TW500992B - Method and apparatus for controlling the level of liquids - Google Patents

Description

500992 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 ) 本發明相關於用以控制液體高度之方法，尤其相關於 可被採用來控制容納在具有自由表面的桶中及/或在壓力下 的槽中的液體的高度的方法，例如半導體製造系統中用的 桶及/或槽。本發明也相關於用來執行該方法的裝置。 已知的用以控制液體高度的裝置包含一控制裝置，其 設置有連接於潛浸在要被控制的液體中的測量管的壓力感 測器。由壓力感測器測得的値除以液體的密度値或比重·値 決定液體的高度。 但是，這些已知的裝置提供的是近似的結果，因爲由 壓:力感測器測量的値受局部壓力的影響，例如受大氣壓力 或受在壓力下的槽中的壓力影響，這些壓力可能隨時間變 化。 . 因此，本發明的目的爲提供用以控制液體高度之方法 及裝置，其不會有此不利點。此目的是以具有分別在申請 專利範圍第1項及第6項中明確界定的主要特徵的方法及裝 置來達成，而其他特徵則在其餘的請求項中界定。 歸功於測量一輔助導管中的壓力及計算與測量管中的 壓力有關的差異，根據本發明的方法及裝置可獲得與已知 的方法及裝置相比較精確的液體高度測量。 根據本發明的一有利方面，裝置可根據液體的溫度來 校正液體的密度値或比.重値，以進一步增進測量精確度。 根據本發明的另一有利方面，裝置可設置有單一壓力 感測器以及一電閥，用來交替地測量測量管中的壓力及輔 助導管中的壓力。以此配置，製造成本降低，並且可避免 —裝！ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本I-) 11 nn · 訂^-- m ........................... i 本紙張尺度適用申國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） 500992 A7 B7 五、發明説明（2 ) · 由於以另一壓力感測器測量的差異所造成的誤差。 根據本發明的另一有利方面，裝置的測量管可連接於 在壓力下釣一氣體源，以測量相應於由液體施加在氣體上 的壓力的反壓。以此配置，可避免由液體釋放的有害蒸氣 經由測量管而到達控制裝置。 根據本發明的另一有利方面，裝置設置有電子記憶體 及計算機構，用來決定液體高度及用來控制計算參數，.以 及其他.校正裝置的工作有用的參數。另外，以此配置，根 據本發明的裝置不只是可控制容納在容器中的液體的高度 ，並且也可在裝置被採用在半導體製造系統中時，控制沖 洗桶的工作，而進一步降低成本。 . 爲降低裝置的製造及維修成本，上述電子計算機構可 有利地由已知類型的可程式規劃邏輯控制器構成，而控制 器也可連接於一外部電腦，用來遙控根據本發明的裝置。 圖式簡要敘述 ‘對於熟習此項技術者而言，從以下參考圖式的本發明 的某些實施例的詳細及非限制性的敘述，可更淸楚根據本 發明的方法及裝置的另外有利點及特徵，其中： 圖1顯示根據本發明的裝置的第一實施例。 .圖2顯示裉_據本發明的裝置的第二實施例9 圖3顯示根據本發明的裝置的第三實施例。 圖4顯示連接於一沖洗桶的圖1的裝置。· 圖5顯示圖1的裝置的控制裝置。 本紙張尺度逍用t®國家標準(CNS ) A4規格U10X297公-)_~" (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝！ -----丨訂 J· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500992 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（3 ) 元件對照表 1 2 3. 4 5 6 7 8 9 10 1 1 12 13 14 15 15, 16 17 18 19 20 21 測量管 液體 容器 控制裝置 顯示器 輔助導管 電閥 纜線 導管 壓縮氣體源 閥 ‘ 節流閥 熱探針 纜線 指示燈 埠. 電源 鍵盤 界面........... 連接器 按鈕 辅助導管 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁}

