KR20030007791A - 액체의 수위 조절 방법 및 장치 - Google Patents

액체의 수위 조절 방법 및 장치 Download PDF

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KR20030007791A
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마리오 몰리나
안토니오 파스퀴알레
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지지 몰리나 브레베티 플라스틱시 에스.피.에이.
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Abstract

본 발명은 하나 이상의 용기(3)내에 수용된 액체(2)의 수위를 조절하기 위한 방법에 관한 것으로서, 액체(2)내에 측정 튜브(1)를 삽입하는 단계; 용기(3)의 내측 또는 외측으로 보조 덕트(6; 21)를 배치하는 단계; 측정 튜브(1)내의 압력을 측정하는 단계; 보조 덕트(6; 21)내의 압력을 측정하는 단계; 측정 튜브(1)내의 압력 및 보조 덕트(6; 21)내의 압력간의 차이를 결정하는 단계; 용기(3)내의 액체(2)의 밀도 또는 비중의 값을 결정하는 단계; 액체(2)의 밀도 또는 비중의 값에 의하여 압력 차이를 나누는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수위 조절 방법에 관한 것이다. 또한 본 발명은 전술한 방법을 실행하기 위한 장치에 관한 것이다.

Description

액체의 수위 조절 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING THE LEVEL OF LIQUIDS}
액체의 수위를 제어하기 위하여, 조절되어지는 액체내에 잠겨진 측정 튜브에 연결된 압력 센서가 구비된 조절 장치를 포함하는 장치가 공지되었다. 액체의 밀도값 또는 비중값으로 나누어지는 압력 센서에 의해 측정된 값은 액체의 수위를 결정한다.
그러나, 상기 공지된 장치는 근사 결과를 제공하는데 이는 압력 센서에 의해 측정된 값이 국부압력, 예컨대 시간에 따라 가변될 수 있는 대기압 또는 압력하의 탱크내 압력에 의해 영향을 받기 때문이다.
본 발명은 액체의 수위를 조절하기 위한 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 예컨대 반도체 제조 시스템에서 볼 수 있는 자유 표면을 갖는 큰 용기 및/또는 압력하의 탱크내에 수용된 액체의 수위를 조절하는데 사용될 수 있는 방법에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 장치의 제 1실시예의 개략도,
도 2는 본 발명에 따른 장치의 제 2실시예의 개략도,
도 3은 본 발명에 따른 장치의 제 3실시예의 개략도,
도 4는 린스 용기에 연결된 도 1의 장치의 개략도,
도 5는 도 1의 장치에서 조절 장치의 개략도.
본 발명의 목적은 전술한 단점이 없는, 액체 수위를 조절하기 위한 장치와 방법을 제공하기 위한 것이다. 상기 목적은 청구항 제 1항과 제 6항에 각각 특정화된 주요 특징의 방법 및 장치로서 달성되며, 다른 특징들은 나머지 청구항들에서 특정화된다.
보조 덕트내에서 압력을 측정하고 측정 튜브내 압력의 관련된 차이의 계산으로 인하여, 본 발명에 따른 방법 및 장치는 공지된 방법 및 장치보다 더욱 정확한 액체 수위의 측정을 얻을 수 있게 한다.
본 발명의 장점에 따라, 본 장치는 측정 정확성을 더욱 개선하기 위하여 액체의 온도에 따른 밀도 또는 비중의 값을 수정할 수 있다.
본 발명의 다른 장점의 관점에 따라, 장치에는 단일한 압력 센서 및 측정 튜브와 보조 덕트의 압력을 교대로 측정하기 위한 전기 밸브가 제공된다. 이러한 배치로서, 제조 원가가 감소되며 다른 압력 센서를 사용한 측정 차이에 기인한 에러를 피할 수 있다.
