JP2003535397A - 液位を制御する装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 以下の操作工程、−液体（２）内に測定管（１）を挿入する工程と、−容器（３）の内側又は外側に補助ダクト（６、２１）を配置する工程と、−前記測定管（１）内の圧力を測定する工程と、−前記補助ダクト（６、２１）内の圧力を測定する工程と、−測定管（１）内の圧力と補助ダクト（６、２１）内の圧力との差を決定する工程と、−容器（３）内の液体（２）の密度又は比重の値を決定する工程と、−前記圧力差を、前記液体（２）の密度又は比重の値で除する工程とからなる、少なくとも一の容器（３）に収容された液体（２）の液位を制御する方法。また本発明は、前記方法を実施する装置に関する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 本発明は、液位を制御する方法に関し、特に、例えば半導体製造系において
みられるような、自由表面を有する液槽及び／又は圧力下のタンク内に含まれる
液体の液位を制御するために利用することのできる方法に関する。また本発明は
、前記方法を実施する装置に関する。

【０００２】 液位を制御する装置は、被制御液体中に浸漬された測定管に接続された圧力セ
ンサを具備した制御装置からなることが知られている。圧力センサによって測定
され、液体の密度又は比重の値で除した値が、その液位を決定する。

【０００３】 公知装置に関する従来特許は、ＵＳ５，９５３，９５４号、５，２４５，８６
９号、ＦＲ３，６４３，４５４号、ＷＯ９９／２７３２８号である。

【０００４】 しかしながら、上記公知装置は、圧力センサによって測定される値が、例えば
大気圧や加圧下にあるタンク内の圧力などの、経時変化しうる局所圧により影響
を受けるので、大まかな結果しか提供しえない。

【０００５】 従って、本発明の目的は、上記欠点を解消した、液位を制御する方法及び装置
を提供することにある。前記目的は、その主たる特徴が、請求項１及び６それぞ
れで特定され、その他の特徴が残りの請求項によって特定される方法及び装置に
より達成される。

【０００６】 補助ダクト内の圧力を測定し、それと測定管内の圧力との差を測定することに
よって、本発明に従う方法及び装置は、公知の方法及び装置よりも正確な液位測
定を行なうことができる。

【０００７】 本発明の有利な側面によれば、当該装置は、測定精度を更に向上させるために
、液体温度に応じて液体の密度又は比重の値を補正することができる。

【０００８】 本発明の他の有利な側面によれば、当該装置は、単一の圧力センサと電気弁と
を備えることによって、測定管及び補助ダクト内の圧力を交互に測定することが
できる。この構成によれば、製造コストが減少し、他の圧力センサとの間の測定
差に起因する誤差を排除することができる。

【０００９】 本発明の更に有利な側面によれば、液体が気体に及ぼす圧力に相当する逆圧を
測定するために、当該装置の測定管は、加圧気体の供給源と接続することができ
る。この構成によれば、液体が放出する有害蒸気が、測定管を通って制御装置へ
到達する可能性を排除できる。

【００１０】 本発明の他の有利な側面によれば、当該装置は、液位を決定し、計算パラメー
タや装置の正常動作のための他の有用なパラメータを制御するための計算手段及
び電子メモリを設けてなる。更に、この構成によれば、本発明に従う装置は、容
器内の液体の液位のみならず、すすぎ槽の動作も制御できるので、当該装置が半
導体製造系において使用される場合、更にコストを減少させることができる。

【００１１】 当該装置の製造及び維持コストの減少に関し、前記電子計算手段は、プログラ
ム可能な公知の論理制御装置に含まれていることが有利であり、本発明に従う装
置を遠隔制御するために外部コンピュータに接続することもできる。

【００１２】 本発明に従う方法及び装置の更なる利点及び特徴は、幾つかの態様に関する以
下の詳細且つ非限定的な説明と添付図面を参照することにより当業者に明確とな
ると思われる。

