KR20020090250A - Socket structure for testing a semiconductor package by using a multiple line grid array - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 패키지를 테스트하는 기법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 볼 그리드 어레이(BGA) 패키지의 양품 여부 판정을 위한 테스트를 수행하는데 적합한 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a technique for testing a semiconductor package, and more particularly, to a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array suitable for performing a test for determining the goodness of a ball grid array (BGA) package. .
잘 알려진 바와 같이, 통상의 반도체 패키지는 하나의 반도체 칩이 탑재(Single Chip Package)되거나 혹은 적어도 두 개의 반도체 칩을 탑재(Multi Chip Package)한 형태를 갖는다.As is well known, a conventional semiconductor package has a form in which one semiconductor chip is mounted (Single Chip Package) or at least two semiconductor chips (Multi Chip Package).
최근의 반도체 패키지의 보편화된 기술로서는 볼 그리드 어레이(BGA : Ball Grid Array)가 일반적이며, 이러한 BGA 패키지를 제조한 후에는 최종적으로 테스트공정을 수행하게 된다.A ball grid array (BGA) is a common technique for the recent semiconductor package, and after manufacturing such a BGA package, a test process is finally performed.
도 7은 종래 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도로서, 종래 테스트용 소켓 구조는 크게 구분해 볼 때, 범프(716)를 통해 전기적으로 서로 접속되는 테스트 보드(710)와 소켓(720)을 포함하고, 테스트 보드(710) 상의 임의의 위치에는 시스템의 안정화 및 전기적 특성의 개선을 위한 각종 기능성 소자(712a, 712b)가 장착되며, 각 기능성 소자(712a, 712b)들은 대응하는 전극 배선(714a, 714b)을 통해 범프(716)에 전기적으로 접속된다. 여기에서, 기능성 소자(712a, 712b)로서는, 예를 들면 커패시터, 인덕터, 저항 또는 필터 등이 될 수 있다.7 is a cross-sectional view of a socket structure for a conventional semiconductor package test. The socket structure for a conventional test includes a test board 710 and a socket 720 electrically connected to each other through a bump 716. At various positions on the test board 710, various functional elements 712a and 712b are mounted to stabilize the system and improve electrical characteristics, and each functional element 712a and 712b has corresponding electrode wirings 714a and 714b. Is electrically connected to the bump 716 via < RTI ID = 0.0 > Here, the functional elements 712a and 712b may be, for example, capacitors, inductors, resistors or filters.
또한, 종래 테스트용 소켓 구조에 채용되는 소켓(720)은 반도체 패키지(724)(즉, BGA 패키지)에 형성된 대응하는 각 솔더볼(726)이 안착 가능한 구조(예를 들면, Y자형 구조)의 접속핀(722)들이 형성되어 있으며, 이러한 각 접속핀(722)들은 대응하는 각 범프(716)에 전기적으로 접속된 형태를 갖는다.In addition, the socket 720 employed in the conventional test socket structure is connected to a structure (for example, a Y-shaped structure) in which the corresponding solder balls 726 formed on the semiconductor package 724 (that is, the BGA package) can be seated. Fins 722 are formed, and each of these connecting pins 722 has a shape that is electrically connected to each corresponding bump 716.
따라서, 상술한 바와 같은 구조를 갖는 종래 테스트용 소켓 구조에서는 제작 완성된 반도체 패키지(724)에 형성된 각 솔더볼(726)을 대응하는 각 접속핀(722)에 안착시켜 전기적으로 접속한 후에 필요로 하는 테스트를 수행하게 된다.Accordingly, in the conventional test socket structure having the above-described structure, the solder balls 726 formed on the manufactured semiconductor package 724 are required to be seated on the corresponding connection pins 722 and electrically connected thereto. Test will be performed.
그러나, 상술한 바와 같은 종래 테스트용 소켓 구조는, 테스트 보드 상에 시스템의 안정화 및 전기적 특성의 개선을 위한 기능성 소자를 장착하기 때문에, 테스트 보드의 면적이 불필요하게 커지게 되는 문제(보드 밀도의 저하 문제)가 있을 뿐만 아니라 테스트 보드의 설계 자유도를 저하시키는 문제가 있으며, 이러한 문제가 제품의 경박 단소화를 저해시키는 요인으로 작용하고 있는 실정이다.However, the conventional test socket structure as described above has a problem that the area of the test board becomes unnecessarily large because a functional element for stabilizing the system and improving the electrical characteristics is mounted on the test board. In addition, there is a problem that lowers the freedom of design of the test board, and this problem acts as a factor that hinders the shortening and thinning of the product.
또한, 종래 테스트용 소켓 구조는, 테스트 보드 상에 시스템의 안정화 및 전기적 특성의 개선을 위한 기능성 소자를 장착하기 때문에, 신호선의 길이가 길어져 신호 전달의 지연이 발생하거나 혹은 신호 전달 과정에서 노이즈가 삽입되어 전기적 특성 저하가 수반됨으로서 테스트의 신뢰도가 저하된다는 근본적인 한계를 가질 수밖에 없었다.In addition, the conventional test socket structure is equipped with a functional element for the stabilization of the system and the improvement of the electrical characteristics on the test board, the length of the signal line is long, causing a delay in signal transmission or noise is inserted in the signal transmission process As a result, electrical deterioration was accompanied with a fundamental limitation that the reliability of the test was deteriorated.
따라서, 본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 반도체 패키지의 테스트를 위한 테스트 보드의 고 밀도화 및 경박 단소화를 실현할 수 있는 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, a semiconductor package test socket structure using a multiple line grid array capable of realizing high density and light weight of the test board for testing the semiconductor package. The purpose is to provide.
본 발명의 다른 목적은 기능성 소자와의 접속을 위한 전극 배선의 길이 증가를 억제함으로써 반도체 패키지의 테스트 신뢰도를 증진시킬 수 있는 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array which can increase the test reliability of the semiconductor package by suppressing an increase in the length of the electrode wiring for connection with the functional element.