本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500992 A7 B7 五、發明説明（4 ) 22 高度感測器 23 纜線. 24 液體 25 桶 2 6 纜線 27 電閥 2 8 電閥 ‘ 29 . 壓縮空氣源 30 氣動活塞 . 31. 底部 . 32 噴灑器 :33 壓縮空氣源 34 氣動閥 3 5 箭頭 冗 排洩導管 37 導熱計 3 8 流量計 ； ' t . ：39 ‘電獨 40 壓縮空氣源 41 - 三向氣動閥 42 箭頭 ——^ 42f 輸送導管 43 電子計算機構，可程式規劃邏輯控制器（PLC) 44 RAM記憶體 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ~

In- I ms ml nn i In kmmff I m ϋϋ · • •产 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 500992 A7 B7 五、發明説明（5 ) 45 快閃ROM記億體 46 界面 47 感測器 48 - 類比/數位轉換器 Li 高度 L2 .高度 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 實施例的詳細敘述· . 參.考圓1，圖中可見根據本發明的第一實施例的裝置以 已知的方式包含潛浸於容納在容器3的液體2中的測量管1， 而容器3例如爲半導體製龜系統的酸性液體用的桶。測量管 1的一端部配置在從容器3的底部算起高度L1處，而其另一 端部連接於配置在控制裝置4中的壓力感測器，其中控制裝 .置4包含計算由壓力感測器測得的壓力値與相應於局部參考 壓力例如等於大氣壓力的値的一儲存値之間的差異的電子 機構。然後，此電子計算機構以與液體2的密度或比重成比 ‘例的一儲存値來除此壓力差異的値。此除法運算所得的値 以已知的方式相應於潛浸在液體2內的測量管1的部份的高 度L2，並且由顯示器5例如LCD顯示器來顯示。在由顯示器5 顯示之前，高度L2的値可加於相等於高度L1的儲存値，用 來獲得從容器3的底部算起的液體2的自由表面的高度的實 際値 Η = 〇 ............... 根據本發明，測量管1連接於輔助導管6，其設置有電 閥7 並且具有配置在容器3的內部或外部的自由端，特別 是與相鄰於容器3的環境連通。電閥7經由纜線8而與控制裝 本紙張尺度適用中周國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) Jg—_ 讎~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) • tn— m me 0 訂！ 丨· tstEB EEtH * 500992 A7 B7 五、發明説明（6 ) ‘ 置4連接，使得控制裝置4可循環式地打開電閥7，因而將測 量管1設定爲經由輔助導管6而與環境連通一段預定時間週 期。當電閥7打開時，控制裝置4的壓力感測器測量一參考 壓力’例如局部或大氣壓力，而其値被儲存在電子計算機 樺中’因而取代先前儲存的參考壓力値。在預定週期之後 ’電閥7關閉，使得控制裝置4可再次偵測由液體2施加在容 納在測量管1中的流體上的壓力，因此決定液體本身的高·度 〇 測量管1可經由導管9而適當地連接於一壓縮氣體源1 0 '例如氮或空氣。導管9豳置有用來諷整引入的氣體的壓力 的閥11，以及用來調整氣體流量的節流閥1 2。.藉著調整閥 1 1及12，可使氣體進入測量管直到氣體稍微潺潺流入液體2 內。以此配置，測量管1中測得的反壓直接相應於由液體2 施加在氣體上的壓力。 根據本發明的裝置較佳地包含例如爲PT100型的熱探針 .1 3，其潛浸在液體2中，並且以纜線1 4而連接於控制裝置4 。根據液體溫度的與液體的密度或比重成比例的値的一或 多個表可儲存在控制裝置4中。藉著選擇相應於容納在容器 3中的液體2的表，電子計算機構可根據由熱探針1 3測得的 溫度來從此表獲得決定的密度値或比重値，然後此値被用 來以上JL的方式計算液體2的高度。 — 一或多個臨限値（特別是五個値）可另外被儲存在控 制裝置4中。當這些値大於或小於液體2的高度値時，控制 裝置4打開相應的例如爲LED型的指示燈1 5，以給予使用者 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2iOX：297公釐） I, ^丨^! (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 一tcicl KBKti tBSS · 經濟部智慧財產局員工消贫合作社印製 500992 A7 B7 五、發明説明（7 ) . 