KR20030014751A - Load board feeder - Google Patents

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KR20030014751A
KR20030014751A KR10-2003-7000252A KR20037000252A KR20030014751A KR 20030014751 A KR20030014751 A KR 20030014751A KR 20037000252 A KR20037000252 A KR 20037000252A KR 20030014751 A KR20030014751 A KR 20030014751A
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KR
South Korea
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loadboard
load board
test head
base
block
Prior art date
Application number
KR10-2003-7000252A
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Korean (ko)
Inventor
한분웡
히옹탄석
키아트요친
Original Assignee
어드밴스드 마이크로 디바이시즈, 인코포레이티드
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Publication date
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    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • GPHYSICS
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    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
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    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
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Abstract

로드보드 공급 장치(200)가 검사헤드(310)의 중앙 부분에 고정된다. 로드보드 공급 장치(200)는 리프팅 장치(45)를 사용하여 위치결정 블록(40)의 수직 방향 이동을 제어한다. 로드보드(325)는 위치결정 블록(40) 위에 놓여 있고, 위치결정 블록(40) 위에 있는 위치결정 장치(50)는 로드보드(325)가 검사헤드(310)와 확실히 정렬되도록 한다. 로드보드 공급 장치(200)가 로드보드(325)를 내려 놓을 때, 로드보드(235)는 정밀한 포고 핀(320)들을 손상시키지 않고 검사헤드(310) 위에 정확하게 착좌된다.The load board supply device 200 is fixed to the central portion of the test head 310. The load board supply device 200 controls the vertical movement of the positioning block 40 using the lifting device 45. The load board 325 lies on the positioning block 40, and the positioning device 50 above the positioning block 40 ensures that the load board 325 is aligned with the test head 310. When the loadboard feeder 200 puts down the loadboard 325, the loadboard 235 is correctly seated on the test head 310 without damaging the precise pogo pins 320.

Description

로드보드 공급 장치{LOAD BOARD FEEDER}Load board feeder {LOAD BOARD FEEDER}

검사헤드(test head)와 로드보드는 새롭게 제조된 집적회로의 기능을 검사하는 데 사용된다. 검사될 집적회로는 검사하기 전에 로드보드에 연결된다. 검사 중에, 이 검사헤드는 로드보드(325)(도 9)에 부착된 집적회로에 전원을 공급하고 전류를 조절한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 검사헤드(310)는 원형이고, 중간부에 구멍을 구비할 수 있다. 채널카드(315)들이 내부 구멍(312)의 외주 주위에 배치되고, 채널카드(315)의 상부 표면 위에는 포고 핀(pogo pin)(320)들이 포함되어 있다. 도12에 도시된 바와 같이, 포고 핀(320)은 스프링 가압 핀으로서, 예를 들면, 핀 부분(322)이 스프링 수용부(324) 안으로 후퇴할 수 있고, 로드보드(325) 저면의 슬롯(326)을 통하여 검사헤드의 채널카드(315)와 로드보드(325) 사이에 전기적 접촉을 제공한다.Test heads and load boards are used to test the functionality of newly manufactured integrated circuits. The integrated circuit to be inspected is connected to the load board before inspection. During the test, the test head supplies power and regulates current to the integrated circuit attached to the load board 325 (FIG. 9). As shown in FIG. 3, the test head 310 may be circular and have a hole in the middle portion. Channel cards 315 are disposed around the outer periphery of the inner hole 312, and pogo pins 320 are included on the top surface of the channel card 315. As shown in FIG. 12, the pogo pin 320 is a spring pressing pin, for example, the pin portion 322 may retract into the spring receiving portion 324, and the slot ( 326 provides electrical contact between the channel card 315 of the test head and the load board 325.

로드보드들은 집적회로의 기능을 검사하는 데 사용되는 전자-기계적 인쇄 회로 기판이다. 로드보드는 검사헤드에 래치 방식으로 체결되고, 이에 따라 검사헤드와 적절히 정렬되어야만 포고 핀(320)이 로드보드와 올바르게 접촉하게 된다. 검사헤드(310)에 연결된 채널카드(315)의 포고 핀(320)과 전기적으로 접촉해 있는 로드보드(325)가 도 13에 개략적으로 도시되어 있다. 로드보드(325) 저면의 슬롯(326)이 포고 핀(320)과 로드보드(325) 사이의 접촉점으로 도시되어 있다.Loadboards are electromechanical printed circuit boards used to test the functionality of integrated circuits. The loadboard is fastened to the test head in a latched manner so that the pogo pin 320 contacts the load board correctly in order to be properly aligned with the test head. A load board 325 in electrical contact with the pogo pin 320 of the channel card 315 connected to the test head 310 is schematically illustrated in FIG. 13. The slot 326 at the bottom of the loadboard 325 is shown as the point of contact between the pogo pin 320 and the loadboard 325.

통상적으로, 로드보드는 검사헤드 위에 수동으로 놓여지는데, 이 경우 몇 가지 문제가 있다. 로드보드를 수동으로 검사헤드 위에 위치시키는 경우, 로드보드를 검사헤드와 정렬시키기 어렵기 때문에 포고 핀(320)과 로드보드(325)가 부적절하게 접촉하게 될 수 있다. 결과적으로, 로드보드를 검사헤드와 정렬시키기 위하여, 로드보드가 수동으로 위치된 최초의 위치로부터 옮겨져 조절된다. 그러나 로드보드와 이미 접촉되어 있는 포고 핀(320)은 스프링 가압형이기 때문에, 쉽게 구부러져 부러진다. 포고 핀(320)이 손상되면, 이 손상된 포고 핀(320)을 부품으로 하는 채널카드(315)의 교체가 필요하다. 또한, 채널카드(315)의 교체는 검사헤드를 중단시키고, 이에 따라 생산을 지연시키고 추가적인 비용을 발생시킨다.Typically, the loadboard is placed manually on the test head, which has some problems. When the load board is manually placed on the test head, the pogo pin 320 and the load board 325 may be inadequate contact because the load board is difficult to align with the test head. As a result, in order to align the loadboard with the test head, the loadboard is moved and adjusted from the original position where it was manually placed. However, since the pogo pin 320 already in contact with the load board is spring-loaded, it is easily bent and broken. If the pogo pin 320 is damaged, it is necessary to replace the channel card 315 including the damaged pogo pin 320 as a component. In addition, the replacement of the channel card 315 stops the inspection head, thus delaying production and incurring additional costs.

본 발명은 집적회로 검사용 로드보드에 관한 것으로, 특히 검사헤드에 로드보드를 장착하는 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an integrated circuit inspection load board, and more particularly to an apparatus for mounting a load board on an inspection head.

본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 제한적 의미가 아닌 예시적인 방법으로 설명되어 있고, 동일한 도면 부호는 동일한 요소를 나타낸다.The invention has been described by way of example and not by way of limitation, with reference to the accompanying drawings, in which like reference characters designate like elements.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 로드보드 공급 장치를 도시한 도면이다.1 is a view showing a load board supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 로드보드 공급 장치에 대한 분해 조립도이다.FIG. 2 is an exploded view of the load board supplying device of FIG. 1.

도 3은 도 1의 로드보드 공급 장치에 사용되는 검사헤드를 도시한 도면이다.3 is a view illustrating an inspection head used in the load board supplying device of FIG. 1.

도 4는 도 3의 검사헤드의 중앙 구멍을 관통하는 도 1의 로드보드 공급 장치에 사용되는 공기 호스를 도시한 도면이다.4 is a view showing an air hose used in the load board supplying device of FIG. 1 passing through the central hole of the inspection head of FIG.

도 5는 도 2의 검사헤드의 중앙 구멍에 삽입되기 위하여 위치된 도 1의 로드보드 공급 장치를 도시한 도면이다.5 shows the loadboard supply of FIG. 1 positioned to be inserted into the central hole of the test head of FIG.

도 6은 도 3의 검사헤드의 중앙 구멍에 삽입되어 검사헤드의 중앙 링에 부착된 도 1의 로드보드 공급 장치를 도시한 도면이다.6 is a view of the load board supplying device of FIG. 1 inserted into the center hole of the test head of FIG. 3 and attached to the center ring of the test head.