상기 목적을 달성하기 위한 일 형태에 따른 본 발명은, 제조된 반도체 패키지의 양품 여부를 테스트하는 테스트 보드를 갖는 장비에 사용 가능한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조에 있어서, 기능성 소자가 내장되고, 상부와 하부간을 관통하는 형태로 된 다수의 전극 배선이 형성되며, 상기 각 전극 배선의 하부가 상기 테스트 보드 내 대응하는 각 입출력 노드에 전기적으로 접속 지지되는 멀티플 라인 그리드; 및 상기 반도체 패키지를 수납 가능한 구조를 가지며, 상기 다수의 전극 배선에 각각 대응하는 다수의 접속핀이 형성되고, 상기 각 접속핀의 상부가 상기반도체 패키지에 형성된 대응하는 각 솔더볼에 전기적으로 접촉 가능한 구조를 가지며 각 하부가 상기 멀티플 라인 그리드 내 대응하는 각 전극 배선에 전기적으로 접속 지지되는 소켓으로 이루어진 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조를 제공한다.In accordance with one aspect of the present invention, there is provided a socket structure for testing a semiconductor package, which can be used in equipment having a test board for testing the quality of a manufactured semiconductor package. A multiple line grid having a plurality of electrode wirings formed therebetween, the lower lines of each electrode wiring being electrically connected to and supported by respective corresponding input / output nodes in the test board; And a structure capable of accommodating the semiconductor package, wherein a plurality of connection pins respectively corresponding to the plurality of electrode wirings are formed, and an upper portion of each of the connection pins is in electrical contact with each of the corresponding solder balls formed in the semiconductor package. It provides a socket structure for a semiconductor package test using a multiple line grid array having a socket having a lower portion each of which is electrically connected to each of the corresponding electrode wiring in the multiple line grid.
상기 목적을 달성하기 위한 다른 형태에 따른 본 발명은, 제조된 반도체 패키지의 양품 여부를 테스트하는 테스트 보드를 갖는 장비에 사용 가능한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조에 있어서, 상부와 하부간을 관통하는 형태로 된 다수의 전극 배선이 형성되며, 상기 각 전극 배선의 하부가 상기 테스트 보드 내 대응하는 각 입출력 노드에 전기적으로 접속 지지되는 멀티플 라인 그리드; 상기 반도체 패키지를 수납 가능한 구조를 가지며, 상기 다수의 전극 배선에 각각 대응하는 다수의 접속핀이 형성되고, 상기 각 접속핀의 상부가 상기 반도체 패키지에 형성된 대응하는 각 솔더볼에 전기적으로 접촉 가능한 구조를 가지며 각 하부가 상기 멀티플 라인 그리드 내 대응하는 각 전극 배선에 전기적으로 접속 지지되는 소켓; 및 상기 멀티플 라인 그리드의 외측 소정 부분에서 대응하는 전극 배선에 전기적으로 접속되는 형태로 장착된 적어도 하나의 기능성 소자로 이루어진 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조를 제공한다.In accordance with another aspect of the present invention, there is provided a socket structure for testing a semiconductor package that can be used in a device having a test board for testing the quality of a manufactured semiconductor package. A plurality of electrode wirings, the multiple line grids having lower portions of the electrode wirings electrically connected and supported to respective corresponding input / output nodes in the test board; A structure capable of accommodating the semiconductor package, wherein a plurality of connection pins respectively corresponding to the plurality of electrode wirings are formed, and an upper portion of each of the connection pins is in electrical contact with each of the corresponding solder balls formed in the semiconductor package. A socket having a lower portion electrically connected to a corresponding electrode wiring in the multiple line grid; And a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array including at least one functional element mounted in a form electrically connected to a corresponding electrode wiring at a predetermined outer portion of the multiple line grid.
상기 목적을 달성하기 위한 또 다른 형태에 따른 본 발명은, 제조된 반도체 패키지의 양품 여부를 테스트하는 테스트 보드를 갖는 장비에 사용 가능한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조에 있어서, 상부와 하부간을 관통하는 형태로 된 다수의 전극 배선이 형성되고, 상기 각 전극 배선의 하부가 상기 테스트 보드 내 대응하는각 입출력 노드에 전기적으로 접속 지지되며, 외측 소정 부분에 기능성 소자를 수용 가능한 적어도 하나의 캐비티가 형성된 멀티플 라인 그리드; 상기 반도체 패키지를 수납 가능한 구조를 가지며, 상기 다수의 전극 배선에 각각 대응하는 다수의 접속핀이 형성되고, 상기 각 접속핀의 상부가 상기 반도체 패키지에 형성된 대응하는 각 솔더볼에 전기적으로 접촉 가능한 구조를 가지며 각 하부가 상기 멀티플 라인 그리드 내 대응하는 각 전극 배선에 전기적으로 접속 지지되는 소켓; 및 상기 적어도 하나의 캐비티에 수용되어 대응하는 전극 배선에 전기적으로 접속되는 형태로 장착된 적어도 하나의 기능성 소자로 이루어진 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조를 제공한다.In accordance with another aspect of the present invention, there is provided a socket structure for testing a semiconductor package that can be used in a device having a test board for testing the quality of a manufactured semiconductor package. A plurality of electrode wirings are formed, a lower line of each of the electrode wirings is electrically connected to and supported by each corresponding input / output node in the test board, and at least one cavity in which at least one cavity for accommodating functional elements is formed in an outer predetermined portion grid; A structure capable of accommodating the semiconductor package, wherein a plurality of connection pins respectively corresponding to the plurality of electrode wirings are formed, and an upper portion of each of the connection pins is in electrical contact with each of the corresponding solder balls formed in the semiconductor package. A socket having a lower portion electrically connected to a corresponding electrode wiring in the multiple line grid; And at least one functional element accommodated in the at least one cavity and electrically connected to a corresponding electrode wiring.