即時的高度資訊。另外，控制裝置4較佳地設置有多個璋15_ ’特別是五個’：以可連接外部電氣或電子裝置（圖中未顯 示），例如警報裝置。經由埠1 5 f，控制裝置4可在該臨限値 大於或小於液體2的高度値時傳送電訊號，以打開或關閉外 部裝置。 控制裝置4也連接於電源16，例如24V的DC電源，並且 另外包含用來輸入資料的鍵盤1 7，用來連接於外部電腦.的 例如爲:串聯埠RS-232或RS-485的界面18，以及稍後會說明其 作用的多個連接器19及一對按鈕20。 ： 參考圖2，圖中可見杏本發明的第二實施例中，電閥7 爲適合用來將辅助導管6或導管9交替連接於測量管1的三向 電閥。以此配置，在局部壓力是經由辅助導管6測量時，可 避免來自導管9的氣體被引入測量管1內。 ‘ 參考圖3，圖中可見在本發明的第三實施例中，控制裝 置4包含二壓力感測器。第一感測器如同在先前的實施例中 ‘測量測量管1中的壓力，而第二感測器測量具有配置在容器 3的環境中的自由端的輔助導管2 1中的壓力。在此實施例中 ，容器3爲一封閉槽，使得辅助導管21的自由端配置在槽的 內部，於槽的蓋子下方的淨空部份中。以此配置，輔助導 管2 1內部的參考壓力例如大氣或局部壓力及測量管1內部的 壓力可被連續地測量，使得不再需要用來經由相同-的管件 以交替方式測量參考壓力的電閥。 在圖4中可見例如爲具有磁性浮件的感測器的高度感測 器22經由一或多個纜線23而連接於控制裝置4的連接器19。 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 晴1〇鑛 1· (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝^-- tr 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500992 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（8 ) · 高度感測器2 2根據容納在桶2 5中的液體2 4的高度而將電訊 號送至控制裝置4 ’例如根據在QDR (快速傾卸沖洗器）沖 洗桶中的非常純的水的高度。桶25與容器3的區別在於容器 3可例如爲在半導體製造系統中一般配置在沖洗桶附近的酸 性液體用的桶。根據由高度感測器22所傳送的訊號，控制 裝置4經由連接器19及一或多個纜線26而將電訊號送至一對 電閥 27，28。 · , 第一電閥27爲三向電閥，.其控制來自壓縮空氣源29的 :壓縮空氣的流入至移動桶25的底部3 1以將桶25淨空或以由 —或多個噴灑器32排放的液體來充塡桶25的氣動活塞30。 第二電閥2 8控制來自壓縮空氣源3 3的壓縮空氣的流入 ，用來打開或關閉適合於用來控制以箭頭35所示的來自外 . 部來源的液體24的流入至噴灑器32的氣動閥34。’ 由桶25經由底.部31排洩的液體通過排洩導管36，其較 佳地設置有導熱計37，例如由Thornton廠製造的精確導熱計 ，其經由連接器19而將電訊號送至控制裝置4。導熱計37較 佳地設置有PT 100熱感測器，用來根據液體24的溫度校正液 體24的導熱係數値。 最後，第三電閥3 9可連接於連接器1 9。電閥3 9可控制 來自壓縮空氣源4 0的壓縮空氣的流入，用來打開或掘閉適 合於用來使來自排洩導管36的液體24偏流至以箭頭42顯示 的排洩裝置或至將液體24再次朝向噴灑器32輸送的輸送導 管42,的三向氣動閥41。輸送導管42_較佳地設置有流量計’ 例如Georg Fischer廠的流量計Signet 2507，其經由連接器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