본 발명의 다른 장점의 관점에 따라, 장치의 측정 튜브는 액체에 의해 가스에 가해진 압력에 해당하는 역압(counter-pressure)을 측정하도록, 압력하의 가스의 소스에 연결될 수 있다. 이러한 배치로서, 액체에 의해 방출된 유해한 증기가 측정 튜브를 통해 조절 장치에 도달하는 것을 피할 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따라, 장치에는 전자 메모리와, 액체의 수위를 결정하며 계산 파라메터 및 장치의 수정 작동을 위한 기타 유용한 파라메터들을 조절하기 위한 계산 수단이 제공된다. 또한, 이러한 배치로서, 본 발명에 따른 장치는 용기내에 수용된 액체의 수위뿐만 아니라 린스 통의 작동을 조절할 수 있으며 장치가 반도체 제조 시스템에 사용될 때 가격을 절감시킨다.
장치의 제조비용과 유지 비용을 절감하기 위하여, 상기 전자 계산 수단은 공지된 종류의 프로그래머블 로직 콘트롤러(PLC)로 구성될 수 있으며, 이는 본 발명에 따른 장치를 원격 조절하기 위하여 외부 컴퓨터에 연결될 수 있다.
본 발명에 따른 방법과 장치의 다른 특징과 장점들은 이후의 상세한 설명과 첨부된 도면을 참조로 하는 본 발명의 몇몇 실시예의 제한없는 설명으로부터 본 기술분야의 당업자들에게 명백해질 것이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 제 1실시예에 따른, 예컨대 반도체 제조 시스템의 산성 용액용 큰 통과 같은 용기(3)내에 수용된 액체(2)내에 잠긴 공지된 방식의 측정 튜브(1)를 포함하는 장치가 도시된다. 측정 튜브(1)의 단부는 용기(3)의 바닥으로부터 수위(L1)에 배치되는 반면에 다른 단부는 조절 장치(4)내에 배치된 압력 센서에 연결되는데, 이는 압력 센서에 의해 탐지된 압력값과 국부 기준 압력, 예컨대 대기 압력의 값에 해당하는 저장값간의 차이를 계산하는 전자 계산 수단을 포함한다. 상기 전자 계산 수단은 액체(2)의 밀도 또는 비중에 비례하는 저장된값에 의해 압력 차이를 나눈다. 나누어진 값의 결과 값은 공지된 방식으로 액체(2)에 잠겨진 측정 튜브(1)의 부분의 수위(L2)에 해당하며 LCD디스플레이와 같은 디스플레이(5)에 의해 표시된다. 디스플레이(5)에 의해 표시되기 전의 수위(L1)의 값은, 용기(3)의 바닥으로부터 액체(2)의 자유 표면의 수위의 실제값(H=L1+L2)을 얻기 위하여 수위(L1)과 동일한 저장된 값에 합산될 수 있다.
본 발명에 따라, 측정 튜브(1)는 보조 덕트(6)에 연결되고, 보조 덕트(6)에는 전기 밸브(7)가 제공되며 그리고 보조 덕트(6)는 용기(3)의 내측 또는 외측에 배치되어 특히 용기(3)의 주변 환경과 연통하는 자유 단부를 갖는다. 전기 밸브(7)는 케이블(8)을 통해 조절 장치(4)와 연결되어 조절 장치가 전기 밸브를 주기적으로 개방할 수 있도록 하고, 그럼으로써 측정 튜브(1)가 보조 덕트(6)를 통해 일정한 시간 주기동안 환경과 연통하도록 설정한다. 전기 밸브(7)가 개방될 때, 조절 장치(4)의 압력 센서는 국부압 또는 대기압과 같은 기준 압력을 측정하고, 이 값은 전자 계산 수단내에 저장되어 기준 압력의 이전 저장 값을 대체한다. 일정한 주기 이후에, 전기 밸브(7)는 차단되어 조절 장치(4)가 액체(2)에 의하여 측정 튜브(1)내에 수용된 유체에 가해지는 압력을 다시 탐지하고, 이어서 액체 자체의 수위를 결정한다.
측정 튜브(1)는 덕트(9)를 통해 질소 또는 공기와 같은 압축 가스원(10)에 적절히 연결될 수 있다. 덕트(9)에는 도입되는 가스의 압력을 조절하기 위하여 밸브(11)가 제공되며 그리고 가스의 유동율을 조절하기 위하여 쓰로틀 밸브(12)가 제공된다. 밸브(11, 12)를 조절함으로써 가스가 액체(2)로 다소 흘러나갈 때까지 측정 튜브 내측으로 가스가 흐를 수 있다. 이러한 배치로서, 측정 튜브(1)내에서 측정된 역압력(counter-pressure)은 액체(2)에 의해 가스에 가해진 압력에 정확하게 해당한다.
