KR20030015855A - 유체를 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로발생시키는 방법과 펌프 장치, 및 이 방법의 용도 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유체를 펌프 장치에 의하여 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 발생시키는 방법 및 펌프 장치에 관한 것으로서, 이 펌프 장치(1)에 의하여 유체(5)가 저장소(2)로부터 유동관(4) 내로 이송된다. 로터리 펌프(1)가 펌프 장치로 사용되며, 이 로터리 펌프(1)는 로터리 펌프(1)의 최대 효율(

Description

유체를 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 발생시키는 방법과 펌프 장치, 및 이 방법의 용도 {A METHOD AND A PUMP APPARATUS FOR THE GENERATION OF AN ADJUSTABLE, SUBSTANTIALLY CONSTANT VOLUME FLOW OF A FLUID AND A USE OF THIS METHOD}
본 발명은 각 카테고리의 독립 청구항의 전제부에 따라 유체를 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 발생시키는 방법과 펌프 장치 및 이 방법의용도에 관한 것이다.
수많은 산업 공정 및 여러 가지 방법을 실행하는데 있어서 유체를 계량하여 이송, 즉 시간당 이송되는 유체량이 일정해야 한다는 점에서 실질적으로 유체는 일정한 체적 흐름으로 이송되어야 할 필요성이 있다. 본 명세서에서의 예는 반도체 산업에 사용되는 화학-기계 연마(chemical-mechanical polishing: CMP) 공정이다. 이 공정에서는, 일반적으로 슬러리(slurry)라고 부르며 미세한 고체 입자 및 액체로 이루어지는 것이 일반적인 현탁액(suspension)이 회전 웨이퍼 상에 위치되어 여기에서 미세한 반도체 구조체를 연마 또는 래핑(lapping)하는 작용을 한다. 이 점에서, 현탁액(슬러리)을 조정할 수 있는, 일정한 체적 흐름, 즉 계량된 양을 웨이퍼면에 가하는 것이 필요하다.
다른 공정, 예를 들면 감광 레지스트를 웨이퍼 상에 가하는 공정에서는, 계량된 양의 유체를 이송하는 것이 필요한데, 이것은 소정 시간에 걸쳐 일정한 체적 흐름으로 이송함으로써 일반적으로 실현될 수 있다.
현재, 이러한 계량 이송에는 연동 펌프(peristaltic pump), 기어 펌프, 피스톤 펌프 및 격막 펌프(diaphragm pump) 등의 체적 펌프가 사용되고 있다. 이들 체적 펌프는 작업 주기마다 정확한 양의 유체를 이송한다는 특징을 갖는다. 예를 들어 피스톤 펌프를 사용하는 경우, 스트로크마다 이송되는 유체 체적은 피스톤 영역 및 피스톤 스트로크에 의하여 정해진다. 따라서 각각의 피스톤 스트로크마다 동일한 체적의 유체가 이송되기 때문에 일정한 체적으로 흐를 수 있다.
그러나, 체적 펌프는 일부 응용, 예를 들어 일반적으로 요동치며 흐르는 유체에는 바람직하지 않은 것으로 판명될 수 있는 특징을 갖고 있다. 이와 관련된 압력 변동은 매우 혼란스러울 수 있고, 또한 입자가 용이하게 퇴적되고 응집될 수 있다. 또한, 전술한 슬러리 현탁액과 같은 특정 액체인 경우, 고체 입자는 마모로 인하여 펌프, 특히 흡입쪽과 압축쪽 사이의 밀봉 부품에 상당한 손상을 입힐 수 있다. 예를 들면, 피스톤 링 및/또는 실린더 벽이 손상될 때 마모 입자로 인하여 피스톤 펌프의 피스톤을 따라 누출이 발생될 수 있다.
본 발명의 목적은 유체를 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 발생시키는 다른 방법 및 장치를 제공하는 것이다. 이 방법은 장치가 가능한 간단하게 구성될 수 있어야 하며, 또한 슬러리와 같은 현탁액의 이송에 특히 적합해야 한다. 상기 목적하는 장치 및 기술적인 방법을 충족시키는 본 발명의 주제는 각 카테고리의 독립 청구항에 기재된 특징을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 있어서, 유체를 펌프 장치에 의하여 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 발생시키는 방법을 제공하고, 이 방법에서는 유체가 펌프 장치에 의하여 저장소로부터 유동관(flow connection) 내로 이송된다. 로터리 펌프가 펌프 장치로 사용되며, 로터리 펌프는 이 로터리 펌프의 최대 효율의 절반 이하의 효율로 동작된다. 로터리 펌프는 자신의 최대 효율의 20% 정도로 동작되는 것이 바람직하다.
본 발명은 매우 낮은 효율에 해당하는 이러한 로터리 펌프의 동작 상태에서, 펌프의 회전 속도, 보다 상세하게는 펌프 회전자의 회전 속도와 펌프에 의하여 이송되는 체적과의 사이가 대응 관계라는 점이 중요하다. 따라서, 일정한 체적의 유체 흐름은 체적 흐름을 검출하는 센서 또는 로터리 펌프용의 제어 회로를 필요로 하지 않고 펌프 회전자의 회전 속도를 거쳐 상기 동작 범위 내로 직접 설정될 수 있다. 이러한 이유로, 본 발명의 방법은 장치면에서는 매우 용이하게 실현될 수 있다. 원하는 체적 흐름은 로터리 펌프의 회전 속도를 거쳐 간단하게 제어 및 조정된다.
