도이다. 이 도 1에 도시된 것과 같이 CMP시스템은(200)은 고정된 연마식 CMP시스템으로 되어 있는 바, 즉 연마재로 된 무한벨트가 고정되게 설치되어 구성된 연마벨트(450)를 갖도록 되어 있다. 상기 연마재로 만들어져 무한회전하는 연마벨트(450)는 화살표(214)의 방향으로 회전하는 2개의 드럼(212)에 걸쳐져 구동되도록 되어 있다.
웨이퍼캐리어기구(400)에는 웨이퍼(414)가 실려져 화살표(216)의 방향으로 회전하도록 되어 있다. 이와 같이 회전하는 웨이퍼캐리어기구(400)에 실려져 공급된 웨이퍼(414)는 상기 회전하는 연마벨트(450)에 소정의 힘(F)으로 눌려져 평탄화공정이 이루어지게 된다. 상기 눌려지는 힘(F)은 이 분야의 기술자들에게 잘 알려져 있듯이 각 평탄화공정상의 요구에 따라 달라질 수 있다. 상기 연마벨트(45) 아래에는 플래튼(platen;210)이 배치되어 연마벨트(450)를 안정시키고 상부에 공급되는 웨이퍼(414)의 표면을 단단히 받쳐주도록 되어 있다. 이와 같은 연마벨트(450)를 사용할 때는 이 웨이퍼(414)의 모습이 연마벨트(45)의 미세하게 연속된 연마부의 역할을 하게 된다.
또, 상기 웨이퍼캐리어기구(400)는 웨이퍼(414)의 바깥쪽 엣지(414a)가 연마벨트(45)의 미세한 연속모양부의 연마작용을 현저히 방해하지 않도록 구성되어야 하는 바, 이에 대해서는 다음에 상세히 설명하기로 한다. 따라서, 웨이퍼(414)의 수직방향으로 요철된 모양부가 편평해지면, 연마벨트(450)의 미세한 연속모양부에 작용하는 수직방향 요철모양이 남지 않게 된다. 그 결과, 재료를 연마해서 제거하는 율이 많이 느려져, "자동정지"로 표현되는 상기 CMP공정에서 자동정지특성이 갖춰지도록 해야만 한다.
도 2는 본 발명에 따른 짐발포인트 드라이브시스템이 갖춰진 웨이퍼캐리어기구를 나타낸 도면이다. 한 가지 구성예로서는 짐발포인트 드라이브시스템이 절연재로 된 구동용 컵부재로 이루어져 구동스핀들(412)의 하부(426)에 배치된 것을 들 수 있는 바, 이는 토크와 축방향 힘을 연마되는 웨이퍼로 전달하기 위한 것이다. 즉, 본 발명에서의 구동용 컵부재는 웨이퍼의 평면이 구동스핀들의 회전축과 정확히 수직상태가 되지 않더라도 웨이퍼캐리어를 연장시켜 토크와 축방향 힘을 웨이퍼로 전달할 수 있도록 되어 있다.
다음에 상세히 설명될 것이지만, 본 발명에서의 구동용 컵부재의 구조는, 웨이퍼가 연마패드와 연마되는 웨이퍼의 표면 사이의 접촉부상에 위치한 짐발포인트에 대해 어느 쪽으로도 기울어질 수(틸팅할 수)가 있도록 되어 있다. 이렇게 구성된 본 발명에 의하면, 웨이퍼에 수직방향으로 가해짐으로써 짐발포인트가 다른 곳으로 옮겨지게 되는 바람직하지 않은 힘을 회피할 수 있게 된다.
도 3은 스핀들의 회전축을 지나도록 절단한 웨이퍼캐리어기구의 A-A선 단면도이다. 여기서 중요한 점은, 이 도 3에 도시된 구동스핀들의 회전축은 웨이퍼의 중심을 지나 웨이퍼에 대해 수직방향으로 회전축상에 있어야 한다는 점이다.
상기 웨이퍼캐리어기구(400)는 구동용 컵부재(428)를 매개로 하여 웨이퍼캐리어(422)에 결합되는 스핀들(412)의 하부(426)를 포함하도록 되어 있다. 또, 다음의 도 4와 관련하여 설명될 구동용 키(438,440)와 마찬가지로 토크를 전달하기 위해 구동용 키(446,448)가 사용되도록 되어 있다. 그리고, 상기 웨이퍼캐리어(422)의 아래에는 연마벨트(450)가 설치되어 CMP공정에서 웨이퍼(414)의 표면을 연마하는데 사용되도록 되어 있다. 따라서, 동작을 할 때는 상기 구동스핀들(412)이 연마벨트(450)에 대해 토크와 밑으로 힘을 가해서 웨이퍼(414)의 하면을 밀어주게 된다.
