KR20030013077A - Fan Dry Coil Unit for Airconditioner - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 공기조화기의 팬 드라이 코일 유니트에 있어서, 특히 현열부하를 제거함과 동시에 공기의 이송을 도와 팬 필터 유닛의 부하를 줄여 팬 필터 유닛의 운전시 안정된 상태를 유지토록 하는 것을 특징으로 하는 공기조화기의 팬 드라이코일 유니트에 관한 것이다.In the fan dry coil unit of the air conditioner, in particular, the air is characterized in that it maintains a stable state during operation of the fan filter unit by reducing the load of the fan filter unit by removing the sensible heat load and assisting air transfer. A fan dry coil unit of a conditioner.
최근 제품의 성능과 수율을 향상시키기 위해 첨단 산업에서 고순수 생산 환경(high purity production environment)에 대한 요구가 증대되고 있다. 특히 생산라인은 고정밀, 고순수 및 무균질 상태를 엄격히 요구하고 있다.Recently, there is an increasing demand for high purity production environment in high-tech industries to improve product performance and yield. In particular, production lines strictly demand high precision, high purity and aseptic conditions.
청정실의 개발로 인해 산업 생산 환경이 크게 발달하였다. 청정실은 여러 종류가 있는데 무균실(Bio Clean Room: BCR)은 의학, 제약, 식품, 유전 공학 등의 분야에서 생물학적 오염(bio-contamination)을 방지하기 위한 것이고, 산업용 청정실(Industrial Clean Room: ICR)은 반도체 장치 산업, 정밀 기계 산업 및 신소재 산업 등의 분야에서 입자들에 의한 오염을 방지하기 위한 것이다.The development of clean rooms has greatly developed the industrial production environment. There are several types of clean rooms. The Bio Clean Room (BCR) is used to prevent bio-contamination in the fields of medicine, pharmaceuticals, food, and genetic engineering.Industrial Clean Room (ICR) In order to prevent contamination by particles in the field of semiconductor device industry, precision machinery industry and new material industry.
여러 종류의 청정실 중에서 반도체 장치 산업 및 정밀 기계 산업에 이용되는 산업용 청정실에 적용되는 청정실은 기기의 성능과 생산 수율에 심각한 악영향을 주는 파티클들을 제거하기 위해 하향 층류(Down Stream Laminar Flow)를 생산라인 내부에 형성하여 순환하게 하는 방식을 요구하고 있다. 이 하향 층류형 청정실은 생산라인의 장비, 재료, 시설 및 작업자 등에 의해 발생한 입자들을 신속하게 제거하는데 적절하다.Among other types of clean room, clean room applied to the industrial clean room used in the semiconductor device industry and the precision machine industry, the down stream laminar flow inside the production line to remove particles that seriously affect the performance and production yield of the device It requires a way to form and circulate. This downward laminar flow clean room is suitable for the rapid removal of particles generated by equipment, materials, facilities and workers in production lines.
도 1은 이러한 산업용 청정실 구조와 기능을 간략하게 나타내는 도면이다.1 is a view briefly showing the structure and function of such an industrial clean room.
도시한 바와 같이 종래의 청정실(10)은 상부에 팬 필터 유닛(22) 및 송풍팬(18)이 장착되어 생산라인(16)으로 오염이 제거된 에어를 공급토록 하고, 상기 생산라인(16)을 통과한 에어는 청정실(10)의 외측벽(20)에 설치되는 드라이 코일(30)을 통해 현열이 흡수된 후 팬 필터 유닛으로 다시 순환하도록 하고 있다.As shown, the conventional clean room 10 has a fan filter unit 22 and a blower fan 18 mounted thereon to supply air decontaminated to the production line 16, and the production line 16. After passing through the air, the sensible heat is absorbed through the dry coil 30 installed on the outer wall 20 of the clean room 10 and circulated back to the fan filter unit.