상기 목적을 달성하기 위한 또 다른 형태에 따른 본 발명은, 제조된 반도체 패키지의 양품 여부를 테스트하는 테스트 보드를 갖는 장비에 사용 가능한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조에 있어서, 기능성 소자가 내장되고, 상부와 하부간을 관통하는 형태로 된 다수의 전극 배선이 형성되며, 상기 각 전극 배선의 하부가 상기 테스트 보드 내 대응하는 각 입출력 노드에 전기적으로 접속 지지되는 멀티플 라인 그리드; 상기 각 비아홀에 대응하는 다수의 접속핀이 형성되며, 상기 각 접속핀의 하부가 압입력에 의해 상기 각 전극 배선의 상부에 접촉 또는 비접촉되고 그 상부가 상기 반도체 패키지에 형성된 대응하는 각 솔더볼에 접촉되는 구조를 갖는 핀 가이더; 상기 반도체 패키지를 수납 가능한 구조를 가지며, 상기 핀 가이더를 상기 멀티플 라인 그리드의 상부 위치에 고정 지지시키는 패키지 가이더; 및 상기 패키지 가이더의 소정 위치에 장착되며, 상기 반도체 패키지에 형성된 각 솔더볼이대응하는 상기 각 접속핀에 전기적으로 접촉되도록 지지하기 위한 다수의 패키지 홀더로 이루어진 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조를 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a socket structure for testing a semiconductor package, which can be used in equipment having a test board for testing the quality of a manufactured semiconductor package. A multiple line grid having a plurality of electrode wirings formed therebetween, the lower lines of each of the electrode wirings being electrically connected and supported to respective corresponding input / output nodes in the test board; A plurality of connection pins corresponding to each of the via holes are formed, and a lower portion of each of the connection pins is contacted or non-contacted with an upper portion of each electrode wiring by a pressure input, and an upper portion thereof contacts each corresponding solder ball formed in the semiconductor package. A pin guider having a structure; A package guider having a structure capable of accommodating the semiconductor package and fixedly supporting the pin guider at an upper position of the multiple line grid; And a plurality of package holders mounted at predetermined positions of the package guider and configured to support each solder ball formed in the semiconductor package to be in electrical contact with corresponding connection pins. Provide structure.
상기 목적을 달성하기 위한 또 다른 형태에 따른 본 발명은, 제조된 반도체 패키지의 양품 여부를 테스트하는 테스트 보드를 갖는 장비에 사용 가능한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조에 있어서, 상부와 하부간을 관통하는 형태로 된 다수의 전극 배선이 형성되고, 상기 각 전극 배선의 하부가 상기 테스트 보드 내 대응하는 각 입출력 노드에 전기적으로 접속 지지되는 멀티플 라인 그리드; 상기 멀티플 라인 그리드의 외측 소정 부분에서 대응하는 전극 배선에 전기적으로 접속되는 형태로 장착된 적어도 하나의 기능성 소자; 상기 각 전극 배선에 대응하는 다수의 접속핀이 형성되며, 상기 각 접속핀의 하부가 압입력에 의해 상기 각 전극 배선의 상부에 접촉 또는 비접촉되고 그 상부가 상기 반도체 패키지에 형성된 대응하는 각 솔더볼에 접촉되는 구조를 갖는 핀 가이더; 상기 반도체 패키지를 수납 가능한 구조를 가지며, 상기 핀 가이더를 상기 멀티플 라인 그리드의 상부 위치에 고정 지지시키는 패키지 가이더; 및 상기 패키지 가이더의 소정 위치에 장착되며, 상기 반도체 패키지에 형성된 각 솔더볼이 대응하는 상기 각 접속핀에 전기적으로 접촉되도록 지지하기 위한 다수의 패키지 홀더로 이루어진 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조를 제공한다.In accordance with another aspect of the present invention, there is provided a socket structure for testing a semiconductor package that can be used in a device having a test board for testing the quality of a manufactured semiconductor package. A multiple line grid having a plurality of electrode wirings, the lower lines of each of the electrode wirings being electrically connected and supported to respective corresponding input / output nodes in the test board; At least one functional element mounted in a form electrically connected to a corresponding electrode wiring at an outer predetermined portion of the multiple line grid; A plurality of connection pins corresponding to the respective electrode wirings are formed, and a lower portion of each of the connection pins is contacted or non-contacted with an upper portion of each electrode wiring by a pressure input, and an upper portion thereof is formed on each corresponding solder ball formed in the semiconductor package. A pin guider having a structure in contact; A package guider having a structure capable of accommodating the semiconductor package and fixedly supporting the pin guider at an upper position of the multiple line grid; And a plurality of package holders mounted at predetermined positions of the package guider and configured to support each solder ball formed in the semiconductor package so as to be in electrical contact with the corresponding connection pins. Provide structure.