본 발명에 의한 장치는 바람직하게는, 예컨대 PT100형의 열 탐침(13)을 포함하는데, 이는 액체(2)에 잠겨져 있으며 케이블(14)에 의해 조절 장치(4)에 연결된다. 액체의 온도에 따른 액체의 밀도 또는 비중에 비례하는 하나 이상의 값의 테이블이 조절 장치(4)에 저장될 수 있다. 용기(3)내에 수용된 액체(2)에 해당하는 테이블을 선택함으로써, 전자 계산 수단은 열 탐침(13)에 의해 측정된 온도에 따른 이러한 테이블로부터 밀도 또는 비중의 값을 결정하는데, 이는 전술한 방식으로 액체(2)의 수위를 계산하는데 사용된다.
하나 이상의 한계값, 특별히 다섯개의 한계값이 조절 장치(4)에 저장될 수 있다. 이러한 값이 액체(2)의 수위의 값보다 크거나 또는 작을 때에, 조절 장치(4)는 LED형과 같은 해당 파일럿 램프(15)를 점등하여 사용자에게 현재 수위 정보를 부여한다. 또한, 제어 장치(4)에는 바람직하게는 다수의 포트(15'), 특히 5개의 포트가 제공되며, 이는 알람 장치와 같은 외측 전기 또는 전자 장치(도시안됨)에 연결될 수 있다. 포트(15')를 통해 조절 장치(4)는 한계값이 액체(2)의 수위값보다 크거나 작을 때에 전기 신호를 전송하여 외부 장치를 점멸시키도록 한다.
조절 장치(4)는 24V DC 전력원과 같은 전기원(15)에도 연결되며, 또한 데이터 기입을 위한 키보드(17)와, 외부 컴퓨터와 연결하기 위한 시리얼 포트 RS-232 또는 RS-485와 같은 인터페이스(18)와, 그리고 다수의 커넥터(19) 및 한쌍의 푸시버튼(20)을 포함하는데, 이들의 작용은 후술하기로 한다.
도 2를 참조하면, 전기 밸브(7)가 보조 덕트(6) 또는 덕트(9)를 측정 튜브(1)와 교대로 적절히 연결하는 3방향 밸브인 본 발명의 제 2실시예가 도시된다. 이러한 배치로서, 국부 압력이 보조 덕트(6)를 통해 측정되고 있을 때 덕트(9)로부터 유입된 가스가 측정 튜브(1)로 유입되는 것을 피할 수 있다.
도 3을 참조하면, 조절 장치(4)가 두개의 압력 센서를 포함하는 본 발명의 제 3실시예가 도시된다. 제 1센서는 전술한 실시예와 마찬가지로 측정 튜브(1)내의 압력을 측정하고, 제 2센서는 용기(3)의 환경에 배치된 자유 단부를 갖는 보조 덕트(21)내의 압력을 측정한다. 본 실시예는 용기(3)가 닫혀진 탱크이므로, 보조 덕트(21)의 자유 단부는 탱크의 덮개 아래의 비어있는 부분의 탱크 내측에 배치된다. 이러한 배치로서, 대기압 또는 국부 압력과 같은 보조 덕트(21)의 기준 압력과, 측정 튜브(1) 내측의 압력은 연속적으로 측정이 가능하며, 따라서 동일한 튜브를 통하여 교대로 기준 압력을 측정하기 위한 전기 밸브가 더 이상 필요하지 않게 된다.
도 4는 자성 플로트(magnetic float)를 갖춘 센서와 같은 수위 센서(22)가 하나 이상의 케이블(23)을 통해 조절 장치(4)의 커넥터(19)에 연결된 것을 도시하고 있다. 수위 센서(22)는, QDR(Quick Dump Rinser) 린스 용액 통에서 볼 수 있는 매우 순수한 물의 수위와 같은, 통(25)에 수용된 액체(24)의 수위에 따른 전기 신호를 조절 장치(4)에 전달한다. 통(25)은 반도체 제조 시스템의 린스 통 근처에 일반적으로 배치되는 산성 용액용 통이 될 수 있는 용기(3)와는 구별된다. 수위센서(22)에 의해 전송된 신호에 따라, 조절 장치(4)는 커넥터(19)와 하나 이상의 케이블(26)을 통해 한쌍의 전기 밸브(27, 28)로 전기 신호를 전달한다.