도 7은 도 6의 로드보드 공급 장치 위에 적절하게 착좌된 로드보드 보강재(명료하게 나타내기 위해 로드보드는 도시하지 않았음)를 도시한 도면이다.FIG. 7 shows a loadboard reinforcement (loadboard not shown for clarity) properly seated on the loadboard feeder of FIG. 6.

도 8은 내부에 중앙 삽입물을 포함하는 로드보드 보강재에 부착된 로드보드의 저면도이다.8 is a bottom view of a loadboard attached to a loadboard reinforcement having a central insert therein.

도 9는 도 6의 로드보드 공급 장치 위에 착좌된 도 8의 로드보드 보강재에 부착된 로드보드를 도시한 도면이다.9 illustrates a load board attached to the load board reinforcement of FIG. 8 seated on the load board supplying device of FIG. 6.

도 10은 상승 위치에 있는 도 1의 로드보드 공급 장치를 도시한 도면이다.10 shows the loadboard supply of FIG. 1 in an elevated position.

도 11은 하강 위치에 있는 도 1의 로드보드 공급 장치를 도시한 도면이다.FIG. 11 shows the loadboard supply of FIG. 1 in a lowered position. FIG.

도 12는 도 10의 로드보드 공급 장치가 상승 위치에 있을 때, 로드보드가 제거된 포고 핀을 도시한 도면이다.FIG. 12 illustrates pogo pins with the loadboard removed when the loadboard supply device of FIG. 10 is in the raised position.

도 13은 도 11의 로드보드 공급 장치가 하강 위치에 있을 때, 로드보드와 접촉하고 있는 포고 핀을 도시한 도면이다.FIG. 13 shows pogo pins in contact with the loadboard when the loadboard supply device of FIG. 11 is in the lowered position.

집적회로의 검사와 관련된 검사헤드의 채널카드 위의 포고 핀들이 구부러져 부러지는 것을 방지할 필요가 있다. 또한, 로드보드가 검사헤드와 적절하게 정렬되도록 할 필요가 있다. 본 발명은 이러한 요구와 기타의 요구를 충족시키기 위한 것으로서, 로드보드와 검사헤드가 올바르게 정렬되도록 하고, 로드보드를 검사헤드 위에 위치시키기 위한 자동화된 시스템을 제공한다. 본 발명에 따르면, 로드보드 공급 장치(load board feeder)는 검사헤드의 중앙 구멍 안에 설치된다. 이 로드보드 공급 장치에는, 로드보드가 검사헤드와 적절히 정렬되었을 때 로드보드를 맞물리게 하는 위치결정장치가 있다. 또한, 로드보드 공급 장치는, 검사헤드의 채널카드 위의 포고 핀에 손상을 줄 수 있는 충격을 가하지 않고도 로드보드를 검사헤드 위의 착좌 위치에 내려 놓을 수 있는 장치를 포함한다. 이 장치는 검사헤드 채널카드 위에 있는 정밀한 포고 핀이 로드보드를 수동으로 위치시켜 정렬시키는 과정에서 과도하게 손상되는 것을 방지할 수 있다.It is necessary to prevent the pogo pins on the channel card of the test head associated with the test of the integrated circuit from bending and breaking. It is also necessary to ensure that the loadboard is properly aligned with the test head. The present invention is to meet these and other needs, and provides an automated system for ensuring that the loadboard and test head are properly aligned and positioning the load board over the test head. According to the invention, a load board feeder is installed in the central hole of the test head. This load board supply apparatus has a positioning device that engages the load board when the load board is properly aligned with the test head. The loadboard supply also includes a device that allows the loadboard to be placed in a seated position on the test head without impacting the pogo pins on the channel card of the test head. The device prevents the precise pogo pins on the testhead channel card from being excessively damaged during the manual positioning and alignment of the loadboard.

따라서 본 발명의 하나의 특징은 로드보드를 중앙 구멍이 있는 검사헤드 위로 위치시키기 위한 로드보드 공급 장치에 관한 것이다. 로드보드 공급 장치는 기부와, 이 기부에 연결되는 몸체를 포함한다. 부착 장치가 상기 몸체에 연결되어 상기 로드보드 공급 장치를 상기 검사헤드에 부착시킨다. 리프팅 장치가 상기 기부와 연결되고, 이 리프팅 장치에 부착된 블록을 수직방향으로 이동시킨다. 상기 블록은 로드보드 위치결정 장치를 포함하고, 로드보드를 검사헤드 위에 위치시키기 전에 로드보드를 위한 정지 위치의 역할을 한다.One feature of the present invention therefore relates to a loadboard feeding device for positioning the loadboard over a centered inspection head. The loadboard supply includes a base and a body connected to the base. An attachment device is connected to the body to attach the loadboard supply device to the inspection head. A lifting device is connected with the base and moves the block attached to the lifting device in the vertical direction. The block includes a loadboard positioning device and serves as a stop position for the loadboard before placing the loadboard on the inspection head.

다른 실시예에서, 상기 로드보드 공급 장치는 실린더 형상을 가지며, 원형의 블록 위에 로드보드 위치결정 장치를 포함한다. 상기 로드보드 위치결정 장치는 상기 블록에 부착된 원형의 판과, 상기 블록과 판을 맞물리게 하는 디스크를 포함한다. 상기 원형 블록에는, 이 원형 블록과 중심이 동일하지 않은 원형의 공동이 있다. 마찬가지로, 상기 원형 판에는, 상기 블록 안에 있는 원형 공동과 정렬되는 원형의 구멍이 있다. 상기 원형 디스크의 외부 직경은 충분히 작아, 상기 원형 디스크는 상기 원형의 구멍과 공동 안에 꼭 들어맞을 수 있다. 상기 원형 디스크의 상부는 상기 판의 상부 위로 돌출됨으로써, 로드보드에 대한 맞물림 요소를 제공한다.In another embodiment, the loadboard supply device has a cylindrical shape and includes a loadboard positioning device on a circular block. The loadboard positioning device includes a circular plate attached to the block, and a disk for engaging the plate with the block. The circular block has a circular cavity whose center is not the same as the circular block. Likewise, the circular plate has a circular hole aligned with the circular cavity in the block. The outer diameter of the circular disk is small enough so that the circular disk can fit snugly into the cavity and the cavity. The top of the circular disk projects above the top of the plate, thereby providing an engagement element for the loadboard.

따라서 본 발명의 다른 특징은 로드보드를 중앙 구멍이 있는 검사헤드 위로 착좌시키는 방법에 관한 것이다. 리프팅 장치와, 로드보드를 검사헤드와 정렬시키기 위한 위치결정 장치를 포함하는 로드보드 공급 장치는 검사헤드의 중앙 구멍 안에 부착된다. 상기 로드보드 공급 장치가 상승 위치에 놓여지고, 로드보드가 로드보드 공급 장치 위에 놓여진다. 상기 로드보드는 로드보드 위치결정 장치에 맞물리도록 조절된다. 상기 로드보드가 로드보드 위치결정 장치와 맞물리면, 검사헤드와 정렬된다. 상기 리프팅 장치가 작동되면 로드보드가 검사헤드 위의 착좌 위치로 로드보드의 위치로 내리 눌려서 검사헤드에 래치 방식으로 체결된다.Another aspect of the invention thus relates to a method of seating a loadboard over a test head with a central hole. A loadboard supply device comprising a lifting device and a positioning device for aligning the loadboard with the test head is attached in the center hole of the test head. The loadboard feeder is placed in an elevated position and the loadboard is placed over the loadboard feeder. The loadboard is adjusted to engage the loadboard positioning device. When the loadboard is engaged with the loadboard positioning device, it is aligned with the test head. When the lifting device is operated, the load board is pushed down to the position of the load board to a seating position on the test head and latched to the test head.

