KR200217509Y1

KR200217509Y1 - Exhaust gas delivering pipe with cleaning device

Info

Publication number: KR200217509Y1
Application number: KR2020000029633U
Authority: KR
Inventors: 김동수
Original assignee: 한국엠에이티주식회사
Priority date: 2000-10-24
Filing date: 2000-10-24
Publication date: 2001-03-15

Abstract

본 고안은 배기가스 이송 파이프에 관한 것이다.The present invention relates to an exhaust gas transfer pipe.

이 파이프는 배기가스를 가스처리장치로 이송하기 위한 것으로 내부에 파이프의 내경 크기의 외경을 갖는 스프링과; 스프링을 회전구동시키기 위하여 상기 스프링의 단부에 설치되는 모터로 구성되는 파우더 고착 방지 수단을 구비하고 있다. 파이프가 꺾이는 부위에는 내부가 빈 엘보우 박스가 설치될 수 있는데, 양방향의 파이프 단부 모터가 설치된다. 스프링의 설치가 용이하지 않은 부위에는 히팅 코일이 추가로 설치될 수 있다. 또한, 상기 파우더 고착 방지 수단은 파이프 전체를 따라 설치될 수 있으나, 특히 상기 이송 파이프에서 파우더가 많이 고착될 수 있는 가스처리장치와의 연결부위 가까이에만 설치될 수도 있다.The pipe is for conveying the exhaust gas to the gas treatment device and having a spring having an outer diameter of the inner diameter of the pipe therein; It is provided with a powder sticking prevention means composed of a motor installed at the end of the spring to rotate the spring. A pipe elbow box may be installed at a portion where the pipe is bent, and a bidirectional pipe end motor is installed. Heating coils may be additionally installed in areas where the spring is not easily installed. In addition, the powder sticking preventing means may be installed along the entire pipe, in particular, may be installed only near the connection portion with the gas treatment device that can be a lot of powder in the transport pipe.

이러한 구조의 배기가스 이송 파이프에 의하여 간편하고 효율적으로 파우더 고착을 방지할 수 있다.By the exhaust gas transfer pipe of this structure it is possible to prevent powder sticking simply and efficiently.

Description

Exhaust gas delivering pipe with cleaning device

본 고안은 배기가스 이송파이프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 배기가스 특히 반도체 제조중이 발생하는 배기가스를 배기가스 처리장치등으로 이송함에 있어 파우더 고착을 방지하는 수단을 구비한 배기가스 이송 파이프에 관한 것이다.The present invention relates to an exhaust gas conveying pipe, and more particularly, to an exhaust gas conveying pipe having means for preventing powder sticking in conveying exhaust gas, in particular, exhaust gas generated during semiconductor manufacturing, to an exhaust gas treating apparatus. It is about.

일반적으로, 반도체 제조중에 발생되는 배기가스에는 독성 물질이 비교적 고농도로 함유되어 있으므로,이러한 배기가스는 대기중으로 방출되기 전에 독성 물질을 제거해 주어야 한다. 따라서, 반도체 제조중에 발생된 배기가스는 가스 처리 장치(가스 스크러버)로 이송되어 버닝(Burning), 웨팅(Wetting), 또는 흡착 방법등의 독성물질을 제거하는 과정을 거치게 된다.(가스 스크러버에 관하여는 특허등록 제 208401 호와 제 208402 호 및 제 276178 호에 상세히 기술되어 있다.)In general, the exhaust gases generated during semiconductor manufacturing contain relatively high concentrations of toxic substances, so these exhaust gases must be removed before being released into the atmosphere. Therefore, the exhaust gas generated during semiconductor manufacturing is transferred to a gas treatment device (gas scrubber) to go through a process of removing toxic substances such as burning, wetting, or adsorption methods. Are described in detail in patents 208401, 208402 and 276178.)

이러한 가스 처리를 위하여 배기가스를 가스 처리 장치로 이송하는 파이프에는 아직 처리되지 않은 독성이 강한 배기 가스가 흐르게 되므로, 파이프 내주면에 독성 가스의 분말(파우더)이 고착되고 마침내는 파이프를 막아버릴 수도 있다.The toxic exhaust gas that has not yet been treated flows in the pipe that transfers the exhaust gas to the gas treatment device for this gas treatment, so that powder (powder) of the toxic gas may adhere to the inner circumference of the pipe and finally block the pipe. .