제 1전기 밸브(27)는 3방향 전기 밸브이며, 통(25)을 비우거나 또는 통(25)을 하나 이상의 스프레이(32)에 의해 방출된 액체로 채우기 위하여, 소스(29)로부터 유입된 압축 공기의 통(25)의 바닥부(31)를 이동시키는 공압 피스톤(30)으로의 유동을 제어한다.
제 2전기 밸브(28)는 화살표(35)로 도시된 외부 소스로부터 유입되는 액체(24)가 스프레이(32)로 유입되는 것을 적절히 조절하는 공압 밸브(34)를 개폐하기 위하여, 소스(33)로부터 유입되는 압축 공기의 유동을 조절한다.
바닥부(31)를 통해 통(25)에서 배출된 액체는, 바람직하게는 Thornton사가 제조한 정밀 유전성 계측기와 같은 유전성 계측기(37)가 구비된 드레인 덕트(36)를 통과하고, 상기 유전성 계측기는 커넥터(19)를 통해 전기 신호를 조절 장치(4)로 전달한다. 유전성 계측기(37)에는 액체의 온도에 따른 액체(24)의 유전율 값을 수정하기 위하여, 바람직하게는 PT100 열 센서가 제공된다.
마지막으로, 제 3전기 밸브(39)가 커넥터(19)에 연결될 수 있다. 제 3전기 밸브(39)는 드레인 덕트(36)로부터 유입된 액체(24)를 화살표(42)와 같이 배출시키도록 분기시키거나 또는 액체(24)를 다시 스프레이(32)로 향하도록 급송하는 급송 덕트(42')로 분기시키는 공압식 3방향 밸브(41)를 개폐하기 위하여, 소스(40)로부터 유입되는 압축 공기의 유동을 조절할 수 있다. 급송 덕트(42')에는 바람직하게는 Georg Fischer사의 유동계인 Signet 2507과 같은 유량계가 구비되는데, 이는 전기 신호를 커넥터(19)를 통해 조절 장치(4)로 전송한다.
도 5를 참조하면, 전술한 전자 계산 수단(43)을 포함한 조절 장치(4)가 도시되는데, 본 실시예에서는, 예를 들어 NEC사의 PLC 모델 78F0078가 프로그래머블 로직 콘트롤러(programmable logic controller; PLC)로 구성된다. PLC(43)에는, RAM 메모리(44)가 적절히 제공되는데, 메모리 내부에는 예를 들어 센서에 의해 측정된 압력과 밀도와 같은 임시 파라메터가 액체(2)의 수위를 계산하기 위해 저장될 수 있다. 또한 PLC(43)에는 플래시 ROM 메모리(45)가 적절히 제공되어 조절 장치(4)의 작동을 위한 소프트 웨어와 관련 파라메터들이 저장될 수 있는데, 예를 들어;
- 온도에 따른 밀도 또는 비중의 값의 테이블,
- 측정 튜브(1)의 자유 단부의 수위(L1)의 높이,
- 파일럿 램프(15)의 한계값에 해당하는 수위의 높이,
- 전기 밸브(7, 27, 28 및/또는 39)의 개폐 시간 간격,
- 통(25)의 린스 사이클의 횟수,
- 액체(2)의 수위 히스테리시스(level hysteresis)의 수정값,
- 환경 압력 또는 대기압의 수정값,
- 용기내에 수용된 액체(2)의 용적을 계산하기 위한, 용기(3)의 면적에 해당하는 값,
- 압력 및/또는 온도 측정 유니트의 환산 상수,
- 날짜 및 시간, 그리고
- 본 발명에 따른 장치의 작동을 수정하기 위하여 유용한 다른 파라메터.