상기 목적을 달성하기 위한 또 다른 형태에 따른 본 발명은, 제조된 반도체 패키지의 양품 여부를 테스트하는 테스트 보드를 갖는 장비에 사용 가능한 반도체패키지 테스트용 소켓 구조에 있어서, 상부와 하부간을 관통하는 형태로 된 다수의 전극 배선이 형성되고, 상기 각 전극 배선의 하부가 상기 테스트 보드 내 대응하는 각 입출력 노드에 전기적으로 접속 지지되며, 외측 소정 부분에 기능성 소자를 수용 가능한 적어도 하나의 캐비티가 형성된 멀티플 라인 그리드; 상기 적어도 하나의 캐비티에 수용되어 대응하는 전극 배선에 전기적으로 접속되는 형태로 장착된 적어도 하나의 기능성 소자; 상기 각 전극 배선에 대응하는 다수의 접속핀이 형성되며, 상기 각 접속핀의 하부가 압입력에 의해 상기 각 전극 배선의 상부에 접촉 또는 비접촉되고 그 상부가 상기 반도체 패키지에 형성된 대응하는 각 솔더볼에 접촉되는 구조를 갖는 핀 가이더; 상기 반도체 패키지를 수납 가능한 구조를 가지며, 상기 핀 가이더를 상기 멀티플 라인 그리드의 상부 위치에 고정 지지시키는 패키지 가이더; 및 상기 패키지 가이더의 소정 위치에 장착되며, 상기 반도체 패키지에 형성된 각 솔더볼이 대응하는 상기 각 접속핀에 전기적으로 접촉되도록 지지하기 위한 다수의 패키지 홀더로 이루어진 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조를 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a socket structure for testing a semiconductor package, which can be used in equipment having a test board for testing the quality of a manufactured semiconductor package. A plurality of electrode wirings are formed, a lower line of each of the electrode wirings is electrically connected to each of the corresponding input / output nodes in the test board, and at least one cavity is formed in the outer predetermined portion to accommodate the functional element. grid; At least one functional element mounted in a form accommodated in the at least one cavity and electrically connected to a corresponding electrode wiring; A plurality of connection pins corresponding to the respective electrode wirings are formed, and a lower portion of each of the connection pins is contacted or non-contacted with an upper portion of each electrode wiring by a pressure input, and an upper portion thereof is formed on each corresponding solder ball formed in the semiconductor package. A pin guider having a structure in contact; A package guider having a structure capable of accommodating the semiconductor package and fixedly supporting the pin guider at an upper position of the multiple line grid; And a plurality of package holders mounted at predetermined positions of the package guider and configured to support each solder ball formed in the semiconductor package so as to be in electrical contact with the corresponding connection pins. Provide structure.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도,1 is a cross-sectional view of a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array according to a first embodiment of the present invention;
도 2는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도,2 is a cross-sectional view of a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array according to a second embodiment of the present invention;
도 3은 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도,3 is a cross-sectional view of a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array according to a third embodiment of the present invention;
도 4는 본 발명의 제 4 실시 예에 따른 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도,4 is a cross-sectional view of a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array according to a fourth embodiment of the present invention;
도 5는 본 발명의 제 5 실시 예에 따른 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도,5 is a cross-sectional view of a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array according to a fifth embodiment of the present invention;
도 6은 본 발명의 제 6 실시 예에 따른 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도,6 is a cross-sectional view of a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array according to a sixth embodiment of the present invention;
도 7은 종래 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도.7 is a cross-sectional view of a socket structure for testing a conventional semiconductor package.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the code | symbol about the principal part of drawing>
110, 402 : 테스트 보드 112 : 하부 범프110, 402: test board 112: lower bump
120, 406 : 멀티플 라인 그리드 122 : 상부 범프120, 406: multiple line grid 122: upper bump
124, 406b : 기능성 소자 126, 408 : 비아홀124, 406b: Functional element 126, 408: Via hole
128, 406a : 캐비티 130 : 소켓128,406a: cavity 130: socket
132, 412 : 접속핀 134, 420 : 반도체 패키지132, 412: connecting pins 134, 420: semiconductor package
136, 422 : 솔더볼 410 : 핀 가이더136, 422: solder ball 410: pin guider
414 : 패키지 가이더 416a, 416b : 패키지 홀더414: Package Guider 416a, 416b: Package Holder
418a, 418b : 고정 나사418a, 418b: set screw
본 발명의 상기 및 기타 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 하기에 기술되는 본 발명의 바람직한 실시 예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above and other objects and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the present invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 핵심 기술요지는, 테스트 보드 상의 임의의 위치에 기능성 소자를 장착하여 외부로 신장되는 전극 배선을 통해 테스트용 소켓의 전기적 접속점(범프)에 연결하는 구조를 갖는 전술한 종래 기술과는 달리, 본 발명자에 의해 제안되어 대한민국 특허청에 출원된 특허출원 1997-15770, 2000-7640, 2000-25605, 2000-65176 등에 개시된 다양한 형태의 멀티플 라인 그리드(MLG), 즉 고기능화 및 고집적화에 따라 수반되는 반도체 소자의 다핀화와 소형화에 대응할 수 있는 기능성 소자 내장형 또는 기능성 소자 외장형의 멀티플 라인 그리드를 이용하여 테스트 보드와 소켓간을 구조적 및 전기적으로 접속시키는 구조를 채용한다는 것으로, 이러한 기술적 수단을 통해 본 발명에서 목적으로 하는 바를 쉽게 달성할 수 있다.The core technical aspect of the present invention is different from the above-described prior art having a structure in which a functional element is mounted at an arbitrary position on a test board and connected to an electrical connection point (bump) of a test socket through electrode wiring extending outward. , Various types of multiple line grids (MLGs) proposed by the present inventors and disclosed in the Korean Patent Application No. 1997-15770, 2000-7640, 2000-25605, 2000-65176, ie, semiconductors accompanying high functionalization and high integration. By adopting a structure that connects the test board and the socket structurally and electrically by using a multiple line grid of a functional element built-in or a functional element external type that can cope with the miniaturization and miniaturization of the device. It is easy to achieve the purpose.
[실시 예1]Example 1
도 1은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array according to a first embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조는, 테스트 보드(110) 상에 멀티플 라인 그리드(120)와 소켓(130)이 순차 장착되는 구조, 즉 하부 범프(112)를 통해 테스트 보드(110)의 입출력 노드(도시 생략)들과 각각 대응하는 멀티플 라인 그리드(120)의 하부 입출력 접점(도시 생략)이 접속되고, 상부 범프(122)를 통해 멀티플 라인 그리드(120)의 상부 입출력 접점(도시 생략)과 소켓(130)내의 각각 대응하는 접속핀(132)의 하부 접점이 접속되는 구조를 갖는다. 여기에서, 각 하부 범프(112)와 대응하는 각 상부 범프(122)는 대응하는 각 비아홀(126)을 통해 전기적으로 접속된다.Referring to FIG. 1, the socket structure for testing a semiconductor package according to the present exemplary embodiment includes a structure in which the multiple line grid 120 and the socket 130 are sequentially mounted on the test board 110, that is, the lower bump 112. Input / output nodes (not shown) of the test board 110 and lower input / output contacts (not shown) of the multiple line grids 120 respectively are connected to each other, and the upper bumps 122 of the multiple line grids 120 are connected to each other. The upper input / output contact (not shown) and the lower contact of the corresponding connection pin 132 in the socket 130 are connected. Here, each of the lower bumps 112 and the corresponding upper bumps 122 are electrically connected through the corresponding respective via holes 126.
