KR200213980Y1 - 전기화학 실리콘 식각장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 전기화학 실리콘 식각장치에 관한 것으로서, 식각액이 외부로 흘러나오지 않도록 내부를 둘러 싸고 있으며 일측에 일정크기의 입구가 형성되어 식각액을 주입할 수 있는 유입구(11)와, 내부 중앙에 설치되어 양극전극과 반응하여 식각될 수 있도록 하는 음극판(13)이 마련된 투명재질의 식각틀(10)과; 상기 식각틀(10)의 유입구(11)에 일측면이 부착되어 식각이 이루어질 수 있도록 하는 실리콘웨이퍼(20)와; 식각틀(10)은 유입구(11) 일측에 연결되어 실리콘웨이퍼(20)와 접착상태가 긴밀하게 유지될 수 있도록 하는 부착오링(12)과; 상기 실리콘웨이퍼(20)의 후단면에 접착되어 양극입자가 식각될 수 있도록 하는 양극판(14)과; 상기 양극판(14)의 후단에 스프링 탄성력에 의해 압착될 수 있도록 탄성부재가 전단에 결합되는 접착판넬(16)이 연결되어 이루어진 구성으로부터 실리콘웨이퍼를 식각하고자 할 경우 식각된 실리콘웨이퍼를 압착하던 탄성수단의 압착력을 해제하고 다른 실리콘웨이퍼를 탄성수단이 압착하여 고정시키게 되므로 작업공수가 줄어 다수의 실리콘웨이퍼를 대량 생산할 수 있는 효과를 갖는 전기화학 실리콘 식각장치에 관한 것이다.

Description

전기화학 실리콘 식각장치{silicon cuter of electrolysis}

본 고안은 전기화학 실리콘 식각장치에 관한 것으로서, 더 자세하게는 실리콘웨이퍼를 습식 식각하는 동안 식각액 내부가 아닌 식각틀 외부에서 부착 고정될 수 있도록 식각틀의 입구에 부착되어 있는 실리콘웨이퍼의 후단면을 탄성수단의 압착에 의해 부착 고정될 수 있도록 하므로 다른 실리콘웨이퍼를 식각하고자 할 경우 식각된 실리콘웨이퍼를 압착하던 탄성수단의 압착력을 해제하고 다른 실리콘웨이퍼를 탄성수단이 압착하여 고정시키게 되므로 작업공수가 줄어 다수의 실리콘웨이퍼를 대량 생산할 수 있는 전기화학 실리콘 식각장치에 관한 것이다.

일반적으로 도금공정은 음극 철판에 구리를 도금하고자 양극 구리철판에 전원을 인가하여 전류가 흐르도록 함으로서 양극의 구리입자가 음극철판에 옮겨져 붙는 것으로써 실리콘을 식각할 때 양극의 구리철판의 구리입자가 식각되는 현상을 이용한 실리콘의 전기적 화학식각을 말하고 있다.

이러한 통상적인 실리콘 전기 화학적 식각장치는 첨부도면 도 1에서 보는 바와 같이 식각액이 충진되며 상단의 좌측과 우측에 지그(4)로 둘러 쌓아 식각하고자 하는 실리콘웨이퍼(3)를 연결하고, 상기 실리콘웨이퍼(3)의 맞은 편에 백금전극판(2)을 연결하며, 상기 백금전극판(2)과 실리콘웨이퍼(3) 사이에 전원을 인가하는 전원공급장치(5)가 외부에 연결될 수 있도록 하는 식각틀(1)이 연결되어 이루어진 구성을 갖는다.

이와 같이 구성되는 종래의 실리콘 전기화학적 식각장치는 식각액이 충진된식각틀(1)에 백금전극판(2)을 연결하고 그 맞은편에는 지그(4)에 의해 둘러 쌓여 있는 실리콘웨이퍼(3)를 두어 외부의 전원공급장치(5)로부터 전원이 인가되면 실리콘웨이퍼(3)의 양극입자가 떨어져 실리콘웨이퍼(3)는 식각되고 백금전극판(2)은 음전극으로서의 역할을 하는 것이다.

또한 역방향 전압이 걸린 실리콘웨이퍼(3)는 식각된 부분이 다 식각 되고 순방향 전압으로 바뀌면 전원공급장치(5)로부터 전류가 급격히 상승하게 되어 전원차단장치(미도시)에 의해 전원 공급이 차단되면서 실리콘웨이퍼(3)의 식각 공정을 종결하게 되는 것이다.

