KR20020096262A - 반도체 제조용 스테퍼 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조용 스테퍼설비에서 레티클 로딩 시 로딩타임을 줄일 수 있는 반도체 제조용 스테퍼에 관한 것이다.

본 발명은 반도체 제조용 스테퍼설비에서 레티클을 로딩할 시 로딩타임을 감소시키고 에러발생을 줄이기 위해, 레티클을 적재하기 위한 레티클 케이스와, 상기 레티클 케이스에 적재되어 있는 레티클을 로딩하기 위한 레티클 로더와, 상기 레티클 케이스의 상부에 설치되어 상기 레티클 로더에 의해 로딩되는 레티클의 파티클을 검사하는 PPD박스와, 상기 레티클로더의 포크의 지지대부분에 설치되어 상기 레티클로더에 의해 로딩되는 레티클의 바코드를 체크하는 바코드리더로 구성한다.

Description

반도체 제조용 스테퍼{STEPPER EQUIPMENT USING SEMICONDUCTOR MANUFACTURE DEVICE}

본 발명은 반도체 제조용 스테퍼에 관한 것으로, 특히 반도체 제조용 스테퍼설비에서 레티클 로딩 시 로딩타임을 줄일 수 있는 반도체 제조용 스테퍼에 관한 것이다.

통상, 반도체장치를 제조하기 위한 웨이퍼는 세정, 확산, 포토레지스트 코팅, 노광, 현상, 식각 및 이온주입 등과 같은 공정을 반복하여 거치게 되며, 이들 과정별로 해당 공정을 수행하기 위한 설비가 사용된다.

이러한 설비 중 스테퍼는 광원으로부터 주사되는 광으로 웨이퍼 상에 코팅된 포토레지스트를 노광시켜서 후속되는 현상 및 식각공정을 거쳐 웨이퍼에 원하는 패턴을 형성토록 하는 것이다.

포토레지스트가 코팅된 웨이퍼는 소정 수량 단위로 캐리어에 실려서 이송되며, 캐리어는 스테퍼 내부의 테이블로 로딩된다. 보통 스테퍼에서 웨이퍼의 노광은 낱장 단위로 이루어지므로 노광이 시작되면 웨이퍼를 한 매씩 꺼내기 위하여 페치아암(Fetch Arm)이 캐리어 내부로 들어가서 웨이퍼를 집게 되고, 이 상태에서 테이블이 한 피치(Pitch) 만큼 다운(Down)됨에 따라서 웨이퍼가 캐리어 밖으로 꺼내어진다. 캐리어 밖으로 웨이퍼가 꺼내어지면 휭슬라이더가 페치아암의 웨이퍼를 받기 위하여 이동되고, 웨이퍼는 횡슬라이더에 실려서 노광을 위한 지점으로 이동된다.

이와 같은 반도체 제조용 스테퍼설비는 도 1에 개시된 바와 같이 레티클을 적재하기 위한 레티클케이스(10)와, 상기 레티클 케이스(10)에 적재되어 있는 레티클을 로딩하기 위한 레티클 로더(12)와, 상기 레티클 케이스(10)의 하부에 설치되어 상기 레티클 로더(12)에 의해 로딩되는 레티클의 파티클을 검사하는 PPD박스(14)로 구성되어 있다. 상기 레티클 로더(12)는 포크(16)를 상, 하 및 좌, 우로 움직여 레티클을 로딩시킨다.

레티클로더(12)는 상,하로 이동하여 레티클 케이스(10)에 적재되어 있는 다수의 레티클중 원하는 레티클의 위치로 이동한다. 그리고 레티클로더(12)는 우측방향으로 이동하여 레티클을 레티클박스(10)로부터 꺼낸고 다시 좌측방향으로 이동한 후 아래로 이동하여 PPD박스(14)에 위치시킨다. 그러면 PPD박스(14)에서는 이동한 레티클의 파티클을 검사한다. 그런 후 레티클 로더(12)는 상기 PPD박스(14)로부터 파티클 검사가 끝난 레티클을 도시하지 않은 캐리어로 전달한다.

상기와 같은 종래의 반도체 제조용 스테퍼설비는 파티클을 캐리어로 로딩시키기 위해 레티클박스(10)에 적재되어 있는 레티클을 꺼내어 PPD박스(14)로 하강 이동시킨 후 다시 상승 이동시켜 캐리어로 전달한다. 그리고 캐리어로 전달된 레티클은 로딩 암으로 전달되며, 이때 바코드리더가 로드암부근으로 이동하여 바코드를 체크하고 다시 원래의 위치로 돌아가는 동작을 반복하도록 하고 있어 레티클 로딩타임이 많이 소요되고, 로딩동작중에 에러가 발생하는 문제가 있었다.

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 반도체 제조용 스테퍼설비에서 레티클을 로딩할 시 로딩타임을 감소시키고 에러발생을 줄일 수 있는 반도체 제조용 스테퍼설비를 제공함에 있다.