이때, 테스트 보드(110) 상에는 기능성 소자가 장착되지 않으며, 필요로 하는 기능성 소자(124)는 멀티플 라인 그리드(120)의 내부에 형성되는데, 이와 같이 멀티플 라인 그리드(120)의 내부에 원하는 기능성 소자(124)를 형성하는 방법 및 과정은 본 발명자에 의해 제안되어 대한민국 특허청에 출원된 특허출원 2000-65176 호에 상세하게 기재되어 있다. 여기에서, 기능성 소자는, 예를 들면 커패시터, 인덕터, 저항 또는 필터 등이 될 수 있다.In this case, the functional device is not mounted on the test board 110, and the required functional device 124 is formed inside the multiple line grid 120. Thus, the desired functional device is inside the multiple line grid 120. The method and process for forming 124 is described in detail in patent application 2000-65176 proposed by the inventor and filed with the Korean Patent Office. Here, the functional element may be, for example, a capacitor, an inductor, a resistor or a filter.
한편, 본 실시 예의 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조에 채용되는 소켓(130) 내부의 하부 측에는 내 측으로부터 그 외부 측으로 신장되는 형태를 갖는 다수의 접속핀(132)들이 형성되어 있으며, 각 접속핀(132)은 테스트를 위해 소켓(130) 내부로 삽입되는 반도체 패키지(134)(예를 들면, BGA 패키지)의 하부에 형성된 대응하는 각 솔더볼(136)이 안정되게 안착 가능하도록 Y자형의 구조를 갖는다.Meanwhile, a plurality of connection pins 132 having a form extending from an inner side to an outer side thereof are formed at a lower side of the socket 130 employed in the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment, and each connection pin 132 is formed. ) Has a Y-shaped structure so that each of the corresponding solder balls 136 formed under the semiconductor package 134 (eg, BGA package) inserted into the socket 130 for testing can be stably seated.
상술한 바와 같은 구조를 갖는 본 실시 예의 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조에서는 반도체 패키지(134)가 안착될 때, 각 솔더볼(136) - 각 접속핀(132) - 각 상부 범프(122) - 각 비아홀(126) - 각 하부 범프(112) - 테스트 보드(110)내의 각 입출력 노드(도시 생략)간이 전기적으로 접속되며, 이러한 접속 구조를 통해 반도체 패키지(134)의 양품 여부를 테스트하게 된다.In the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment having the structure as described above, when the semiconductor package 134 is seated, each solder ball 136-each connection pin 132-each upper bump 122-each via hole ( 126)-each lower bump 112-each input and output node (not shown) in the test board 110 is electrically connected, through this connection structure to test whether the semiconductor package 134 is good.
따라서, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조는, 전술한 종래 소켓 구조에서와 같이 테스트 보드 상의 임의의 위치에 필요로 하는 기능성 소자를 장착하고, 외부로 인출된 전극 배선을 이용하여 기능성 소자와 소켓에 있는입출력 접점간을 접속할 필요가 없기 때문에, 테스트 보드의 고 밀도화 및 경박 단소화를 실현할 수 있을 뿐만 아니라 기능성 소자와의 접속을 위한 전극 배선의 길이 증가를 억제함으로써 반도체 패키지의 테스트 신뢰도를 대폭적으로 증진시킬 수 있다.Therefore, in the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment, the functional element required at an arbitrary position on the test board is mounted as in the conventional socket structure described above, and the functional element is made by using the electrode wiring drawn out to the outside. Since there is no need to connect between the input and output contacts in the socket and the socket, it is possible to realize high density and light weight reduction of the test board, and to suppress the increase in the length of the electrode wiring for connection with the functional element, thereby reducing the test reliability of the semiconductor package. Can be greatly improved.
[실시 예2]Example 2
도 2는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조는, 멀티플 라인 그리드가 기능성 소자를 내장하는 것이 아니라 외장한다는 점이 전술한 실시 예1과 다르며, 그 이외의 모든 구성부재는 전술한 실시 예1과 실질적으로 동일하다. 따라서, 불필요한 중복 기재를 피하기 위하여 실질적으로 동일한 부분들에 대해서는 여기에서의 상세한 설명을 생략한다.Referring to FIG. 2, the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment is different from the above-described embodiment 1 in that a multiple line grid is not embedded with a functional element, but all external components are described above. It is substantially the same as Example 1. Therefore, in order to avoid unnecessary overlapping description, the description here is abbreviate | omitted about the substantially same part.
즉, 전술한 실시 예1에서는 기능성 소자 내장형의 멀티플 라인 그리드를 사용하는데 반해, 본 실시 예에서는, 도 2에 도시된 바와 같이, 하나 또는 다수의 기능성 소자(124)가 멀티플 라인 그리드(120)의 외부 측, 즉 하부 범프(112)에 의해 멀티플 라인 그리드(120)와 테스트 보드(110) 사이에 형성되는 공간상에서 멀티플 라인 그리드(120)의 하부 측에 장착되는 형태를 갖는 기능성 소자 외장형의 멀티플 라인 그리드를 사용한다.That is, in the above-described Embodiment 1, a multiple line grid having a built-in functional element is used, whereas in the present embodiment, as illustrated in FIG. 2, one or more functional elements 124 are connected to the multiple line grid 120. Multiple line of functional device external type having a form mounted on the lower side of the multiple line grid 120 in the space formed between the multiple line grid 120 and the test board 110 by the outer side, that is, the lower bump 112 Use the grid.
또한, 본 실시 예에서는, 일 예로서 도 2에 도시된 바와 같이, 멀티플 라인 그리드(120)의 하부 측 공간상에 필요로 하는 기능성 소자를 장착하는 것으로 하여설명하였으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 멀티플 라인 그리드(120)의 하부가 아닌 상부에 장착하거나 혹은 필요에 따라 상부 및 하부 모두에 기능성 소자를 장착할 수도 있다.In addition, in the present embodiment, as shown in FIG. 2 as an example, it has been described as mounting a functional element required on the lower side space of the multiple line grid 120, the present invention is necessarily limited thereto In some embodiments, the upper and lower parts of the multiple line grid 120 may be mounted, or the functional device may be mounted on both the upper and lower parts, if necessary.
따라서, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조는 전술한 실시 예1에서와는 달리 기능성 소자 내장형이 아닌 외장형의 멀티플 라인 그리드를 사용하지만 실질적으로 동일한 결과 및 효과를 얻을 수 있다.Thus, unlike the first embodiment described above, the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment uses an external multiple-line grid, which is not a functional element embedded, but can substantially achieve the same results and effects.