500992 Α7 Β7 五、發明説明（9 ) * .19而將電訊號送至控制裝置4。 參考圖5，圖中可見控制裝置4包含上述的電子計算機 構43，其在此實施例中是由可程式規劃邏輯控制器（PLC) 構成，例如NEC廠的PLC型號78F0078。PLC43適當地設置有 RAM記億體44，其中暫時性參數例如由慼測器積[J得的壓力 及密度可被儲存以用來計算液體2的高度。PLC43另外適當 地設置有快閃ROM記億體45，其中可儲存用於控制裝置4的 工作的軟體以及相關的參數，例如： 根據溫度的密度値或比重値的表； 、 .測量管1的自由端的位準高度L 1 ; 相應於指示燈15的臨限値的位準高度； 電閥7，27，28，及/或39的關閉及打開時間間隔； 桶25中的沖洗循環次數； ‘ 液體2的高度遲滯校正値； 環境或大氣壓力的校正値； 相應於容器3的面積以用來計算其內容納的液體2的體 積的値； \ ‘ . 壓力及./或溫度測量單位的轉換常數； 日期及時間ί以及 對於根據本發明的裝置的正確工作有用的另外參數。 I些參數可經由連接於PLC43的顯示器5來顯示。爲儲 存另外的資料，PLC43也可連接於可移去記憶體例如快閃型 記憶體用的界面46，或是經由.界面18而連接於外部電腦。 測量管1中的壓力的測量是由例如爲阻抗型感測器的精 本紙張尺度逋用中.國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) • ECCEE * ----訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500992 A7 B7 五、發明説明（10 )

In 1* I I ....... tn I— - 士 L .......... I ^„—I ^mit (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 確感測器47來執行，例如Cnstal廠的感測器CS55224，其藉 著類比/數位轉換器48而連接於PLC43。PLC43進一步直接地 或例如經由光電隔離器而間接地連接於探針丨3，指示燈丄5 ，鍵盤17，界面18，連接器19，及按鈕20。 . 在使用期間，使用者打開控制裝置4，並且經由鍵盤i 7 輸入以上所列的用於根據本發明的裝置的工作的參數^控 制裝置4根據由使用者輸入的參數週期性地藉著以上所述的 方法來.計算液體2的高度値，且將其經由顯示器5及/或指示 燈15顯示。 . . 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 同時’使用者可開始桶25中的沖洗，並且藉著按鈕20 來輸入相關循環次數。在此情況中，控制裝置4打開電閥28 以用液體24充塡桶25。當高度感測器22偵測到桶25被充滿 時，控制裝置4關閉電閥28，且等候一段預定時間週期，然 後其藉著利用電閥27來打開底部31而淨空捅25。如果由捅 25經由排洩導管36排洩的液體被導熱計37偵測到爲充分地 純，則控制裝置4藉著利用電閥39來操作閥41以回收輸送導 管42^中的液體。流量計38測量液體24的回收量。相反的， 如果液體未充分地純，則控制裝置4藉著始終利用電閥39來 反向操作閥4 1而排洩液體。一旦液體24已被排洩，則控制 裝置4關閉桶25的底部31，等候一段預定時間週期，然後再 次以上Ji _的方式開始沖洗循環，直到達成由使用者程-式-規 劃的循環次數。 在本發明的範圍內，熟習此項技術者可對以上所述及 所顯示的本發明的實施例實施另外的修正及/或附加， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐）

Claims (1)

1. 500992 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 A8 B8 ___、申請專利範圍 · 1 · 一種用以控制液體高度之方法，該液體（2 )係容納 在至少一容器（3 )中，該方法的特徵在於其包含以下的操 作步驟： 將一測量管（1 )插入該液體（2 )中； ‘ 將一輔助導管（6 ; 2 1 )配置在該容器（3 )的內部或 外部； 測量該測量管（1 )中的壓力； 測量該輔助導管（6 ; 2 1 )中的壓力； 決定該測量管（Ο中與該輔助導管（6 ; 2 1 )中的壓 力之間的差異； 決定該容器（3 )中的該液體（2 )的密度値或比重値 ;及 以該液體（2 )的該密度値或比重値除該壓力差異。 2. 如申請專利範圍第1項所述的用以控制液體高度之方 法’其中該容器（3)中的該液體（2)的該密度値或比重 値是根據該液體本身的溫度來決定。 3. 如申請專利範圍第1項所述的用以控制液體高度之方 法’其中該測量管（1 )中及該輔助導管（6 )中的壓力是 由同一壓力慼測器（47 )來交替地測量。 4 ·如申請專利範圍第1項所述的用以控制液體高度之方 法’甚„中在壓力下的一氣體被引入該測量管（1)內且從該 測量管潛浸在該液體（2 )中的端部送出。 5 .