KR200259450Y1 - 가열판 온도 제어 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 가열판 온도 제어 장치에 관한 것으로, 종래의 기술에 있어서는 고온의 공정조건으로 가열판을 셋팅하고자 할 경우에는 히터에 의해 빠른 상승이 가능하지만, 공정 조건이 변하여 낮은 온도로 가열판을 셋팅하고자 할 경우에는 특별한 방법이 없이 가열판이 자연적으로 식을 때 까지 기다려야 하기 때문에 공정 조건의 변화에 따라 능동적으로 대처할 수 없어 효율성이 떨어지는 문제점이 있었다. 따라서, 본 고안은 가열판의 소정 부위에 부가되어 항온수가 흐를 수 있는 통로 역할을 하는 항온수 라인과; 상기 항온수 라인에 항온수 흐름이 있는지 여부를 감지하는 항온수 감지부와; 온도 제어부의 제어에 의해 항온수 라인에 항온수를 주입하는 항온수 주입 제어부와; 상기 항온수 주입 제어부에 의한 항온수 주입이 완료될 경우, 항온수 라인에 가스를 주입하여 항온수를 배출시키기 위한 항온수 배출 제어부와; 상기 항온수 주입 제어부 또는 상기 항온수 배출 제어부의 동작에 따라 항온수 라인에 항온수 또는 가스를 주입하기 위한 밸브부를 더 포함하여 항온수에 의해 가열판을 강제 냉각 시킴으로써 공정조건에 부합하는 온도로 가열판을 빠르게 조절할 수 있어 자연하강 방식에 비해 시간낭비를 방지하고 효율성을 높힐 수 있는 효과가 있다.

Description

가열판 온도 제어 장치{TEMPERATURE CONTROLLING APPARATUS FOR BAKE PLATE}

본 고안은 가열판 온도 제어 장치에 관한 것으로, 특히 포토레지스터의 감광제 도포를 위한 가열판의 온도를 항온수에 의해 빠르게 냉각 시키고, 적정 온도로 냉각되면 항온수를 강제 배출시킴으로써, 공정조건에 부합하는 냉각온도로 가열판을 빠르고 정확하게 조절하여 작업 효율성을 높일 수 있도록 하는 가열판 온도 제어 장치에 관한 것이다.

도1은 종래 가열판 온도 제어 장치의 구성을 보인 예시도로서, 이에 도시된 바와 같이 가열판 하부에 있는 온도센서(1)에 의해 가열판의 온도를 검출하여 온도 조절을 위한 제어신호를 출력하는 온도 제어부(2)와; 상기 온도 제어부(2)에서 출력되는 제어신호에 의해 온/오프되어 히터(3)에 공급되는 전원을 공급 또는 차단하는 스위칭부(4)로 구성된 것으로, 이의 동작 및 작용을 설명하면 다음과 같다.

일단, 온도 제어부(2)는 가열판(BAKE PLATE) 하부에 있는 온도센서(1)에 의해 가열판의 온도를 측정하여 가열판의 온도가 공정 조건에 의하여 셋팅된 값보다 낮을 경우 스위칭부(4)를 온시켜 히터(3)에 전원을 공급하여 가열시킴으로써 가열판의 온도를 상승시키게 한다.

반대로 온도가 높을 경우에는 스위칭부(4)를 오프시켜 히터(3)에 공급되는 전원을 차단시킴으로써 가열판의 온도를 자연 하강시키도록 한다.

그러나, 상기 종래의 기술에 있어서는 고온의 공정조건으로 가열판을 셋팅하고자 할 경우에는 히터에 의해 빠른 상승이 가능하지만, 공정 조건이 변하여 낮은 온도로 가열판을 셋팅하고자 할 경우에는 특별한 방법이 없이 가열판이 자연적으로 식을 때 까지 기다려야 하기 때문에 공정 조건의 변화에 따라 능동적으로 대처할 수 없어 효율성이 떨어지는 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창출한 것으로, 항온수를 이용하여 가열판의 온도를 강제로 하강시킬 수 있도록 함으로써, 고온 또는 저온으로 공정조건이 변하더라도 이에 빠르게 대처할 수 있도록 하여 효율성을 높일 수 있도록 하는 가열판 온도 제어 장치를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 종래 가열판 온도 제어 장치의 구성을 보인 예시도.