[실시 예3]Example 3
도 3은 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array according to a third embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조는, 멀티플 라인 그리드가 기능성 소자를 외장한다는 점에 있어서는 전술한 실시 예2와 동일하지만, 외장되는 기능성 소자가 멀티플 라인 그리드에 형성된 캐비티에 수용되는 형태로 외장된다는 점이 다르며, 그 이외의 모든 구성부재는 전술한 실시 예2와 실질적으로 동일하다. 따라서, 불필요한 중복 기재를 피하기 위하여 실질적으로 동일한 부분들에 대해서는 여기에서의 상세한 설명을 생략한다.Referring to FIG. 3, the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment is the same as in the above-described second embodiment in that a multiple line grid encloses a functional element, but the functional element to be enclosed is formed in the multiple line grid. It differs in that it is sheathed in the form accommodated in a cavity, and all other components are substantially the same as Example 2 mentioned above. Therefore, in order to avoid unnecessary overlapping description, the description here is abbreviate | omitted about the substantially same part.
즉, 전술한 실시 예2에서는 외장형의 기능성 소자가 멀티플 라인 그리드의 하부와 테스트 보드의 상부 사이에 형성된 공간(또는 멀티플 라인 그리드의 상부와 소켓의 하부 사이에 형성된 공간)상에서 멀티플 라인 그리드의 하부(또는 상부)에 장착되는 구조를 갖는데 반해, 본 실시 예에서는, 도 3에 도시된 바와 같이, 멀티플 라인 그리드(120)의 소정 부분에 하나 또는 다수의 캐비티(128)를 형성하고, 각캐비티(128)에 원하는 기능성 소자(124)를 장착하는 구조를 갖는다.That is, in the above-described Embodiment 2, the external functional element is formed on the lower portion of the multiple line grid on the space formed between the lower portion of the multiple line grid and the upper portion of the test board (or the space formed between the upper portion of the multiple line grid and the lower portion of the socket). Or an upper portion), in the present embodiment, as shown in FIG. 3, one or more cavities 128 are formed in a predetermined portion of the multiple line grid 120, and each cavity 128 is formed. ), The desired functional element 124 is mounted.
또한, 본 실시 예에서는, 일 예로서 도 3에 도시된 바와 같이, 멀티플 라인 그리드(120)의 하부에 형성된 캐비티에 필요로 하는 기능성 소자를 장착하는 것으로 하여 설명하였으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 멀티플 라인 그리드(120)의 상부에 캐비티를 형성하여 기능성 소자를 장착하거나 혹은 필요에 따라 상부 및 하부 모두에 캐비티를 형성하여 기능성 소자를 장착할 수도 있다.In addition, in the present embodiment, as shown in FIG. 3 as an example, it has been described as mounting a functional element required in the cavity formed in the lower portion of the multiple line grid 120, the present invention is not limited thereto. In other words, the cavity may be formed on the multiple line grid 120 to mount the functional device, or the cavity may be formed on both the top and the bottom of the multiple line grid 120 to mount the functional device.
따라서, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조는 전술한 실시 예2에서와 실질적으로 동일한 결과 및 효과를 얻을 수 있음은 물론이며, 멀티플 라인 그리드에 기능성 소자를 수용하기 위한 캐비티를 형성하고, 기능성 소자를 캐비티에 수용되는 형태로 장착하기 때문에, 전술한 실시 예2에 비해, 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조를 더욱 박형으로 제조할 수 있는 또 다른 효과를 얻을 수 있다.Therefore, the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment can achieve substantially the same results and effects as in the above-described Embodiment 2, and forms a cavity for accommodating a functional element in a multiple line grid. Since the functional element is mounted in a cavity accommodated in the cavity, it is possible to obtain another effect that the socket structure for testing a semiconductor package can be made even thinner than in the above-described Embodiment 2.
[실시 예4]Example 4
도 4는 본 발명의 제 4 실시 예에 따른 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array according to a fourth embodiment of the present invention.
도 4를 참조하면, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조는, 테스트 보드(402) 상에 멀티플 라인 그리드(406)와 핀 가이더(410)가 순차 형성되고, 핀 가이더(410)는 패키지 가이더(414)에 의해 멀티플 라인 그리드(406)의 상부 위치에 고정 지지되는 구조를 갖는다.Referring to FIG. 4, in the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment, a multiple line grid 406 and a pin guider 410 are sequentially formed on a test board 402, and the pin guider 410 is packaged. The guider 414 has a structure fixedly supported at an upper position of the multiple line grid 406.
이때, 멀티플 라인 그리드(406)의 내부에는 기능성 소자(406a)가 형성되어있고, 소정 부분에는 다수의 비아홀(408), 즉 테스트하고자 하는 반도체 패키지(420)의 입출력 접점들과 이들에 각각 대응하는 테스트 보드(402)내 각 입출력 노드(도시 생략)들간을 전기적으로 연결하기 위한 다수의 비아홀이 형성되어 있으며, 도전성 물질로 채워진 각 비아홀(408)의 하부 측은 범프(404)들을 통해 테스트 보드(402)내의 대응하는 각 입출력 노드들과 전기적으로 접속되고, 상부 측은 핀 가이더(410)내에 형성된 대응하는 각 접속핀(412)에 전기적으로 접속된다. 이러한 내장형의 기능성 소자는, 예를 들면 커패시터, 인덕터, 저항 또는 필터 등이 될 수 있다.At this time, the functional element 406a is formed in the multiple line grid 406, and a plurality of via holes 408, i.e., the input / output contacts of the semiconductor package 420 to be tested and corresponding to the predetermined portions, respectively. A plurality of via holes are formed to electrically connect each input / output node (not shown) in the test board 402, and a lower side of each via hole 408 filled with a conductive material is connected to the test board 402 through bumps 404. Are electrically connected to respective corresponding input / output nodes in the top and bottom sides, and the upper side is electrically connected to each corresponding connecting pin 412 formed in the pin guider 410. Such built-in functional elements may be, for example, capacitors, inductors, resistors or filters.