로터리 펌프에 의하여 발생된 체적 흐름은 로터리 펌프의 동작 원리에 따라 요동치지 않으므로, 원하지 않는 퇴적이 또한 현저하게 감소된다.
또한, 로터리 펌프에서 유입구는 배출구와 일정한 흐름으로 연통된다. 유입구에 대하여 배출구를 밀봉할 수 있는 격막, 피스톤 또는 이와 유사한 구성품은 배치되어 있지 않다. 이 때문에 마모 입자를 이송할 때 펌프가 손상될 위험이 줄어든다.
또한, 로터리 펌프는 배출구가 폐쇄된 상태, 즉 체적 흐름이 이송되지 않는 상태로 손상되지 않고 또한 작용할 수 있다. 이로써 펌프 하류에 위치된 온/오프 밸브에 의하여 시간별로 일정한 체적 흐름을 제한하가거나 또는 차단시킬 수 있다. 따라서, 본 발명의 방법에 따르면, 펌프는 이송을 위한 복잡한 제어 기구가 필요없이 소정량의 유체를 규정량으로 또한 분산시킬 수 있다.
유체는 유동관과 분산 장치의 총 흐름 저항의 평균값이 동작 중의 흐름 저항 변동보다 실질적으로 더 크게, 즉 적어도 두 배만큼 되도록 선택하여 유동관를 통하여 분산 장치로 이송되는 것이 특히 바람직하다. 즉, 분산 장치의 흐름 저항(부하 저항)은, 예를 들면, 흐름, 즉 펌프에 의하여 이송되는 체적 흐름없이 변할 수 있다.
로터리 펌프가 자신의 최대 효율의 절반 이하의 효율로 동작하는 방법은 유체의 점성, 특히 동점성(dynamic viscosity)을 결정하는데 또한 바람직하게 사용될 수 있다. 이 로터리 펌프는 펌프가 일정한 체적 흐름을 발생시키는데 사용되는 가의 여부에 상관없이 적용된다.
본 발명의 방법은 특히 CMP 공정에서 현탁액의 이송, 특히 슬러리의 이송에 사용되는 것이 바람직하다.
본 발명의 펌프 장치는 로터리 펌프로서 설계되는 것을 특징으로 한다.
다른 바람직한 방법 및 이 발명을 실행하는 방식은 종속 청구항에서 이해할 수 있을 것이다.
다음에, 본 발명을 실시예 및 첨부 도면을 참조하여 장치 및 기술적인 방법에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 로터리 펌프의 압력(상단) 또는 효율(하단)과 통과량 간의 관계를 예시하는 그래프이다.
도 2는 본 발명에 따른 방법의 실시예에 있어서 통과량(실선) 또는 압력(점선)과 회전 속도 간의 관계를 예시하는 그래프이다.
도 3은 본 발명에 따른 방법의 실시예에 있어서 로터리 펌프의 모터 전류와 회전 속도 간의 관계를 예시하는 그래프이다.
도 4는 본 발명에 따른 방법의 실시예를 실행하는 장치의 개략도이다.
도 5 내지 도 8은 도 4에 도시된 장치의 변형예의 개략도이다.
유체를 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 발생시키는 본 발명의 방법은 특히 로터리 펌프를 사용하며 이 로터리 펌프의 최대 효율의 절반 이하의 효율로 동작되는 것을 특징으로 한다. 최대 효율의 20% 정도가 바람직하다.
도 4는 본 발명에 따른 방법의 실시예를 실행하는 장치의 개략도이다. 원심 펌프로서 설계되고 회전자(10)를 갖는 로터리 펌프(1)의 유입구는 이송될 유체(5)가 들어있는 저장소(2)와 연통된다. 로터리 펌프(1)의 배출구는 유동관(4)를 거쳐노즐(61)이 제공되어 있는 분산 장치(6)와 연통된다.
특히 실질적으로 중요한 용도, 즉 본 발명의 방법이 반도체 산업에서 화학-기계 연마 공정(CMP)의 일부로서 사용되는 점을 예로 들어 설명한다. 이 공정에서, 액상의 고체 미립자인 현탁액(슬러리로 알려져 있음)이 회전 웨이퍼(7)에 가해져서 아주 미세한 반도체 구조체를 래핑 또는 연마하는 작용을 한다. 웨이퍼(7)의 회전은 도 4에 화살표(D)로 나타나 있다. 이 예에서 이송되는 유체는 슬러리라고 하는 현탁액이다.
