KR20020068906A - Auto inspection apparatus for foundation plate - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판 자동검사장치에 관한 것으로, 특히 일방향 투입/취출형 기판 이송수단에 의해 기판이 로딩후 전진 및 후진후 언로딩되고, 2대의 카메라를 이용한 전,후진 양방향 검사수단에 의해 일 방향으로 이동시에는 반사광에 의한 표면검사를 행함과 아울러 반대 방향으로 이동시에는 투과광에 의한 사이즈 검사를 행하게 되는 기판 자동검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an automatic substrate inspection apparatus, and in particular, the substrate is unloaded after forwarding and reversing after loading by a one-way input / takeout type substrate transfer means, and in one direction by the forward and backward bidirectional inspection means using two cameras. The present invention relates to an automatic substrate inspection apparatus which performs surface inspection by reflected light when moving and size inspection by transmitted light when moving in the opposite direction.
일반적으로 리드프레임과 같은 기판을 검사하는 기판 자동 검사장치는 기판을 로딩부에서 가이드레일의 이송로에 로딩시키고, 이송푸셔에 의해 전방으로 이동시키면서 가이드레일의 상부에 설치된 2대의 카메라와 하부에 설치된 1대의 카메라, 모두 3대의 카메라를 이용하여 표면상태와 사이즈 등을 검사하게 된다.In general, the automatic substrate inspection apparatus for inspecting a substrate such as a lead frame is mounted on two cameras and a lower portion installed on the upper part of the guide rail while loading the substrate into the conveyance path of the guide rail at the loading part and moving forward by the conveying pusher. One camera and three cameras are used to check the surface condition and size.
그리고, 리드 프레임과 같은 기판의 검사는 크게 두가지 형태로 나누어 볼 수 있는데 하나는 리드 프레임의 표면검사(이물질, 변색, 도금상태등)이고 다른 하나는 치수검사이며, 표면검사를 위해서는 가이드레일을 따라 이송되는 리드 프레임에 빛을 비추어 반사되는 반사광으로 이미지를 읽고, 치수검사를 위해서는 반대쪽에서 빛을 투과시켜 이미지를 읽어 검사를 행하게 되는 바, 상부의 두대의 카메라는 반사광을 적용시켜 표면검사를 하고 하부의 한대의 카메라는 투과광을 적용시켜 치수 검사를 하게 된다.In addition, inspection of a substrate such as a lead frame can be divided into two types. One is a surface inspection (foreign material, discoloration, plating state, etc.) of the lead frame, and the other is a dimensional inspection. The image is read by the reflected light reflected by the light reflected from the transferred lead frame, and the size is inspected by the light transmitted from the opposite side for inspection. One of the cameras is subjected to the dimensional inspection by applying the transmitted light.
그러나, 종래의 기판 자동검사장치는 기판을 가이드레일의 일측단부에서 타측단부를 향하여 전진 이동시키면서 반사광에 의한 검사와 투과광에 의한 검사를 행하는 것이므로 기판의 이송로가 길어져 장비가 전체적으로 대형화되며, 이에 따라 설치면적도 증대되고 처리속도도 지연되는 문제점이 있었다.However, the conventional automatic substrate inspection apparatus performs the inspection by the reflected light and the inspection by the transmitted light while moving the substrate forward from one end of the guide rail toward the other end, so that the transfer path of the substrate is long and the equipment is large in size. There was also a problem that the installation area is increased and the processing speed is also delayed.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점 및 결함을 해소하기 위하여 창안한 것으로, 일방향 투입/취출형 기판 이송수단에 의해 기판이 로딩후 전진 및 후진후 언로딩되고, 2대의 카메라를 이용한 전,후진 양방향 검사수단에 의해 일 방향으로 이동시에는 반사광에 의한 표면검사를 행함과 아울러 반대 방향으로 이동시에는 투과광에 의한 사이즈 검사를 행하도록 함으로써 장비의 크기 및 설치면적을 대폭 절감하고, 처리 속도를 향상할 수 있게 되는 기판 자동검사장치를 제공하고자 함에 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems and defects as described above, the substrate is unloaded forward and backward after loading by the one-way input / take-out substrate transfer means, the forward and backward using two cameras By means of the bidirectional inspection means, the surface inspection by the reflected light is carried out when moving in one direction, and the size inspection by the transmitted light is carried out when moving in the opposite direction, which greatly reduces the size and installation area of the equipment and improves the processing speed. It is an object of the present invention to provide an automatic substrate inspection device.
