KR20020091877A - 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치에 관한 것으로, 특히 반도체를 생산하기 위해 사용되는 유공압 밸브의 내부에 흐르는 유량을 정압으로 유지되도록 제어함으로서, 상기 유공압 밸브내의 유량이 많아지면 밸브를 잠그고 반대로 유량이 적어지면 밸브를 열어주어 일정한 유량이 유동되도록 하는 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치에 관한 것이다. 이를 위해, 유공압 밸브의 둘레에 장착되어 유량의 흐름을 차단 및 개방하는 스탭모터와; 상기 스탭모터를 동작시키기 위한 데이터를 입력하는 입력부와; 상기 입력부에 입력된 데이터 정보에 따라 상기 스탭모터를 동작시키는 중앙처리부와; 상기 중앙처리부에 저장된 데이터를 초기화 시키는 리셋부와; 상기 중앙처리부에 입력된 데이터가 처리될 수 있도록 일시 저장하는 메모리부와; 상기 중앙처리부의 데이터 처리정보를 확인하기 위해 접속되는 직렬통신부와; 상기 리셋부에 전원을 공급하여 상기 스탭모터, 상기 메모리부, 상기 중앙처리부 및 상기 직렬통신부에 전원을 인가하는 전원부를 포함하는 것이 특징이다.

Description

반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치{A Constant Pressure Controlling Device For Automation Of Semiconductor Equipment}

본 발명은 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체를 생산하기 위해 사용되는 유공압 밸브의 내부에 흐르는 유량을정압으로 유지되도록 제어함으로서, 상기 유공압 밸브내의 유량이 많아지면 밸브를 잠그고 반대로 유량이 적어지면 밸브를 열어주어 일정한 유량이 유동되도록 하는 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치에 관한 것이다.

일반적으로 유공압 밸브는 유량을 일정하게 흐르게 하기 위한 것으로써, 상기 유량은 작동유가 단위시간당(일반적으로 1분간) 흐름이며, 흐름의 발생원은 펌프로서 기름탱크에서 흡입한 기름을 토출구로 토출하는 과정에서 흐름은 일어난다.

그리고, 펌프의 토출유량을 많게 하려면 대형펌프로 하던가, 펌프의 구동회전속도를 빨리 하면 얻어지게 되지만 구동력이 크게 된다. 액튜에이터에 유입되는 유량이 많을수록 출력의 속도가 빠르게 되며 유량제어 밸브를 사용하여 유량을 제어함으로 무단으로 변속이 가능하다.

여기서, 유공압은 유체역학에 의한 힘과 운동량을 제어하여 동력을 전달하는 것으로, 동력원(구동기)은 전동기 및 엔진이고, 이 동력을 움직이고 싶은 부분에 부착되어 있는 엑튜에이터(유압모터, 또는 실린더)에 전달한다.

그리고, 전달매체는 구동기에 부착되어 있는 펌프에 의하여 흡입·토출되는 작동유이며, 상기 유공압 밸브는 힘과 운동의 제어하는 것이다.

이러한, 종래의 상기 유공압 밸브는 인위적으로 조작하거나 기계적인 구조에 의해 유량을 일정하게 흐르도록 하였으나, 이는 유량이 많으면 유공압 밸브가 닫히고 유량이 적으로 유공압 밸브를 개방하여 유량을 컨트롤하기 어려울 뿐만 아니라, 유량이 정확히 정압을 유지시키지 못하는 문제점이 발생되었다.