그러나, 상기와 같은 청정실 시스템에서 순환장치로서 팬 필터 유닛(22) 및 팬(18)과 드라이 코일(30)이 설치되는바, 상기 드라이 코일(30)은 단순히 현열을 제거하는 작용만을 하기 때문에 에어의 현열을 제거하면서도 원활한 에어의 유동을 유지하기 위해서는 먼저 드라이 코일(30)의 전열면적이 커질 수밖에 없으며,However, since the fan filter unit 22 and the fan 18 and the dry coil 30 are installed as the circulator in the clean room system as described above, since the dry coil 30 merely serves to remove sensible heat, In order to remove the sensible heat of the air to maintain a smooth flow of air, the heat transfer area of the dry coil 30 is bound to increase first,
또한, 팬 필터 유닛(22)의 정압을 극복할 수 있는 범위가 한계가 있어 코일 열 수를 2줄로 설계해야 하기 때문에 그에 따른 유효 면적을 확보하기 위해 설치면적이 큰 문제가 있다.In addition, since the range that can overcome the static pressure of the fan filter unit 22 is limited, and the number of coil columns must be designed in two rows, there is a problem in that the installation area is large to secure an effective area accordingly.
그리고, 팬 필터 유닛(22)의 부하가 큰 관계로, 정압 손실이 커서 수만 개가 한꺼번에 설치되는 현장에서 운전비를 상승시키는 문제점이 있다.In addition, since the load of the fan filter unit 22 is large, there is a problem that the operating pressure is increased at the site where the static pressure loss is large and tens of thousands are installed at once.
그리고, 저진동, 저소음, 기류의 균등분포가 이루어져야 하는 팬 필터 유닛(22)의 부하 증가로 시스템 운영상 장애로 생산 제품의 차질을 초래할 수 있는 문제점이 있다.In addition, low vibration, low noise, and an increase in the load of the fan filter unit 22 in which an even distribution of airflow is to be made, there is a problem that can cause a disruption of the production product due to an obstacle in the system operation.
그리고, 유니트 형태가 아니라 부품 형태라 개보수 및 개축이 어려운 문제점이 있다.In addition, there is a problem in that remodeling and reconstruction are difficult because of the form of the part rather than the unit.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결코자 하는 것으로,The present invention is to solve the above problems,
팬 필터 유닛의 부하를 해결하는 장치를 설치하여 현열부하를 효과적으로 해결하고 에어의 순환이 원활히 진행되도록 하는데 그 목적이 있다.The purpose is to install a device to solve the load of the fan filter unit to effectively solve the sensible heat load and to smoothly circulate the air.
상기 목적을 달성하기 위한 수단으로,As a means for achieving the above object,
본 발명은 청정실에 에어를 공급하기 위한 팬 필터 유닛과;The present invention provides a fan filter unit for supplying air to a clean room;
상기 청정실의 측벽에 위치하여 청정실을 통과한 에어를 강제순환 시켜 상기 팬 필터 유닛으로 제공하는 팬 드라이 코일 유닛으로 이루어지며;A fan dry coil unit positioned on a side wall of the clean room and forcedly circulating air passing through the clean room to the fan filter unit;
상기 팬 드라이 코일 유닛은 냉수 입출용 라인과 코일 및 송풍팬을 포함하여 구성함이 특징이다.The fan dry coil unit is characterized by comprising a cold water inlet and output line, the coil and the blowing fan.
도 1은 일반적인 청정실 순환 장치의 개략적인 구성도.1 is a schematic configuration diagram of a general clean room circulation device.
도 2는 본 발명의 청정실 순환 장치의 개략적인 구성도.2 is a schematic configuration diagram of a clean room circulation device of the present invention.
도 3은 본 발명의 일부 확대 구성도.3 is a partially enlarged configuration diagram of the present invention.
도 4는 본 발명에 적용되는 팬 드라이 코일 유니트 동작 상태도.Figure 4 is a fan dry coil unit operating state diagram applied to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10: 청정실 16: 생산라인10: clean room 16: production line
18: 송풍팬 20: 외측벽18: blower fan 20: outer wall
22: 팬 필터 유닛 30: 드라이 코일22: fan filter unit 30: dry coil
40: 팬 드라이 코일 유닛40: fan dry coil unit
이하에서 도면을 통해 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 청정실 순환 장치의 개략적인 구성도.2 is a schematic configuration diagram of a clean room circulation device of the present invention.
도 3은 본 발명의 일부 확대 구성도.3 is a partially enlarged configuration diagram of the present invention.