도 1 내지 도 7은 본 발명에 의한 기판 자동검사장치에 관한 것으로,1 to 7 relates to the automatic substrate inspection apparatus according to the present invention,
도 1은 기판 자동검사장치의 블럭 구성도.1 is a block diagram of the automatic substrate inspection device.
도 2 및 도 3은 기판 자동검사장치의 부분 평면도 및 측면도.2 and 3 are a partial plan view and a side view of the automatic substrate inspection device.
도 4는 이송푸셔의 부분 정면도.4 is a partial front view of the transfer pusher.
도 5는 적재푸셔의 평면도.5 is a plan view of the loading pusher.
도 6은 적재푸셔의 측면도.Figure 6 is a side view of the loading pusher.
도 7은 적재푸셔의 정면도.7 is a front view of the loading pusher.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
1 : 기판10 : 가이드레일1: substrate 10: guide rail
11 : 이송로20 : 일방향 투입/취출형 기판 이송수단11: transfer path 20: one-way input / take-out type substrate transfer means
100 : 로딩부110 : 픽업100: loading unit 110: pickup
120 : 적재푸셔121 : 고정블럭120: loading pusher 121: fixed block
122 : 지지판123 : 지지블럭122: support plate 123: support block
124 : 슬라이더125 : 로드레스 실린더124: slider 125: rodless cylinder
126 : 가동자127 : 적재 이송간126: mover 127: loading transfer
128 : 승강 구동용 실린더129 : 연결부128: lift drive cylinder 129: connection portion
200 : 언로딩부210 : 픽업200: unloading unit 210: pickup
300 : 전방 이송푸셔310 : 후방 이송푸셔300: front transfer pusher 310: rear transfer pusher
301,311 : 전,후방 이송간400 : 볼스크류 타입 직선이동기구301,311: Forward and backward transfer between 400: Ball screw type linear movement mechanism
401 : 지지부재410 : 스크류봉401 support member 410 screw rod
420 : 슬라이더430 : 회전 구동기구420: slider 430: rotation drive mechanism
431 : 모터432,433 : 풀리431: Motor 432,433: Pulley
434 : 벨트510,511 : 카메라434: Belt 510,511: Camera
520,521 : 조명수단520,521: Lighting means
위와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 기판 자동검사장치는 기판이 직선 이동되는 이송로가 중간부에 구비되고 기대의 중간부에 길이방향으로 설치되는 가이드레일과; 가이드레일의 일측부에 나란히 내,외측으로 설치되는 로딩부와 언로딩부가 구비되어 가이드레일의 일측부에서 기판을 로딩시켜 타측부로 전진 이동시키고, 다시 역방향으로 후진 이동시켜 언로딩시키기 위한 일방향 투입/취출형 기판 이송수단과; 가이드레일의 이송로 상,하부에 카메라,를 각각 설치함과 아울러 조명수단,을 각각 설치하여, 기판이 전진할 때에 표면검사 등의 반사광에 의한 검사를 행하고, 기판이 후진할 때에 사이즈 검사 등의 투과광에 의한 검사를 행하는 전,후진 양방향 검사수단을 포함하여 구성된다.In order to achieve the above object, the automatic substrate inspection apparatus according to the present invention includes a guide rail which is provided in a middle portion of a transfer path in which a substrate is linearly moved and is installed in a middle portion of a base; One side of the guide rail is provided with a loading part and an unloading part installed inward and outward side by side to load the substrate from one side of the guide rail to move forward to the other side, and to move backward in the reverse direction to unload it. / Take-out substrate transfer means; The cameras are installed at the upper and lower paths of the guide rail, respectively, and lighting means are provided, respectively, and the inspection is performed by reflected light such as surface inspection when the substrate is advanced, and the size inspection is performed when the substrate is reversed. It comprises a forward and backward bidirectional inspection means for performing inspection by the transmitted light.
그리고, 상기 일방향 투입/취출형 기판 이송수단은 가이드레일의 후방부에 설치되어 기판을 로딩시키는 로딩부와, 로딩부의 픽업과 적재푸셔에 의해 가이드레일에 적재된 기판을 전방부로 전진시키는 전방 이송푸셔와, 기판을 전방 이송이 완료된 전방단부에서 후진시키는 후방 이송푸셔와, 가이드레일의 후방단부에 로딩부의 외측에 위치하도록 나란하게 설치되고, 후방 이송푸셔에 의해 후진된 기판을 픽업에 의해 취출시켜 언로딩시키는 언로딩부를 포함하여 구성된다.In addition, the one-way input / extract type substrate transfer means is provided at a rear portion of the guide rail to load the substrate, and the front transfer pusher for advancing the substrate loaded on the guide rail to the front portion by the pick-up and loading pusher of the loading portion. And a rear conveying pusher for reversing the substrate at the front end where the front conveyance is completed, and the rear conveying pusher at the rear end of the guide rail so as to be positioned outside of the loading part, and the substrate retracted by the rear conveying pusher is removed by picking up and freezing. It is configured to include an unloading unit for loading.