또한, 사용자가 원격으로 입력된 정보에 따라 유량을 정압으로 컨트롤을 하기 어려움과, 이를 모니터링 하여 유량이 일정한 정압을 유지하는지를 체크하지 못하였다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결코자 하는 것으로, 본 발명의 목적은, 반도체를 생산하기 위해 사용되는 유공압 밸브의 내부에 흐르는 유량을 정압으로 유지되도록 제어함으로서, 상기 유공압 밸브내의 유량이 많아지면 밸브를 잠그고 반대로 유량이 적어지면 밸브를 열어주어 일정한 유량이 유동되도록 하는 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 구성으로, 유공압 밸브(20)의 둘레에 장착되어 유량의 흐름을 차단 및 개방하는 스탭모터(100)와; 상기 스탭모터(100)를 동작시키기 위한 데이터를 입력하는 입력부(200)와; 상기 입력부(200)에 입력된 데이터 정보에 따라 상기 스탭모터(100)를 동작시키는 중앙처리부(300)와; 상기 중앙처리부(300)에 저장된 데이터를 초기화 시키는 리셋부(400)와; 상기 중앙처리부(300)에 입력된 데이터가 처리될 수 있도록 일시 저장하는 메모리부(500)와; 상기 중앙처리부(300)의 데이터 처리정보를 확인하기 위해 접속되는 직렬통신부(600)와; 상기 리셋부(400)에 전원을 공급하여 상기 스탭모터(100), 상기 메모리부(500), 상기 중앙처리부(300) 및 상기 직렬통신부(600)에 전원을 인가하는 전원부(700)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치에 의하여 달성된다.

여기서, 상기 직렬통신부(600)에 컴퓨터(800)가 접속되어, 상기중앙처리부(300)의 데이터 처리정보를 모니터링 하는 것이 바람직하다.

본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로 부터 더욱 분명해질 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치를 나타내는 블럭도이고,

도 2는 본 발명에 따른 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치를 나타내는 사용상태도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

20: 유공압 밸브 100: 스탭모터

200: 입력부 300: 중앙처리부

400: 리셋부 500: 메모리부

600: 직렬통신부 700: 전원부

800: 컴퓨터 900: 정압 제어장치

이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치를 나타내는 블럭도이고, 도 2는 본 발명에 따른 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치를 나타내는 사용상태도이다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 반도체 생산공정에서 사용되는 유공압 밸브(20)를 통해 흐르는 유량을 정압하기 위해, 상기 유공압 밸브(20)내의 유량이 많아지면 밸브를 잠그고 반대로 유량이 적어지면 밸브를 열어주어 일정한 유량이 유동되도록 하는 것이다.

상기 정압 제어장치(900)는 스탭모터(100)와 입력부(200), 중앙처리부(300), 리셋부(400), 메모리부(500), 직렬통신부(600), 전원부(700)로 구성된다.

상기 스탭모터(100)는 반도체 생산공정에서 사용되는 유공압 밸브(20)에 장착되어 유량의 흐름을 차단 및 개방하는 것으로써, 유량이 많아지면 스탭모터(100)를 이용하여 유공압 밸브(20)를 잠그고, 유량이 적어지면 상기 유공압 밸브(20)를 열어주는 것이다.

여기서, 상기 스탭모터(100)에는 6N137 포토커플러를 이용하여 절연시켜 상기 중앙처리부(300)와 상기 스탭모터(100) 사이에는 전기적으로 절연된다.

상기 입력부(200)는 입력된 데이터에 의해 상기 스탭모터(100)를 동작시켜 유량이 정압이 되도록 유공압 밸브(20)를 제어하며, 상기 중앙처리부(300)는 상기 입력부(200)에 입력된 데이터의 정보에 따라 상기 스탭모터(100)를 동작을 제어하는 것으로써, 상기 중아처리부는 80C196KC -20 마이크로프로세서를 사용하였다.

상기 리셋부(400)는 상기 중앙처리부(300)에 입력된 데이터를 초기화 하는 것으로써, 상기 리셋부(400)를 누르면 상기 입력부(200)에 의해 입력된 데이터 정보를 초기화시켜 다음 진행 상황을 대기시킨다.

상기 메모리부(500)는 상기 중앙처리부(300)에 입력된 데이터가 처리될 수 있도록 일시 저장하는 것으로써, 상기 메모리부(500)는 32K 바이트 용량의 ROM 27C256, RAM 62C256, 플레시(Flash) 29C256을 사용하고, 제품의 호환성을 유지하고 계속적으로 성능을 향상시키기 위해 IAR C 언어로 프로그램 하였다.