도 2는 본 고안 가열판 온도 제어 장치의 구성을 보인 예시도.

***도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명***

10 : 항온수 라인 20 : 항온수 감지부

30 : 항온수 주입 제어부 40 : 밸브부

50 : 항온수 배출 제어부

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안은 가열판의 온도를 검출하여 온도 조절을 위한 제어신호를 출력하는 온도 제어부와; 상기 온도 제어부에서 출력되는 제어신호에 의해 온/오프되어 히터에 공급되는 전원을 온/오프 시키는 스위칭부로 구성된 가열판 온도 제어 장치에 있어서, 가열판의 소정 부위에 부가되어 항온수가 흐를 수 있는 통로 역할을 하는 항온수 라인과; 상기 항온수 라인에 항온수 흐름이 있는지 여부를 감지하는 항온수 감지부와; 상기 온도 제어부의 제어에 의해 항온수 라인에 항온수를 주입하는 항온수 주입 제어부와; 상기 항온수 주입 제어부에 의한 항온수 주입이 완료될 경우, 항온수 라인에 가스를 주입하여 항온수를 배출시키기 위한 항온수 배출 제어부와; 상기 항온수 주입 제어부 또는 상기 항온수 배출 제어부의 동작에 따라 항온수 라인에 항온수 또는 가스를 주입하기 위한 밸브부를 더 포함하여 구성한 것을 특징으로 한다.

이하, 본 고안에 따른 일실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과같다.

도2는 본 고안 가열판 온도 제어 장치의 구성을 보인 예시도로서, 이에 도시한 바와 같이 온도센서(1)에 의해 가열판의 온도를 검출하여 온도 조절을 위한 제어신호를 출력하는 온도 제어부(2)와; 상기 온도 제어부(2)에서 출력되는 제어신호에 의해 온/오프되어 히터(3)에 공급되는 전원을 온/오프 시키는 스위칭부(4)로 구성된 가열판 온도 제어 장치에 있어서, 가열판의 소정 부위에 부가되어 항온수가 흐를 수 있는 통로 역할을 하는 항온수 라인(10)과; 상기 항온수 라인(10)에 항온수 흐름이 있는지 여부를 감지하는 항온수 감지부(20)와; 상기 온도 제어부(2)의 제어에 의해 항온수 라인(10)에 항온수를 주입하는 항온수 주입 제어부(30)와; 상기 항온수 주입 제어부(30)에 의한 항온수 주입이 완료될 경우, 항온수 라인(10)에 가스를 주입하여 항온수를 배출시키기 위한 항온수 배출 제어부(50)와; 상기 항온수 주입 제어부(30) 또는 상기 항온수 배출 제어부(50)의 동작에 따라 항온수 라인에 항온수 또는 가스를 주입하기 위한 밸브부(40)를 더 포함하여 구성된다.

이와 같이 구성한 본 고안에 따른 일실시예의 동작 및 작용을 설명하면 다음과 같다.

일단, 고온의 공정조건에 대하여 가열판의 온도를 조절할 경우에는 종래와 같다. 즉, 온도 제어부(2)에서 가열판(BAKE PLATE) 하부에 있는 온도센서(1)에 의해 가열판의 온도를 측정하여 가열판의 온도가 주제어부에서 공정 조건에 의하여 셋팅한 값보다 낮을 경우 스위칭부(4)를 온시켜 히터(3)에 전원을 공급하여 가열시킴으로써 가열판의 온도를 상승시키게 한다.

그러나, 공정조건이 변하여 가열판을 저온으로 조절할 경우에는 온도 제어부(2)에서 항온수 주입 제어부(30)에 제어신호를 출력하여 공정조건에 부합하는 소정의 온도가 될 때까지 동작하도록 한다.