본 발명의 다른 장점은, 본 발명을 실시하는 데 가장 적합한 형태를 예시하는 방법으로만 나타내진, 다음의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다. 본 발명에 있어서, 기타의 다른 실시예가 가능하고, 몇몇의 세부 사항은 본 발명의 본질을 벗어나지 않으면서 많은 자명한 방법으로 수정될 수 있다. 따라서 도면과 발명의 설명은 본질적으로 예시적인 것이며 제한적인 의미로 해석되지 않는다.Other advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description, which is shown only by way of illustrating the most suitable form for carrying out the invention. In the present invention, other other embodiments are possible, and some of the details can be modified in many obvious ways without departing from the spirit of the invention. Accordingly, the drawings and description of the invention are exemplary in nature and not to be construed in a limiting sense.

집적회로를 검사하기 위하여 로드보드를 검사헤드 위로 정렬하고 착좌시켜검사용 배열로 놓이게 하는 장치에 대하여 설명한다. 아래의 기재에서는, 본 발명의 완전한 이해와 설명의 목적으로, 많은 특정의 세부사항들이 제시된다. 그러나 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서, 본 발명은 이러한 특정의 세부사항들 없이도 실시 가능함은 명백하다. 다른 실시예에서는, 본 발명이 필요 없이 불명료하게 되는 것을 피하기 위하여, 공지의 구조물 및 장치는 블록선도의 형태로 제시된다.An apparatus is described for aligning and seating a load board over an inspection head to test an integrated circuit and placing it in an inspection arrangement. In the following description, for purposes of complete understanding and explanation, many specific details are set forth. It will be apparent, however, to one of ordinary skill in the art that the present invention may be practiced without these specific details. In other embodiments, well-known structures and devices are shown in block diagram form in order to avoid obscuring the present invention without necessity.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 로드보드 공급 장치를 도시한 도면이다. 상기 로드보드 공급 장치는 로드보드가 검사헤드 위에 위치되기 전에 검사헤드와 적절하게 정렬되게 한다. 또한 상기 로드보드 공급 장치는 검사헤드 위로 로드보드의 위치를 낮춘다. 상기 로드보드 공급 장치는 상기 로드보드를 검사헤드 위로 정렬시키고 기계적으로 낮춤으로써, 로드보드가 수동으로 검사헤드 위로 위치될 때 흔히 일어나는 현상, 즉, 채널카드의 정밀한 포고 핀이 구부러지거나 부러지는 현상을 방지한다.1 is a view showing a load board supply apparatus according to an embodiment of the present invention. The loadboard supply allows the loadboard to be properly aligned with the test head before being placed over the test head. The loadboard supply also lowers the position of the loadboard above the test head. The load board supply unit aligns the load board over the test head and mechanically lowers it, so that a phenomenon commonly occurring when the load board is manually positioned over the test head, i.e., the precise pogo pins of the channel card is bent or broken prevent.

<본 발명의 실시예의 조립>Assembly of Embodiments of the Invention

도 1 및 2를 참조하여, 본 발명의 실시예에 있어서의 구성 요소들과 이들의 조립과정을 설명한다. 로드보드 공급 장치(200)를 검사헤드에 부착시키는 데 사용되는 상부 링(10)에는, 이를 관통하는 고정용 구멍(11)과 기둥 고정용 구멍(13)이 있다. 고정용 구멍(11)과 기둥 고정용 구멍(13)은 평평한 헤드를 갖는 나사의 상부가 상부 링(10)의 표면과 높이가 같게 놓여지도록 접시형(countersunk)의 형상을 갖는다.1 and 2, the components and the assembly process thereof in the embodiment of the present invention will be described. The upper ring 10 used to attach the load board supply device 200 to the test head has a fixing hole 11 and a pillar fixing hole 13 penetrating it. The fixing hole 11 and the pillar fixing hole 13 have a countersunk shape so that the top of the screw with the flat head is placed flush with the surface of the upper ring 10.

억지 끼워 맞춤(press fit)을 통하여, 상부 링(10)의 저면에서, 핀(15)이 핀 구멍(12) 안으로 삽입된다. 로드보드 공급 장치(200)가 검사헤드(310)(도 3)에 부착될 때, 핀(15)은, 중앙 구멍(312)을 둘러싸고 있는 중앙 링(300)에 있는 핀 구멍(도3에 미도시)과 정렬된다. 핀(15)들은 상부 링(10)의 주위에서 동일한 간격을 갖지 않기 때문에, 핀(15)이 상기 핀 구멍에 정렬될 때, 상기 로드보드 공급 장치가 검사헤드(310)와 정확하게 정렬하게 된다.Through a press fit, at the bottom of the upper ring 10, a pin 15 is inserted into the pin hole 12. When the loadboard feeder 200 is attached to the test head 310 (FIG. 3), the pin 15 is located in the pin hole (not shown in FIG. 3) in the center ring 300 surrounding the center hole 312. Line). Since the pins 15 do not have the same spacing around the upper ring 10, when the pin 15 is aligned with the pin hole, the loadboard feeder is correctly aligned with the test head 310.

기부 판의 기둥(20)은 상기 로드보드 공급 장치의 몸체 역할을 한다. 기부 판(70)과 상부 링(10)을 연결하는 그 어떤 기계적 요소들도 몸체로서 기능할 수 있기 때문에, 본 발명에서 상기 기둥이 몸체 역할을 할 수 있는 유일한 것은 아니다. 예를 들면, 특정한 실시예에서는, 공기 튜브(109)에 대한 컷아웃을 갖는 실린더가 상기 기둥(20)을 대신한다. 기부 판의 기둥(20)은 나사산이 있는 스터드(stud)(72)를 통하여, 예를 들면, 기부 판(70)에 부착된다. 기부 판 기둥의 각 단부는 나사산이 있는 스터드 구멍(71)을 포함하고, 이 중 하나가 나사산이 있는 스터드(72)를 수용함으로써, 기부 판 기둥(20)을 기부 판(70)에 연결시키게 된다. 기부 판 기둥(20)의 반대편 단부는 상부 링(10)의 저면에 기대진다. 상부 링(10)을 관통하는 기둥 고정용 구멍(13)은, 나사산이 있는 스터드 구멍(71)을 통하여 나사가 상기 상부 링(10)을 기부 판 기둥(20)에 고정할 수 있도록 한다. 기둥 고정용 구멍(13)은 평평한 헤드를 갖는 나사의 상부가 상부 링(10)의 표면과 높이가 같게 놓여지도록 접시형(countersunk)의 형상을 갖는다.The pillar 20 of the base plate serves as the body of the loadboard supply device. Since any mechanical elements connecting the base plate 70 and the upper ring 10 can function as a body, the pillar is not the only one in the present invention that can serve as the body. For example, in certain embodiments, a cylinder having a cutout for the air tube 109 replaces the pillar 20. The pillar 20 of the base plate is attached to the base plate 70, for example, via a threaded stud 72. Each end of the base plate column includes threaded stud holes 71, one of which receives the threaded stud 72, thereby connecting the base plate column 20 to the base plate 70. . The opposite end of the base plate column 20 rests against the bottom of the upper ring 10. The pillar fixing hole 13 penetrating the upper ring 10 allows a screw to fix the upper ring 10 to the base plate column 20 through a threaded stud hole 71. The pillar fixing hole 13 has a countersunk shape such that the top of the screw with the flat head is flush with the surface of the upper ring 10.

로드보드 공급 장치의 기부 판(70)은 기부 판 기둥(20)과 공기식 지그 실린더(45)를 부착시키기 위한 발판을 제공한다. 또한, 슬라이드 부싱(65)과 블록 가이드 축(60)이 기부 판(70)에 부착된다. 예를 들면, 공기식 지그 실린더(45)가 나사(74)에 의해 고정되어 기부 판(7)의 구멍(73)을 통하여 돌출된다. 또한, 예를 들면, 슬라이드 부싱(65)의 일단에는 플랜지(66)가 형성되어 있다. 슬라이드 부싱(65)이 구멍(64)을 통하여 돌출됨으로써, 플랜지(66)는 기부 판(70)의 저면과 접촉하고, 그리고 슬라이드 부싱(65)은 기부 판(70)을 관통하게 된다. 플랜지(66)를 통과하는 나사(도면 미도시)가 슬라이드 부싱(65)을 기부 판(70)에 고정한다.The base plate 70 of the loadboard supply device provides a foothold for attaching the base plate column 20 and the pneumatic jig cylinder 45. In addition, a slide bushing 65 and a block guide shaft 60 are attached to the base plate 70. For example, the pneumatic jig cylinder 45 is fixed by the screw 74 and protrudes through the hole 73 of the base plate 7. For example, a flange 66 is formed at one end of the slide bushing 65. As the slide bushing 65 protrudes through the hole 64, the flange 66 contacts the bottom of the base plate 70, and the slide bushing 65 passes through the base plate 70. Screws (not shown) passing through the flange 66 secure the slide bushing 65 to the base plate 70.