이하, 이와 같은 본 발명을 첨부한 도면에 실시예를 들어 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the present invention will be described in detail as follows.
도 1 내지 도 7은 본 발명에 의한 기판 자동검사장치에 관한 것으로, 도 1에는 기판 자동검사장치의 블럭 구성도, 도 2 및 도 3에는 기판 자동검사장치의 부분 평면도 및 측면도가 각각 도시되고, 도 4에는 이송푸셔의 부분 정면도가 각각 도시되어 있으며, 도 5에는 적재푸셔의 평면도, 도 6에는 적재푸셔의 측면도, 도 7에는 적재푸셔의 정면도가 각각 도시되어 있다.1 to 7 are related to the automatic substrate inspection apparatus according to the present invention, Figure 1 is a block diagram of the automatic substrate inspection apparatus, Figure 2 and Figure 3 is a partial plan view and side view of the automatic substrate inspection apparatus, respectively, 4 is a partial front view of the transfer pusher, respectively, a top view of the loading pusher, a side view of the loading pusher in FIG. 6, and a front view of the loading pusher in FIG.
이에 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 기판 자동검사장치는 기판(1)이 직선 이동되는 이송로(11)가 중간부에 구비되고 기대(F)의 중간부에 길이방향으로 설치되는 가이드레일(10)과; 상기 가이드레일(10)의 일측부(후방부)에 나란히 내,외측으로 설치되는 로딩부(100)와 언로딩부(200)가 구비되어 상기 가이드레일(10)의 일측부(후방부)에서 기판(1)을 로딩시켜 타측부(전방부)로 전진 이동시키고, 다시 역방향으로 후진 이동시켜 언로딩시키기 위한 일방향 투입/취출형 기판이송수단(20)과; 상기 가이드레일(10)의 이송로(11) 상,하부에 카메라(510),(511)를 각각 설치함과 아울러 조명수단(520),(521)을 각각 설치하여, 기판(1)이 전진할 때에 표면검사 등의 반사광에 의한 검사를 행하고, 기판(1)이 후진할 때에 사이즈 검사 등의 투과광에 의한 검사를 행하는 전,후진 양방향 검사수단(500)을 포함하여 구성되어 있다.As shown in the drawing, the automatic substrate inspection apparatus according to the present invention includes a guide rail having a conveying path 11 through which the substrate 1 is linearly provided in the middle portion and installed in the longitudinal direction in the middle portion of the base F. 10); In one side (rear) of the guide rail 10 side by side, the loading portion 100 and the unloading portion 200 is installed inwards and outwards is provided at one side (rear) of the guide rail 10 A one-way input / take-out type substrate transfer means 20 for loading the substrate 1 forward and moving it to the other side (front part) and moving backward in the reverse direction to unload it; The cameras 510 and 511 are installed at the upper and lower portions of the conveying path 11 of the guide rail 10, and the lighting means 520 and 521 are respectively installed to advance the substrate 1. In this case, the front and rear bidirectional inspection means 500 performs inspection by reflected light such as surface inspection and performs inspection by transmitted light such as size inspection when the substrate 1 moves backward.
상기 일방향 투입/취출형 기판 이송수단(20)은 상기 가이드레일(10)의 후방부(일측부)에 설치되어 기판(1)을 로딩시키는 로딩부(100)와, 상기 로딩부(100)의 픽업(110)과 적재푸셔(120)에 의해 가이드레일(10)에 적재된 기판(1)을 전방부로 전진시키는 전방 이송푸셔(300)와, 상기 기판(1)을 전방 이송이 완료된 전방단부(타측단부)에서 후진시키는 후방 이송푸셔(310)와, 상기 가이드레일(10)의 후방단부에 로딩부(100)의 외측에 위치하도록 나란하게 설치되고, 상기 후방 이송푸셔(310)에 의해 후진된 기판(1)을 픽업(210)에 의해 취출시켜 언로딩시키는 언로딩부(200)를 포함하여 구성되어 있다.The one-way input / extract type substrate transfer means 20 is installed in the rear portion (one side) of the guide rail 10 to load the substrate 1 and the loading portion 100 of the A front transfer pusher 300 for advancing the substrate 1 loaded on the guide rail 10 by the pickup 110 and the loading pusher 120 to the front portion, and a front end portion in which the front transfer of the substrate 1 is completed ( The rear conveying pusher 310 to retreat from the other end portion and the rear end of the guide rail 10 are installed side by side so as to be located outside of the loading portion 100, and is reversed by the rear conveying pusher 310 The unloading part 200 which takes out and unloads the board | substrate 1 by the pickup 210 is comprised.