이에 따라, 항온수 주입 제어부(30)는 밸브부(40)를 통해 항온수를 항온수 라인(10)에 주입한다.그러면, 온도 제어부(2)에서는 온도 센서(1)를 통해 가열판의 온도가 공정조건에 부합하는 온도가 되는지 여부를 계속 감지하다가 원하는 온도가 되면 항온수 주입 정지 명령을 내린다.즉, 가열판이 더 이상 냉각되지 않도록 항온수 공급을 차단해야 하는 것이다.

이에 따라 항온수 주입 제어부(30)는 밸브부(40)를 통한 항온수 주입을 차단하고, 항온수 주입이 완료되었음을 항온수 배출 제어부(50)에 통보한다.이로써, 항온수 배출 제어부(50)는 동작 준비 상태가 되고, 항온수 라인에 남아있는 항온수를 배출시키기 위해서 소정의 가스(N2... 등)를 밸브부(40)를 통해 항온수 라인에 주입시킴으로써, 항온수 라인에 있는 항온수를 빠른 시간내에 강제 배출시킨다.상기 항온수 배출 동작은 항온수 감지부(20)에 의해 항온수가 감지되지 않을 때 까지 계속된다.

이때 본 고안에 사용되는 항온수 및 가스는 시스템 자체에서 이미 사용되고 있는 것으로, 항온수 및 가스 주입을 위한 장치를 더 설치하지 않더라도 간단한 설치 변경에 의해 쉽게 구성할 수 있다.또한, 상기 항온수 주입 제어부 및 항온수 배출 제어부는 비록 그 기구적인 구성을 상세히 도시하지 않더라도, 동업종에 종사하는 당사자라면 마이크로프로세서 등을 이용하여 상기 온도조건에 따라 항온수 또는 가스 주입을 위한 간단한 밸브 제어 프로그램에 의해 쉽게 구성이 가능한 것이다.즉, 온도 제어부(2)의 제어 신호가 냉각 조건이라면 항온수가 주입될 수 있도록 밸브부(40)를 제어하고, 냉각 조건이 만족되면 가스가 주입될 수 있도록 밸브부(40)를 제어하면 되는 것이다.물론, 항온수 및 가스 주입을 위한 밸브부(40)에는 기존 시스템에서 사용되고 있는 항온수 및 가스관을 연결해주면 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안 가열판 온도 제어 장치는 항온수에 의해 가열판을 강제 냉각 시키고, 적정 온도로 냉각되면 항온수를 빠르게 배출시킴으로써 공정조건에 부합하는 냉각온도로 가열판을 빠르고 정확하게 조절할 수 있어 자연하강 방식에 비해 시간낭비를 방지하고 작업 효율성을 높일 수 있는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 가열판의 온도를 검출하여 온도 조절을 위한 제어신호를 출력하는 온도 제어부와; 상기 온도 제어부에서 출력되는 제어신호에 의해 온/오프되어 히터에 공급되는 전원을 온/오프 시키는 스위칭부로 구성된 가열판 온도 제어 장치에 있어서, 가열판의 소정 부위에 부가되어 항온수가 흐를 수 있는 통로 역할을 하는 항온수 라인과; 상기 항온수 라인에 항온수 흐름이 있는지 여부를 감지하는 항온수 감지부와; 상기 온도 제어부의 제어에 의해 항온수 라인에 항온수를 주입하는 항온수 주입 제어부와; 상기 항온수 주입 제어부에 의한 항온수 주입이 완료될 경우, 항온수 라인에 가스를 주입하여 항온수를 강제 배출시키기 위한 항온수 배출 제어부와; 상기 항온수 주입 제어부 또는 상기 항온수 배출 제어부의 동작에 따라 항온수 라인에 항온수 또는 가스를 주입하기 위한 밸브부를 더 포함하여 구성한 것을 특징으로 하는 가열판 온도 제어 장치.