웨이퍼를 정확히 정렬되도록 노력하는 대신, 웨이퍼(414)의 평면과 직각을 이루는 직선(454)이 구동스핀들(412)의 회전축(452)과 정확히 평행을 이루지 않고 벗어나 편향되도록 할 수가 있다. 즉, 본 발명에서는 이와 같은 비정렬로 될 수가 있다는 점에 이점이 있는 것이다. 그 때문에, 본 발명에서는 웨이퍼(414)가, 웨이퍼-패드 접촉면(416)상에 뉘어지는 선이스핀들(412)의 회전축(452)에 대해 직각을 이루는 위치로부터 기울어지게 배치될 수가 있게 된다. 한편, 이와 다른 구성으로는 상기와 같이 웨이퍼(414)가 웨이퍼-패드 접촉면(416)상에 뉘어지는 선이 스핀들(412)의 회전축(452)에 대한 직각을 이루는 위치에서 기울어지게 배치될 수 있음과 더불어, 상기와 같은 위치로 될 수 있는 간격을 상기 접촉면의 위쪽 또는 아래쪽에다 미리 정해놓을 수도 있게 되어 있다.
도 3에 도시된 것과 같이 웨이퍼캐리어(422)의 상부에는 볼록한 구면(420)이 형성되어 있는 바, 이 볼록한 구면(420)은 웨이퍼-패드 접촉면(416)상에 있는 웨이퍼(414)의 중심점(418)으로부터의 반경이 R1이 되도록 되어 있다. 같은 중심점(418)으로부터 R2가 되는 반경의 거리에는 오목한 구면(424)이 구동스핀들(452)의 하부(426)에 형성되어 있다. 여기서, 상기 반경(R1,R2)들은 설계의 경우에 따라서는 웨이퍼(414)의 중심점(418)에서부터의 거리를 웨이퍼-패드 접촉면(416)의 위쪽 또는 아래쪽으로 연장할 수가 있도록 되어 있다.
상기 웨이퍼캐리어(422)의 볼록한 구면(420)과 상기 구동스핀들(412)의하부(426)에 형성된 오목한 구면(424) 사이에는 구동용 컵부재(428)가 설치되는 바, 이 구동용 컵부재(428)는 대체로 링형상을 하고서, 반경이 R1인 내부의 오목한 구면(430)과 반경이 R2인 외부의 볼록한 구면(432)을 갖도록 되어 있다. 상기 구동용 컵부재(428) 외면의 볼록한 구면(432)에는 세로방향으로 2개의 긴 슬롯(442, 444)이 형성되어 있는 바, 이들 2개의 슬롯(442,444)은 구동용 컵부재(428)의 둘레에 약 180°의 간격으로 떨어져 배치되도록 되어 있다. 또, 상기 구동스핀들(412)의 하부(426)의 오목한 구면(424)에는 상기 2개의 슬롯(442,444)과 마주보는 위치에 각각 구동용 키(446,448)가 돌출하도록 형성되어, 이들 구동용 키(446,448)가 상기 2개의 슬롯(442,444)에 각각 들어가 토크를 전달하도록 되어 있다. 상기 2개의 슬롯(442,444)의 길이가 상기 구동용 키(446,448)의 길이보다 길게 형성되어 상기 구동스핀들(412)의 하부(426)와 상기 구동용 컵부재(428) 사이에 틸팅(tilting)동작이 가능하도록 되어 있다.
도 4는 스핀들의 회전축을 지나도록 절단한 웨이퍼캐리어기구(400)의 B-B선 단면도이다. 여기서, 도 4에 도시된 구동스핀들의 회전축도 도 3에서와 같이 웨이퍼의 중심을 지나는 웨이퍼에의 수직선과 일치할 때가 가장 이상적인 위치가 된다.