원심 펌프로서 알려진 로터리 펌프는, 이송될 유체에 운동량을 전달하도록 회전하는 회전자 또는 임펠러 휠(impeller wheel)을 갖는 모든 종류의 펌프 장치를 의미한다. 특히 로터리 펌프는 원심 펌프(centrifugal pump), 액셜 펌프(axial pump) 및 사이드 채널 펌프(side channel pump)를 포함한다. 로터리 펌프는 일반적으로 유입구 및 배출구가 일정하게 흐르도록 연통되어 있다. 따라서, 유입구와 배출구 사이에는 예를 들어 격막이 없다.
로터리 펌프는 특히 고체 입자를 포함하는 유체 또는 고순도의 유체용으로는 완전하게 자력으로 지지되는 회전자를 갖는 것이 바람직하다. 회전자용 기계 베어링(mechanical bearing)이 없다는 것이 여러가지 장점을 갖는다. 예를 들면, 연마 입자가 기계 베어링을 손상시킬 수 있다는 문제가 방지된다. 또한, 윤활제 또는 베어링 마모로 인하여 유체가 오염될 위험이 없다.
특히 바람직한 로터리 펌프는 예를 들어 EP-A-0 819 330 또는 US-A-6,100,618에 기재되어 있다. 이 로터리 펌프는 이른바 일체식 회전자(10)를 가지고 베어링이 없는 모터로 설계된다. 일체식 회전자라는 용어는 펌프 회전자와 펌프를 구동하는 모터의 회전자가 동일하다는 의미이다. 회전자는 모터 드라이브의 회전자로서 작용할 뿐만 아니라 펌프의 회전자로서도 작용한다. 베어링이 없는 모터라는 용어는 회전자가 완전하게 자력으로 지지되고, 별개의 자기 베어링이 제공되어 있지 않다는 의미이다. 고정자는 전기 드라이브의 고정자 및 자기 서포트의 고정자이며, 극 쌍 개수가 P인 드라이브 권선 및 극 쌍 개수가 P ±1인 컨트롤 권선을 포함한다. 따라서, 모터를 구동시키고 이 모터를 고정자 내에 자력으로 완전하게 접촉되지 않도록 지지할 수 있다. 이러한 로터리 펌프에 대한 더 상세한 내용은 전술한 문헌을 참조하였다.
상기 설명에서 사용한 효율이라는 용어는 로터리 펌프의 액압 효율(hydraulic efficiency), 즉 펌프의 수력 성능(이송 성능) 대 회전자를 구동시키는(베어링 등에 선택적으로 존재하는 임의의 마찰 손실없이) 기계적 성능의 비율을 의미한다.
도 1의 상단부는 공지된 로터리 펌프(1)에 일반적인 압력 P(세로 좌표)와 통과량 또는 체적 흐름 Q(가로 좌표)과의 관계를 예시하는 그래프이다. 로터리 펌프(1)의 압력 통과 특징을 정의하는 상이한 곡선 또는 수축 밸브(restrictor) 곡선은 도 1에 분당 회전(U/min)으로 도시된 바와 같이 펌프의 상이한 회전 속도( ω)에 해당한다. 효율( η)는 도 1의 하단부에 동일한 가로 좌표를 가진 세로 좌표 상에 기입되어 있다. 최대 효율()은 로터리 펌프의 회전 속도( ω)에 도달하도록 존재한다는 점을 알 수 있을 것이다. 여기에서 최대 위치는 회전 속도에 좌우되고 도 1의 각각의 경우에 원으로 표시되어 있다.
로터리 펌프, 특히 원심 펌프는 펌핑량이 많아야 하는 겻이 중요한 경우, 즉 이송 성능이 최대이어야 하는 경우에 일반적으로 사용된다. 이 때문에, 상기 펌프는 액압 효율이 최대인 범위 내에서 동작된다. 이 범위는 도 1의 상단에 A로 표시되어 있으며 두 개의 점선으로 된 직선으로 둘러싸여 있다. 이 동작 범위 내에서는, 적합한 센서를 사용하여 적절하게 측정하지 않고는 통과량을 충분히 정확하게 결정할 수 없다.
펌프 회전자의 회전 속도와 효율이 최대 효율보다 훨씬 낮은 로터리 펌프(1)의 이들 동작 범위마다 이송된 체적 흐름 사이가 대응 관계에 있다는 점이 본 발명의 방법에서 중요하다. 도 1(상단)에 쇄선으로 표시된 직선(G) 좌측의 이들 동작 범위 내에서, 로터리 펌프(1)를 미터 펌프처럼 간단하게 사용하여 이송되는 양을 복잡하게 제어하거나 또는 이를 위한 결합된 센서가 필요없이 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 발생시킬 수 있다.
로터리 펌프(1)의 회전 속도와 유체의 체적 흐름과의 대응 관계가 이들 동작 상태에서 매우 낮은 효율로 존재하기 때문에, 로터리 펌프에 의하여 이송되는 체적 흐름은 회전 속도를 제어함으로써 원하는 값으로 즉시 설정될 수 있다. 따라서, 로터리 펌프가 미터 펌프로 사용될 수 있다.
