KR20020074311A - Open/close apparatus of door for changing heat-lamp of polishing equipment for manufacturing semiconductor - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus for switching a door for replacing a heat lamp of polishing equipment for fabricating a semiconductor is provided to improve work efficiency and productivity, by making the door attached or detached to/from a lamp box by magnetic force between the first and second magnetic units. CONSTITUTION: The first magnetic unit(12) is formed in a side surface of the lamp box(10) installed in the upper portion of a dry unit, attached to the inner surface of the outer circumference of an opening which is opened to replace the heat lamp. The second magnetic unit(22) is formed in the inner surface of the outer circumference of the door(20) covering the opening, correspondingly attached to the first magnetic unit.

Description

반도체 제조용 연마설비의 히트램프를 교체하기 위한 도어의 개폐장치{Open/close apparatus of door for changing heat-lamp of polishing equipment for manufacturing semiconductor}Open / close apparatus for door for changing heat-lamp of polishing equipment for manufacturing semiconductor}

본 발명은 반도체 제조용 연마설비의 히트램프 도어에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 웨이퍼를 폴리싱에 의해 평탄화하면서 세정하는 과정에서 가열방식에 의한 드라이 수행시 가열수단으로 사용되는 히트램프의 페일에 의한 교체작업시 손쉽게 개폐시킬 수 있도록 하므로서 작업성이 향상되도록 하는 반도체 제조용 연마설비의 히트램프를 교체하기 위한 도어의 개폐장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat lamp door of a polishing facility for semiconductor manufacturing, and more particularly, to replacement of a heat lamp used as a heating means when performing drying by a heating method in the process of cleaning and flattening a semiconductor wafer by polishing. It relates to a door opening and closing device for replacing the heat lamp of the polishing facility for semiconductor manufacturing to improve the workability by making it easy to open and close during operation.

일반적으로 CMP(Chemical Mechanical Polishing)공정은 기계적 가공과 화학적 가공을 혼합한 연마공정으로서, 반도체 웨이퍼를 평탄화시키는게 주된 기능이다.In general, the chemical mechanical polishing (CMP) process is a polishing process that combines mechanical and chemical processing, and the main function is to planarize a semiconductor wafer.

이러한 CMP공정에는 도 1에서와 같이 통상 웨이퍼를 카세트로부터 인출시키거나 다시 카세트에 채우게 되는 웨이퍼의 로딩 및 언로딩을 하는 FABS(1)와, 카세트로부터 로딩시킨 웨이퍼를 연마하는 폴리서(2)와, 그리고 폴리싱된 웨이퍼의 표면에 있는 파티클과 슬러리등을 화학적으로 세정하는 클리너(3)가 각각 구비되어 있다.The CMP process includes a FABS (1) for loading and unloading a wafer which normally takes a wafer out of a cassette or refills the cassette as shown in FIG. 1, a polyser (2) for polishing a wafer loaded from a cassette, and And a cleaner 3 for chemically cleaning particles, slurries and the like on the polished wafer surface.

즉 트랜스퍼(4)에 의해서 FABS(1)의 카세트로부터 웨이퍼를 폴리서(2)에 이동시키게 되면 폴리서(2)에서 연마가 이루어지고, 연마된 웨이퍼는 다시 클리너(3)에 이송되어 DI와 화학적인 방법에 의해 표면 세정을 하게 되며, 이렇게 세정한 웨이퍼를 신속하게 건조시키기 위해서 히트램프를 이용한 강제 가열에 의해 급속 건조시키게 된다.In other words, when the wafer 4 is moved from the cassette of the FABS 1 to the polyser 2 by the transfer 4, the polishing is performed at the polyser 2, and the polished wafer is transferred to the cleaner 3 again to DI and the DI. The surface is cleaned by a chemical method, and the dried wafer is rapidly dried by forced heating using a heat lamp in order to quickly dry the cleaned wafer.

한편 히트램프를 이용한 건조시 히트램프를 장시간 사용하게 되면 수명이 다하여 주기적으로 또는 사용 중 고장등으로 인해 교체해 주어야만 한다.On the other hand, if the heat lamp is used for a long time when it is dried using the heat lamp, it needs to be replaced periodically or due to failure during use.