도 4는 본 발명에 적용되는 팬 드라이 코일 유니트 동작 상태도로서,4 is a state diagram of the fan dry coil unit applied to the present invention,
도시한 바와 같이, 본 발명은 청정실(10)에 에어를 공급하기 위한 팬 필터 유닛(22) 및 송풍팬(18)과;As shown, the present invention includes a fan filter unit 22 and a blowing fan 18 for supplying air to the clean room 10;
상기 청정실(10) 측벽에 위치하여 청정실 하부를 통과한 에어를 측벽통로 (20)를 통해 강제 순환시켜 상기 팬 필터 유닛(22)으로 제공하는 팬 드라이 코일 유닛(40)으로 이루어지며;A fan dry coil unit (40) positioned on the side wall of the clean room (10) and forced to circulate air passing through the bottom of the clean room through the side wall passage (20) to the fan filter unit (22);
상기 팬 드라이 코일 유닛(40)은 냉수 입출용 라인(41, 42)과 코일(43) 및 송풍팬(44)을 포함하여 구성한다.The fan dry coil unit 40 includes a cold water inlet / outlet line 41, 42, a coil 43, and a blowing fan 44.
상기와 같이 구성하는 본 발명은 다수의 구멍을 가진 그레이팅 패드(grating pad)(14)가 패드 프레임(12)에 장착되어 있다. 상기 패드 프레임(12)은청정실(10)의 바닥면과 그레이팅 패드(14) 사이에 위치하여 바닥면으로부터 그래이팅 패드(14)를 지지하고 있다.In the present invention configured as described above, a grating pad 14 having a plurality of holes is mounted to the pad frame 12. The pad frame 12 is positioned between the bottom surface of the clean room 10 and the grating pad 14 to support the grating pad 14 from the bottom surface.
청정실(10)은 그레이팅 패드(14)에 의해 상부 청정실과 하부 청정실로 분리되는데, 상부 청정실에는 산업 기기를 제조하기 위한 설비(도면에는 생략)를 수용하기 위한 생산라인(16)이 설치되어 있다.The clean room 10 is divided into an upper clean room and a lower clean room by a grating pad 14, and an upper clean room is provided with a production line 16 for accommodating equipment (not shown) for manufacturing industrial equipment.
그리고, 상부 청정실의 상단에는 공기를 청정실로 이송하는 팬 필터 유닛(22)이 위치하고 있으며, 하부 청정실의 외부에는 청정실을 통과한 에어를 팬 필터 유닛(22)으로 강제 이송하기 위한 팬 드라이 코일 유닛(40)이 장착된다.In addition, a fan filter unit 22 which transfers air to the clean room is located at the upper end of the upper clean room, and a fan dry coil unit for forcibly transferring air that has passed through the clean room to the fan filter unit 22 outside the lower clean room ( 40) is mounted.
상기 팬 드라이 코일 유닛(40)은 흡입로(suction way)에 의해 그레이팅 패드(14)의 하부 및 측면을 통해 공기의 흐름을 유도하고 이 공기를 청정실(10)의 측벽의 통로(20)를 통해 생산라인(16)의 상부측으로 유도한다.The fan dry coil unit 40 induces a flow of air through the lower and side surfaces of the grating pad 14 by a suction way and passes the air through the passage 20 of the side wall of the clean room 10. Guide to the upper side of the production line (16).
여기서 상기 팬 드라이 코일 유닛(40)에는 냉수 입구(41) 및 냉수 출구(42) 및 코일(43)을 구비하여 청정실내 현열을 흡수하도록 하며, 또한, 팬 드라이 코일 유닛(40)의 상단에 위치한 팬(44)의 동작으로 인하여 강력하게 공기를 유동시킨다.In this case, the fan dry coil unit 40 includes a cold water inlet 41, a cold water outlet 42, and a coil 43 to absorb sensible heat in the clean room, and is located at the top of the fan dry coil unit 40. Operation of the fan 44 causes the air to flow strongly.
따라서, 상기와 같은 팬 드라이 코일 유닛 방식을 이용하게 되면 온도차를 △t= 8℃로 적용하여 코일 면적을 약 1/4로 줄일 수 있고, 또한 본 발명에서는 팬(44)을 장착함으로서 팬 필터 유닛(22)의 부하(정합손실)를 약 2 - 4mmAq 이상 감소시킬 수 있다.Therefore, by using the fan dry coil unit method as described above, by applying the temperature difference to Δt = 8 ° C., the coil area can be reduced to about 1/4, and in the present invention, the fan filter unit is installed by mounting the fan 44. The load (matching loss) of (22) can be reduced by approximately 2-4 mmAq or more.