종래에는 이와 같이 파우더가 파이프 내주면에 고착되는 것을 막아주기 위하여 도 1에 도시된 바와 같이 배기가스를 가스처리장치(7)로 이송하는 파이프(1)의 외주면에 히팅 코일(3)을 감고 그 외부에 단열재(5)를 구비하여 가열해 줌으로써 파이프를 흐르는 가스의 온도변화를 감소시키는 방법을 사용하였다.Conventionally, in order to prevent the powder from adhering to the inner circumferential surface of the pipe, the heating coil 3 is wound around the outer circumferential surface of the pipe 1 for transporting the exhaust gas to the gas treating apparatus 7 as shown in FIG. The method of reducing the temperature change of the gas which flows through a pipe by providing the heat insulating material 5 and heating it was used.

그러나 이러한 방법은 파이프 둘레에 지속적으로 열을 가하여야 하므로 에너지 손실은 많으나 파우더 고착 방지의 효율은 좋지 못하여 정기적으로 파이프를 분리하여 내부의 파우더를 제거해 주는 클리닝 작업이 필요하고, 설비도 간편하지 못한 단점이 있었다.However, this method requires a lot of energy loss due to the continuous heating around the pipe, but the efficiency of preventing powder sticking is not good, so it is necessary to clean the pipe regularly to remove the powder inside, and the equipment is not easy. There was this.

이에 본 고안은 상기한 바와 같은 문제를 해결하여 구조가 간단하면서도 효과적으로 파우더 고착을 방지할 수 있는 배기가스 이송 파이프를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above-described problem to provide an exhaust gas transfer pipe that can prevent the powder from adhering to a simple and effective structure.

상기한 바의 목적을 달성하기 위한 본 고안의 배기가스 이송 파이프는 내부에 파이프의 내경과 같은 외경을 갖는 스프링과 상기 스프링을 회전구동시키기 위한 모터를 구비하고 있다.Exhaust gas transfer pipe of the present invention for achieving the above object is provided with a spring having an outer diameter, such as the inner diameter of the pipe and a motor for rotating the spring therein.

파이프가 꺾이는 부위에는 내부가 빈 엘보우 박스가 설치될 수 있는데, 양방향의 파이프 단부 모터가 설치된다. 그리고, 스프링의 설치가 용이하지 않은 부위에는 히팅 코일이 추가로 설치될 수도 있다.A pipe elbow box may be installed at a portion where the pipe is bent, and a bidirectional pipe end motor is installed. In addition, a heating coil may be additionally installed at a portion where the spring is not easily installed.

또한, 상기 파우더 고착 방지 수단은 파이프 전체를 따라 설치될 수 있으나, 특히 상기 이송 파이프에서 파우더가 많이 고착될 수 있는 가스처리장치와의 연결부위 가까이에만 설치될 수도 있다.In addition, the powder sticking preventing means may be installed along the entire pipe, in particular, may be installed only near the connection portion with the gas treatment device that can be a lot of powder in the transport pipe.

이러한 구조의 배기가스 이송 파이프에 의하여 간편하고 효율적으로 파우더 고착을 방지할 수 있는 것이다.By the exhaust gas transfer pipe of this structure it is possible to easily and efficiently prevent powder sticking.

도 1은 종래의 배기가스 이송파이프의 구조를 도시한 일부 절결 사시도,1 is a partially cutaway perspective view showing the structure of a conventional exhaust gas transfer pipe,

도 2는 본 고안의 제 1 실시예에 따른 배기가스 이송파이프의 일부 절결 사시도,2 is a partially cutaway perspective view of the exhaust gas transfer pipe according to the first embodiment of the present invention;

도 3은 본 고안의 제 2 실시예 따른 배기가스 이송파이프의 일부절결 측면도이다.3 is a partially cutaway side view of the exhaust gas transfer pipe according to the second embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

11a,11b,11c,21 : 배기가스 이송 파이프11a, 11b, 11c, 21: exhaust gas transfer pipe

13a,13b,13c,23 : 스프링13a, 13b, 13c, 23: spring

15a,15b : 엘보우 박스15a, 15b: Elbow Box

17a,17b,17c,17d,27: 모터17a, 17b, 17c, 17d, 27: motor

이하, 본 고안을 첨부한 예시도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings of the present invention will be described in detail.

도 2는 본 고안에 따른 배기 가스 이송파이프의 제 1 실시예를 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이 본 고안의 배기가스 이송 파이프(11a,11b,11c)는 그 내부에 스프링(13a,13b,13c)이 구비되고, 이 스프링(13a,13b,13c)은 단부에 설치된 모터(17a,17b 또는 17c,17d)에 의하여 회전구동하게 된다.Figure 2 shows a first embodiment of the exhaust gas transfer pipe according to the present invention. As shown, the exhaust gas transfer pipes 11a, 11b, 11c of the present invention are provided with springs 13a, 13b, 13c therein, and the springs 13a, 13b, 13c have a motor 17a installed at an end thereof. , 17b or 17c, 17d).