로터리 펌프가 매우 낮은 효율로 동작하는 상기 동작 범위에 대하여 통과량(체적 흐름)(Q)과 로터리 펌프의 회전 속도( ω)와의 대응 관계가 도 2에 예시되어있다. 회전 속도( ω)에 대한 통과량(Q)의 관계는 도 2에 실선으로 예시되어 있다. 또한, 회전 속도( ω)에 대한 압력, 보다 정밀하게는 펌핑 헤드의 압력(P)은 도 2에 쇄선으로 예시되어 있다. 이들 두 가지 매개변수도 또한 대응 관계에 있다.
도 2에 도시된 관계 양자 모두는 일반적으로 직선이지만 눈금 측정으로 결정될 수 있다. 이송될 유체의 체적 흐름은 로터리 펌프의 회전 속도에 의하여 조정되는 것이 바람직하다. 이를 위하여, 도 2에 실선으로 예시된 통과량/회전 속도 곡선을 결정하기 전에 미리 눈금 측정한다. 다음에, 이 곡선은 수리 함수, 예를 들면 다항 근사치로 또는 전자 룩업 테이블로서 메모리 내에 저장될 수 있다. 원하는 실질적으로 일정한 체적 흐름에 대한 회전 속도는 로터리 펌프가 동작하는 도중에 룩업 테이블에서 검사된다. 원하는 일정한 체적 흐름은 대응하는 회전 속도를 설정함으로써 실현될 수 있다.
회전 속도와 체적 흐름과의 관계는 이송될 유체, 특히 유체 내의 내부 마찰에 대한 측정치로 알려져 있는 그 점성에 좌우된다는 점이 명확하다. 매우 낮은 효율, 바람직하기로는 최대 효율()의 20% 정도로만 작용하는 상기 동작 범위 내에서 로터리 펌프가 동작함으로써 이송될 유체의 점성이 간단한 방식으로 결정될 수 있다. 도 3을 참조하여 이에 대하여 후술한다.
도 3은 효율이 매우 적은 로터리 펌프(1)의 동작 상태에서 상이한 점성을 가진 두 가지 유체에 대한 펌프의 회전 속도( ω)와 모터 전류(I)와의 관계를 예시하는 그래프이다. F1M 및 F1Z로 표시된 쇄선 곡선은 점성이 높은 유체에 관한 것이고, F2M 및 F2Z로 표시된 실선은 점성이 낮은 유체에 관한 것이다. 각 경우의 두 개의 곡선 중 상단, 즉 F1M 또는 F2M으로 표시된 곡선은 이 동작 상태에서 펌프로 발생될 수 있는 최대 흐름(체적 흐름)에 적용되고, 각 경우의 두 개의 곡선 중 하단, 즉 F1Z 또는 F2Z로 표시된 곡선은 흐름이 전혀 발생되지 않는 경우(체적 흐름의 일정값이 제로인 경우)에 적용된다. 상세하게 후술되고 세로 좌표 상에 기입된 대형 모터 전류(I)는 회전자 또는 임펠러 휠을 구동시키는 토크의 크기이다. 특히 베어링이 없는 모터로서의 로터리 펌프의 바람직한 실시예의 경우, 회전자가 자력으로 지지되기 때문에 기계 베어링 마찰이 없어서 회전자를 구동시키는 토크가 유체에 전달되는 토크와 거의 유사할 수 있다.
실질적으로 전체 토크, 즉 임펠러 휠 또는 회전자가 유체에 전달하는 기계 동력은 로터리 펌프(1)가 도 3에 따른 동작 상태에서 동작하는 매우 낮은 효율로 인하여 액체의 마찰 손실로 전환된다. 이것은 특히 최대 흐름에 대한 곡선 F1M 및 F2M이 흐름 제로에 대한 관련 곡선 F1Z 및 F2Z와 거의 상이하지 않다는 사실로 보아 도 3에서 또한 알 수 있다. 따라서 임펠러 휠의 토크는, 회전자의 기계 동력이 액체의 마찰 손실로 거의 완전하게 전환되기 때문에, 유체의 점성, 보다 상세하게는 동점성을 위한 방법이다.
전술한 바와 같이, 회전자가 액체에 전달하는 토크는 기계적 마찰 손실을 제외하고는 회전자를 구동시키는 구동 토크에 해당한다. 이것은 특히 자력으로 지지되는 회전자에 적용된다. 구동 토크는 회전자를 구동시키는 도 3의 세로 좌표 상에 나타내어진 모터 전류에 의하여 또한 제공된다. 이 점에 있어서 모터 전류란 전기자 전류로서 또한 알려진 전기 드라이브 내 전류 토크 형성부를 의미한다. 전기자 전류는, 특히 필드-오리엔티드(field-oriented) 3상 모터 및 직류 모터에서 회전자를 구동시키는 토크를 위한 매우 양호한 수단이다.