도 4에 도시된 것과 같이 구동용 컵부재(428) 내부의 오목한 구면(430)에는 세로방향으로 뻗은 슬롯(434,436)이 형성되어 있다. 상기 구동용 컵부재(428) 외부의 볼록한 구면에 형성된 슬롯(442,444)과 마찬가지로 이들 슬롯(434,436) 역시 구동용 컵부재(428)의 외주면 둘레에 180°의 간격으로 덜어져 위치하도록 되어 있다. 여기서도 역시 웨이퍼캐리어(422)의 볼록한 구면(420)으로부터 2개의 구동용 키(438,440)가 돌출하도록 설치되어, 각각 상기 구동용 컵부재(428)에 길게 형성된 슬롯(434,436)에 들어가 토크를 전달할 수 있도록 되어 있다. 여기서, 상기 구동용 키(438,440)는 상기 구동용 키(446,448)와 각각 구동용 컵부재(428)의 중심축을 기준으로 90°씩의 간격으로 떨어져 위치하도록 되어 있다. 또한, 상기 슬롯(434, 436)의 길이가 웨이퍼캐리어(422)와 구동용 컵부재(428) 사이에 틸팅동작이 행해질 수 있도록 구동용 키(438,440)의 길이보다 길게 되어 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 구동스핀들(412)의 하부(426)의 표면과 웨이퍼캐리어(422)의 표면(424)이 중심을 같이하는 구면을 이루게 됨으로써, 웨이퍼(414)가 웨이퍼-패드 접촉면(416)인 평면상에 위치하는 축을 중심으로 틸팅동작을 할 수가 있게 된다. 만일, 상기 축이 웨이퍼(414)에 대해 웨이퍼-패드 접촉면(416) 보다 위쪽 또는 아래쪽으로 틸팅된다면, 웨이퍼(414)의 한쪽을 연마패드(450)내로 미는 힘이 생겨나 웨이퍼(44)의 반대쪽이 밀려지는 힘보다 커져 바람직하지 않은 결과를 낳게 되는 바, 본 발명에서는 이러한 힘을 줄이거나 제거 또는 바람직한 결과가 되도록 적절히 조절할 수 있게 된다.
한편, 앞에서는 본 발명을 이해할 수 있도록 하는 한도에서 설명한 것으로, 첨부되는 특허청구범위에 기재되는 기술적 요지의 범위내에서 여러 가지로 변형해서 실시할 수 있음은 물론이다. 즉, 본 발명에서 설명된 것은 어디까지나 설명을위한 실시예로서 그에 의해 본 발명의 내용이 한정되거나 제한을 받지 않고, 특허청구범위에 기재된 것과 균등한 범위내에서는 얼마라도 변형시켜 실시할 수가 있게 된다.

Claims (22)

  1. 하면에 오목한 구면을 가진 하부를 갖고서 토크가 가해질 수 있도록 된 구동스핀들과, 상기 하부에 부분적으로 설치되고서 상기 구동스핀들의 오목한 구면과 마주보도록 형성된 볼록한 구면을 가진 웨이퍼캐리어 및, 안쪽은 오목한 구면을 바깥쪽은 볼록한 구면을 각각 이룬 것으로 상기 구동스핀들과 웨이퍼캐리어 사이에 설치되는 구동용 컵부재를 갖추어, 이 구동용 컵부재가 상기 웨이퍼캐리어를 소정의 짐발포인트에 대해 틸팅동작을 할 수 있도록 된 짐발포인트 드라이브시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 짐발포인트가 상기 연마패드와 상기 웨이퍼캐리어에 부착된 웨이퍼의 표면 사이에 위치하도록 된 짐발포인트 드라이브시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 짐발포인트가 상기 연마패드와 상기 웨이퍼캐리어에 부착된 웨이퍼의 표면 사이의 접촉면 아래쪽에 위치하도록 된 짐발포인트 드라이브시스템.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 짐발포인트가 상기 연마패드와 상기 웨이퍼캐리어에부착된 웨이퍼 사이의 접촉면 위쪽에 위치하도록 된 짐발포인트 드라이브시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 구동용 컵부재의 볼록한 구면으로 된 외주면에 세로방향으로 1쌍의 긴 슬롯이 형성된 짐발포인트 드라이브시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 구동스핀들의 하부에 형성된 오목한 구면에 상기 슬롯에 마주보는 위치에 1쌍의 구동용 키가 돌출하도록 형성된 짐발포인트 드라이브시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 구동용 키가 상기 구동용 컵부재의 외주면에 형성된 1쌍의 슬롯에 끼워져 들어갈 수 있도록 된 짐발포인트 드라이브시스템.
  8. 제1항에 있어서, 상기 구동용 컵부재의 안쪽 오목한 구면에 세로방향으로 1쌍의 긴 슬롯이 형성된 짐발포인트 드라이브시스템.