如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的用以控 制液體高度之方法，其中該除法運算的結果（L2 )被加於 先 閱 讀 背 之 注 項1 再ύ 1}裝 I — 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 14- 500992 Αδ Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 ‘ 相應於從該容器（3 )的底部算起的該測量管（1 )的端部 的高度的値（L1.)。 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 t、 寫 本 頁 6. —種用以控制液體高度之裝置，該液體（2 )係容納 在至少一容器（3 )中，該用以控制液體高度之裝置包含潛 浸在該液體（2 )內的一測量管.（1 )，以及設置有連接於 該測量管（1 )的至少一壓力感測器（47 )的一控制裝置（ 4 )，該用以控制液體高度之裝置的特徵在於該控制裝置（ 4)也設置有用來測量配置在該容器（3)的內部或外部的 一輔助導管（6 ; 2 1 )中的壓力的一感測器，以及用來計算 該測量管（1 )中與該輔助導管（6 ; 2 1 )中的壓力之間的 差異的電子計算機構（43 )，該電子計算機構（43 )也被 用來以儲存在一或多個電子記憶體（44，45，46 )中的可 由該電子計算機構（43)讀取的該液體（2)的一或多個密 度値或比重値除該壓力差異。 7. 如申請專利範圍第6項所述的用以控制液體高度之裝 置，其中該控制裝置（4 )只設置有一個壓力感測器（47 ) 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 ，用來交替地測量潛浸在該液體（2 )內的該測量管（1 ) 中及該輔助導管（6)中的壓力。 8. 如申請專利範園第7項所述的用以控制液體高度之裝 置，其中藉著一或多個纜線（8 )而連接於該控制裝置（4 )的一電閥（7)被配置在該測量管（1)與該輔助導管一 )之間，使得當該電閥（7 )打開或關閉時，該壓力感測器 (47 )分別測量該辅助導管（6 )中或該測量管（1 )中的 壓力。 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規袼（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500992 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 ^ 9. 如申請專利範圍第6項所述的用以控制液體高度之裝 置，其中該測量管（1 )經由一導管（9 )而連接於在壓力 下的一氣體源（1 0 )，而該導管（9 )設置有用來調整被引 入的氣體的壓力的一閥（1η ，以及用來調整氣體流量的 一節流閥（1 2 )。 10. 如申請專利範圍第9項所述的用以控制液體高度之裝 置，其中該電閥（7 )爲使該測量管（1)與在壓力下的該 氣體的該導管（9)或該輔助導管（6)交替連接的三向電 閥。 1 1.如申請專利範圍第6項所述的用以控制液體高度之裝 置，其中該控制裝置（4 )包含測量該測量管（1 )中的壓 力的一第一感測器，以及測量配置在該容器（3 )的內部或 外部的一輔助導管（2 1 )中的壓力的一第二慼測器。 1 2.如申請專利範圍第6項所述的用以控制液體高度之裝 置，其中該控制裝置（4 )連接於潛浸在該液體（2 )內的 一熱探針（13)，並且該電子計算機構（43)根據由該熱 探針（1 3 )測得的溫度從儲存在電子記憶體（44，45，46 )內的一或多個表選擇與該液體（2 )的密度或比重成比例 的至少一値。 13. 如申請專利範圍第6項所述的用以控制液體高度之裝 置，其中該控制裝置（4 )設置有至少一顯示器（5 )，潘- 來顯示由該電子計算機構（43)計算的該液體（2)的高度 〇 14. 如申請專利範圍第6項所述的用以控制液體高度之裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規袼（210 X 297公釐〉 -16- 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 im 填，1 !