가이드 축(60)은 슬라이드 부싱(65)을 관통한다. 각각의 가이드 축(60)에는 가이드 축에 부착되는 정지부(80)가 있기 때문에, 가이드 축(60)이 기부 판(70)과 단절되는 것이 방지된다. 예를 들면, 정지부(80)는 가이드 축(60)의 단부에 용접되거나 나사에 의하여 고정될 수 있다.Guide shaft 60 penetrates through slide bushing 65. Since each guide shaft 60 has a stop 80 attached to the guide shaft, the guide shaft 60 is prevented from being disconnected from the base plate 70. For example, the stop 80 can be welded to the end of the guide shaft 60 or fixed by screws.

로드보드 위치결정 블록(40)은, 공기식 지그 실린더(45)에 부착된다. 예를 들면, 위치결정 블록(40)은 공기식 지그 실린더(45)에 용접되거나, 또는 공기식 지그 실린더(45)의 단부에 나사산이 형성되어, 위치결정 블록(40)의 바닥에 있는 나사산이 있는 구멍에 수용될 수 있다. 로드보드 위치결정 블록(40)의 상부 표면에는 적어도 하나의 원형 공동(41)이 있다. 위치결정용 디스크(50)의 형상은 상기 로드보드 위치결정용 블록(40)의 상부 표면 위에 있는 공동(41) 안에 맞도록 되어 있다.The load board positioning block 40 is attached to the pneumatic jig cylinder 45. For example, the positioning block 40 is welded to the pneumatic jig cylinder 45, or a thread is formed at the end of the pneumatic jig cylinder 45, so that the thread at the bottom of the positioning block 40 It can be accommodated in a hole. There is at least one circular cavity 41 on the top surface of the loadboard positioning block 40. The shape of the positioning disk 50 is adapted to fit within the cavity 41 on the top surface of the loadboard positioning block 40.

로드보드 위치결정 판(30)은 로드보드 위치결정 블록(40)의 상부 표면에 고정되고, 내부를 통과하는 구멍(31)을 구비함으로써 공동 (41) 안에 놓여 있는 위치결정용 판(50)이 로드보드 위치결정 판(30)을 관통하도록 한다. 위치결정용 디스크(50)와 구멍(31) 및/또는 공동(41) 사이에는 억지 끼워 맞춤이 구비될 수 있지만, 본 발명은 이러한 억지 끼워 맞춤을 필요로 하지 않는다. 위치결정 판(30)은, 위치결정 판(30)의 표면과 높이가 같도록 접시형의 형상을 하는 나사 등에 의하여 고정된다. 위치결정 판(30)은 위치결정 블록(40)이 마모되는 것을 방지한다.The loadboard positioning plate 30 is fixed to the upper surface of the loadboard positioning block 40 and has a hole 31 passing therein so that the positioning plate 50 lying in the cavity 41 is provided. It penetrates through the load board positioning plate 30. Although an interference fit may be provided between the positioning disk 50 and the hole 31 and / or the cavity 41, the present invention does not require such an interference fit. The positioning plate 30 is fixed by a screw or the like having a dish shape such that the height of the positioning plate 30 is the same as that of the surface of the positioning plate 30. The positioning plate 30 prevents the positioning block 40 from wearing out.

로드보드 위치결정 블록의 가이드 축(60)은 슬라이드 부싱(65)을 통하여 자유롭게 활주하고, 용접, 나사 또는 기타의 부착 수단으로 로드보드 위치결정 블록(40)의 저면에 부착된다. 위치결정 블록의 가이드 축(60)은 슬라이드 부싱(65)과 함께 동작함으로써, 공기식 지그 실린더(45)가 위치결정 블록(40)을 이동시킬 때, 위치결정 블록(40)이 부드럽게 이동할 수 있도록 한다. 로드보드 위치결정 블록의 가이드 축(60)의 단부에 부착된 가이드 축 정지기(80)는, 공기식 지그 실린더(45)가 로드보드 위치결정 블록(400)을 로드보드 공급 장치의 기부 판(70)의 위쪽으로 너무 멀리 들어 올려지는 것을 방지한다.The guide shaft 60 of the loadboard positioning block slides freely through the slide bushing 65 and is attached to the bottom of the loadboard positioning block 40 by welding, screws or other attachment means. The guide shaft 60 of the positioning block works with the slide bushing 65 so that the positioning block 40 can move smoothly when the pneumatic jig cylinder 45 moves the positioning block 40. do. The guide shaft stopper 80 is attached to the end of the guide shaft 60 of the load board positioning block, and the pneumatic jig cylinder 45 moves the load board positioning block 400 to the base plate of the load board supply device ( 70) to prevent lifting too far upwards.

상기 구성 부품들은 알루미늄으로 이루어짐으로써, 로드보드 공급 장치의 중량이 최소한으로 유지되고, 상기 검사헤드에서 발생되는 열이 로드보드 공급 장치에 악영향을 끼치지 않도록 하는 것이 바람직하다. 그러나 본 발명은 구조물의 재료를 알루미늄에 한정하는 것은 아니다.The component parts are made of aluminum, so that the weight of the load board supply device is kept to a minimum, and it is preferable that heat generated from the inspection head does not adversely affect the load board supply device. However, the present invention does not limit the material of the structure to aluminum.

제어 박스(90)는 기계적 공기 스위치 제어 수단(95)을 수용한다. 공기 제어 밸브(100)가 상기 기계적 공기 스위치(95)에 부착되어 공기식 지그 실린더(54)의 동작에 대하여 압축된 공기를 조절하게 된다. 튜브 이음쇠(110)는 압축 공기를 공기식 지그 실린더(45)의 안팎으로 이동시킨다. 튜브 이음쇠(110)는 공기 공급 튜브(109)에 의하여 공기 제어 수단(100)에 연결된다.The control box 90 houses the mechanical air switch control means 95. An air control valve 100 is attached to the mechanical air switch 95 to regulate the compressed air relative to the operation of the pneumatic jig cylinder 54. Tube fitting 110 moves compressed air into and out of pneumatic jig cylinder 45. The tube fitting 110 is connected to the air control means 100 by an air supply tube 109.

<검사헤드 사양>Inspection Head Specification

이하에서 설명하는 검사헤드는 중공 중앙부(hollow center)가 있는 M973 테라다인 검사기(M973 Teradyne Tester)의 검사헤드이지만, 중공 중앙부가 있는 임의의 검사헤드가 본 발명에서 사용될 수 있다. 도 3에 도시된 검사헤드(310)에는 그 중앙을 관통하는 원형의 구멍(312)이 있다. 구멍(312)의 상부 면은 링(300)을 형성한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 중앙 링(300)의 내부 부분이 밀링 등에 의하여 제거됨으로써, 립(lip)(306)이 형성된다. 로드보드 공급 장치(200)가 검사헤드(310)에 착좌될 때, 립(306)은 상부 링(10)을 둘러쌈으로써 로드보드 공급 장치(200)가 중앙에 위치되는 것을 돕지만, 반드시 필요한 것은 아니다. 중앙 링(300) 안으로 뚫어진 구멍(305)에는 나사산이 형성되어 있어, 고정 수단, 예를 들면 나사가 상부 링(10)을 통하여 로드보드 공급 장치(200)를 검사헤드(310)에 고정하는 장소를 제공한다.The test head described below is a test head of the M973 Teradyne Tester with a hollow center, but any test head with a hollow center may be used in the present invention. The inspection head 310 shown in FIG. 3 has a circular hole 312 penetrating the center thereof. The upper face of the hole 312 forms a ring 300. As shown in FIG. 3, the inner portion of the center ring 300 is removed by milling or the like, thereby forming a lip 306. When the loadboard feeder 200 is seated on the test head 310, the lip 306 surrounds the upper ring 10 to help the loadboard feeder 200 be centered, but is necessary. It is not. A hole is formed in the hole 305 which is drilled into the center ring 300 so that the fixing means, for example, the place where the screw fixes the load board supply device 200 to the test head 310 through the upper ring 10. To provide.