하지만 히트램프를 교체하기 위해서는 히트램프를 수용하는 드라이 유니트의 상측에 구비되는 램프 박스의 일측으로부터 도어를 개방시켜야만 하는데 램프 박스의 도어측에는 CMP공정을 디스플레이하기 위한 모니터와 그외 다양한 설비가 인접해 있으므로 대단히 비좁은 작업 조건에서 개방시켜야만 한다.However, in order to replace the heat lamp, the door must be opened from one side of the lamp box provided on the upper side of the dry unit accommodating the heat lamp. The door side of the lamp box is very close to the monitor for displaying the CMP process and various other facilities. It must be opened in tight working conditions.

특히 램프 박스에서의 도어는 도 2에서와 같이 스크류(30)에 의해 체결되도록 하고 있는데 전술한 바와같이 램프 박스(10)의 도어(20)측으로는 모니터나 다른 설비가 매우 가까이 인접해 있으므로 도어(20)의 개폐를 위해서는 인접한 모니터나 다른 설비들과의 비좁은 통로를 통해서 별도의 공구를 삽입하여 대단히 난해한 작업에 의해서 체해결이 되도록 해야만 한다.In particular, the door in the lamp box is to be fastened by the screw 30 as shown in Figure 2 As described above, the door (20) side of the lamp box 10, because the monitor or other equipment is very close adjacent to the door ( For the opening and closing of 20), a separate tool must be inserted through a narrow passage with an adjacent monitor or other equipment to be solved by a very difficult task.

또한 도어(20) 사이즈가 램프 박스(10)의 일측면에서 차지하는 비중이 대단히 크기 때문에 도어(20)는 램프 박스(10)에서 축회전 방식이나 슬라이딩 방식으로는 도저히 형성이 불가능하므로 단순히 램프 박스(10)에서 바로 분리되는 구조로서만이 가능한 구조적 한계가 있다.In addition, since the size of the door 20 occupies one side of the lamp box 10, the door 20 is hardly formed by the axial rotation method or the sliding method in the lamp box 10. There is a structural limitation that is possible only as a structure that is directly separated in 10).

이러한 구조적 문제 때문에 램프 박스(10)와 다른 설비간 비좁은 공간으로 작업자가 들어갈 수가 없을 뿐만 아니라 작업 부위를 직접 눈으로 볼 수가 없으므로 단순히 느낌만으로 작업을 해야 하기 때문에 히트램프의 교체를 위한 작업 시간이 대단히 지체되는 문제가 있다.Because of this structural problem, not only the operator cannot enter the narrow space between the lamp box 10 and other facilities, but also the work area cannot be seen directly, so the work time for the replacement of the heat lamp is very large. There is a delay.

따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 히트램프의 교체를 위한 램프 박스에서의 도어의 개폐를 보다 손쉽게 할 수 있도록 하므로서 히트램프의 교체시간을 단축시켜 웨이퍼의 건조 공정이 신속하게 진행될 수 있도록 하는 것이다.Therefore, the present invention has been invented to solve the above-described problems of the prior art, the object of the present invention is to shorten the replacement time of the heat lamp by making it easier to open and close the door in the lamp box for the replacement of the heat lamp. This allows the wafer drying process to proceed quickly.

도 1 은 종래 반도체 연마공정의 개략적인 구조를 도시한 평면도,1 is a plan view showing a schematic structure of a conventional semiconductor polishing process;

도 2 는 종래 램프 박스에 도어가 체결되는 구조를 도시한 분리 사시도,2 is an exploded perspective view illustrating a structure in which a door is fastened to a conventional lamp box;

도 3 은 본 발명에 따라 램프 박스에 도어가 결합되는 구조를 도시한 단면도,3 is a cross-sectional view showing a structure in which a door is coupled to a lamp box according to the present invention;

도 4 는 본 발명의 램프 박스에 도어가 결합되어 있는 상태에서의 자성수단의 다른 결합 구조를 도시한 요부 확대도.Figure 4 is an enlarged view of the main portion showing another coupling structure of the magnetic means in the state that the door is coupled to the lamp box of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 램프 박스 12 : 제1 자성수단10 lamp box 12 first magnetic means