그리고, 상기 팬 드라이 코일 유닛(40)을 통과한 에어는 생산라인(16)의 상부에 위치하여 오염된 공기를 이동하는 동안에 여과하는 다수의 팬 필터 유닛(22)으로 공급된다.In addition, the air passing through the fan dry coil unit 40 is supplied to a plurality of fan filter units 22 positioned above the production line 16 and filtering while moving the contaminated air.
상기 팬 필터 유닛(22)의 상부에 있는 공기는 순환 팬(18)에 의한 압력차에 의해 필터(22)를 통과하고, 순환 공기 유동을 형성하기 위해 생산라인(16) 내부로 다시 유도된다.The air at the top of the fan filter unit 22 passes through the filter 22 by the pressure difference by the circulation fan 18 and is led back into the production line 16 to form a circulating air flow.
필터(22)를 통과한 공기는 순환 팬(18)에 의해 생산라인(16)의 상부 측면으로부터 똑바로 하강하고 하향 층류를 형성하기 위해 수직으로 형성된 그레이팅 패드(14)에 형성되는 구멍을 통과한다.The air passing through the filter 22 passes through a hole formed in the vertically formed grating pad 14 to descend straight down from the upper side of the production line 16 by the circulation fan 18 and form a downward laminar flow.
청정실(10) 내부의 순수 상태를 유지하기 위해서 생산라인(16) 내부에서 계속 생성되는 입자들은 하향 층류 유동에 의해 상기 그레이팅 패드(14)의 하부 측면으로 유도되어 방출된다.In order to maintain the pure state inside the clean room 10, particles continuously generated in the production line 16 are directed to the lower side of the grating pad 14 by the downward laminar flow and are discharged.
이후 청정실(10)의 측벽에 설치되는 팬 드라이 코일 유닛(40)에 강제 흡입되어 팬 필터 유닛(22)으로 순환하는 과정을 되풀이하게 된다.Thereafter, the process of forcibly suctioning the fan dry coil unit 40 installed on the side wall of the clean room 10 and circulating the fan filter unit 22 is repeated.
따라서, 본 발명을 이용하게 되면 팬 드라이 코일 유닛의 작동으로 현열부하를 원활하게 제거할 수 있고, 또한 에어의 순환을 원활하게 진행시킬 수 있다.Therefore, when the present invention is used, the sensible heat load can be smoothly removed by the operation of the fan dry coil unit, and the circulation of air can be smoothly performed.
또한, 시공 비용을 줄였고, 설치 공간을 줄여 생산라인을 확장시켰다.In addition, construction costs have been reduced and installation space has been reduced to extend production lines.
상술한 바와 같이 본 발명을 이용하게 되면 청정실을 유동하는 현열부하의 원활한 제거를 가능하게 하고, 또한 청정실에서의 에어순환이 용이한 효과를 제공한다.As described above, the present invention enables the smooth removal of the sensible heat load flowing through the clean room, and also provides the effect of easy air circulation in the clean room.
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|---|---|---|---|---|
| KR100754770B1 (en) * | 2006-01-27 | 2007-09-03 | (주)엑스톤 | Mobile-NMS server for the DCM in the wireless telecommunication networks and the method of monitoring and analyzing wireless telecommunication network environment using the client software in DCM |
| KR100895695B1 (en) * | 2007-08-14 | 2009-04-30 | (주)신성이엔지 | Cooling apparatus for Fan Filter Unit using theremoelectric element |
| KR101006129B1 (en) * | 2008-12-15 | 2011-01-07 | 주식회사 신성엔지니어링 | Device for controlling the air using fcu and method therefor |
| KR102059809B1 (en) * | 2019-10-15 | 2020-02-20 | 주식회사 신성엔지니어링 | Sensible heat control unit for clean room |
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2001
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR100895695B1 (en) * | 2007-08-14 | 2009-04-30 | (주)신성이엔지 | Cooling apparatus for Fan Filter Unit using theremoelectric element |
| KR101006129B1 (en) * | 2008-12-15 | 2011-01-07 | 주식회사 신성엔지니어링 | Device for controlling the air using fcu and method therefor |
| KR102059809B1 (en) * | 2019-10-15 | 2020-02-20 | 주식회사 신성엔지니어링 | Sensible heat control unit for clean room |
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