【００１３】 図１は、本発明に従う装置の第一態様を示す略図である。

【００１４】 図２は、本発明に従う装置の第二態様を示す略図である。

【００１５】 図３は、本発明に従う装置の第三態様を示す略図である。

【００１６】 図４は、すすぎ槽に接続された図１に係る装置を示す略図である。

【００１７】 図５は、図１に係る装置の制御装置を示す略図である。

【００１８】 図１を参照すると、本発明の第一態様に従う装置が、容器３（例えば半導体製
造系の酸性液体用液槽）内に収容された液体２中に浸漬された測定管１を、公知
の様式で含んでいることが判る。測定管１の末端は、容器３の底からの液位Ｌ１
の位置に配置されており、もう一方の末端は、制御装置４内に配置された圧力セ
ンサに接続されている。前記制御装置４は、圧力センサにより検出された圧力値
と、例えば大気圧の値と同等な、局所的基準圧力に相当する保存値との間の差を
計算する電子手段を構成要素としている。更に、前記電子計算手段は、この圧力
差の値を、液体２の密度又は比重に比例する保存値で除す。前記除算により得ら
れた値は、公知のように液体２内に浸漬された測定管１の部分の液位Ｌ２に一致
し、ＬＣＤディスプレイなどの、ディスプレイ５に表示される。液位Ｌ２の値は
、ディスプレイ５に表示される前、液位Ｌ１に等しい保存値に加えられ、液体２
の自由表面の容器３の底からの液位である真の値Ｈ＝Ｌ１＋Ｌ２が得られる。

【００１９】 本発明によれば、測定管１は、電気弁７を具設する補助ダクト６に接続される
。尚、前記補助ダクト６は、容器３の内側又は外側、特に容器３の周囲環境と連
通するように配置された自由末端を有している。電気弁７は、制御装置４が周期
的に該電気弁７を開き、補助ダクト６を介して所定時間、測定管１を周囲環境と
連通させるよう、ケーブル８を介して制御装置４に接続される。電気弁７が開く
と、制御装置４の圧力センサが、例えば局所圧又は大気圧など、基準圧力を測定
するが、その値は電子計算手段に保存され、以前に保存された基準圧力の値が置
換される。所定時間後、電気弁７を閉じることにより、制御装置４は、測定管１
内の流体に液体２が及ぼす圧力を再び検出し、その結果、液体自体の液位を決定
することができる。

【００２０】 測定管１は、ダクト９を介して、例えば窒素又は空気など、圧縮気体の供給源
１０に好適に接続することができる。ダクト９は、導入気体の圧力を調節する弁
１１と、その流量を調節する絞り弁１２とを設けてなる。弁１１及び１２を調節
することによって、液体２内に気泡が僅かに音を立てて発生するまで、気体を測
定管内に導入することが可能となる。この構成によれば、測定管１内で測定され
る逆圧は、液体２が気体に及ぼす圧力に正確に一致する。

【００２１】 本発明に従う装置は、液体２内に浸漬されケーブル１４により制御装置４に接
続されたサーマルプローブ１３（例えばＰＴ１００型）を構成要素とすることが
好ましい。液体温度に従い液体の密度又は比重に比例する値についての一又は複
数の表は、制御装置４に保存できる。容器３に収容された液体２に応じて表を選
択することにより、電子計算手段がこの表から、サーマルプローブ１３により測
定された温度に従って、後に上記の方法で液体２の液位の計算に使用される密度
又は比重の確定値を得ることができる。

【００２２】 一又は複数の閾値、特に五つの値を、制御装置４に更に保存することができる
。これらの値が、液体２の液位の値より大きいか小さい場合、制御装置４は、対
応するパイロットランプ１５（例えばＬＥＤ型）を点灯させ、ユーザーに即値液
位情報を提供する。更に、制御装置４は、例えばアラーム装置などの外部電気又
は電子装置（非図示）を接続できる複数のポート１５´、特に五つのポートを設
けていることが好ましい。前記閾値が液体２の液位の値よりも大きいか小さい場
合、前記外部装置のスイッチを入れたり消したりするよう、制御装置４は、ポー
ト１５´を介して、電気信号を伝達する。

【００２３】 また制御装置４は、電源１５（例えば２４Ｖ ＤＣ電源）に接続されており、
更にデータ入力用キーボード１７、外部コンピュータ接続用インターフェース１
８（例えばシリアルポートＲＳ−２３２又はＲＳ−４８５）、並びに複数のコネ
クタ１９及び一対の押しボタン２０を含んでなる。押しボタンの機能に付いては
後述する。