20 : 도어 22 : 제2 자성수단20: door 22: second magnetic means

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 드라이 유니트의 상부측으로 구비되는 램프 박스의 일측면으로 형성되면서 히트램프를 교체할 수 있도록 개방시킨 개구의 외주연부측 내주면에 부착되는 제1 자성수단과; 개구를 커버하는 도어의 외주연측 내측면에서 개구의 상기 제1 자성수단과 대응되도록 부착되는 제2 자성수단;으로 구비되면서 상기 제1 자성수단과 제2 자성수단간 자력에 의해 상기 도어가 상기 램프 박스로부터 탈부착될 수 있도록 하는 구성이다.In order to achieve the above object, the present invention includes a first magnetic means attached to the inner peripheral surface of the outer peripheral edge side of the opening is formed to one side of the lamp box provided on the upper side of the dry unit to replace the heat lamp; A second magnetic means attached to the outer circumferential side inner surface of the door to cover the opening so as to correspond to the first magnetic means of the opening; and the door is formed by a magnetic force between the first magnetic means and the second magnetic means. It is a structure which can be attached or detached from a lamp box.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 도시한 측단면도로서, 도면부호 10은 히트램프가 내장되는 램프 박스이다.Figure 3 is a side cross-sectional view showing a preferred embodiment according to the present invention, 10 is a lamp box in which a heat lamp is built.

램프 박스(10)는 폴리싱에 의해 연마된 웨이퍼를 DI와 화학적으로 세정한 후 급속 건조시키는 부위로서, 내부에는 히트램프가 내장되면서 이 히트램프에 의해 웨이퍼를 건조시키게 되는 것이다.The lamp box 10 is a part for rapidly drying the wafer polished by polishing after being chemically cleaned with DI, and the wafer is dried by the heat lamp while the heat lamp is embedded therein.

램프 박스(10)의 일측에는 히트램프를 외부에서 교체할 수 있도록 하기 위해일부를 개방시킨 개구(11)가 형성되며, 이 개구(11)의 외주연측 내주면으로는 제1 자성수단(12)이 부착된다.On one side of the lamp box 10 is formed an opening 11 which is partially opened to replace the heat lamp from the outside, the first magnetic means 12 as the inner peripheral surface of the outer peripheral side of the opening 11 Is attached.

통상 램프 박스(10)는 금속이 아닌 아크릴과 같은 합성수지재로서 구비되므로 제1 자성수단(12)을 부착시 접착제를 사용하여 접착하는 것이 가장 바람직하다.Since the lamp box 10 is provided as a synthetic resin material such as acrylic, not metal, it is most preferable to attach the first magnetic means 12 using an adhesive.

램프 박스(10)의 개방된 개구(11)는 도어(20)에 의해서 커버되도록 하되 도어(20)는 개구(11)의 외주연측 외측면에 내주면에 밀착되도록 개구(11)보다는 큰 사이즈로서 형성하고, 이러한 도어(20)의 에는 외주연측의 내주면으로 제2 자성수단(22)을 부착한다.The open opening 11 of the lamp box 10 is to be covered by the door 20 but the door 20 is larger than the opening 11 so as to be in close contact with the inner peripheral surface of the outer peripheral side of the opening 11. The second magnetic means 22 is attached to the inner circumferential surface of the outer circumferential side of the door 20.

특히 제1 자성수단(12)과 제2 자성수단(22)은 서로 대응되게 구비되면서 도 4에서와 같이 램프 박스(10)와 도어(20)의 내주면에서 판면으로부터 돌출되지 않게 삽입되는 형상으로서 부착되도록 하는 것이 가장 바람직하다.In particular, the first magnetic means 12 and the second magnetic means 22 are provided to correspond to each other, as shown in Figure 4 is attached as a shape that does not protrude from the plate surface on the inner peripheral surface of the lamp box 10 and the door 20 Most preferably.

한편 도어(20)는 램프 박스(10)와 마찬가지로 재질이 금속이 아닌 합성수지재가 대부분이므로 제2 자성수단(22)는 별도의 접착제를 사용하여 접착되도록 하는 것이 가장 바람직하다.On the other hand, the door 20 is most preferably made of a synthetic resin material other than the metal, like the lamp box 10, the second magnetic means 22 is most preferably to be bonded using a separate adhesive.