따라서, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조는, 멀티플 라인 그리드(406)가 기능성 소자를 수용하고 있기 때문에 테스트 보드(402) 상에는 어떠한 기능성 소자도 장착할 필요가 없다.Thus, the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment does not need to mount any functional element on the test board 402 because the multiple line grid 406 accommodates the functional element.
여기에서, 각 접속 핀(412)은, 도 4에서 확대 부분으로 도시한 바와 같이, 압입력에 의해 대응하는 각 비아홀(408)에 접촉 또는 비접촉되는 형태의 구조를 가지며, 각 접속 핀(412)의 상부에는 테스트하고자 하는 반도체 패키지(420)의 하부에 형성된 각 솔더볼(422)이 전기적으로 접촉된다.Here, each of the connection pins 412 has a structure in which the respective contact pins 412 are in contact or non-contact with each corresponding via hole 408 by a push input, as shown in an enlarged portion in FIG. 4. The solder balls 422 formed on the lower portion of the semiconductor package 420 to be tested are electrically contacted with the upper portion of the upper surface of the solder package.
또한, 패키지 가이더(414)는 다수의 고정 나사(418a, 418b)에 의해 고정됨으로서 멀티플 라인 그리드(406)의 상부 위치에 핀 가이더(410)를 고정 지지하며, 핀 가이더(410)보다 적어도 높은 위치의 소정 부분에는 다수의 패키지 홀더(416a, 416b), 즉 테스트를 위해 삽입된 반도체 패키지(420)의 각 솔더볼(422)이 대응하는 각 접속핀(412)에 전기적으로 잘 접촉되도록 지지하기 위한 다수의 패키지 홀더가형성되어 있다. 여기에서, 패키지 홀더(416a, 416b)는, 통상적인 누름 버튼과 같이, 반도체 패키지(420)를 한번 누를 때 반도체 패키지(420)를 고정 지지하고, 고정 지지된 상태에서 다시 한번 누를 때 반도체 패키지(420)의 고정 지지를 해제하도록 기능한다.In addition, the package guider 414 is fixed by a plurality of fixing screws 418a and 418b to fix and support the pin guider 410 at an upper position of the multiple line grid 406, and at least a higher position than the pin guider 410. A predetermined portion of the plurality of package holders (416a, 416b), that is, a plurality for supporting each of the solder ball 422 of the semiconductor package 420 inserted for the test to be in electrical contact with the corresponding connection pins 412 The package holder of the is formed. Herein, the package holders 416a and 416b hold and hold the semiconductor package 420 when the semiconductor package 420 is pressed once, as in a conventional push button, and press the semiconductor package (when pressing again in the fixed holding state). And 420 to release the fixed support.
상술한 바와 같은 구조를 갖는 본 실시 예의 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조에서는 반도체 패키지(420)가 삽입될 때, 각 솔더볼(422) - 각 접속핀(412) - 각 비아홀(408) - 각 범프(404) - 테스트 보드(402)내의 각 입출력 노드(도시 생략)간이 전기적으로 접속되며, 이러한 접속 구조를 통해 반도체 패키지(420)의 양품 여부를 테스트하게 된다.In the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment having the above-described structure, when the semiconductor package 420 is inserted, each solder ball 422-each connection pin 412-each via hole 408-each bump 404 Each input / output node (not shown) in the test board 402 is electrically connected to each other to test whether the semiconductor package 420 is good or not.
따라서, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조는, 전술한 실시 예1, 2 및 3에서와 마찬가지로, 테스트 보드 상에 필요로 하는 기능성 소자를 장착할 필요가 없기 때문에, 테스트 보드의 고 밀도화 및 경박 단소화를 실현할 수 있을 뿐만 아니라 기능성 소자와의 접속을 위한 전극 배선의 길이 증가를 억제함으로써 반도체 패키지의 테스트 신뢰도를 대폭적으로 증진시킬 수 있다.Therefore, the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment does not need to mount the functional elements required on the test board as in the above-described embodiments 1, 2, and 3, and thus the high density of the test board. In addition to the reduction in size and light weight, the test reliability of the semiconductor package can be greatly improved by suppressing the increase in the length of the electrode wiring for connection with the functional element.
[실시 예5]Example 5
도 5는 본 발명의 제 5 실시 예에 따른 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도이다.5 is a cross-sectional view of a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array according to a fifth embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조는, 멀티플 라인 그리드가 기능성 소자를 내장하는 것이 아니라 외장한다는 점이 전술한 실시 예4와 다르며, 그 이외의 모든 구성부재는 전술한 실시 예4와 실질적으로동일하다. 따라서, 불필요한 중복 기재를 피하기 위하여 실질적으로 동일한 부분들에 대해서는 여기에서의 상세한 설명을 생략한다.Referring to FIG. 5, the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment is different from the above-described embodiment 4 in that the multiple line grid is not embedded with a functional element, but all other components are described above. It is substantially the same as Example 4. Therefore, in order to avoid unnecessary overlapping description, the description here is abbreviate | omitted about the substantially same part.
즉, 전술한 실시 예4에서는 기능성 소자 내장형의 멀티플 라인 그리드를 사용하는데 반해, 본 실시 예에서는, 도 5에 도시된 바와 같이, 하나 또는 다수의 기능성 소자(406a)가 멀티플 라인 그리드(406)의 외부 측, 즉 범프(404)에 의해 멀티플 라인 그리드(406)와 테스트 보드(402) 사이에 형성되는 공간상에서 멀티플 라인 그리드(406)의 하부 측에 장착되는 형태를 갖는 기능성 소자 외장형의 멀티플 라인 그리드를 사용한다.That is, in the above-described Embodiment 4, a multiple line grid having a built-in functional element is used, whereas in the present embodiment, as illustrated in FIG. 5, one or more functional elements 406a are connected to the multiple line grid 406. A functional element external multiple line grid having a form mounted on the lower side of the multiple line grid 406 in a space formed between the external line, that is, the bump 404 between the multiple line grid 406 and the test board 402. Use
또한, 본 실시 예에서는, 일 예로서 도 5에 도시된 바와 같이, 멀티플 라인 그리드(406)의 하부 측 공간상에 필요로 하는 기능성 소자를 장착하는 것으로 하여 설명하였으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 멀티플 라인 그리드(406)의 하부가 아닌 상부에 장착하거나 혹은 필요에 따라 상부 및 하부 모두에 기능성 소자를 장착할 수도 있다.In addition, in the present embodiment, as illustrated in FIG. 5 as an example, it has been described as mounting a functional element required on the lower side space of the multiple line grid 406, but the present invention is necessarily limited thereto. It is not necessary to mount the upper part of the multiple line grid 406 instead of the lower part, or the functional element may be mounted both on the upper part and the lower part if necessary.