따라서, 도 3에 예시된 동작 범위, 즉 로터리 펌프가 최대 효율의 단지 일부만으로 작동하는 동작 범위 내에서, 펌프를 구동시키는 모터 전류와 유체의 점성 사이에는 직접적인 관련이 있다. 따라서, 이송될 유체의 동점성은 모터 전류를 측정함으로써 간단하고 온라인 상에서 결정될 수 있다. 회전자의 일정한 회전 시험 속도()는 점성을 결정하도록 설정되고 모터 전류는 상기 회전 시험 속도()로 결정되는 것이 바람직하다. 유체의 점성은 이렇게 결정된 모터로부터, 예를 들면 눈금 측정과 계산을 비교함으로써 알 수 있다. 점성은 로터리 펌프의 배출구를 폐쇄, 즉 일정한 체적 흐름을 제로로 설정함으로써 특히 정확하게 결정될 수 있다. 도 3의 곡선 F1Z 및 F2Z는 임펠러 휠 또는 회전자의 총 기계 동력이 액체 마찰로 전환되는 그러한 상태에 해당한다.
유체의 점성을 결정하는 이 간단한 방법은 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 이송하는 것이 아닌 다른 응용에도 또한 사용될 수 있다.
체적 흐름과 회전 속도 간의 도 2에 예시된 관계는 상이한 점성에 대하여 결정되고 일반적으로 전자 룩업 테이블 형태로나 수리 근사값으로 저장된다. 소정량의 유체가 로터리 펌프(1)로 이송되는 경우, 유체의 점성이 소정의 회전 시험 속도 (도 3 참조)로 먼저 결정된다(점성이 이미 공지되어 있지 않은 경우). 이어서, 체적 흐름과 회전 속도 간의 이 점성에 속하는 대응 관계(도 2 참조)가 선택되고, 이송될 유체의 각각의 원하는 일정한 체적 흐름은 회전자 또는 임펠러 휠의 회전 속도를 거쳐 설정된다.
다른 바람직한 방법은 유동관(4)의 흐름 저항을 유동관(4)의 흐름 저항 및 부하 저항으로 알려져 있는 분산 장치(6)의 흐름 저항으로 이루어지는 총 흐름 저항에 대한 압력 강하가 분산 장치(6)에서의 가능한 압력 변동보다 실질적으로 더 커지도록 설계되는 단계를 포함한다. 유동관(4) 및 분산 장치(6)의 총 흐름 저항은 그 평균값이 동작 도중에 흐름 저항의 변동보다 실질적으로 더 커지도록 선택되는 것이 바람직하다. "실질적으로 큰"이라는 말은 "적어도 두 배만큼 더 큰"이라는 의미로 이해된다.
유동관(4) 및 분산 장치(6)의 부하 저항 또는 총 흐름 저항은, 예를 들면, 동작 중에 시간이 지나면서 필터가 서서히 클로그 됨으로써 변할 수 있다.
분산 장치(6)에서는, 예를 들면, 분산 장치(6)의 펌핑 헤드 또는 흐름 저항을 변화시킴으로써 압력이 변동될 수 있다.
또한, 총 흐름 저항에 대한 압력 강하가 로터리 펌프(1)의 유입구에서의 압력 강하보다, 예를 들면 저장소 또는 저장 용기(2)의 충전 레벨을 변경시킴으로써, 실질적으로 더 크도록 선택되는 것이 바람직하다.
도 4의 배열에 있어서, 부하 저항은 노즐(61)에 의하여 실질적으로 결정된다.
유동관(4) 및 분산 장치(6)를 평균적으로 이들의 변동보다 실질적으로 더 큰흐름 저항으로 설계하는 방법은 이송되는 유체의 흐름 또는 체적 흐름이 부하 저항의 변화와 상관없다는 것이 장점이다(부하 저항의 변화가 총 흐름 저항의 평균보다 훨씬 적은 경우). 따라서, 유체(5)의 일정한 체적 흐름이 변하지 않고 액압 부하 저항이 변할 수 있다.
유동관(4)의 흐름 저항은 변하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 이송될 유체(5)와 일치될 수 있다. 또한, 유동관(4)의 흐름 저항이 변함으로써, 유동관(4) 및 분산 장치(6)의 총 흐름 저항이 평균적으로 이들의 변동보다 실질적으로 더 크거나 또는 총 흐름 저항에 대한 압력 강하가 분산 장치(6)에서의 압력 변동보다 실질적으로 더 크게 되는 것이 보장될 수 있다.
유동관(4)의 흐름 저항을 변화시키는 한 가지 방법이 도 4에 예시되어 있다. 하나 이상의 루프(41)가 유동관(4)에 형성될 수 있다.
유동관(4)의 흐름 저항을 변화시키는 다른 가능한 방법이 도 5에 예시되어 있다. 여기에서 유동관(4)은 조정가능한 밸브(42)를 갖고, 이 밸브의 단면이 자유롭게 흐르도록 되어 있어 흐름 저항을 변화시킬 수 있다.
또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 수축 라인(restrictor line)(43)에 의하여 유동관(4)의 흐름 저항을 당연히 변화시킬 수 있다. 이 점에서 흐름 저항은 수축 라인(43)의 길이 및/또는 단면에 의하여 조정될 수 있다.
여러 적용, 예를 들면 반도체에 감광 레지스트를 적용하는데 있어서, 소정 체적의 유체가 이송되는 것이 바람직하다. 이것 또한 본 발명의 방법으로 실현될 수 있다. 본 발명에 따르면, 로터리 펌프(1)에 의하여 조정할 수 있는 실질적으로일정한 체적 흐름으로 이송되기 때문에, 소정량의 유체는 예를 들면 시간 제어식의 온/오프 밸브를 사용하여 계량될 수 있다.