【００２４】 図２を参照すると、本発明の第二態様において、電気弁７が、測定管１に補助
ダクト６又はダクト９を交互に接続するのに好適な電気式三方弁であることが判
る。この構成によれば、補助ダクト６を介して局所圧を測定する際、ダクト９か
らの気体が測定管１に進入することを避けることができる。

【００２５】 ここで図３を参照すると、本発明の第三態様において、制御装置４が、二つの
圧力センサを構成要素としていることが判る。第一のセンサは、前出の態様と同
様に測定管１内の圧力を測定し、第二のセンサは、容器３の環境内に配置された
自由末端を有する補助ダクト２１内の圧力を測定する。本態様において、容器３
は閉じられたタンクであり、従って補助ダクト２１の自由末端は、タンク内側に
あって、その蓋の下側の空間部分に配置される。この構成によれば、補助ダクト
２１内部の基準圧力（例えば大気圧又は局所圧）と、測定管１内部の圧力とを、
連続的に測定することができ、従って、交互に同一管を使用して基準圧力を測定
するための電気弁が不要になる。

【００２６】 図４では、液位センサ２２（例えば磁気フロートを具備したセンサ）が、一又
は複数のケーブル２３を介して制御装置４のコネクタ１９に接続されていること
が判る。液位センサ２２は、制御装置４に、液槽２５内に収容された液体２４の
液位（例えば液槽をすすぐＱＤＲ（Ｑｕｉｃｋ Ｄｕｍｐ Ｒｉｎｓｅｒ）内に
ある超純水の液位）に応じて電気信号を送る。液槽２５は、容器３とは異なり、
例えば半導体製造系において一般にすすぎ槽の近傍に配置される酸性液体用液槽
とすることができる。液位センサ２２によって送られた信号に従い、制御装置４
は、コネクタ１９並びに一又は複数のケーブル２６を介して、一対の電気弁２７
、２８に電気信号を送る。

【００２７】 第一の電気弁２７は、供給源２９から空気ピストン３０への圧縮空気の流入を
制御する三方電気弁であり、該空気ピストンは、一又は複数の噴霧器３２によっ
て放出された液体で充満又は排出するよう液槽２５の底３１を動かすものである
。

【００２８】 一方、第二の電気弁２８は、矢印３５で示される外部供給源からの液体２４の
噴霧器３２への流入を制御するのに好適な空気弁３４を開閉するよう、供給源３
３からの圧縮空気の流入を制御する。

【００２９】 液槽２５から底３１を介して排出された液体は、コネクタ１９を介して制御装
置４に電気信号を送る伝導度測定器３７（例えばＴｈｏｒｎｔｏｎ社により製造
された精密伝導度測定器）を好ましくは設けてなる排水ダクト３６を通過する。
伝導度測定器３７は、液体２４の温度に応じて液体２４の伝導度の値を補正する
ＰＴ１００熱センサを設けていることが好ましい。

【００３０】 最後に、第三の電気弁３９は、コネクタ１９に接続することができる。電気弁
３９は、排水ダクト３６からの液体２４を、矢印４２で示されるドレン、又は液
体２４を再び噴霧器３２に搬送する搬送ダクト４２´へ偏向させるのに好適な空
気式三方弁４１を開閉するよう、供給源４０からの圧縮空気の流入を制御するこ
とができる。搬送ダクト４２´は、コネクタ１９を介して制御装置４へ電気信号
を送る流量計（例えばＧｅｏｒｇ Ｆｉｓｃｈｅｒ社の流量計Ｓｉｇｎｅｔ２５
０７）を設けていることが好ましい。

【００３１】 図５を参照すると、制御装置４が、上記電子計算手段４３を構成要素としてい
ることが描かれており、本態様において、前記電子計算手段は、プログラム可能
な論理制御装置（ＰＬＣ）（例えばＮＥＣ社のＰＬＣモデル７８Ｆ００７８）で
構成されている。ＰＬＣ４３は、液体２の液位の計算用に一時パラメータ（例え
ばセンサで測定された圧力や密度）を保存できるＲＡＭメモリ４４を好適に具備
している。更にＰＬＣ４３は、制御装置４を作動させるソフトウェアや関連パラ
メータを保存することができるフラッシュＲＯＭメモリ４５も好適に具備してお
り、例えば； −温度に対応した密度又は比重の値の表 −測定管１の自由末端の液位Ｌ１の高さ −パイロットランプ１５の閾値に相当する液位の高さ −電気弁７、２７、２８及び／又は３９の開閉タイムインターバル −液槽２５内でのすすぎサイクル数 −液体２の液位ヒステリシスの補正値 −雰囲気圧又は大気圧の補正値 −容器３内に収容されている液体２の体積計算に使用する、容器３の面積に相当
する値 −圧力及び／又は温度測定ユニットの変換定数 −日付及び時間 −本発明に従う装置の正常動作に有用な他のパラメータ を保存できる。