따라서, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조는 전술한 실시 예4에서와는 달리 기능성 소자 내장형이 아닌 외장형의 멀티플 라인 그리드를 사용하지만 실질적으로 동일한 결과 및 효과를 얻을 수 있다.Therefore, unlike the embodiment 4 described above, the socket structure for testing a semiconductor package according to the present exemplary embodiment uses an external multiple line grid, which is not a functional element embedded, but may substantially achieve the same results and effects.
[실시 예6]Example 6
도 6은 본 발명의 제 6 실시 예에 따른 멀티플 라인 그리드 어레이를 이용한 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조의 단면도이다.6 is a cross-sectional view of a socket structure for testing a semiconductor package using a multiple line grid array according to a sixth embodiment of the present invention.
도 6을 참조하면, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조는,멀티플 라인 그리드가 기능성 소자를 외장한다는 점에 있어서는 전술한 실시 예5와 동일하지만, 외장되는 기능성 소자가 멀티플 라인 그리드에 형성된 캐비티에 수용되는 형태로 외장된다는 점이 다르며, 그 이외의 모든 구성부재는 전술한 실시 예2와 실질적으로 동일하다. 따라서, 불필요한 중복 기재를 피하기 위하여 실질적으로 동일한 부분들에 대해서는 여기에서의 상세한 설명을 생략한다.Referring to FIG. 6, the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment is the same as that of the fifth embodiment in that a multiple line grid encloses a functional element, but the external functional element is formed on the multiple line grid. It differs in that it is sheathed in the form accommodated in a cavity, and all other components are substantially the same as Example 2 mentioned above. Therefore, in order to avoid unnecessary overlapping description, the description here is abbreviate | omitted about the substantially same part.
즉, 전술한 실시 예5에서는 외장형의 기능성 소자가 멀티플 라인 그리드의 하부와 테스트 보드의 상부 사이에 형성된 공간(또는 멀티플 라인 그리드의 상부와 소켓의 하부 사이에 형성된 공간)상에서 멀티플 라인 그리드의 하부(또는 상부)에 장착되는 구조를 갖는데 반해, 본 실시 예에서는, 도 6에 도시된 바와 같이, 멀티플 라인 그리드(406)의 소정 부분에 하나 또는 다수의 캐비티(406a)를 형성하고, 캐비티(406a)에 원하는 기능성 소자(406b)를 장착하는 구조를 갖는다.That is, in the above-described Embodiment 5, the bottom of the multiple line grid (the space formed between the bottom of the multiple line grid and the top of the multiple line grid and the bottom of the socket) is formed in the external functional element. Or an upper part), in the present embodiment, as shown in FIG. 6, one or a plurality of cavities 406a are formed in a predetermined portion of the multiple line grid 406, and the cavity 406a is provided. To a desired functional element 406b.
또한, 본 실시 예에서는, 일 예로서 도 6에 도시된 바와 같이, 멀티플 라인 그리드(406)의 하부에 형성된 캐비티에 필요로 하는 기능성 소자를 장착하는 것으로 하여 설명하였으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 멀티플 라인 그리드(406)의 상부에 캐비티를 형성하여 기능성 소자를 장착하거나 혹은 필요에 따라 상부 및 하부 모두에 캐비티를 형성하여 기능성 소자를 장착할 수도 있다.In addition, in the present embodiment, as illustrated in FIG. 6 as an example, the functional element required for mounting in the cavity formed under the multiple line grid 406 has been described, but the present invention is necessarily limited thereto. Although not necessarily, the functional device may be mounted by forming a cavity on the multiple line grid 406 or a cavity may be formed on both the upper and lower parts as necessary.
따라서, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지 테스트용 소켓 구조는 전술한 실시 예5에서와 실질적으로 동일한 결과 및 효과를 얻을 수 있음은 물론이며, 멀티플 라인 그리드에 기능성 소자를 수용하기 위한 캐비티를 형성하고, 기능성 소자를 캐비티에 수용되는 형태로 장착하기 때문에, 전술한 실시 예5에 비해, 반도체 패키지테스트용 소켓 구조를 더욱 박형으로 제조할 수 있는 또 다른 효과를 얻을 수 있다.Therefore, the socket structure for testing a semiconductor package according to the present embodiment can achieve substantially the same results and effects as in the above-described embodiment 5, and forms a cavity for accommodating a functional element in a multiple line grid. Since the functional element is mounted in a cavity accommodated, it is possible to obtain another effect that a socket structure for a semiconductor package test can be manufactured even thinner than in the above-described fifth embodiment.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 테스트 보드 상의 임의의 위치 상에 필요로 하는 전극 배선으로 연결되는 기능성 소자를 장착하는 전술한 종래 기술과는 달리, 기능성 소자를 테스트 보드 상에 장착하지 않고 멀티플 라인 그리드에 내장 또는 외장하는 형태로 형성함으로서, 테스트 보드의 고 밀도화 및 경박 단소화를 실현할 수 있으며, 또한 기능성 소자와의 접속을 위한 전극 배선의 길이 증가를 억제함으로써 반도체 패키지의 테스트 신뢰도를 대폭적으로 증진시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, in contrast to the above-described prior art which mounts a functional element connected to the required electrode wiring on an arbitrary position on the test board, the multiple lines are not mounted on the test board. By forming in a grid or embedded in a grid, it is possible to realize high density and light weight reduction of the test board, and to greatly increase the test reliability of the semiconductor package by suppressing an increase in the length of electrode wiring for connection with a functional element. Can be promoted.
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