또한, 검사헤드(310)는 로드보드의 검사를 제어하는 데 사용되는 채널카드(315)를 포함한다. 채널카드(315)의 상부에 있는 포고 핀(320)은 채널카드, 다시 말하면 검사헤드와 로드보드(325)(도 9) 사이에 전기적 접촉을 제공한다. 지지부(302)는 검사헤드(310)의 강성을 보장한다.In addition, the inspection head 310 includes a channel card 315 used to control the inspection of the load board. The pogo pin 320 on top of the channel card 315 provides electrical contact between the channel card, ie the test head and the load board 325 (FIG. 9). The support 302 ensures the rigidity of the test head 310.

<실시예에 따른 로드보드 공급 장치를 성형된 검사헤드 안으로의 착좌 및 고정>Seating and fixing of the load board supplying device according to the embodiment into the molded test head

도 4는, 도 1과 도 2의 로드보드 공급 장치(200)를 도 3에 도시된 바와 같이구성된 검사헤드(310) 안으로 착좌시키는 초기 단계를 나타낸다. 공기 호스(109)는 검사헤드(310)의 저면으로부터 넣어져 중앙 구멍(312)을 통하여 공기식 지그 실린더(45)에 연결된다. 도 4에 도시된 바와 같이, 로드보드 공급 장치(200)는 상기 검사헤드(310)의 위쪽에서 검사헤드(310)의 안으로 착좌된다.4 shows the initial stage of seating the loadboard supply device 200 of FIGS. 1 and 2 into an inspection head 310 constructed as shown in FIG. 3. The air hose 109 is inserted from the bottom of the test head 310 and connected to the pneumatic jig cylinder 45 through the central hole 312. As shown in FIG. 4, the loadboard supply device 200 is seated into the test head 310 above the test head 310.

도 5는 로드보드 공급 장치(200)를 검사헤드(310)의 중앙 구멍(312)에 정렬시키는 것을 나타낸다. 도 5에 도시된 바와 같이, 기부 판(70)의 외주는 검사헤드(310)의 중앙 구멍(312)을 통과할 정도로 충분히 작기 때문에, 로드보드 공급 장치(200)의 몸체, 즉, 기부 판 기둥(20), 공기식 지그 실린더(45), 및 블록 가이드 축(60)은 중앙 구멍(312)을 통과할 수 있다. 그러나, 상부 링(10)의 외주는 립(306)(도3) 안에 딱 들어맞아, 검사헤드(310)의 중앙 링(300) 위에 놓여진다. 따라서 상부 링(10)은 로드보드 공급 장치(200)가 검사헤드(310) 안의 중앙 구멍(312)을 완전히 관통하는 것을 방지한다.5 illustrates aligning the loadboard feeder 200 with the central hole 312 of the test head 310. As shown in FIG. 5, since the outer circumference of the base plate 70 is small enough to pass through the central hole 312 of the inspection head 310, the body of the loadboard supply device 200, that is, the base plate column. 20, pneumatic jig cylinder 45, and block guide shaft 60 may pass through central hole 312. However, the outer circumference of the upper ring 10 fits into the lip 306 (FIG. 3) and rests on the center ring 300 of the inspection head 310. Accordingly, the upper ring 10 prevents the loadboard supply device 200 from completely penetrating the center hole 312 in the test head 310.

도 6은 검사헤드(310)의 중앙 링(300) 위에 착좌된 로드보드 공급 장치(200)의 상부 링(10)을 나타낸다. 로드보드 공급 장치(200)가 검사헤드(310)와 정확하게 정렬하면, 상부 링(10)의 저면에 있는 핀(15)은 중앙 링(300)의 상부에 있는 핀 구멍(도면 미도시)과 일치하게 된다. 나사가 상부 링(10)에 있는 고정용 구멍(11)을 통과하여 나사산이 형성된 구멍(305) 안으로 삽입됨으로써, 로드보드 공급 장치(200)를 검사헤드(310)에 고정시킨다. 로드보드 공급 장치(200)의 상부는 채널카드(315)의 상부와 거의 평행하다. 도 6에 도시된 바와 같이, 상승 위치에서, 로드보드 공급 장치(200)의 상부, 즉 위치결정 판(30)은 채널카드(315)의 상부와 이것으로부터 돌출되어 있는 포고 핀(32)의 위쪽에 위치하게 된다. 로드보드 공급 장치(200)의 상부가 포고 핀(320)의 위쪽에 위치하게 함으로써, 로드보드(325)(도 9)가 로드보드 공급 장치(200) 위에 장착될 때, 도 12에 도시된 바와 같이, 로드보드(325)와 포고 핀(320)이 서로 접촉하지 않도록 한다.6 shows the top ring 10 of the loadboard feeder 200 seated above the center ring 300 of the test head 310. When the loadboard feeder 200 is correctly aligned with the test head 310, the pins 15 at the bottom of the upper ring 10 coincide with the pin holes (not shown) at the top of the center ring 300. Done. The screw is inserted into the threaded hole 305 through the fixing hole 11 in the upper ring 10, thereby fixing the loadboard supply device 200 to the test head 310. The top of the load board supply device 200 is substantially parallel to the top of the channel card 315. As shown in FIG. 6, in the raised position, the upper portion of the loadboard supply apparatus 200, that is, the positioning plate 30, is the upper portion of the channel card 315 and the upper portion of the pogo pin 32 protruding therefrom. It is located at. By placing the upper portion of the loadboard supply device 200 above the pogo pin 320, when the loadboard 325 (FIG. 9) is mounted over the loadboard supply device 200, as shown in FIG. 12. Likewise, the load board 325 and the pogo pin 320 do not contact each other.

<실시예의 로드보드 공급 장치 위로 로드보드 장착><Mounting the load board over the load board supply device of the embodiment>

명료하게 하기 위하여, 도 7은 로드보드 공급 장치(200) 위로 장착된, 로드보드(325)가 없는 로드보드 보강재(400)를 나타낸다. 로드보드 보강재(400)를 로드보드 공급 장치(200) 위로 장착하기 전에, 보강재 삽입물(410)이 로드보드 보강재(400)의 중앙부 안쪽에 부착된다. 예를 들면, 보강재 삽입물(410)과, 로드부드 보강재(400)의 내부 개구부 사이의 공차는 억지 끼워 맞춤을 일으키거나, 또는 보강재 삽입물(410)이 나사 또는 이와 유사한 고정 수단, 또는 용접 등에 의하여 제자리에 유지된다. 보강재 삽입물(410)과 로드보드 보강재(400)의 상부가 대체로 평행인 한, 보강재 삽입물(410)이, 로드보드 보강재(400)의 상부와 동일한 평면에 놓이는지 여부 또는 로드보드 보강재(400)의 상부 아래에 놓이는지 여부 및 동일 평면에 있는지 여부는 상대적으로 중요하지 않다. 로드보드 보강재(400)와 보강재 삽입물(410)이 대체로 평행한 관계에 있기 때문에, 보강재 삽입물(410)이 위치결정 판(30)에 평평하게 접촉할 때, 즉 기울어져 있지 않을 때, 로드보드 보강재(400) (및 로드보드 보강재(400)의 상부에 부착된 로드보드(325))는 로드보드 공급 장치(200)의 상부와 대체로 평행하게 된다. 로드보드 보강재(400)가 로드보드 공급 장치(200) 위에 장착될 때, 로드보드 보강재(400)는 보강재 삽입물(410)이 로드보드 위치결정 판(30) 위에 놓여지도록 위치된다. 그 다음, 로드보드 보강재(400)는 위치결정용 디스크(50)가 보강재 삽입물(410) 안의 위치결정용 구멍(420)과 맞물릴 때까지 부드럽게 회전한다. 보강재 삽입물(410)은 평평하게 위치결정 판(30)에 접촉하고, 검사헤드(310)와 정확하게 정렬하게 된다.For clarity, FIG. 7 shows a loadboard reinforcement 400 without a loadboard 325, mounted over the loadboard feeder 200. Before mounting the loadboard stiffener 400 over the loadboard feeder 200, a stiffener insert 410 is attached inside the central portion of the loadboard stiffener 400. For example, the tolerance between the stiffener insert 410 and the inner opening of the rodbud stiffener 400 may cause an interference fit, or the stiffener insert 410 may be in place by screws or similar fastening means, welding, or the like. Is maintained on. As long as the stiffener insert 410 and the top of the loadboard stiffener 400 are generally parallel, whether the stiffener insert 410 lies in the same plane as the top of the loadboard stiffener 400 or of the loadboard stiffener 400. Whether it lies below the top and whether it is coplanar is relatively unimportant. Because the loadboard stiffener 400 and the stiffener insert 410 are in a generally parallel relationship, when the stiffener insert 410 is in flat contact with the positioning plate 30, that is, when it is not tilted, the loadboard stiffener 400 (and the load board 325 attached to the top of the load board reinforcement 400) is generally parallel to the top of the load board supply device 200. When the loadboard stiffener 400 is mounted over the loadboard feeder 200, the loadboard stiffener 400 is positioned so that the stiffener insert 410 is placed on the loadboard positioning plate 30. The rodboard reinforcement 400 then rotates gently until the positioning disk 50 engages with the positioning holes 420 in the reinforcement insert 410. The stiffener insert 410 flatly contacts the positioning plate 30 and is exactly aligned with the test head 310.