【００３２】 上記パラメータは、ＰＬＣ４３に接続されたディスプレイ５を使用して表示で
きる。更にデータを保存するには、ＰＬＣ４３を、リムーバブルメモリ（例えば
フラッシュメモリ類）用インターフェース４６に接続するか、インターフェース
１８を介して外部コンピュータに接続することができる。

【００３３】 測定管１内の圧力測定は、アナログ−デジタル変換器４８を使用してＰＬＣ４
３に接続された精密センサ４７（例えばＣｒｉｓｔａｌ社のセンサＣＳ５５２２
４のような抵抗型センサ）によって実行される。ＰＬＣ４３は、更にプローブ１
３、パイロットランプ１５、キーボード１７、インターフェース１８、コネクタ
１９及び押しボタン２０に、直接又は間接（例えばオプトアイソレータを介して
）に接続されている。

【００３４】 使用中、ユーザーは、本発明に従う装置を作動させるため、制御装置４の電源
を入れ、キーボード１７を使用して上記パラメータを入力する。周期的に、制御
装置４は、ユーザーが入力したパラメータに従って、上記方法を用いて液体２の
液位の値を計算し、それをディスプレイ５及び／又はパイロットランプ１５を使
用して表示する。

【００３５】 一方、ユーザーは、液槽２５内ですすぎを開始し、押しボタン２０を使用して
関連サイクル数を入力することができる。この場合、制御装置４は、液槽２５を
液体２４で満たすよう電気弁２８を開く。液槽２５が満たされたことを液位セン
サ２２が検知すると、制御装置４は、電気弁２８を閉じ、所定時間待機し、その
後、電気弁２７を使用して底３１を開けることにより液槽２５を空にする。排水
ダクト３６を介して液槽２５から排出された液体が、伝導度測定器３７により十
分に純粋であると判定されると、制御装置４は、電気弁３９を使用して弁４１を
開くことにより該液体を搬送ダクト４２´内に戻す。流量計３８は、戻された液
体２４の量を測定する。一方、液体が十分に純粋でない場合、制御装置４は、や
はり電気弁３９を使用して、弁４１を逆方向に操作して該液体を排出する。液体
２４が排出されると、制御装置４は液槽２５の底３１を閉じ、所定時間待機し、
ユーザーがプログラムしたサイクル数に達するまで、上記の如くすすぎサイクル
を再開させる。

【００３６】 以上説明及び図示した本発明の態様に対し、本発明自体の範囲を超えずに、他
の修正及び／又は追加を施すことは当業者であれば想到しうると思われる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ，ＴＲ)，ＯＡ(ＢＦ ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ， ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，Ｇ Ｍ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ， ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ， ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，Ｂ Ｚ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＯ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＣ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ， ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，Ｉ Ｎ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ， ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，Ｐ Ｌ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ， ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ Ｆターム(参考） 2F014 AA04 BA03 5F043 EE01 EE29 5H309 AA02 BB01 CC04 CC06 CC09 DD04 DD12 DD22 DD38 EE03 FF07 FF17 JJ02 KK08