그러나, 이러한 종래의 실리콘 전기화학적 식각장치는 실리콘웨이퍼를 식각하기 위해 지그 내부에 삽입하여 불순물이 유입되는 것을 방지될 수 있도록 하나 다른 실리콘웨이퍼를 식각하기 위해 매번 지그에 삽입하여 장착해야되으로 작업공수가 늘어나는 문제점을 가지고 있다.

본 고안은 이와 같은 종래의 제반 문제점을 해결하기 위기 위한 것으로서 그 목적은 실리콘웨이퍼를 식각하는 동안 식각틀 외부에서 부착고정될 수 있도록 식각틀의 입구에 부착되어 있는 실리콘웨이퍼의 후단면을 탄성수단이 압착에 의해 부착고정될 수 있도록 하므로 다른 실리콘웨이퍼를 식각하고자 할 경우 식각된 실리콘웨이퍼를 압착하던 탄성수단의 압착력을 해제하고 다른 실리콘웨이퍼를 탄성수단이 압착하여 고정시키게 되므로 작업공수가 줄어 다수의 실리콘웨이퍼를 대량 생산할 수 있도록 하는 데 있다.

도 1은 종래의 전기화학 실리콘식각장치의 블록구성도이다.

도 2는 본 고안의 실시예에 따른 전기화학 실리콘 식각장치의 사시도이다.

-도면의 주요부분에 대한 부호설명-

1,10;식각틀 2;백금전극판

3,20;실리콘웨이퍼 4;지그

5;전원공급장치 11;유입구

12;부착오링 13;음전극판

14;양전극판 15;탄성부재

16;접착판넬 17;고정접착부재

이하, 첨부된 도면에 의해 본 고안의 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 고안의 실시예에 따른 전기화학 실리콘 식각장치의 사시도이다.

본 고안은 실리콘웨이퍼를 전기 화학적으로 식각할 수 있도록 하는 장치에 관한 것으로서, 도 2에서 보는 바와 같이 식각액이 외부로 흘러나오지 않도록 내부를 둘러 싸고 있으며 일측에 일정크기의 입구가 형성되어 식각액을 주입할 수 있는 식각홀(hole)이 형성된 유입구(11)와, 내부 중앙에 설치되어 양(+)전극과 반응하여 식각될 수 있도록 하는 음극판(13)이 마련된 투명재질의 식각틀(10)이 연결되는 구성을 갖는다.

본 고안의 식각틀(10)은 유입구(11)에 일측면이 부착되어 식각이 이루어질 수 있도록 하는 실리콘웨이퍼(20)와, 상기 실리콘웨이퍼(20)의 후단면에 접착되어 양(+)전극이 식각될 수 있도록 전극역할을 하는 양극판(14)과, 상기 양극판(14)의 후단에 스프링 탄성력에 의해 압착될 수 있도록 탄성부재(15)가 전단에 결합되는 접착판넬(16)이 연결되는 구성을 갖는다.

본 고안의 식각틀(10)은 투명재질로 형성되어 외부에서 내부가 들어나 보일 수 있도록 당업자의 선택에 따라 파이렉스(pyrex)나 석영등을 사용할 수도 있다.

본 고안의 식각틀(10)은 유입구(11)의 외주면에 접착고정되어 유입구 일측에 접착되는 실리콘웨이퍼(20)와 부착상태가 긴밀하게 유지될 수 있도록 하는 부착오링(12)이 더 연결된 구성을 갖는다.

본 고안의 식각틀(10)은 전단과 후단에 각각 고정연결되어 접착판넬(16)과 압착면적이 넓어지도록 하여 실리콘웨이퍼가 긴밀하게 압착될 수 있도록 하는 테프론재질의 고정접착부재(17)가 연결되는 구성을 갖는다.

이와 같이 구성되는 본 고안의 작용효과를 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 고안은 실리콘웨이퍼를 전기 화학적으로 식각할 수 있도록 하는 장치에 관한 것으로서, 도 2에서 보는 바와 같이 내부 중앙에 음극판(13)이 연결된 식각틀 (10)내부에 식각액을 식각홀(hole)이 형성된 유입구(11)로 주입하고, 실리콘웨이퍼(20)가 식각틀(10)에 긴밀하게 접착될 수 있도록 실리콘웨이퍼(20)의 후단에 양극판(14)과 탄성부재(15)가 연결된 접착판넬(16)을 동시에 연결하여 실리콘웨이퍼(20)가 식각틀(10)에 압착되어 고정될 수 있도록 하는 것이다.