도 1은 종래의 반도체 제조용 스테퍼설비의 구성도

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 제조용 스테퍼설비의 구성도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10: 레티클박스 12: 레티클로더

14: PPD박스 16: 포크

18: 바코드리더

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조용 스테퍼에 있어서, 레티클을 적재하기 위한 레티클 케이스와, 상기 레티클 케이스에 적재되어 있는 레티클을 로딩하기 위한 레티클 로더와, 상기 레티클 케이스의 상부에 설치되어 상기 레티클 로더에 의해 로딩되는 레티클의 파티클을 검사하는 PPD박스와, 상기 레티클로더의 포크의 지지대부분에 설치되어 상기 레티클로더에 의해 로딩되는 레티클의 바코드를 체크하는 바코드리더로 구성함을 특징으로 한다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 제조용 스테퍼설비의 구성도이다.

레티클을 적재하기 위한 레티클 케이스(10)와, 상기 레티클 케이스(10)에 적재되어 있는 레티클을 로딩하기 위한 레티클 로더(12)와, 상기 레티클 케이스(10)의 상부에 설치되어 상기 레티클 로더(12)에 의해 로딩되는 레티클의 파티클을 검사하는 PPD박스(14)와, 상기 레티클로더(12)의 포크(16)의 지지대부분에 설치되어 상기 레티클로더(12)에 의해 로딩되는 레티클의 바코드를 체크하는 바코드리더(18)로 구성되어 있다. 상기 레티클 로더(12)는 포크(16)를 상, 하 및 좌, 우로 움직여 레티클을 로딩시킨다.

상술한 도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예의 동작을 상세히 설명한다.

레티클로더(12)는 포크(16)를 상,하로 이동하여 레티클 케이스(10)에 적재되어 있는 다수의 레티클중 원하는 레티클의 위치로 이동한다. 그리고 레티클로더(12)는 우측방향으로 이동하여 레티클을 레티클박스(10)로부터 레티클을 꺼내고, 다시 좌측방향으로 이동한 후 상승하여 PPD박스(14)에 위치시킨다. 그러면 PPD박스(14)에서는 이동한 레티클의 파티클을 검사한다. 그런 후 레티클 로더(12)는 상기 PPD박스(14)로부터 파티클 검사가 끝난 레티클을 레티클로더(12)의 포크(16)의 지지대부분에 설치된 바코드리더(18)를 이용하여 바코드를 체크하도록 한다. 이렇게 하여 작업자가 실수로 인해 레티클 미스로딩 시 캐리어의 로드암까지 이동하지 않게 되어 바로 언로딩하게 되므로 레티클 로딩타임을 줄일 수 있다. 또한 레이클로더(12)의 포크(16)가 레티클박스(10)로부터 레티클을 꺼낸 후 하강하지 않고 바로 상승하여 PPD박스(14)로 이동하도록 하므로 기존보다 포크(16)의 불필요한 움직임이 줄어들어 레티클 로딩시간을 줄일 수 있다.

또한 본 발명의 다른 실시 예로는 레티클박스(10)의 슬롯별로 바코드를 미리 체크하여 로딩 시 별도의 바코드를 체크하지 않도록 레티클을 로딩시켜 레티클 로딩시간을 감소시킬 수도 있다.

상술한 바와 같이 본 발명은 반도체 제조용 스테퍼설비에서 PPD박스를 레티클박스의 상단에 설치하여 로딩한 레티클의 파티클을 체크하기 위해 불필요하게 다운시키는 움직임을 없애고, 레티클 바코드를 체크하기 위한 바코드 리더를 레티클로더의 포크 지지대에 설치하여 레티클의 바코드를 체크하기 위해 로드암까지 이동하지 않고 바코드를 체크할 수 있어, 작업자의 실수로 인해 레티클 미스 로딩 시 바로 언로딩할 수 있도록 하여 레티클 로딩시간을 감소시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 동시에 에러원인을 감소시킬 수 있는 이점이 있다.

Claims (2)

1. 반도체 제조용 스테퍼에 있어서,

   레티클을 적재하기 위한 레티클 케이스와,

   상기 레티클 케이스에 적재되어 있는 레티클을 로딩하기 위한 레티클 로더와,

   상기 레티클 케이스의 상부에 설치되어 상기 레티클 로더에 의해 로딩되는 레티클의 파티클을 검사하는 PPD박스와,

   상기 레티클로더의 포크의 지지대부분에 고정 설치되어 상기 레티클로더에 의해 로딩되는 레티클의 바코드를 체크하는 바코드리더로 구성함을 특징으로 하는 반도체 제조용 스테퍼.
2. 제1항에 있어서,

   상기 레티클 로더는 포크를 상, 하 및 좌, 우로 움직여 레티클을 로딩시킴을 특징으로 하는 반도체 제조용 스테퍼.