Claims (26)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 以下の操作工程、 −液体（２）内に測定管（１）を挿入する工程と、 −容器（３）の内側又は外側に補助ダクト（６、２１）を配置する工程と、 −前記測定管（１）内の圧力を測定する工程と、 −前記補助ダクト（６、２１）内の圧力を測定する工程と、 −測定管（１）内の圧力と補助ダクト（６、２１）内の圧力との差を決定する工
   程と、 −容器（３）内の液体（２）の密度又は比重の値を決定する工程と、 −前記圧力差を、前記液体（２）の密度又は比重の値で除する工程とからなる、
   少なくとも一の容器（３）に収容された液体（２）の液位を制御する方法におい
   て、 液体（２）の密度又は比重の値を、一又は複数の電子メモリ（４４、４５、４６
   ）に保存する工程を含むことを特徴とする方法。
2. 【請求項２】 容器（３）内の液体（２）の密度又は比重が、液体自体の温
   度に応じて決定されることを特徴とする前出請求項に記載の方法。
3. 【請求項３】 測定管（１）及び補助ダクト（６）内の圧力が、同一の圧力
   センサ（４７）によって交互に測定されることを特徴とする前出請求項の一に記
   載の方法。
4. 【請求項４】 加圧下の気体が測定管（１）内に導入され、液体（２）内に
   浸漬された該測定管の末端から出ることを特徴とする前出請求項の一に記載の方
   法。
5. 【請求項５】 前記除算の結果（Ｌ２）が、容器（３）の底からの測定管（
   １）の末端の高さに相当する値（Ｌ１）に加えられることを特徴とする前出請求
   項の一に記載の方法。
6. 【請求項６】 少なくとも一の容器（３）に収容された液体（２）の液位を
   制御する装置であって、該液体（２）に浸漬される測定管（１）と、前記測定管
   （１）に接続された少なくとも一の圧力センサ（４７）を設けてなる制御装置（
   ４）とからなり、 前記制御装置（４）が該容器（３）の内側又は外側に配置された補助ダクト（６
   、２１）内の圧力を測定するためのセンサ、並びに、該測定管（１）内の圧力と
   該補助ダクト（６，２１）内の圧力との差を計算するとともに、該液体（２）の
   密度又は比重の一又は複数の値で前記圧力差を除する電子計算手段（４３）も設
   けてなることを特徴とし、前記値が、前記計算手段（４３）によって読み取り可
   能な一又は複数の電子メモリ（４４、４５、４６）に保存されることを特徴とす
   る装置。
7. 【請求項７】 制御装置（４）が、液体（２）に浸漬された測定管（１）内
   の圧力と、補助ダクト（６）内の圧力とを交互に測定する一の圧力センサ（４７
   ）のみを設けてなることを特徴とする請求項６に記載の装置。
8. 【請求項８】 一又は複数のケーブル（８）を使用して制御装置（４）に接
   続された電気弁（７）が、測定管（１）と補助ダクト（６）との間に配置されて
   なり、その結果、前記電気弁（７）が開閉するとき、前記圧力センサ（４７）が
   、補助ダクト（６）又は測定管（１）内の圧力をそれぞれ測定することを特徴と
   する請求項７に記載の装置。
9. 【請求項９】 測定管（１）が、導入気体の圧力を調節する弁（１１）と、
   その流量を調節する絞り弁（１２）とを設けたダクト（９）を介して、加圧下に
   ある気体の供給源（１０）と接続されていることを特徴とする請求項６乃至８の
   一に記載の装置。
10. 【請求項１０】 前記電気弁（７）が、加圧下にある気体のダクト（９）又
    は補助ダクト（６）と、測定管（１）とを交互に接続する三方電気弁であること
    を特徴とする請求項９に記載の装置。
11. 【請求項１１】 制御装置（４）が、測定管（１）内の圧力を測定する第一
    のセンサと、容器（３）の内側又は外側に配置された補助ダクト（２１）内の圧
    力を測定する第二のセンサとを設けてなることを特徴とする請求項６に記載の装
    置。
12. 【請求項１２】 制御装置（４）が、液体（２）内に浸漬されたサーマルプ
    ローブ（１３）に接続されていることと、電子計算手段（４３）が、前記サーマ
    ルプローブ（１３）によって検出された温度に従い、液体（２）の密度又は比重
    に比例する少なくとも一の値を、電子メモリ（４４、４５、４６）に保存された
    一又は複数の表から選択することとを特徴とする請求項６乃至１１の一に記載の
    装置。