  9. 제8항에 있어서, 상기 웨이퍼캐리어의 볼록한 구면으로 된 외주면에 상기 1쌍의 슬롯과 마주보는 위치로 1쌍의 구동용 키가 돌출하여 형성된 짐발포인트 드라이브시스템.
  10. 제9항에 있어서, 상기 1쌍의 구동용 키가 상기 구동용 컵부재의 1쌍의 슬롯내로 들어가 끼워지도록 된 짐발포인트 드라이브시스템.
  11. 볼록한 구면으로 된 외주면에 세로방향으로 1쌍의 긴 슬롯이 형성되는 한편, 오목한 구면으로 된 내주면에는 세로방향으로 1쌍의 긴 슬롯이 형성되어, 이들 슬롯에 의해 웨이퍼캐리어가 소정의 짐발포인에 대해 틸팅동작을 할 수 있도록 구성된 짐발포인트 구동용 컵부재.
  12. 제11항에 있어서, 상기 구동스핀들의 하부의 구면에 돌출하도록 형성된 1쌍의 구동용 키가 구동용 컵부재의 외주면에 형성된 1쌍의 슬롯에 들어가 끼워지도록 구성된 짐발포인트 구동용 컵부재.
  13. 제11항에 있어서, 상기 웨이퍼캐리어의 볼록한 구면으로 된 외주면에 돌출하도록 형성된 1쌍의 구동용 키가 상기 구동용 컵부재의 내주면에 형성된 1쌍의 슬롯에 들어가 끼워지도록 구성된 짐발포인트 구동용 컵부재.
  14. 제13항에 있어서, 상기 1쌍의 슬롯이 길이가 긴 형상으로 형성된 짐발포인트 구동용 컵부재.
  15. 제14항에 있어서, 상기 길이가 길게 형성된 1쌍의 슬롯이 상기 구동용 컵부재의 외주면에 180°의 간격으로 떨어져 형성된 짐발포인트 구동용 컵부재.
  16. 제11항에 있어서, 상기 구동용 컵부재의 오목한 구면에 형성된 슬롯이 길이가 긴 형상으로 된 짐발포인트 구동용 컵부재.
  17. 제16항에 있어서, 상기 길이가 길게 형성된 1쌍의 슬롯이 상기 구동용 컵부재의 내주면에 180°의 간격으로 떨어져 형성된 짐발포인트 구동용 컵부재.
  18. 제17항에 있어서, 상기 구동용 컵부재의 내주면에 형성된 1쌍의 슬롯이 상기 구동용 컵부재의 외주면에 형성된 1쌍의 슬롯과 회전중심을 기준으로 대략 90°만큼의 간격으로 배치된 짐발포인트 구동용 컵부재.
  19. 하부면이 오목한 구면을 이루는 하부를 가지고서 토크를 부여할 수 있도록 된 구동스핀들을 배치하고서, 이 구동스핀들의 하부에 상기 구동스핀들의 오목한 구면과 마주보도록 배치되는 볼록한 구면으로 된 외주면을 가진 웨이퍼캐리어가 부분적으로 수용되도록 배치한 다음, 상기 구동스핀들의 하부와 상기 웨이퍼캐리어 사이에 끼워지는 오목한 구면으로 된 내주면과 볼록한 구면으로 된 외주면을 가진 구동용 컵부재를 이용해서 상기 구동스핀들과 웨이퍼캐리어를 결합함으로써, 상기 구동용 컵부재에 의해 상기 웨이퍼캐리어가 소정의 짐발포인트에 대해 틸팅동작을 하도록 하는 짐발포인트 드라이브시스템을 구동하는 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 짐발포인트가 연마패드와 웨이퍼캐리어에 부착된 웨이퍼의 표면 사이의 접촉면 상에 위치하도록 하는 짐발포인트 드라이브시스템을 구동하는 방법.
  21. 제19항에 있어서, 상기 짐발포인트가 연마패드와 웨이퍼캐리어에 부착된 웨이퍼의 표면 사이의 접촉면 아래쪽에 위치하도록 하는 짐발포인트 드라이브시스템을 구동하는 방법.
  22. 제19항에 있어서, 상기 짐발포인트가 연마패드와 웨이퍼캐리어에 부착된 웨이퍼의 표면 사이의 접촉면 위쪽에 위치하도록 하는 짐발포인트 드라이브시스템을 구동하는 방법.
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