로드보드(325)가 로드보드 보강재(400)의 상부면에 부착된 상태에 있는 로드보드 보강재(400)의 저면이 도 8에 도시되어 있다. 로드보드(325)는 로드보드 보강재(400)의 단단한 버팀목(402)들 사이에서 관찰되고, 로드보드(325)의 저면에는, 각각이 채널카드(315) 및 이에 관계된 포고 핀(320)들을 수용하도록 되어 있는 많은 슬롯(326)들이 포함되어 있음을 알 수 있다. 상술한 바와 같이, 삽입물(410)은 로드보드 보강재(400)의 중앙부에 부착된다. 삽입물(410)은 로드보드 보강재가 위치결정 판(30)(도6) 위에 놓여지도록 한다. 삽입물(410) 안의 구멍(420) 크기는 위치 선전용 디스크(50)를 수용할 수 있도록 되어 있다. 로드보드(325)는 예정된 방법으로 로드보드 보강재(400)에 고정됨으로써, 위치결정용 디스크(50)가 구멍(420)과 맞물릴 때, 로드보드(325)가 검사헤드(310)와 정확하게 정렬되도록 한다. 로드보드(325)는, 예를 들면 나사 또는 이에 유사한 고정수단으로 로드보드 보강재(400)에 고정된다. 도 8에 도시된 바와 같이, 로드보드가 부착된 로드보드 보강재(400)가 도 7에 도시된 방식과 동일한 방식으로 로드보드 공급 장치(200) 위에 장착될 때, 로드보드(325)는 자동적으로 검사헤드(310)와 정확하게 정렬하게 된다.The bottom surface of the load board reinforcement 400 with the load board 325 attached to the top surface of the load board reinforcement 400 is shown in FIG. 8. The loadboard 325 is observed between the rigid struts 402 of the loadboard reinforcement 400, and at the bottom of the loadboard 325, each receives a channel card 315 and associated pogo pins 320. It will be appreciated that many slots 326 are included to be included. As described above, the insert 410 is attached to the central portion of the load board stiffener 400. Insert 410 allows the loadboard reinforcement to rest on positioning plate 30 (FIG. 6). The size of the hole 420 in the insert 410 is adapted to accommodate the positional promotional disk 50. The load board 325 is fixed to the load board reinforcement 400 in a predetermined manner so that when the positioning disk 50 is engaged with the hole 420, the load board 325 is accurately aligned with the test head 310. Be sure to The load board 325 is fixed to the load board reinforcement 400 by, for example, a screw or similar fastening means. As shown in FIG. 8, when the loadboard reinforcement 400 to which the loadboard is attached is mounted on the loadboard supply apparatus 200 in the same manner as shown in FIG. 7, the loadboard 325 automatically It is precisely aligned with the test head 310.

도 9는, 로드보드 보강재(400)의 예를 나타내는 도면으로서, 로드보드(325)가 부착된 로드보드 보강재(400)가 검사헤드(310)에 부착된 로드보드 공급장치(200)(도면 미도시) 위에 장착된 예를 나타낸다. 도 9에서, 로드보드 공급 장치(200)는 도 10에 도시된 것과 마찬가지로 상승 위치에 있고, 로드보드(325)는 도 12에 도시된 것과 마찬가지로 포고 핀(320)들과 접촉하지 않는다. 도 11에 도시된 것과 같이 로드보드 공급 장치(200)가 하강 위치로 옮겨지면, 로드보드(325)는 도 13에 도시된 것과 마찬가지로 포고 핀(320)들과 접촉하고, 검사헤드(310)의 상부와 대체로 동일 높이에 위치하게 된다.9 is a view showing an example of the load board reinforcement 400, the load board reinforcement 400 with the load board 325 attached to the test head 310, the load board supply device 200 (not shown in the figure) An example is shown above. In FIG. 9, the loadboard supply 200 is in the elevated position as shown in FIG. 10, and the loadboard 325 does not contact the pogo pins 320 as shown in FIG. 12. When the loadboard supply device 200 is moved to the lowered position as shown in FIG. 11, the loadboard 325 contacts the pogo pins 320 as shown in FIG. 13, and the It is usually at the same height as the top.

<실시예에 따른 로드보드 공급 장치의 동작><Operation of Load Board Supply Device According to Embodiment>

상술한 바와 같이, 로드보드(325)는 로드보드 보강재(400)에 부착된다. 상술한 바와 같이, 로드보드 공급 장치(200)는 검사헤드(310)에 부착된다. 그 다음, 로드보드(325)는 로드보드 공급 장치(200) 위로 장착되어, 상술한 바와 같이, 검사헤드(310)와 자동적으로 정렬하게 된다.As described above, the load board 325 is attached to the load board reinforcement 400. As described above, the load board supply device 200 is attached to the test head 310. Then, the load board 325 is mounted on the load board supply device 200, and automatically aligned with the test head 310, as described above.

기계적 공기 스위치(95)가 하강 위치로 이동됨으로써 공기식 지그 실린더(45)를 동작시켜 로드보드(325)를 검사헤드(310) 위로 위치시킨다. 블록 가이드 축(60)은 로드보드(325)를 부드럽게 움직이게 하여, 로드보드(325)의 저면에 있는 슬롯(326)이 채널카드(315)의 상부에 있는 포고 핀(320)과 맞물릴 때, 역 충격이 발생되지 않도록 한다. 위치결정 블록(40)의 움직임을 부드럽게 제어하면서 로드보드(325)를 검사헤드(310)와 정확하게 정렬시킴으로써, 로드보드 공급 장치(200)는 포고 핀(320)을 손상시키지 않고 포고 핀(320)들을 로드보드(325)에 확실히 접촉시키게 된다.The mechanical air switch 95 is moved to the lowered position to operate the pneumatic jig cylinder 45 to position the load board 325 above the test head 310. The block guide shaft 60 smoothly moves the loadboard 325 so that when the slot 326 at the bottom of the loadboard 325 engages with the pogo pin 320 at the top of the channel card 315, Avoid back shock. By precisely aligning the loadboard 325 with the test head 310 while smoothly controlling the movement of the positioning block 40, the loadboard feeder 200 does not damage the pogo pins 320 without damaging the pogo pins 320. Are firmly brought into contact with the load board 325.