또한 제1 자성수단(12)과 제2 자성수단(22)은 개구(11)와 도어(20)의 외주연측 상단부와 하단부로 각각 부착되게 할 수도 있고, 양측단부로 부착되게 할 수도 있으며, 상단부와 하단부 및 양측단부에 모두 부착되게 할 수도 있다.In addition, the first magnetic means 12 and the second magnetic means 22 may be attached to the upper and lower end portions of the outer periphery side of the opening 11 and the door 20, respectively, or may be attached to both end portions, It can also be attached to both the upper and lower ends and both ends.

그리고 제1 자성수단(12)과 제2 자성수단(22)은 고무자석으로 구비되도록 하는 것이 보다 바람직하다.And it is more preferable that the first magnetic means 12 and the second magnetic means 22 is provided with a rubber magnet.

도면 중 미설명부호 21은 통풍구이다.Reference numeral 21 in the drawings is a vent.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 히트램프 도어(20)는 단순히 자력에 의해 제1 자성수단(12)과 제2 자성수단(22)이 흡착되게 하므로서 램프 박스(10)의 개구(11)를 도어(20)에 의해 커버하고, 도어(20)를 램프 박스(10)로부터 이탈시키는 간단한 행위에 의해서 개구(11)를 개방시키게 되는 것이다.The heat lamp door 20 according to the present invention configured as described above simply allows the first magnetic means 12 and the second magnetic means 22 to be sucked by the magnetic force, thereby opening the opening 11 of the lamp box 10 to the door ( 20 and the opening 11 is opened by a simple act of removing the door 20 from the lamp box 10.

즉 종전에는 개구(11)를 개방시키기 위해서 혹은 외부와 차단되도록 하기 위해서 도어(20)를 스크류로서 체결하던가 체결된 스크류를 풀어야 하는 작업이 반드시 수행되어야만 하였으나 본 발명에서와 같은 자성물체간 흡착력에 의한 고정방식에서는 도어(20)를 램프 박스(10)의 개구(11)측으로 인접시키기만 하면 자력에 의해 도어(20)가 램프 박스(10)에 흡착되면서 개구(11)를 외부로부터 커버하게 되는 것이다.In other words, in order to open the opening 11 or to be cut off from the outside, the operation of fastening the door 20 as a screw or releasing the fastened screw must be performed. However, due to the adsorption force between the magnetic objects as in the present invention. In the fixed method, the door 20 is attracted to the lamp box 10 by magnetic force to cover the opening 11 from the outside simply by adjoining the door 20 to the opening 11 side of the lamp box 10. .

따라서 히트램프를 교체하고자 할 때에는 램프 박스(10)로부터 도어(20)를 간단히 떼내기만 하면 분리가 되면서 개구(11)와 외부와 연통되는 개방된 상태가 되므로 개구(11)내로 손을 뻗어 히트램프를 교체시키게 된다.Therefore, when the heat lamp is to be replaced, simply remove the door 20 from the lamp box 10, and the door 20 is opened and communicates with the opening 11 and the outside. Will be replaced.

히트램프의 교체직후 다시 도어(20)를 개구(11)에 인접되게 위치시키게 되면 램프 박스(10)의 제1 자성수단(12)측의 자력이 도어(20)에 부착되어 있는 제2 자성수단(22)를 잡아 당기게 되고, 이렇게 해서 램프 박스(10)에 도어(20)가 부착되면 도어(20)의 자력 이상의 힘을 외부에서 가하지 않는 이상 부착되어 있는 상태가 안정되게 유지되면서 히트램프의 내부를 외부와 차단시키게 된다.When the door 20 is positioned adjacent to the opening 11 immediately after the heat lamp is replaced, the second magnetic means having the magnetic force on the side of the first magnetic means 12 of the lamp box 10 is attached to the door 20. When the door 20 is attached to the lamp box 10 in this way, the inside of the heat lamp remains stable while the attached state remains stable unless a force greater than the magnetic force of the door 20 is applied from the outside. Will be isolated from the outside.