이를 위하여, 도 7에 도시된 바와 같이, 온/오프 밸브(8) 또는 다른 차단 장치가 유동관(4) 또는 분산 장치(6)에 제공되고, 상기 차단 장치는 유동관(4)과 분산 장치(6) 사이를 개폐시킨다. 로터리 펌프(1)는 시간별로 일정한 체적 흐름으로 이송하기 때문에, 웨이퍼에 가해지는 유체량은 온/오프 밸브(8)의 시간 제어를 통하여 정확하게 계량될 수 있다. 이 점에 있어서 로터리 펌프(1)의 특정한 장점은, 공지된 수많은 체적 펌프와 달리, 로터리 펌프(1)는 온/오프 밸브(8)가 유동관(4)을 폐쇄했을 때 계속해서 작동될 수 있다는 점이다. 로터리 펌프(1)를 폐쇄된 배출구에 대항하여 작업시키는 문제가 없다. 온/오프 밸브는 당연히 제어가능한 밸브 또는 조절 밸브로서 또한 설계될 수 있다.
도 8에 도시된 배열로 다른 바람직한 방법이 실현될 수 있다. 이 배열에서, 유동관(4)은 로터리 펌프(1) 하류에 위치된 두 개의 분기관(branch)(4a, 4b)으로 분기된다. 분기관(4a)은 전술한 방식과 동일하게 온/오프 밸브(8)를 거쳐 분산 장치(6)로 통한다. 제2 분기관(4b)은 저장소(2) 내로 복귀된다. 분기관(4b)을 개폐시킬 수 있는 다른 밸브(9)가 제2 분기관에 제공된다. 밸브(9)가 개방되어 있는 경우, 유체(5)가 적어도 부분적으로 저장소(2) 내로 재순환된다.
이 방법은 예를 들면 현탁액, 특히 슬러리 용액에 대하여 응집, 상 분리, 침전 또는 퇴적되기 쉬운 유체에 대하여 특히 바람직하다. 또한, 저장소 내의 유체(5)는 재순환으로 인하여 계속 움직임으로써 일정하게 혼합된다.
밸브(9)는, 예를 들면, 일정하게 개방되거나 또는 부분적으로 개방되어 유체(5)가 분기관(4b)을 통하여 일정하게 재순환될 수 있다. 그러나, 예를 들어 온/오프 밸브(8)가 폐쇄되었을 때 밸브(9)를 개방시키고 그 반대로 밸브(8)가 개방되었을 때 밸브(9)를 폐쇄시킬 수 있다. 밸브(9)는 당연히 온/오프 밸브(8)와 상관없이 또한 개폐될 수 있다.
따라서, 발생될 유체를 로터리 펌프, 예를 들면, 원심 펌프에 의하여 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 발생시키는 본 발명에 따른 방법이 제공된다. 이를 위해서 대응하는 센서의 도움으로 로터리 펌프의 통과량을 조절할 필요가 없고, 오히려 원하는 체적 흐름은 회전 속도를 제어(즉, 추가 제어없이)함으로써 설정된다.
본 발명의 방법은 기재된 응용, 즉 슬러리 현탁액의 이송 또는 CMP 공정에만 한정되는 것은 당연히 아니다. 또한, 현탁액, 에멀젼, 페인트, 식품(예를 들면, 쥬스 또는 농축액)의 이송, 또는 필름 및 벨트의 코팅에 특히 적합하다.
본 발명에 있어서, 펌프 장치는 화학-기계 연마 공정(CMP)에서 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 슬러리를 발생시키고 또는 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 코팅액, 예를 들면 감광 레지스트를 발생시키도록 또한 제공되고, 이 펌프 장치는 로터리 펌프(1)로 설계되는 것을 특징으로 한다.

Claims (14)

  1. 유체를 펌프 장치에 의하여 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 발생시키는 방법에 있어서,
    상기 유체(5)는 상기 펌프 장치(1)에 의하여 저장소(2)로부터 유동관(4)으로 이송되고,
    로터리 펌프(1)가 상기 펌프 장치로서 사용되고, 상기 로터리 펌프(1)는 자신의 최대 효율() 절반 이하의 효율로 동작되는
    유체 발생 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 로터리 펌프(1)는 자신의 최대 효율()의 20% 정도로만 동작되는 유체 발생 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 유체(5)는 상기 유동관(4)을 통하여 분산 장치(6)로 이송되고,
    상기 유동관(4) 및 상기 분산 장치(6)의 총 흐름 저항은 그 평균값이 동작 도중의 변동보다 실질적으로 더 크도록 선택되는
    유체 발생 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유체(5)는 상기 유동관(4)을 통하여 상기 분산 장치(6)로 이송되고,
    상기 유동관(4) 및 상기 분산 장치(6)의 총 흐름 저항은 상기 총 흐름 저항에 대한 압력 강하가 상기 분산 장치에서의 압력 변동보다 실질적으로 더 크도록 선택되는
    유체 발생 방법.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유체(5)는 상기 유동관(4)을 통하여 상기 분산 장치(6)로 이송되고,
    상기 유동관(4) 및 상기 분산 장치(6)의 총 흐름 저항은 상기 총 흐름 저항에 대한 압력 강하가 상기 로터리 펌프 유입구에서의 압력 변화보다 실질적으로 더 크도록 선택되는
    유체 발생 방법.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유동관(4)의 흐름 저항은 변할 수 있고, 이송될 유체(5)의 흐름 저항과 일치되는 유체 발생 방법.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 체적 흐름은 상기 로터리 펌프(1)의 회전 속도에 의하여 설정되는 유체 발생 방법.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    온/오프 밸브(8)가 상기 유동관(4) 및 상기 분산 장치(6)에 제공되는 유체 발생 방법.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유체(5)가 상기 저장소(2) 내로 적어도 부분적으로 재순환되는 유체 발생 방법.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 로터리 펌프(1)는 일체식 회전자(10)를 가지고, 베어링이 없는 모터로 설계되는 유체 발생 방법.
