KR20020085584A - 기상증착설비를 위한 열전대 보호관 - Google Patents

기상증착설비를 위한 열전대 보호관 Download PDF

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Abstract

본 발명의 열전대 보호관은 반도체 제조를 위한 기상증착설비에 장착된다. 열전대 보호관은 실링부에 형성된 돌출부를 갖고, 상기 설비의 열전대 보호관 포트에 클램프에 의해 나사 결합 고정된다. 상기 열전대 보호관은 석영 재질로 구성되며, 상기 열전대 보호관은 상기 열전대 보호관 포트와 오링 및 테플론 링으로 결합된다. 열전대 보호관은 세정 가스와 반응에 의해 실링부분의 식각이 발생되더라도 열전대 보호관의 실링 부분에 형성된 돌출부에 의해 설비와 견고하게 접속되고, 이와 더불어 열전대 보호관이 열전대 보호관 포트와 결합함에 있어 테플론 링으로 결합 구성함으로 설비 셋팅시에 열전대 보호관에 손상이 가는 것을 방지할 수 있다.

Description

기상증착설비를 위한 열전대 보호관{THERMOCOUPLE PROTECTION PIPE FOR VAPOR DEPOSITION EQUIPMENT}
본 발명은 반도체 제조 설비의 하나인 기상증착설비에 사용되는 열전대(thermocouple) 보호관에 관한 것으로, 구체적으로는 열전대 보호관의 수명을 연장할 수 있고 누설을 방지할 수 있는 새로운 열전대 보호관에 관한 것이다.
반도체 제조 장비의 하나인 기상증착설비는 고진공을 이용하는 설비로 각 구성품의 셋팅시에 정확한 결합을 요구된다. 정확안 구성품의 결합이 되지 않는 경우, 누설(leak)이 발생되어 진공 상태가 낮아지며 공정 가스의 누설 등으로 인해 공정 진행에 문제를 야기할 수 있다.
기상증착설비의 열 측정을 위한 열전대를 보호하기 위한 열전대 보호관은 일반적으로 석영 재질의 보호관을 사용하는데, 이 보호관은 가스 세정시 유입되는 세정 가스와 반응하여 원치 않지만 보호관의 식각이 발생된다. 이러한 열전대 보호관의 식각은 기상증착설비의 누설 요인이 되며, 이로 인하여 열전대 보호관을 주기적으로 교체해야한다.
따라서, 본 발명의 목적은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서 기상증착설비와의 접속상태를 보다 견고하게 할 수 있는 열전대 보호관을 제공하는데 있다.
도 1은 통상적인 수평 가열 방식의 저압기상증착 설비의 프로파일 열전대 및 열전대 보호관의 구조를 보여주는 단면도;
도 2는 도 1의 A를 확대해 보여주는 단면도;
도 3은 도 1의 열전대 보호관의 구조를 보여주는 측면도;
도 4는 본 발명의 열전대 보호관이 저압기상증착 설비에 장착된 상태를 보여주는 도면; 그리고
도 5는 도 4의 열전대 보호관의 구조를 보여주는 측면도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10, 50: 열전대 보호관12: 프로파일 열전대
14: 내부 튜브16: 외부 튜브
18: 플랜지 지지대20: 후미 플랜지
22: 제1 클램프30: 서스 링
32: 오링34: 제2 클램프
36: 열전대 보호관 포트40: 테플론 링
55: 돌출부
상술한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 특징에 의하면, 반도체 제조를 위한 기상증착설비에 구비되는 열전대 보호관은 실링부에 형성된 돌출부를 갖고, 상기 설비의 열전대 보호관 포트에 클램프에 의해 나사 결합 고정된다.
본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 상기 열전대 보호관은 석영 재질로 구성되며, 상기 열전대 보호관은 상기 열전대 보호관 포트와 오링 및 테플론 링으로 결합된다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 명확하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
(실시예)
이하, 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명의 신규한 기상증착설비의 열전대 보호관은 실링(sealing) 부분에 돌출부를 구성하여 보다 견고하게 설비와 결합되게 함으로서 가스 세정시 발생되는 식각에 의해서도 쉽게 누설이 발생되지 않도록 한다.
도 1은 통상적인 수평 가열 방식의 저압기상증착 설비의 프로파일 열전대 및 열전대 보호관의 구조를 보여주는 단면도이고, 도 2는 도 1의 A를 확대해 보여주는 단면도이다. 그리고 도 3은 도 1의 열전대 보호관의 구조를 보여주는 측면도이다.