이와같이 본 발명은 램프 박스(10)의 개구(11)와 이 개구(11)를 커버하는 수단인 도어(20)간을 각각 제1 자성수단(12)과 제2 자성수단(22)의 자력에 의해 탈부착되게 하므로서 간단한 구성과 손쉬운 작업을 제공하게 되는 것이다.As described above, the present invention provides the magnetic force between the first magnetic means 12 and the second magnetic means 22 between the opening 11 of the lamp box 10 and the door 20, which is a means for covering the opening 11. Detachable by means of providing a simple configuration and easy operation.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 CMP설비에서의 웨이퍼를 세정하는 공정에서 히트램프가 내장되는 램프 박스(10)로부터 히트램프의 교체를 위해 구비되는 도어(20)와 이 도어(20)가 결합되는 램프 박스(10)간을 간단히 부착시킨 자성수단으로 흡탈착이 이루어지게 하므로서 비록 비좁은 공간에서도 손쉽게 도어(20)를 탈부착시키면서 히트램프의 교체를 신속하게 수행할 수 있도록 하여 제품의 생산성을 증대시키게 되는 매우 유용한 효과가 있다.As described above, according to the present invention, in the process of cleaning the wafer in the CMP facility, the door 20 and the door 20 are combined with the door 20 provided for replacing the heat lamp from the lamp box 10 in which the heat lamp is built. Since the adsorption and desorption is made by magnetic means simply attached between the lamp boxes 10, the product can be rapidly replaced while the door 20 is easily detached even in a small space, thereby increasing the productivity of the product. This is a very useful effect.

Claims (5)

드라이 유니트의 상부측으로 구비되는 램프 박스의 일측면으로 형성되면서 히트램프를 교체할 수 있도록 개방시킨 개구의 외주연부측 내주면에 부착되는 제1 자성수단과;First magnetic means formed on one side of a lamp box provided on an upper side of the dry unit and attached to an inner circumferential side of an outer circumferential side of the opening opened to replace the heat lamp; 개구를 커버하는 도어의 외주연측 내측면에서 개구의 상기 제1 자성수단과 대응되도록 부착되는 제2 자성수단;Second magnetic means attached to the outer circumferential side inner side of the door covering the opening to correspond to the first magnetic means of the opening; 으로 구비되면서 상기 제1 자성수단과 제2 자성수단간 자력에 의해 상기 도어가 상기 램프 박스로부터 탈부착될 수 있도록 하는 반도체 제조용 연마설비의 히트램프를 교체하기 위한 도어의 개폐장치.The opening and closing device of the door for replacing the heat lamp of the polishing equipment for semiconductor manufacturing so that the door can be detached from the lamp box by a magnetic force between the first magnetic means and the second magnetic means. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 자성수단과 제2 자성수단은 개구와 도어의 외주연측 내주면에서 돌출되지 않도록 램프 박스와 도어에 삽입 부착되는 반도체 제조용 연마설비의 히트램프를 교체하기 위한 도어의 개폐장치.The door of claim 1, wherein the first magnetic means and the second magnetic means are inserted into and attached to the lamp box and the door so as not to protrude from the inner peripheral surface of the outer peripheral side of the opening and the door. Switchgear. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 자성수단과 제2 자성수단은 외주연의 상하단부에 각각 부착되는 반도체 제조용 연마설비의 히트램프를 교체하기 위한 도어의 개폐장치.The door opening and closing device of claim 1, wherein the first magnetic means and the second magnetic means are respectively attached to upper and lower ends of the outer circumference. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 자성수단과 제2 자성수단은 외주연의 양측단부에 각각 부착되는 반도체 제조용 연마설비의 히트램프를 교체하기 위한 도어의 개폐장치.The door opening and closing device of claim 1, wherein the first magnetic means and the second magnetic means are respectively attached to both end portions of the outer circumference. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 자성수단과 제2 자성수단은 고무 자석으로 이루어지는 반도체 제조용 연마설비의 히트램프를 교체하기 위한 도어의 개폐장치.2. The opening and closing device of a door according to claim 1, wherein the first magnetic means and the second magnetic means are made of rubber magnets.
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