KR200244929Y1 - 반도체제조장비의부산물포획장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 제조장비의 부산물 포획장치에 관한 것으로, 본 고안은 공정챔버에 연통되는 배기라인의 중간에 일직선으로 배치되어 착탈식으로 연결되는 포획관과, 그 포획관의 내주면에서 관의 중심방향으로 돌출되되 부산물의 흐름에 반하는 방향으로 경사지게 형성되어 부산물중의 분진을 걸러내는 블래이드로 구성됨으로써, 반도체 제조공장내의 복잡한 배관상태 및 설치면적 등에 구애받지 않고도 용이하게 설치할 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체 제조장비의 부산물 포획장치{APPARATUS FOR TRAPPING BY-PRODUCT OF SEMICONDUCTOR}

본 고안은 반도체 제조장비의 부산물 포획장치에 관한 것으로, 특히 공장내의 설치면적에 구애받지 않고 용이하게 설치할 수 있는 반도체 제조장비의 부산물 포획장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조장비중에서 증착공정 또는 식각공정 등에 사용되는 장비에는 웨이퍼 등과 반응하고 남는 부산물이 발생하게 되어 통상 흡기펌프 등으로 그 부산물을 흡입하여 외부로 배출시키도록 되어 있다. 이때, 부산물이 흡기펌프로 유입되는 것을 방지하기 위하여는 배관의 중간에 별도의 부산물 포획장치가 연결되는데, 도 1a 및 도 1b는 이러한 부산물 포획장치의 일례를 보인 개략도이다.

먼저, 도 1a는 인렛형 트랩(Inlet Type Trap)의 포획장치로서, 소정형상의 포집통(1)과, 그 포집통(1)의 상면 및 하면에 각각 연통되는 가스라인(2a,2b)으로 이루어져 있다.

상기 각 가스라인은 출구라인(2b)이 입구라인(2a)의 수직선상으로부터 소정간격을 두고 연통되며, 각 라인(2a,2b)은 포집통(1)에 깊숙히 삽입되어 있다.

또한, 도 1b는 캐치컵형 트랩(CatchCup type Trap)의 포획장치로서, 긴 포집컵(3)의 중간높이에 가스라인(4)이 삽입 연통되어 있다.

상기와 같이 구성된 종래의 포획장치에 있어서는 인렛형이나 또는 캐치컵형 모두 입구라인(2a)을 통해 포집통(1) 또는 포집컵(3)으로 유입되었던 부산물이 다시 출구라인(2b,4)을 통해 외부로 흘러나가는 중에 상기 입구라인(2a)과 출구라인(2b)이 일직선상에 형성되지 않고 틀어져 연통되거나 또는 꺾여 연통되므로, 그 틀어지거나 꺾여진 부위에서 와류가 발생되어 분진(P) 등이 분리되는 것이었다.

이렇게 분리된 분진 등은 포집통(1) 또는 포집컵(3)의 바닥면에 침전되므로, 일정한 주기로 포획장치를 청소하고 있다.

그러나, 상기와 같은 종래의 포획장치는, 포집통(1) 또는 포집컵(3)의 양측에 입구라인(2a)과 출구라인(2b)이 틀어지도록 연통시켜 부산물에 함유되어 있는 분진(P)등을 분리 침전시키는 것이나, 이는 상기 입구라인(2a)과 출구라인(2b) 또는 포진컵(3)과 가스라인(4)이 일직선상에 형성되지 못하여 공장의 복잡한 배관상태를 감안한다면 불필요한 공간의 비대화는 물론, 이를 피하기 위한 배관설계상의 어려움 등이 있었다.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 종래의 포획장치가 가지는 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 공장내의 복잡한 배관상태 및 설치면적에 구애받지 않고도 용이하게 설치할 수 있는 반도체 제조장비의 부산물 포획장치를 제공하려는데 그 목적이 있다.

도 1a는 인렛형 트랩의 포획장치를 보인 개략도.

도 1b는 캐치컵형 트랩의 포획장치를 보인 개략도.

도 2a는 본 고안에 의한 부산물 포획장치의 일례를 측면에서 보인 종단면도.