  11. 특히 CMP 공정에서 현탁액, 특히 슬러리를 이송하기 위한 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 유체 발생 방법의 용도.
  12. 유체의 점성을 결정하기 위한 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 유체 발생 방법의 용도.
  13. 화학-기계 연마 공정(chemical-mechanical polishing process: CMP)에서 슬러리를 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 발생시키는 펌프 장치에 있어서,
    상기 펌프 장치가 로터리 펌프(1)로 설계되는
    펌프 장치.
  14. 코팅 유체, 예를 들면, 감광 레지스트를 조정할 수 있는, 실질적으로 일정한 체적 흐름으로 발생시키는 펌프 장치에 있어서,
    상기 펌프 장치가 로터리 펌프(1)로 설계되는
    펌프 장치.
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Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4004296B2 (ja) 2002-01-28 2007-11-07 テルモ株式会社 遠心式液体ポンプ装置
US7413497B2 (en) * 2003-11-10 2008-08-19 Texas Instruments Incorporated Chemical mechanical polishing slurry pump monitoring system and method
US7297047B2 (en) * 2005-12-01 2007-11-20 Applied Materials, Inc. Bubble suppressing flow controller with ultrasonic flow meter
TWI384123B (zh) * 2006-02-23 2013-02-01 Levitronix Technologies Llc 旋轉泵，具有旋轉泵的液體動力混合機，及使用旋轉泵來處理流體
EP1936205A1 (de) * 2006-12-22 2008-06-25 Grundfos Management A/S Verfahren zum Betreiben eines drehzahlregelbaren Kreiselpumpenaggregats
CN101738868B (zh) * 2008-11-14 2012-07-25 沈阳芯源微电子设备有限公司 一种高精度光刻胶分配泵控制装置及其控制方法
CN101758420B (zh) * 2008-12-08 2016-04-20 香港科技大学 一种提供冷却的系统、装置及方法
DE102009026592B4 (de) 2009-05-29 2014-08-28 Sorin Group Deutschland Gmbh Vorrichtung zur Festlegung des venösen Zuflusses zu einem Blutreservoir eines extrakorporalen Blutkreislaufs
DE102009027195A1 (de) * 2009-06-25 2010-12-30 Sorin Group Deutschland Gmbh Vorrichtung zur Förderung von Blut in einem extrakorporalen Kreislauf
DE102010011798B4 (de) 2010-03-17 2017-07-13 Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Druck- oder Volumenstrombestimmung von medizinischen Fluiden
DE102010012050B4 (de) 2010-03-19 2016-09-29 Fresenius Medical Care Deutschland Gmbh Hämodialysemaschine
EP2545948B1 (en) 2011-07-12 2014-04-16 Sorin Group Italia S.r.l. Dual chamber blood reservoir
US9938970B2 (en) * 2011-12-16 2018-04-10 Fluid Handling Llc Best-fit affinity sensorless conversion means or technique for pump differential pressure and flow monitoring
US10465674B2 (en) * 2012-07-26 2019-11-05 Hp Indigo B.V. Method and system for determining a pump setpoint
ITRM20130076A1 (it) * 2013-02-12 2014-08-13 Gianfranco Cappello Pompa ad infusione per infondere ad un paziente soluzioni acquose e non acquose, in particolare non omogenee.
