KR20030001712A - 노광 램프의 시간 관리기 - Google Patents

노광 램프의 시간 관리기 Download PDF

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KR20030001712A
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Abstract

노광 공정에서 이용되는 램프를 적정한 시기에 교환할 수 있도록 하는 램프의 시간 관리기에 관해 개시한다. 미리 입력된 한계 시간과 타이머에 의해 측정된 동작 시간이 일치하면, 램프 및 노광 설비의 동작을 멈추게 하고, 에러 메세지를 표시한다. 램프를 적정한 시기에 교환 할 수 있고, 운영자가 램프의 동작 시간을 직접 눈으로 확인하는 번거로움을 해소할 수 있다.

Description

노광 램프의 시간 관리기{Device of managing time for exposure lamp}
본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 특히 노광 공정에서 이용되는 램프의 수명과 사용 시간을 비교하여, 램프를 적정한 시기에 교환할 수 있도록 하는 램프의 시간 관리기에 관한 것이다.
반도체 소자의 각종 패턴은 포토리소그래피(photolithography) 공정에 의하여 형성된다. 포토리소그래피 공정에서는, 웨이퍼상에 형성된 포토 레지스트막을 노광시키고 현상하여, 패턴을 형성하는 일련의 공정이다.
최근, 노광 공정에 이용되는 광원은 자외선이나 레이저와 같이, 높은 에너지 및 일정한 세기가 요구된다. 일반적으로, 수은 램프 및 엑시머(excimer) 레이저가 노광 공정의 광원으로 사용되고 있다. 한편, 웨이퍼 상에 입사되는 빛의 오토포커싱(auto-focusing) 등, 노광 공정을 원활하게 진행하기 위해, 할로겐 램프가 사용되고 있다.
그런데, 상기의 수은 램프 및 할로겐 램프를 장시간 사용하여 램프의 정해진수명(life time)이 되면, 램프에서 발광되는 빛의 세기가 감소한다. 램프의 빛의 세기가 감소하면, 노광 속도가 느려지져서 공정의 처리량이 떨어지므로, 생산량이 저하된다. 따라서, 노광되는 빛의 세기를 일정하게 유지할 수 있도록, 램프를 적정한 시기에 교체해 주는 것은 생산량 저하를 방지하기 위해 필수적이다.
현재 사용되고 있는 노광 설비에는 램프의 사용 시간을 측정하는 타이머가 구비되어 있다. 설비 운영자는 램프의 사용 한계 시간을 미리 정해 놓고, 각 설비에 구비된 타이머에 기록된 시간을 직접 눈으로 확인하고 있다. 문제는 주기적으로 설비 확인을 못했을 경우, 램프를 적정한 시기에 교체하지 못함으로써,사용 한계 시간 이상으로 램프를 사용하게 된다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 노광 램프를 적정한 시기에 교환하여, 노광되는 빛의 세기가 감소되는 것을 방지할 수 있게 하는 램프의 시간 관리기를 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 시간 관리기의 구성 요소를 나타낸 블록도이다.
본 발명의 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 시간 관리기는 설정 시간이 입력되는 입력부, 램프의 작동 시간을 측정하는 타이머(timer), 입력부의 설정 시간과 타이머에 의해 측정된 시간을 비교하는 비교부, 설정 시간과 타이머에 의한 측정 시간이 일치할 때, 에러(error) 메세지를 표시하는 표시부 및 설정 시간과 타이머에 의한 측정 시간이 일치할 때, 램프를 오프(off)시키는 제어부를 포함한다. 상기 램프가 오프되기 전, 운영자에 의해 설정된 소정의 시점에, 표시부에서경고 메세지를 표시한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예에 한정되는 것은 아니다.
이하, 도 1을 참고로 본 발명의 실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명에 의한 시간 관리기의 구성 요소를 나타낸 블록도이다.
본 발명의 시간 관리기는 입력부(100), 타이머(110), 비교부(120), 제어부(130) 및 표시부(140)로 구성된다. 설비 운영자는 램프가 동작되기 전에, 램프의 사용 한계 시간을 미리 입력부(100)에 설정한다. 램프가 동작하게 되면, 노광 설비에 구비된 타이머(110)에 의해 램프의 동작 시간이 측정된다.
비교부(120)에서는 입력부(100)에 설정된 시간과 타이머(110)에 의해 측정된 시간이 일치하는지를 비교한다. 설정 시간과 측정 시간의 차이가 1시간일 때, 예를 들면, 설정 시간이 300 시간인 경우 타이머(110)에 의한 측정 시간이 299 시간이 되었을 때, 표시부(140)에서 경고 메세지를 띄운다. 물론, 경고 메세지의 표시 시간은 운영자에 의해 다르게 설정될 수 있다.
다음, 입력부(100)의 설정 시간과 타이머(110)의 측정 시간이 일치하면, 즉, 상기의 경우에, 측정시간이 300 시간이 되었을 때, 제어부(130)는 램프를 오프시키고, 노광 설비의 동작을 멈추게 한다. 따라서, 미리 설정된 사용 한계 시간을 초과하여 램프 및 노광 설비가 동작되지 않는다. 설비의 멈춤과 동시에, 표시부(140)에서 에러 메세지를 띄운다. 운영자는 설비가 멈추고 에러 메세지가 뜨면, 램프를 교환하면 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의한 노광 램프의 시간 관리기를 구비함으로써, 램프를 적정한 시기에 교환 할 수 있으므로, 노광되는 빛의 세기를 항상 일정하게 유지하여 생산량이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 아울러, 운영자가 주기적으로, 램프의 동작 시간을 직접 눈으로 확인하는 번거로움을 해소할 수 있다.

Claims (3)

  1. 설정 시간이 입력되는 입력부;
    램프의 작동 시간을 측정하는 타이머(timer);
    상기 입력부의 설정 시간과 상기 타이머에 의해 측정된 시간을 비교하는 비교부;
    상기 설정 시간과 타이머에 의한 측정 시간이 일치할 때, 에러(error) 메세지를 표시하는 표시부; 및
    상기 설정 시간과 타이머에 의한 측정 시간이 일치할 때, 상기 램프를 오프(off)시키는 제어부를 포함하는 노광 램프의 시간 관리기.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 램프가 오프되기 전, 소정의 시점에, 상기 표시부에서 경고 메세지를 표시하는 노광 램프의 시간 관리기.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 소정의 시점은 운영자에 의해 설정되는 노광 램프의 시간 관리기.
KR1020010037053A 2001-06-27 2001-06-27 노광 램프의 시간 관리기 KR20030001712A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100747409B1 (ko) * 2004-03-29 2007-08-07 아주조명공업주식회사 형광등 수명 자동 표시 장치
WO2022201394A1 (ja) * 2021-03-24 2022-09-29 ギガフォトン株式会社 光源パラメータ情報管理方法、光源パラメータ情報管理装置及びコンピュータ可読媒体

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