도 11은 완전히 하강 위치에 놓여진 로드보드 공급 장치(200)를 나타낸다. 이러한 하강 위치에서, 위치결정 판(30)은 상부 링(10) 보다 약간 아래에 위치함으로써, 로드보드(325)가 포고 핀(350)(도 13)과 맞물리도록 하고, 또한 로드보드 공급 장치(200)에 의해 모든 포고 핀(320)들과 접촉되도록 한다. 로드보드(325)가 채널카드(315)와 맞물릴 때, 각각의 채널카드(315)의 포고 핀(320)들은, 포고 핀 부분(322)과 맞물리는 수용체(327)(도 12)를 구비하는 로드보드(325)의 저면에 있는 슬롯(326)과 접촉된다. 로드보드(325)가 착좌되면, 각각의 포고 핀(320)의 부분(324)에 있는 스프링이 압축된다. 포고 핀의 부분(324) 안에서 스프링이 압축함으로써, 채널카드(315)들 상호간에 약간의 높이 차가 있는 경우에도, 로드보드(325)가 검사헤드(310)의 내부에 있는 여러 채널카드(315)들 위에 있는 모든 포고 핀(320)들과 접촉할 수 있게 된다. 일단 로드보드(325)가 검사헤드(310) 위에 착좌하면, 로드보드(325)는 검사헤드(310)에 연결된다. 예를 들면, 이러한 연결은 검사헤드(310) 위에 있는 래치 버튼(도면 미도시)을 누름으로써 행해진다.11 shows the loadboard feeder 200 in a fully lowered position. In this lowered position, the positioning plate 30 is located slightly below the upper ring 10, thereby allowing the loadboard 325 to engage the pogo pin 350 (FIG. 13), and furthermore, the loadboard supply device ( 200 to make contact with all pogo pins 320. When the loadboard 325 is engaged with the channel card 315, the pogo pins 320 of each channel card 315 have a receptor 327 (FIG. 12) that engages with the pogo pin portion 322. Is in contact with the slot 326 on the bottom of the load board (325). When the loadboard 325 is seated, the spring in the portion 324 of each pogo pin 320 is compressed. As the spring compresses in the portion 324 of the pogo pins, the loadboard 325 may have several channel cards 315 inside the inspection head 310 even if there is a slight height difference between the channel cards 315. All pogo pins 320 on the field can be contacted. Once the load board 325 is seated on the test head 310, the load board 325 is connected to the test head 310. For example, such a connection is made by pressing a latch button (not shown) on the test head 310.

로드보드(325)를 검사헤드(310)와 단절시킴으로써, 로드보드(325)가 검사헤드(310)로부터 제거된다. 예를 들면, 이러한 단절은 검사헤드(310) 위에 있는 래치 해제 버튼(도면 미도시)을 누름으로써 행해질 수 있다. 기계적 공기 스위치(95)가 상승 위치로 이동됨으로써, 공기식 지그 실린더(45)를 동작시켜 위치결정 블록(40)을 상승시킨다. 상술한 바와 같이, 블록 가이드 축(60)은 위치결정 블록(40)을 부드럽게 움직이게 한다. 이러한 부드러운 움직임에 의하여, 포고 핀(320)들과 분리되는 로드보드(325)의 갑작스런 움직임에 의하여 포고 핀(320)들이 손상되는 것이방지된다.By disconnecting the load board 325 from the test head 310, the load board 325 is removed from the test head 310. For example, such disconnection can be done by pressing a latch release button (not shown) on the inspection head 310. By moving the mechanical air switch 95 to the raised position, the pneumatic jig cylinder 45 is operated to raise the positioning block 40. As described above, the block guide shaft 60 makes the positioning block 40 move smoothly. By this smooth movement, the pogo pins 320 are prevented from being damaged by the sudden movement of the load board 325 which is separated from the pogo pins 320.

이에 따라, 로드보드(325)가 부착된 로드보드 보강재(400)는, 로드보드(325)가 포고 핀(320)과 더 이상 접촉하게 되지 않는 위치로 올려지게 된다. 일단 로드보드 공급 장치(200)가 완전히 상승 위치(도10)에 도달하면, 로드보드(325)가 부착된 로드보드 보강재(400)가 로드보드 공급 장치(200)로부터 완전하게 제거된다.Accordingly, the load board reinforcement 400 to which the load board 325 is attached is raised to a position where the load board 325 is no longer in contact with the pogo pin 320. Once the loadboard feeder 200 has reached the fully elevated position (FIG. 10), the loadboard reinforcement 400 to which the loadboard 325 is attached is completely removed from the loadboard feeder 200.

본 발명에 따르면, 로드보드가 검사헤드에 착좌되기 전에, 로드보드와 검사헤드가 미리 정렬된다. 또한, 본 발명에 따르면, 상기 로드보드는 부드럽고도 제어된 방법으로 수직 방향으로 이동된다. 본 발명에 따르면, 로드보드와 검사헤드를 미리 정렬시켜 서로 부드럽게 맞물리게 함으로써, 검사헤드와 로드보드 사이에 전기적 접촉을 제공하는, 검사헤드 안의 채널카드의 일부를 구성하는 정밀한 포고 핀 위에 역 충격이 가해지는 것이 일소된다. 본 발명은, 수동으로 로드보드를 검사헤드 위로 위치시켜 로드보드가 검사헤드 위에 놓여진 후에 로드보드를 검사헤드와 정확하게 정렬하도록 정렬하는 경우에 발생하는, 포고 핀에 대한 손상의 상당량을 감소시킨다. 포고 핀들에 대한 손상을 감소시킴으로써, 본 발명은 검사헤드가 집적회로를 검사하는 데 사용될 수 있는 시간을 증가시키고, 값비싼 채널카드를 교체 주기를 현저히 증가시키게 된다.According to the invention, the loadboard and the test head are pre-aligned before the loadboard is seated on the test head. In addition, according to the invention, the loadboard is moved in the vertical direction in a smooth and controlled manner. According to the present invention, a back impact is applied on the precise pogo pins that make up a portion of the channel card in the test head, which pre-aligns the load board and the test head to smoothly engage each other, thereby providing electrical contact between the test head and the load board. Losing is erased. The present invention reduces the amount of damage to pogo pins that occurs when manually positioning the loadboard over the test head to align the load board with the test head precisely after it has been placed on the test head. By reducing damage to pogo pins, the present invention increases the time that an inspection head can be used to inspect integrated circuits and significantly increases the replacement cycle of expensive channel cards.

이제까지 본 발명의 가장 실용적이고 바람직한 실시예로 여겨지는 것과 관련하여 설명되었지만, 본 발명은 본 명세서에 개시된 실시예에 한정되지 않고, 오히려, 첨부된 특허청구범위에 기재된 발명의 본질 및 범위에 포함되는 다양한 수정과 균등한 장치들을 포함할 수 있다.Although described in connection with what is thus considered to be the most practical and preferred embodiment of the invention, the invention is not limited to the embodiments disclosed herein, but rather is intended to be included within the spirit and scope of the invention as set forth in the appended claims. Various modifications and equivalent devices may be included.

Claims (10)