도면에서, 참조번호 10은 열전대 보호관, 12는 프로파일 열전대를 표시한다. 설비의 상단에는 내부/외부 튜브(outer/inner tube)(14, 16)가 각기 구비되고, 하부에 플랜지 지지대(18)와 후미 플랜지(20)가 구성된다. 열전대 보호관(10)은 제1 클램프(22)에 의해 설비와 결합된다.
구체적으로, 열전대 보호관(10) 열전대 보호관 포트(36)를 통해 설비로 삽입되고, 오링(32)과 서스 링(30) 및 제2 클램프(34)에 의해 열전대 보호관 포트(36)에 고정된다. 그런데 가스 세정시 석영 재질의 열전대 보호관(10)이 세정 가스와 반응하여 식각이 이루어지면서 처음 반경이 'b'이였던 것이 반경 'a'로 감소되면서 갭이 발생하게된다. 여기서 반경 'b'는 대략 25mm 이고, 반경 'a'는 대략 24mm이다.
이에 본 발명에서는 열전대 보호관의 실링부분의 구조를 변경하여 세정 가스와 반응하여 식각이 이루어지더라도 견고한 결합 상태를 유지할 수 있도록 열전대 보호관의 실링 부분을 돌출 구조를 갖도록 형성하였다.
도 4는 본 발명의 열전대 보호관이 저압기상증착 설비에 장착된 상태를 보여주는 도면이고, 도 5는 도 4의 열전대 보호관의 구조를 보여주는 측면도이다.
도면을 참조하여, 본 발명의 열전대 보호관(50)은 실링 부분이 돌출부(55)를 갖는다. 열전대 보호관 포트(36)에는 오링(32)이 먼저 삽입되고, 열전대 보호관(50)이 삽입된다. 그리고 테플론 링(teflon ring)(40)을 장착한 후 제2 클램프(34)에 의해서 나사 고정된다. 여기서 돌출부(55)는 대략 1.5mm의 돌출을 갖도록 하는 것이 바람직하나 이 수치로 한정되는 것은 아니며, 설비의 특성에 따라변화될 수 있다.
특히, 테플론 링(40)을 사용함으로 열전대 보호관(50)의 셋팅시에 잘못하여 열전대 보호관(50)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 이와 같이, 열전대 보호관(50)에 돌출부(55)를 갖도록 함과 함께 테플론 링(40)을 사용하여 결합 고정함으로 접속의 견고함과 안정성을 동시에 얻을 수 있다.
상술한 바와 같은, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기상증착설비를 위한 열전대 석영 보호관의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.
이상과 같은 본 발명에 의하면, 열전대 보호관은 세정 가스와 반응에 의해 실링부분의 식각이 발생되더라도 열전대 보호관의 실링 부분에 형성된 돌출부에 의해 설비와 견고하게 접속되고, 이와 더불어 열전대 보호관이 열전대 보호관 포트와 결합함에 있어 테플론 링으로 결합 구성함으로 설비 셋팅시에 열전대 보호관에 손상이 가는 것을 방지할 수 있다.

Claims (3)

  1. 반도체 제조를 위한 기상증착설비에 구비되는 열전대 보호관에 있어서:
    실링부에 형성된 돌출부를 갖고, 상기 설비의 열전대 보호관 포트에 클램프에 의해 나사 결합 고정되는 것을 특징으로 하는 기상증착설비를 위한 열전대 석영 보호관.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 열전대 보호관은 석영 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 기상증착설비를 위한 열전대 석영 보호관.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 열전대 보호관은 상기 열전대 보호관 포트와 오링 및 테플론 링으로 결합되는 특징으로 하는 기상증착설비를 위한 열전대 석영 보호관.
KR1020010025161A 2001-05-09 2001-05-09 기상증착설비를 위한 열전대 보호관 KR20020085584A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100915352B1 (ko) * 2007-08-22 2009-09-14 주식회사 우진 파이넥스 용융로 내부 온도 측정용 시스열전대 조립체

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100915352B1 (ko) * 2007-08-22 2009-09-14 주식회사 우진 파이넥스 용융로 내부 온도 측정용 시스열전대 조립체

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