이러한 파라메터들은 PLC(43)에 연결된 디스플레이(5)를 통해 표시될 수 있다. 다른 데이터를 저장하기 위하여, PLC(43)는 예컨대 플래시류의 제거가능한 메모리용의 인터페이스(46)에 연결될 수 있거나 또는 다른 인터페이스(18)를 통해 외부 컴퓨터에 연결될 수 있다.
측정 튜브(1)에서의 압력의 측정은 Cristal사의 센서인 CS55224와 같은 저항성 타입의 센서와 같은 정밀 센서(47)에 의해 실행되는데, 이는 아나로그-디지털 변환기(48)에 의하여 PLC(43)에 연결된다. PLC(43)는, 예를 들어 광학 절연체(optoisolator)를 통해 탐침(13)과, 파일럿 램프(15)와, 키보드(17)와, 인터페이스(18)와, 커넥터(19)와, 그리고 푸시 버튼(20)에 직접 또는 간적적으로 연결된다.
사용중에, 사용자가 조절 장치(4)를 스위치 온시키고 본 발명에 따른 장치의 작동을 위하여 키보드(17)를 통해 전술한 목록의 파라메터를 입력시킨다. 사용자에 의해 입력된 파라메터에 따라 조절 장치(4)는 전술한 방법을 이용하여 액체(2)의 수위값을 주기적으로 계산하여 디스플레이(5) 및/또는 파일럿 램프(15)를 통해 이를 나타낸다.
그 사이에, 사용자는 통(25)내에서 린스를 개시할 수 있으며 푸시 버튼(20)을 통해 관련 사이클 수를 입력한다. 이러한 경우, 조절 장치(4)는 통(25)에 액체(24)를 채우기 위하여 전기 밸브(28)를 개방한다. 수위 센서(22)가 통(25)의 채워짐을 탐지하였을 때, 조절 장치(4)는 전기 밸브(28)를 차단하고 일정한 시간 주기 동안에 대기하며, 그 후에 전기 밸브(27)를 통해 바닥부(31)를 개방함으로써통(25)을 비우게 한다. 드레인 덕트(36)를 통해 통(25)으로부터 배출된 액체가 유전성 계측기(37)에 의하여 충분히 순수하다고 탐지된다면, 조절 장치(4)는 전기 밸브(39)를 통해 상기 밸브(41)를 작동시킴으로써 급송 덕트(42')내로 액체를 회수한다. 유량계(38)는 회수되는 액체(24)의 양을 측정한다. 액체가 충분히 순수하지 못한 경우에는, 조절 장치(4)는 또한 전기 밸브(39)를 이용하여 상기 밸브(41)를 반대 방식으로 작동시킴으로써 액체를 배출시킨다. 액체(24)가 일단 배출되면, 조절 장치(4)는 통(25)의 바닥부(31)를 폐쇄하고, 일정한 시간 주기동안 대기하고, 그리고 사용자에 의하여 프로그램된 사이클 수에 도달할 때까지 전술한 방식으로 린스 사이클을 다시 개시한다.
본 발명의 범주내에서 본 기술분야의 당업자에 의하여 위에서 설명되고 도시된 전술한 본 발명의 실시예에서 다른 변형 및/또는 추가가 가능할 것이다.

Claims (26)

  1. 하나 이상의 용기(3)에 수용된 액체(2)의 수위 조절 방법에 있어서,
    상기 액체(2)내에 측정 튜브(1)를 삽입하는 단계;
    상기 용기(3)의 내측 또는 외측으로 보조 덕트(6; 21)를 배치하는 단계;
    상기 측정 튜브(1)내의 압력을 측정하는 단계;
    상기 보조 덕트(6; 21)내의 압력을 측정하는 단계;
    상기 측정 튜브(1)내의 압력 및 상기 보조 덕트(6; 21)내의 압력간의 차이를 결정하는 단계;
    상기 용기(3)내의 상기 액체(2)의 밀도 또는 비중의 값을 결정하는 단계;
    상기 압력 차이를 상기 액체(2)의 밀도 또는 비중의 상기 값에 의해 나누는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수위 조절 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 용기(3)내의 상기 액체(2)의 밀도 또는 비중은 상기 액체 자체의 온도에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 수위 조절 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 측정 튜브(1)내의 압력과 상기 보조 덕트(6)내의 압력은 동일한 압력 센서(47)에 의하여 교대로 측정되는 것을 특징으로 하는 수위 조절 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 압력하의 가스가 상기 측정 튜브(1)에 유입되며 상기 액체(2)내에 잠겨진 상기 튜브의 단부로부터 배출되는 것을 특징으로 하는 수위 조절 방법.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 나누어진 결과(L2)는 상기 용기(3)의 바닥으로부터 상기 측정 튜브(1)의 단부의 높이에 해당하는 값(L1)에 합산되는 것을 특징으로 하는 수위 조절 방법.