중공 중앙부가 있는 검사헤드 위로 로드보드를 착좌시키는 로드보드 공급 장치로서,A loadboard feeder that seats a loadboard over an inspection head with a hollow center 기부(70)와,Base 70, 상기 기부에 연결되는 몸체(20)와,A body 20 connected to the base, 상기 몸체(20)에 연결되어 상기 로드보드 공급 장치를 검사헤드(310)에 부착시키도록 구성된 부착 장치(10)와,An attachment device 10 connected to the body 20 and configured to attach the load board supply device to an inspection head 310; 상기 기부(70)의 상부 면에 부착된 리프팅 장치(45)와,A lifting device 45 attached to the upper surface of the base 70, 상기 리프팅 장치(45)의 바닥 면에 부착된 블록(40)과,A block 40 attached to the bottom surface of the lifting device 45, 상기 블록(40) 위에서 로드보드(325)를 수용하도록 배치된 로드 보드 위치결정 장치(50)를 포함하고,A load board positioning device 50 arranged to receive a load board 325 above the block 40, 상기 블록(40)은 상기 리프팅 장치(45)에 의하여 수직 방향으로 이동하여 로드보드(325)를 검사헤드(310) 위로 착좌 및 탈착시키는 것을 특징으로 하는 로드보드 공급 장치.The block 40 is moved by the lifting device 45 in the vertical direction to load and load the load board 325 over the test head 310, characterized in that the load board supply device. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 로드보드 공급 장치는 상기 검사헤드(310)의 중공 중앙부 안에 들어 맞도록 성형되어 있고,The load board supply device is molded to fit within the hollow central portion of the test head 310, 상기 몸체(20)는, 제1 단부가 상기 기부(70)의 상부 면에 부착되어서기부(70)로부터 연장되고 제2 단부가 기부(70)로부터 멀리 떨어져 있는 축(20)도 적어도 하나 이상 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 로드보드 공급 장치.The body 20 also includes at least one or more shafts 20, the first end of which is attached to the upper surface of the base 70 and extends from the base 70 and the second end is remote from the base 70. Load board supply apparatus comprising a. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 로드보드 공급 장치는 실린더 형상을 가지며,The load board supply device has a cylindrical shape, 상기 부착 장치(10)는 복수의 축(20)들의 제2 단부에 부착되는 평평한 링이고,The attachment device 10 is a flat ring attached to a second end of the plurality of shafts 20, 상기 부착 장치(10)의 외주는 상기 기부(70)의 외주보다 더 큰 것을 특징으로 하는 로드보드 공급 장치.The outer circumference of the attachment device (10) is a loadboard supply device, characterized in that larger than the outer circumference of the base (70). 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 부착 장치(10)는 내부를 통과하는 복수의 구멍(11)들을 포함하고, 이 복수의 구멍들은 검사헤드(310)의 복수의 구멍(305)과 정렬하여 상기 부착 장치를 상기 검사헤드(310)에 고정시키는 것을 특징으로 하는 로드보드 공급 장치.The attachment device 10 includes a plurality of holes 11 passing through the interior, and the plurality of holes are aligned with the plurality of holes 305 of the test head 310 to connect the attachment device to the test head 310. Load board supply apparatus characterized in that fixed to). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 제 1단부가 상기 블록(40)의 바닥 면에 부착되어 있으며 제2 단부가 상기 기부(70)를 통과하여 연장되는 하나 이상의 가이드 봉(60)과,At least one guide rod 60 having a first end attached to the bottom surface of the block 40 and having a second end extending through the base 70; 상기 기부(70)에 형성되며, 상기 각각의 가이드 봉(60)이 상기 기부(70)를 통과하도록 하는 구멍(64)과,A hole 64 formed in the base 70 and allowing each of the guide rods 60 to pass through the base 70; 상기 기부(70)에 부착되며, 관통하는 상기 각각의 가이드 봉(60)을 수용하는 선형 베어링(65)을 더 포함하며,And a linear bearing 65 attached to the base 70 and receiving the respective guide rods 60 therethrough, 상기 각각의 가이드 봉(60)과 선형 베어링(65)의 조합은, 상기 리프팅 장치(45)가 상기 블록(40)을 이동시킬 때, 상기 블록(40)이 수직 방향으로 부드럽게 움직이도록 하는 것을 특징으로 하는 로드보드 공급 장치.The combination of each of the guide rods 60 and the linear bearing 65 allows the block 40 to move smoothly in the vertical direction when the lifting device 45 moves the block 40. Load board supply unit. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 적어도 상기 선형 베어링(65)은 단부에 플랜지(66)가 있는 부싱(65)을 포함하며,At least the linear bearing 65 comprises a bushing 65 with a flange 66 at the end, 적어도 상기 플랜지(66)는 상기 기부(70)의 바닥 면에 부착됨으로써, 상기 부싱(65)이 상기 기부(70)의 구멍(64)을 통과하여 연장되도록 하는 것을 특징으로 하는 로드보드 공급 장치.At least the flange (66) is attached to the bottom surface of the base (70), so that the bushing (65) extends through the hole (64) of the base (70). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 리프팅 장치(45)는 공기식 지그 실린더(45)를 포함하며,The lifting device 45 includes a pneumatic jig cylinder 45, 상기 로드보드 공급 장치는 상기 리프팅 장치(45)를 동작시키기 위한 원격 스위치(95)와, 이 원격 스위치(45)를 공기식 지그 실린더(45)에 연결시키는 공기식 연결부(109)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로드보드 공급 장치.The load board supply device further comprises a remote switch 95 for operating the lifting device 45 and an air connection 109 for connecting the remote switch 45 to the pneumatic jig cylinder 45. Load board supply apparatus, characterized in that. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 로드보드 위치결정 장치는,The load board positioning device, 상기 블록(40)의 상부 면에 형성된, 적어도 하나의 비동심 원형 공동(41)과;At least one non-concentric circular cavity (41) formed in the upper surface of the block (40); 상기 블록(40)의 상부 면에 있는 비동심 원형 공동(41)과는 적어도 정렬되며 상기 블록(40)의 상부 면에 있는 비동심 원형 공동(41)의 직경과 거의 동일한 직경을 갖는 적어도 하나의 비동심 원형 구멍(31)을 구비하고, 상기 블록(40)의 상부 면에 부착되는, 원형 판(30)과;At least one having a diameter that is at least aligned with the non-concentric circular cavity 41 on the upper face of the block 40 and has a diameter approximately equal to the diameter of the non-concentric circular cavity 41 on the upper face of the block 40. A circular plate (30) having a concentric circular hole (31) and attached to an upper surface of the block (40); 상기 원형 공동(41)과 원형 구멍(31)의 안에 맞춰지도록 성형된 원형 디스크(50)를 포함하고,A circular disk 50 shaped to fit within the circular cavity 41 and the circular hole 31, 상기 원형 디스크(50)의 제1 표면은 상기 원형 공동(41)의 바닥부와 접촉하고, 상기 원형 디스크(50)의 제2 표면은 상기 원형 판(30) 위쪽으로 상승되어 있으며,The first surface of the circular disk 50 is in contact with the bottom of the circular cavity 41, the second surface of the circular disk 50 is raised above the circular plate 30, 상기 로드보드(325)가 상기 검사헤드(310)와 정렬될 때, 상기 원형 디스크(50)가 상기 원형 공동(420)과 맞물리는 것을 특징으로 하는 로드보드 공급 장치.When the load board (325) is aligned with the test head (310), the circular disk (50) is engaged with the circular cavity (420). 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 로드보드 보강재의 중심부에 대한 삽입물을 더 포함하며,Further comprising an insert into the center of the loadboard stiffener, 상기 삽입물은 원형 몸체(410)와 비동심 구멍(420)을 포함하며,The insert includes a circular body 410 and a non-concentric hole 420, 상기 몸체(410)는 상기 로드 보드 보강재(400)의 중앙 개구부 안으로 억지 끼워 맞춤되고,The body 410 is forcibly fitted into the central opening of the load board reinforcement 400, 상기 비동심 구멍(420)은 상기 원형 판(30) 위로 상승되어 있는 원형 디스크(50)의 부분을 수용하도록 성형되어 있는 것을 특징으로 하는 로드보드 공급 장치.And the non-concentric hole (420) is shaped to receive a portion of the circular disk (50) that is raised above the circular plate (30). 리프팅 장치와, 로드보드를 검사헤드와 정렬시키기 위한 위치결정 장치를 포함하는, 로드보드 공급 장치를 검사헤드 중심부에 부착시키는 단계와,Attaching the loadboard feeder to the center of the test head, the lifting device comprising a lifting device and a positioning device for aligning the load board with the test head; 상기 로드보드 공급 장치를 상승 위치로 상승시키는 단계와,Elevating the loadboard feeder to an elevated position; 로드보드를 상기 로드보드 공급 장치 위로 위치시키는 단계와,Positioning a loadboard over the loadboard supply; 상기 위치결정 장치를 이용하여, 상기 로드보드를 상기 검사헤드와 정렬시키는 단계와,Using the positioning device, aligning the loadboard with the test head; 상기 리프팅 장치를 동작시켜 상기 로드보드를 상기 검사헤드 위로 내려 놓는 단계와,Operating the lifting device to lower the loadboard onto the inspection head; 상기 로드보드를 상기 검사헤드에 고정시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 중공 중앙부가 있는 검사헤드 위로 로드보드를 착좌시키는 방법.And securing the loadboard to the test head, wherein the load board is seated over the test head with a hollow center portion.
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