13. 【請求項１３】 制御装置（４）が、電子計算手段（４３）によって計算さ
    れた液体（２）の液位を表示する少なくとも一のディスプレイ（５）を設けてな
    ることを特徴とする請求項６乃至１２の一に記載の装置。
14. 【請求項１４】 制御装置（４）が、一又は複数の閾値を保存する一又は複
    数の電子メモリ（４４、４５、４６）を設けてなることと、前記電子計算手段（
    ４３）が、前記閾値及び液体（２）の液位に従い、一若しくは複数の外部電気若
    しくは電子装置及び／又は一若しくは複数のパイロットランプ（１５）を入切す
    ることとを特徴とする請求項６乃至１３の一に記載の装置。
15. 【請求項１５】 制御装置（４）が、外部コンピュータとの接続用の少なく
    とも一のインターフェース（１８）を設けてなることを特徴とする請求項６乃至
    １４の一に記載の装置。
16. 【請求項１６】 制御装置（４）が、データ入力用のキーボード（１７）を
    設けてなることを特徴とする請求項６乃至１５の一に記載の装置。
17. 【請求項１７】 制御装置（４）が、液位センサ（２２）と、前記液位セン
    サ（２２）によって検出される、液槽（２５）内に収容された液体（２４）の液
    位に従い該制御装置（４）によって制御される一又は複数の電気弁（２７、２８
    、３９）とに接続されていることを特徴とする請求項６乃至１６の一に記載の装
    置。
18. 【請求項１８】 前記電気弁（２７、２８、３９）の一（２７）が、前記液
    槽（２５）の底（３１）の開閉に好適な空気ピストン（３０）への圧縮空気の流
    入を制御する三方電気弁であることを特徴とする請求項１７に記載の装置。
19. 【請求項１９】 前記電気弁（２７、２８、３９）の一（２８）が、前記液
    槽（２５）への液体（２４）の流入制御に好適な空気弁（３４）を開閉するよう
    、圧縮空気の流入を制御することを特徴とする請求項１７又は１８に記載の装置
    。
20. 【請求項２０】 前記電気弁（２７、２８、３９）の一（３９）が、前記液
    槽（２５）の底（３１）に接続された排水ダクト（３６）からの液体（２４）を
    、ドレン（４２）又は、液槽（２５）に液体（２４）を戻すための搬送ダクト（
    ４２´）へ偏向させるに好適な三方空気弁（４１）を開閉するよう、圧縮空気の
    流入を制御することを特徴とする請求項１７乃至１９の一に記載の装置。
21. 【請求項２１】 前記液槽（２５）の底（３１）に接続された前記排水ダク
    ト（３６）が、制御装置（４）に接続された伝導度測定器（３７）を設けてなる
    ことを特徴とする請求項２０に記載の装置。
22. 【請求項２２】 前記搬送ダクト（４２´）が、制御装置（４）に接続され
    た流量計（３８）を設けてなることを特徴とする請求項２０又は２１に記載の装
    置。
23. 【請求項２３】 電子計算手段（４３）が、液体（２）の液位計算用一時パ
    ラメータ、制御装置（４）の作動用ソフトウェア及び／又は関連作業パラメータ
    を保存することのできる一又は複数のメモリ（４４、４５）を具備したプログラ
    ム可能な論理制御装置を構成要素とすることを特徴とする請求項６乃至２２の一
    に記載の装置。
24. 【請求項２４】 前記作用パラメータが、以下の値； −温度に従う液体（２）の密度又は比重の値に関する表、 −測定管（１）の自由末端の液位（Ｌ１）の高さ、 −パイロットランプ（１５）の閾値に相当する液位の高さ、 −電気弁（７、２７，２８，３９）の開閉タイムインターバル、 −液槽（２５）内のすすぎサイクル数、 −液体（２）の液位ヒステリシスの補正値 −雰囲気圧又は大気圧の補正値、 −容器（３）内に収容された液体（２）の体積を計算するための、容器（３）の
    面積に相当する値、 −圧力及び／又は温度測定ユニッとの変換定数、 −日付及び時間 の一又は複数からなることを特徴とする請求項２３に記載の装置。
25. 【請求項２５】 圧力センサ（４７）が、アナログ−デジタル変換器（４８
    ）を使用してプログラム可能な論理制御装置（４３）に接続された抵抗型センサ
    であることを特徴とする請求項２３又は２４に記載の装置。
26. 【請求項２６】 前記作業パラメータが、プログラム可能な論理制御装置（
    ４３）によってディスプレイ（５）上に表示可能であることを特徴とする請求項
    ２４に記載の装置。