그리고, 상기 직렬통신부(600)는 상기 중앙처리부(300)의 처리정보를 확인하기 위해 접속되며, 상기 직렬통신부(600)는 컴퓨터(800)에 접속되어 쉽게 조작할 수 있도록 RS-232C 통신포트, RS-485 통신포트에 의해 연결된다.

여기서, 상기 컴퓨터(800)는 상기 직렬통신부(600)에 접속되어, 반도체를 설비 자동화를 위한 상기 중앙처리부(300)의 처리정보와 상기 스탭모터(100)의 동작상황을 모니터링 하는 것이다.

상기 전원부(700)는 반도체 장비에서 직접 출력되는 직류전원을 상기리셋부(400)에 전원을 공급하여, 상기 스탭모터(100)와, 상기 메모리부(500), 상기 중앙처리부(300), 직렬통신부(600)에 인가한다.

따라서, 본 발명은 반도체를 생산하기 위해 사용된 유공압 밸브(20)의 내부에 흐르는 유량을 입력된 데이터 정보에 따라 상기 중앙처리부(300)가 제어하여, 상기 유공압 밸브(20)에 장착된 스탭모터(100)가 동작하여 정압으로 유지되도록 제어한다.

이는, 상기 유공압 밸브(20)내의 유량이 많아지면 상기 중앙처리부(300)의 명령에 의해 상기 스탭모터(100)가 동작하여 밸브를 잠그고, 반대로 유량이 적어지면 밸브를 열어주어 일정한 유량이 유동되도록 하는 것이다.

상기 본 발명은 반도체 생산공정에서 사용된 유공압 밸브(20)의 내부에 흐르는 유량을 일정한 정압으로 제어함과 동시에, 상기 중앙처리부(300)에서 유량이 정압으로 제어됨과 데이터 처리 정보를 컴퓨터(800)로 모니터링을 할 수 있다.

이상에서 상술한 바와같이 본 발명에 따른 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치에 의하면, 반도체 생산공정에서 사용되는 유공압 밸브(20)의 내부에 흐르는 유량을 일정한 정압으로 자동적으로 제어할 수 있는 것이다.

이러한, 본 발명에 의한 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치는 유공압 밸브내의 유량을 일정하게 유동되도록 제어하고, 제어된 유량은 실시간으로 모니터링을 할 수 있는 효과를 이끌어 낼 수 있다.

비록, 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 본 발명의 요지와 범위로 부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 첨부된 청구의 범위는 본 발명의 진정한 범위내에 속하는 그러한 수정 및 변형을 포함할 것이라고 여겨진다.

Claims (2)

1. 유공압 밸브(20)의 둘레에 장착되어 유량의 흐름을 차단 및 개방하는 스탭모터(100)와;

   상기 스탭모터(100)를 동작시키기 위한 데이터를 입력하는 입력부(200)와;

   상기 입력부(200)에 입력된 데이터 정보에 따라 상기 스탭모터(100)를 동작시키는 중앙처리부(300)와;

   상기 중앙처리부(300)에 저장된 데이터를 초기화 시키는 리셋부(400)와;

   상기 중앙처리부(300)에 입력된 데이터가 처리될 수 있도록 일시 저장하는 메모리부(500)와;

   상기 중앙처리부(300)의 데이터 처리정보를 확인하기 위해 접속되는 직렬통신부(600)와;

   상기 리셋부(400)에 전원을 공급하여 상기 스탭모터(100), 상기 메모리부(500), 상기 중앙처리부(300) 및 상기 직렬통신부(600)에 전원을 인가하는 전원부(700)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 직렬통신부(600)에 컴퓨터(800)가 접속되어, 상기 중앙처리부(300)의 데이터 처리정보를 모니터링 하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비 자동화를 위한 정압 제어장치.