도 2b는 본 고안에 의한 부산물 포획장치의 일례를 정면에서 보인 종단면도.

***도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명***

10 : 포획관 11 : 블래이드

이와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 공정챔버에 연통되는 배기라인의 중간에 일직선으로 배치되어 착탈식으로 연결되는 포획관과, 그 포획관의 내주면에서 관의 중심방향으로 돌출되되 부산물의 흐름에 반하는 방향으로 경사지게 형성되어 부산물중의 분진을 걸러내는 블래이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 부산물 포획장치가 제공된다.

이하, 본 고안에 의한 반도체 제조장비의 부산물 포획장치를 첨부도면에 도시된 일실시예에 의거하여 상세하게 설명한다.

도 2a는 본 고안에 의한 부산물 포획장치의 일례를 측면에서 보인 종단면도이고, 도 2b는 본 고안에 의한 부산물 포획장치의 일례를 정면에서 보인 종단면도이다.

이에 도시된 바와 같이 본 고안에 의한 부산물의 포획장치는, 공정챔버(미도시)에서 반응되지 않은 부산물을 배기시키기 위하여 그 공정챔버(미도시)에 연통되는 통상적인 가스라인(미도시)의 중간에 일직선으로 연통되는 것으로, 그 가스라인(미도시)의 사이에 연결되는 포획관(10)과, 그 포획관(10)의 내주면에 내향으로 돌출되게 형성되어 부산물중의 분진(P)을 걸러내어 침전시키는 수개의 블래이드(Blade)(11)로 구성된다.

상기 각각의 블래이드(11)는 포획관(10)과 동심상에 형성되고, 그 포획관(10)을 흐르는 부산물의 유동방향에 반하는 방향으로 점차 직경이 좁아지도록 테이퍼지게 하여 내향 경사지게 형성하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 포획관(10)의 양단은 각각 착탈이 용이하도록 통상적인 크램프(Clamp)를 이용하여 고정시키는 것이 바람직하다.

도면중 종래와 동일한 부분에 대하여는 동일한 부호를 부여하였다.

상기와 같이 구성되는 본 고안에 의한 반도체 제조장비의 부산물 포획장치에 있어서, 부산물의 배기행정이 개시되면, 배기용 가스라인(미도시)에 연통된 흡기펌프(미도시)가 구동되어 공정챔버(미도시)로부터 미반응된 부산물이 가스라인을 따라흘러나오게 되고, 그 가스라인을 따라 흘러나오던 부산물은 포획관(10)의 내주면에 형성된 브래이드(11)에 의해 걸러지면서 그 중의 분진류(P)는 블래이드(11)와 포획관(10) 내주면의 접점부위로 끼여 침전하게 되는 것이다.

한편, 소정의 배기행정이 지난 이후에는, 장비를 정지시킨 상태에서 포획관(10)을 가스라인(미도시)으로부터 분리하는 대신에 새로운 포획관을 결합시키고, 분리한 포획관은 통상의 웨트 클리닝으로 청소를 하게 된다.

본 실시예에서는 블래이드의 형상이 테이퍼진 경우에 한정하여 설명하였으나, 본 고안의 기술적 사상이 포함되는 한에서 그 형상은 여러가지로 변형할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 의한 반도체 제조장비의 부산물 포획장치는, 공정챔버에서 반응되지 않은 부산물을 배기시키기 위하여 공정챔버에 연통되는 가스라인의 중간에 일직선으로 연결되는 포획관과, 그 포획관의 내주면에 내향 돌출되게 형성되어 부산물중의 분진을 걸러내 침전시키는 블래이드로 구성함으로써, 반도체 제조공장내의 복잡한 배관상태 및 설치면적 등에 구애받지 않고도 용이하게 설치할 수 있는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 공정챔버에 연통되는 배기라인의 중간에 일직선으로 배치되어 착탈식으로 연결되는 포획관과, 그 포획관의 내주면에서 관의 중심방향으로 돌출되되 부산물의 흐름에 반하는 방향으로 경사지게 형성되어 부산물중의 분진을 걸러내는 블래이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 부산물 포획장치.