상기 스프링(13a,13b,13c)은 그 외경이 상기 파이프(11a,11b,11c)의 내경과 거의 같도록 형성되는데, 따라서 상기 스프링(13a,13b,13c)은 회전함에 따라 그 외경과 파이프(11a,11b,11c)의 내경이 서로 마찰하게 된다.The springs 13a, 13b, 13c are formed such that their outer diameter is approximately equal to the inner diameters of the pipes 11a, 11b, 11c, so that the springs 13a, 13b, 13c rotate and the outer diameter and the pipe ( The inner diameters of 11a, 11b, and 11c rub against each other.

이와 같이 본 고안의 배기가스 이송 파이프(11a,11b,11c)에서는 파이프 내경의 스프링(13a,13b,13c)과의 기계적인 마찰에 의하여 파우더가 고착되지 않도록 하는 것이다.As described above, the exhaust gas transfer pipes 11a, 11b, and 11c of the present invention prevent the powder from sticking by mechanical friction with the springs 13a, 13b, and 13c of the pipe inner diameter.

반도체 제조중에 발생되는 배기가스를 가스처리장치(7)까지 연결하기 위해서는 파이프를 90도 이상 꺽어줄 필요가 생길 수 있다. 이때 파이프가 꺾이는 부위에는 내부가 빈 엘보우 박스(15a,15b)가 설치될 수 있는데, 상기 엘보우 박스(15a,15b)에는 양방향의 파이프(11a와 11b,11b와 11c) 단부에 연결되는 모터(17a,17b 또는 17c,17d)가 설치되어 각각의 파이프(11a,11b,11c) 내부에 설치된 스프링(13a,13b,13c) 을 회전시킬 수 있다.In order to connect the exhaust gas generated during the semiconductor manufacturing to the gas treating apparatus 7, it may be necessary to bend the pipe 90 degrees or more. At this time, the elbow boxes 15a and 15b may be installed at a portion where the pipe is bent, and the motors 17a connected to the ends of the pipes 11a and 11b, 11b and 11c in both directions may be installed at the elbow boxes 15a and 15b. , 17b or 17c, 17d may be installed to rotate the springs 13a, 13b, 13c provided inside the respective pipes 11a, 11b, 11c.

그리고, 파이프(11a,11b,11c)가 연결되는 부위중 내부에 스프링의 설치가 용이하지 않은 부위 예컨대, 밸브(도시되지 않음)나 배기가스 토출구(19) 부분에서는 종래에 사용되는 히팅 코일을 국부적으로 사용할 수도 있다. 즉, 본 고안과 종래의 방법을 함께 사용하여 보완이 가능한 것이다.In addition, the heating coils conventionally used are locally used in the parts of the pipes 11a, 11b and 11c where springs are not easily installed, for example, valves (not shown) or exhaust gas discharge ports 19. Can also be used as That is, the present invention and the conventional method can be used together to complement.

또한, 상기와 같이 구성되는 파우더 고착 방지 수단은 파이프 전체를 따라 설치될 수 있으나, 특히 파우더가 많이 고착될 수 있는 부분 즉, 이송 파이프에서 가스 처리 장치(7)와 연결되는 부위(21) 가까이에만 설치될 수도 있다. 도 3은 이와 같이 구조를 갖는 본 고안의 다른 실시예를 도시한 것이다.In addition, the powder seizure preventing means configured as described above may be installed along the entire pipe, in particular, only a portion where the powder can be fixed, that is, only near the portion 21 connected to the gas treatment device 7 in the transfer pipe It may be installed. Figure 3 shows another embodiment of the present invention having a structure as described above.

즉, 도 3은 배기가스 이송 파이프의 끝부분(21)만을 도시한 것으로, 가스처리장치(7)와 연결되는 부위 가까이에만 내부에 스프링(23)이 구비되고 그 스프링(23)의 일단에 모터(27)가 연결되어 상기 스프링(23)이 회전 구동되는 파우더 고착 방지 수단이 구비되는 것이다.That is, FIG. 3 shows only the end portion 21 of the exhaust gas transfer pipe, and a spring 23 is provided inside only near the portion connected to the gas treatment device 7, and one end of the spring 23 has a motor. (27) is connected is provided with a powder fixing means for the spring 23 is rotationally driven.