  6. 액체(2)에 잠겨지는 측정 튜브(1) 및 상기 측정 튜브(1)에 연결된 하나 이상의 압력 센서(47)가 구비된 조절 장치(4)를 포함하는, 하나 이상의 용기(3)내에 수용된 상기 액체(2)의 수위 조절 장치에 있어서, 상기 조절 장치(4)에는,
    상기 용기(3)의 내측 또는 외측에 배치된 보조 덕트(6; 21)내의 압력을 측정하기 위한 센서와, 그리고
    상기 측정 튜브(1)내의 압력과 상기 보조 덕트(6; 21)내의 압력간의 차이를 계산하기 위한 전자 계산 수단(43)으로서, 상기 계산 수단(43)에 의해 판독될 수 있는 하나 이상의 전자 메모리(44, 45, 46)에 저장된 상기 액체(2)의 밀도 또는 비중의 하나 이상의 값으로 상기 압력 차이를 나누기 위한 전자 계산 수단이 제공되는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 조절 장치(4)에는 상기 액체(2)에 잠겨진 상기 측정튜브(1)내의 압력 및 상기 보조 덕트(6)내의 압력을 교대로 측정하기 위하여 단지 하나의 압력 센서(47)가 제공되는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 하나 이상의 케이블(8)에 의해 상기 조절 장치(4)에 연결된 전기 밸브(7)가 상기 측정 튜브(1)와 상기 보조 덕트(6) 사이에 배치되어 상기 전기 밸브(7)가 개방되거나 또는 차단될 때 상기 압력 센서(47)가 각각 상기 보조 덕트(6)내의 압력 또는 상기 측정 튜브(1)내의 압력을 측정하는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  9. 제 6 항 내지 제 8 항중 어느 한 항에 있어서, 측정 튜브(1)가 덕트(9)를 통해 압력하의 가스의 소스(10)에 연결되고, 상기 덕트(9)에는 유입되는 상기 가스의 압력을 조절하는 밸브(11) 및 가스의 유동율을 조절하는 쓰로틀 밸브(12)가 제공된 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 전기 밸브(7)는 상기 측정 튜브(1)를 상기 압력하의 가스의 덕트(9) 또는 상기 보조 덕트(6)와 교대로 연결하는 3방향 전기 밸브인 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  11. 제 6 항에 있어서, 상기 조절 장치(4)는 상기 측정 튜브(1)내의 압력을 측정하는 제 1센서와, 상기 용기(3)의 내측 또는 외측에 배치된 보조 덕트(21)내의 압력을 측정하는 제 2센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  12. 제 6 항 내지 제 11 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 조절 장치(4)는 상기 액체(2)에 잠겨지는 열 탐침(13)에 연결되고, 상기 전자 계산 수단(43)은 상기 열 탐침(13)에 의해 탐지된 온도에 따라 상기 용액(2)의 밀도 또는 비중에 비례하는 하나 이상의 값을 상기 전자 메모리(44, 45, 46)에 저장된 하나 이상의 테이블로부터 선택하는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  13. 제 6 항 내지 제 12 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 조절 장치(4)에는 상기 전자 계산 수단(43)에 의해 계산된 액체(2)의 수위를 나타내는 하나 이상의 디스플레이(5)가 제공되는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  14. 제 6 항 내지 제 13 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 조절 장치(4)에는 하나 이상의 한계값을 저장하는 하나 이상의 전자 메모리(44, 45, 46)가 제공되고, 상기 전자 계산 수단(43)은 상기 한계값과 상기 액체(2)의 수위에 따라 하나 이상의 외부 전기 또는 전자 장치와 하나 이상의 파일럿 램프(15)중 어느 하나 이상을 점멸시키는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  15. 제 6 항 내지 제 14 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 조절 장치(4)에는 외부 컴퓨터에 연결되는 하나 이상의 인터페이스(18)가 제공되는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  16. 