裝 胥I w | I I I I I 訂 I 500992 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 ’ 置，其中該控制裝置（4 )設置有用來儲存一或多個臨限値 的一或多個電子記憶體（44 ’ 45，46 )，並且該電子計算 機構（43 )根據該臨限値及該液體（2 )的高度打開或關閉 一或多個外部電氣或電子裝置及/或一或多個指示燈（1 5 ) 〇 15. 如申請專利範圍第6項所述的用以控制液體高度之裝 置，其中該控制裝置（4 )設置有用來連接於一外部電腦的 至少一界面（1 8 )。 16. 如申請專利範圍第6項所述的用以控制液體高度之裝 置，其中該控制裝置（4 )設置有用來輸入資料的一鍵盤（ 17 )。 1 7.如申請專利範圍第6項所述的用以控制液體高度之裝 置，其中該控制裝置（4 )連接於一高度感測器（22 )，以 及一或多個電閥（27，28，39 )，該一或多個電閥（27， 28，39 )是由該控制裝置（4 )根據容納在一桶（25 )中的 液體（24 )的高度來控制，而該高度係由該高度感測器（ 22 )來偵測。 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 18. 如申請專利範圍第17項所述的用以控制液體高度之 裝置，其中該電閥（27，28，39)中之一閥（27)爲三向 電閥，其控制壓縮空氣的流入至適合用來打開或關閉該桶 (25)的底部（31)的一氣動活塞（30)。 19. 如申請專利範圍第17項所述的用以控制液體高度之 裝置，其中該電閥（27，28，39 )中之一閥（28 )控制壓 縮空氣的流入’以用來打開或關閉適合用來控制該液體（ -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規袼（21〇 X 297公愛） 六、 A8 Βδ C8 D8 申請專利範圍 ‘ 24)的流入至該桶（25)的一氣動閥（34)。 20.如申請專利範圍第17項所述的用以控制液體高度之 裝置，其中該電閥（27，28，39 )中之一閥（39 )控制壓 縮空氣的流入，以用來打開或關閉適合用來使來自連接於 験桶（25)的底部（31)的一排洩導管（36)的該液體（ 24 )偏流至一排洩裝置（42 )或至用來回收該桶（25 )中 的液體（24 )的一輸送導管（42,）的三向氣動閥（41 )。 2 1.如申請專利範圍第20項所述的用以控制液體高度之 裝置’其中連接於該桶（25 )的底部（31 )的該排洩導管 (36)設置有連接於該控制裝置（4)的一導熱計（37)。 22·如申請專利範圍第20項所述的用以控制液體高度之 裝置’其中該輸送導管（42f )設置有連接於該控制裝置（4 )的一流量計（3 8 )。 23·如申請專利範圍第6項所述的用以控制液體高度之裝 置’其中該電子計算機構（43 )包含一可程式規劃邏輯控 制器，其設置有可儲存用於該液體（2 )的高度的計算的暫 時參數’用於該控制裝置（4 )的工作的軟體，及/或相關 的工作參數的一或多個記憶體（44，45 )。 24.如申請專利範圍第23項所述的用以控制液體高度之 裝置，其中該工作參數包含以下値的一個或多個： 根_捧溫度的該液體（2)的密度値或比重値的表； 該測量管（1 )的自由端的位準高度（L1 ); 相應於該指示燈（1 5 )的臨限値的位準高度； 該電閥（7，27，28，39 )的關閉及打開時間間隔； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 再零I 填· i I裝 本 . 頁-I w | I I I I I 訂 I 經濟部智慧財產局員X消費合作社印製 18 )υυ992 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 ‘ 該桶（25 )中的沖洗循環次數； 該液體（2 ).的高度遲滯校正値； 環境或大氣壓力的校正値； 相應於該容器（3 )的面積以用來計算其內容納的該液 體（2 )的體積的値； 壓力及/或溫度測量單位的轉換常數；及/或 曰期及時間。 25. 如申請專利範圔第23項所述的用以控制液體高度之 裝置’其中該壓力感測器（47 )爲一阻抗型感測器，其藉 著一類比/數位轉換.器（48)而連接於該可程式規劃邏輯控 制器（43 )。 26. 如申請專利範圍第24項所述的用以控制液體高度之 裝置’其中該工作參數可由該可程式規劃邏輯控制器（43 )顯示在顯示器（5 )上。 (請先閱讀背面之注意再填寫本頁) I: *裝 訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -19 -