WO2015173611A1 (en) 2014-05-16 2015-11-19 Sorin Group Italia S.R.L. Blood reservoir with fluid volume measurement based on pressure sensor
DE102015207405A1 (de) * 2014-05-21 2015-12-10 Heidelberger Druckmaschinen Ag Verfahren zum Betrieb eines Druckmaschinen-Pumpenaggregats
EP3088016A1 (de) * 2015-04-29 2016-11-02 Berlin Heart GmbH Pumpeneinrichtung sowie verfahren zum betrieb einer pumpe für flüssigkeiten
GB2543048B (en) * 2015-10-05 2022-06-08 Equinor Energy As Estimating flow rate at a pump
JP7187187B2 (ja) * 2018-06-28 2022-12-12 株式会社荏原製作所 ポンプ選定図作成装置、およびポンプ選定装置
JP7099890B2 (ja) * 2018-06-28 2022-07-12 株式会社荏原製作所 ポンプ選定装置、ポンプ選定システム、およびポンプ選定方法
CN109093523B (zh) * 2018-09-12 2020-11-17 中国矿业大学 一种机械辊压生成磨料浆体射流装置
JP2020128745A (ja) 2019-02-01 2020-08-27 ホワイト ナイト フルイド ハンドリング インコーポレーテッドＷｈｉｔｅ Ｋｎｉｇｈｔ Ｆｌｕｉｄ Ｈａｎｄｌｉｎｇ Ｉｎｃ． ロータを支承し、当該ロータを磁気的に軸線方向に位置決めするための磁石を有するポンプ、及びこれに関連する方法
EP3696968A1 (de) * 2019-02-18 2020-08-19 Baier & Köppel GmbH & Co. KG Ansteuerverfahren und ansteuereinheit für einen gleichstrompumpenmotor
CN109973346A (zh) * 2019-03-28 2019-07-05 杭州精进科技有限公司 泵的工作方法
DE102019127714B3 (de) 2019-10-15 2021-02-25 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Antriebsstrang mit Hydraulikeinheit
JP2022176057A (ja) * 2022-01-11 2022-11-25 株式会社西村ケミテック 薬液供給装置及び薬液供給方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4032391A (en) * 1975-09-03 1977-06-28 Union Carbide Corporation Low energy recovery compounding and fabricating systems for plastic materials
DE2601487C3 (de) * 1976-01-16 1980-02-14 Horst Henning Dr.-Ing. 7000 Stuttgart Winter Viskosimeter
FR2572527B1 (fr) * 1984-10-30 1987-12-11 Bertin & Cie Procede et dispositif de mesure de caracteristiques rheologiques d'un fluide, en particulier d'un fluide biologique tel que le sang
US4940385A (en) * 1989-04-25 1990-07-10 Gurth Max Ira Rotary disc pump
DE4037142A1 (de) * 1990-11-22 1992-05-27 Bosch Gmbh Robert Elektromotorisch betriebene hydropumpe
US5307288A (en) * 1991-06-07 1994-04-26 Haines Lawrence A Unitary fluid flow production and control system
DE4243118A1 (de) * 1992-12-21 1994-06-23 Continental Ag Verfahren zur Konstanthaltung des Druckes in einem hydraulischen System
KR100344716B1 (ko) * 1993-09-20 2002-11-23 가부시키 가이샤 에바라 세이사꾸쇼 펌프의운전제어장치
FR2716640B1 (fr) * 1994-02-28 1996-05-03 Procedes Machines Speciales Dispositif de centrage et de blocage d'une pièce en vue de son rodage à l'aide d'un rodoir à expansion.
CA2210762C (en) 1995-04-03 2008-06-17 Sulzer Electronics Ag Rotary machine with an electromagnetic rotary drive
JP2882325B2 (ja) * 1995-11-14 1999-04-12 日本電気株式会社 マグネットポンプ
JP3553255B2 (ja) * 1996-01-31 2004-08-11 Ｎｔｎ株式会社 粘度計測機能付磁気浮上型ポンプ
AT404192B (de) * 1996-05-02 1998-09-25 Anton Paar Gmbh Rotationsviskosimeter
US5785681A (en) * 1997-02-25 1998-07-28 Minimed Inc. Flow rate controller for a medication infusion pump
AUPO902797A0 (en) * 1997-09-05 1997-10-02 Cortronix Pty Ltd A rotary blood pump with hydrodynamically suspended impeller
US6250880B1 (en) * 1997-09-05 2001-06-26 Ventrassist Pty. Ltd Rotary pump with exclusively hydrodynamically suspended impeller
US5945346A (en) * 1997-11-03 1999-08-31 Motorola, Inc. Chemical mechanical planarization system and method therefor
DE59814131D1 (de) * 1998-06-22 2008-01-10 Levitronix Llc Verfahren zur Bestimmung der Viskosität einer Flüssigkeit
US6241485B1 (en) * 1999-12-29 2001-06-05 John W. Warwick Wastewater flow control system
US6669439B2 (en) * 2001-05-10 2003-12-30 Tesma International Inc. Variable flow impeller-type water pump with movable shroud

Also Published As

Publication number Publication date
EP1284370A1 (de) 2003-02-19
ATE457427T1 (de) 2010-02-15
DE50214204D1 (de) 2010-03-25
US6676383B2 (en) 2004-01-13
CN1262766C (zh) 2006-07-05
US7055376B2 (en) 2006-06-06
KR100888849B1 (ko) 2009-03-17
US20040101415A1 (en) 2004-05-27
CN1407241A (zh) 2003-04-02
EP1284369A1 (de) 2003-02-19
US20030035730A1 (en) 2003-02-20
EP1284370B1 (de) 2010-02-10
TW548377B (en) 2003-08-21
JP2003155995A (ja) 2003-05-30

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