여기서, 실리콘웨이퍼(20)는 식각틀(10)에 긴밀하게 접착되어 위치고정될 수 있도록 후단면에는 탄성부재(15)가 연결된 접착판넬(16)의 압착에 의해 식각틀(10)에 압착되고 전단면에는 압착되는 실리콘웨이퍼(20)가 식각틀(10)의 유입구(11)에 긴밀하게 접착되어 식각되도록 함과 동시에 실리콘웨이퍼(20)와 식각틀(10)의 유입구간에 식각액이 흘러나오지 않도록 하는 것이다.

또한, 실리콘웨이퍼(20)는 식각틀(10)에 긴밀하게 접착될 수 있도록 식각틀(10)의 유입구(11)의 외주면에 원형의 접착링(12)을 접착연결하여 실리콘웨이퍼(20)가 접착판넬(16)의 압착력에 의해 충격이 가해지더라도 충격을 흡수하고 식각틀(10)내의 식각액이 외부로 유출되지 않으며 실리콘웨이퍼(20)가 식각틀(10)에 긴밀하게 접착될 수 있도록 하는 것이다.

한편, 식각틀(10)은 실리콘웨이퍼(20)가 식각틀(10)에 긴밀하게 밀착될 수 있도록 식각틀의 전단면과 후단면에 각각 테프론재질의 고정접착부재(17)를 연결하여 접착판넬(16)이 식각틀(10)에 밀착되면서 실리콘웨이퍼(20)가 식각틀(10)에 더욱 긴밀하게 접착되는 것이다.

이와 같이 작용하는 본 고안은 실리콘웨이퍼를 습식 식각하는 동안 식각액 내부가 아닌 식각틀 외부에서 부착 고정될 수 있도록 식각틀의 입구에 부착되어 있는 실리콘웨이퍼의 후단면을 탄성수단이 압착에 의해 부착 고정될 수 있도록 하므로 다른 실리콘웨이퍼를 식각하고자 할 경우 식각된 실리콘웨이퍼를 압착하던 탄성수단의 압착력을 해제하고 다른 실리콘웨이퍼를 탄성수단이 압착하여 고정시키게 되므로 작업공수가 줄어 다수의 실리콘웨이퍼를 대량 생산할 수 있는 효과를 갖는다.

Claims (3)

1. 식각액이 외부로 흘러나오지 않도록 내부를 둘러 싸고 있으며 일측에 일정크기의 입구가 형성되어 식각액을 주입할 수 있는 유입구(11)와, 내부 중앙에 설치되어 양(+)전극과 반응하여 식각될 수 있도록 하는 음극판(13)이 마련된 투명재질의 식각틀(10)과; 상기 식각틀(10)의 유입구(11)에 일측면이 부착되어 식각이 이루어질 수 있도록 하는 실리콘웨이퍼(20)와; 식각틀(10)은 유입구(11) 일측에 연결되어 실리콘웨이퍼(20)와 접착상태가 긴밀하게 유지될 수 있도록 하는 부착오링(12)과; 상기 실리콘웨이퍼(20)의 후단면에 접착되어 양(+)전극이 식각될 수 있도록 전극역활을 하는 양극판(14)과; 상기 양극판(14)의 후단에 스프링 탄성력에 의해 압착될 수 있도록 탄성부재가 전단에 결합되는 접착판넬(16)이 연결되어 이루어진 전기화학 실리콘 식각장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 식각틀(10)은 투명재질로 형성되어 외부에서 내부가 들어나 보일 수 있도록 파이렉스(pyrex)나 석영재질로 형성되어 이루어진 전기화학 실리콘 식각장치.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 식각틀(10)은 전단과 후단에 각각 고정연결되어 접착판넬(16)과 압착면적이 넓어지도록 하여 실리콘웨이퍼(20)가 긴밀하게 압착될 수 있도록 하는 테프론재질의 고정접착부재(17)가 더 연결되어 이루어진 전기화학 실리콘 식각장치.