이와 같이 구성되는 본 고안의 파우더 고착 방지 수단을 구비한 배기가스 이송 파이프의 작용을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the action of the exhaust gas transport pipe having a powder fixing means of the present invention is configured as described above are as follows.

반도체 제조중에 발생된 배기가스는 본 고안의 이송 파이프(11a,11b,11c,21,도 2 및 도 3 참조)를 통하여 가스처리장치(7)로 주입되는데, 이때 배기가스가 이송 파이프(11a,11b,11c,21)를 거치는 동안 상기 파이프 내부의 스프링(13a,13b,13c,23)은 모터에 의하여 계속 회전하면서 그 외경이 파이프의 내경과 마찰하게 된다. 따라서, 배기가스의 파우더는 파이프(11a,11b,11c,21) 내주면에 고착되지 못하고 분말상태로 가스처리장치(7)로 함께 주입되게 된다. 그리고, 배기가스는 가스처리장치(7)에서 유독 성분 처리과정을 거치면서 정화되는 것이다.Exhaust gas generated during semiconductor manufacturing is injected into the gas treatment apparatus 7 through the transfer pipes 11a, 11b, 11c, 21 (see FIGS. 2 and 3) of the present invention, and the exhaust gas is transferred to the transfer pipe 11a, The springs 13a, 13b, 13c, and 23 inside the pipe continue to rotate by the motor while passing through 11b, 11c, and 21, and the outer diameter thereof rubs against the inner diameter of the pipe. Therefore, the powder of the exhaust gas is not adhered to the inner circumferential surfaces of the pipes 11a, 11b, 11c, 21 and is injected together into the gas treatment apparatus 7 in a powder state. In addition, the exhaust gas is purified while going through the process of treating toxic components in the gas treatment apparatus 7.

이러한 구조의 본 고안의 배기가스 이송 파이프는 가열이 아니라 기계적인 구조에 의하여 파이프 내의 파우더 고착을 방지하므로 구조가 간단하고 에너지 효율이 향상된다.The exhaust gas transfer pipe of the present invention having such a structure prevents powder from adhering to the pipe by a mechanical structure rather than heating, thereby simplifying the structure and improving energy efficiency.

뿐만 아니라 파이프 내주면과 스프링 외주면이 마찰함에 의해 배기가스 이송중 파우더 고착 방지의 효과가 우수하여 분해 클리닝 작업이 거의 필요하지 않고, 따라서 유지보수가 간편하다는 잇점이 있다.In addition, due to the friction between the inner peripheral surface of the pipe and the outer peripheral surface of the spring is excellent in preventing powder sticking during the exhaust gas transfer, so that almost no disassembly and cleaning work is required, and thus maintenance is easy.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 따른 배기가스 이송 파이프는 파이프 내부에 일단에 모터를 구비하여 회전하는 스프링을 포함하고 있어 이 파이프와 내부의 스프링의 마찰에 의하여 파우더의 고착을 방지하고 있다. 따라서, 구조가 아주 간단하면서도 에너지 효율과 파우더 고착 방지 효율이 매우 향상되는 효과가 있는 것이다.As described above, the exhaust gas transfer pipe according to the present invention includes a spring that rotates with a motor at one end in the pipe, thereby preventing the powder from sticking by friction between the pipe and the spring therein. Therefore, the structure is very simple, but the energy efficiency and the powder sticking prevention efficiency is very effective.

이상에서는 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안의 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능함은 물론이며, 그와 같은 변형은 청구범위의 기재 범위 내에 있게 된다.Although the above has been illustrated and described with respect to the preferred embodiment of the present invention, the present invention is not limited to the above-described embodiment, the general knowledge in the field of the subject innovation without departing from the gist of the subject innovation claimed in the claims below Anyone with a variety of modifications are possible, of course, such modifications are within the scope of the claims.

Claims

A spring installed inside the pipe for transferring the exhaust gas to the gas treatment device, the spring having an outer diameter of the inner diameter of the pipe;

Exhaust gas transfer pipe having a powder seizure preventing means consisting of a motor installed at the end of the spring for rotationally driving the spring.

The exhaust gas transfer pipe according to claim 1, wherein an elbow box having an empty inside is installed at a portion where the pipe is bent, and a bidirectional pipe end motor is installed.

The exhaust gas conveying pipe according to claim 1 or 2, wherein a heating coil is additionally installed at a portion of the pipe in which the spring is not easily installed.

2. Exhaust gas conveying pipe according to claim 1, characterized in that the means for preventing powder sticking are installed, in particular, in the conveying pipe near the site where the gas treatment device is connected.