제 6 항 내지 제 15 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 조절 장치(4)에는 데이터 기입을 위한 키보드(17)가 제공되는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  17. 제 6 항 내지 제 16 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 조절 장치(4)는 수위 센서(22)에 연결되고, 그리고 상기 수위 센서(22)에 의해 탐지되는 통(25)내에 수용된 액체(24)의 수위에 따라 상기 조절 장치(4)에 의해 조절되는 하나 이상의 전기 밸브(27, 28, 39)에 연결되는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 밸브(27, 28, 39)중 하나의 밸브(27)는 상기 통(25)의 바닥부(31)를 적절히 개폐하는 공압 피스톤(30)으로 흐르는 압축 공기를 조절하기 위한 3방향 전기 밸브인 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  19. 제 17 항 또는 제 18 항에 있어서, 상기 밸브(27, 28, 39)중 하나의 밸브(28)는 상기 액체(24)가 상기 통(25)으로 유동하는 것을 적절히 조절하는 공압 밸브(34)를 개폐하기 위한 압축 공기의 유동을 조절하는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  20. 제 17 항 내지 제 19 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 밸브(27, 28, 39)중하나의 밸브(39)는, 상기 통(25)의 바닥부(31)에 연결된 드레인 덕트(36)로부터 유입되는 상기 액체(24)를 드레인(42)으로 적절히 분기시키거나 또는 상기 통(25)내로 상기 액체(24)를 회수하는 급송 덕트(42')로 적절히 분기시키는 3방향 공압 밸브(41)를 개폐하기 위한 압축 공기의 유동을 조절하는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  21. 제 20 항에 있어서, 상기 통(25)의 바닥부(31)에 연결된 상기 드레인 덕트(36)에는 상기 조절 장치(4)에 연결된 유전성 계측기(37)가 제공되는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  22. 제 20 항 또는 제 21 항에 있어서, 상기 급송 덕트(42')에는 상기 조절 장치(4)에 연결된 유량계(38)가 제공되는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  23. 제 6 항 내지 제 22 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 전자 계산 수단(43)은 하나 이상의 메모리(44, 45)가 제공된 프로그래머블 로직 콘트롤러를 포함하고, 상기 메모리의 내부에는 상기 액체(2)의 수위의 계산을 위한 임시 파라메터, 상기 조절 장치(4)의 작동을 위한 소프트웨어, 및/또는 관련 작동 파라메터가 저장될 수 있는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  24. 제 23 항에 있어서, 상기 작동 파라메터는;
    - 상기 액체(2)의 온도에 따른 밀도 또는 비중의 값의 테이블,
    - 상기 측정 튜브(1)의 자유 단부의 수위(L1)의 높이,
    - 상기 파일럿 램프(15)의 한계값에 해당하는 수위의 높이,
    - 상기 전기 밸브(7, 27, 28, 39)의 개폐 시간 간격,
    - 상기 통(25)의 린스 사이클의 횟수,
    - 상기 액체(2)의 수위 히스테리시스의 수정값,
    - 환경 압력 또는 대기압의 수정값,
    - 상기 용기내에 수용된 액체(2)의 용적을 계산하기 위한, 상기 용기(3)의 면적에 해당하는 값,
    - 압력 및/또는 온도 측정 유니트의 환산 상수,
    - 날짜 및 시간
    중에서 하나 이상의 값을 포함하는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  25. 제 23 항 또는 제 24 항에 있어서, 상기 압력 센서(47)는 아나로그-디지털 변환기(48)에 의하여 상기 프로그래머블 로직 콘트롤러(43)에 연결되는 저항성 타입의 센서인 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
  26. 제 24 항에 있어서, 상기 작동 파라메터는 상기 디스플레이(5)상에서 상기 프로그래머블 로직 콘트롤러(43)에 의해 나타날 수 있는 것을 특징으로 하는 수위 조절 장치.
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