상기 전방 이송푸셔(300)와 후방 이송푸셔(310)는 기판(1)를 밀어 이동시키는 전,후방 이송간(301),(311)을 길이방향으로 이동시키기 위한 볼스크류 타입 직선이동기구(400)가 이용될 수 있으며, 이 경우 상기 전방 이송푸셔(300)는 가이드레일(10)의 중간부에서 선단부까지 기판(1)을 이송시키도록 스트로크가 짧게 형성되고, 후방 이송푸셔(310)는 선단부에서 후단부까지 기판(1)을 이송시키도록 스트로크가 길게 형성된다.The front feed pusher 300 and the rear feed pusher 310 is a ball screw type linear movement mechanism 400 for moving the front and rear transfer intervals 301, 311 to push the substrate 1 in the longitudinal direction. In this case, the front transfer pusher 300 has a short stroke to transfer the substrate 1 from the middle portion of the guide rail 10 to the front end portion, and the rear transfer pusher 310 has a front end portion. The stroke is formed long to transfer the substrate 1 to the rear end at.
상기 볼스크류 타입 직선이동기구(400)는 기대(F) 위에 고정된 한 쌍의 지지부재(401)에 축착되는 스크류봉(410)과, 스크류봉(410)의 회전력으로 직선 이동하도록 결합되고 상기 이송간(301),(311)이 각각 고정되는 슬라이더(420)와, 스크류봉(410)을 회전시키기 위한 회전 구동기구(430)로 구성된다.The ball screw type linear movement mechanism 400 is coupled to the screw rod 410 fixed to the pair of support members 401 fixed on the base (F), and linearly moved by the rotational force of the screw rod 410 and It comprises a slider 420 to which the feed section 301 and 311 are respectively fixed, and a rotation drive mechanism 430 for rotating the screw rod 410.
상기 회전 구동기구(430)는 기대(F)의 하부에 고정되는 모터(431)와 모터(431)의 축과 스크류봉(410)의 단부에 각각 고정되는 풀리(432),(433)와, 풀리(432),(433)에 연결되는 벨트(434)로 구성된다.The rotation drive mechanism 430 is a motor 431 is fixed to the lower portion of the base (F) and the pulleys (432, 433) fixed to the shaft of the motor 431 and the end of the screw rod 410, respectively, And a belt 434 connected to the pulleys 432 and 433.
상기 적재푸셔(120)는 고정블럭(121)의 상단부에 고정된 지지판(122)이 가이드레일(10)에 볼트 체결되고, 고정블럭(121)에는 한 쌍의 LM가이드의 지지블럭(123)이 고정됨과 아울러 양쪽 지지블럭(123)에 슬라이더(124)가 결합되며, 지지판(122)의 중간부에는 승강 구동용 실린더(128)가 고정되고, 상기 LM가이드(122)의 양쪽 슬라이더(124)에는 로드레스 실린더(125)가 결합됨과 아울러 로드레스 실린더(125)의 일측부에 형성된 연결부(129)에는 상기 승강 구동용 실린더(128)의 플런져가 연결되며, 로드레스 실린더(125)의 가동자(126)에 적재 이송간(127)이 결합된 구성으로 되어 있다.The mounting pusher 120 is bolted to the guide rail 10 is fixed to the support plate 122 fixed to the upper end of the fixed block 121, the support block 123 of a pair of LM guide is fixed to the fixed block 121 In addition to being fixed, the slider 124 is coupled to both of the support blocks 123, and the lift drive cylinder 128 is fixed to the middle portion of the support plate 122, and to both sliders 124 of the LM guide 122. The rodless cylinder 125 is coupled to the connection portion 129 formed at one side of the rodless cylinder 125, and a plunger of the lift driving cylinder 128 is connected to the mover of the rodless cylinder 125. The stack transfer section 127 is coupled to 126.
그리고, 상기 전방 이송푸셔(300)의 전방 이송간(301), 후방 이송푸셔(310)의 후방 이송간(311) 및 적재푸셔(120)의 적재 이송간(127)의 이동 위치는 푸셔 구동모터의 펄스 신호를 카운터하거나 가이드레일(10)의 적당한 위치에 위치 검출센서를 설치하여 감지하고 콘트롤러에 의해 구동을 제어하게 되며, 이 위치 감지 및 제어는 통상의 구조로 구성한다.In addition, the movement positions of the front transfer section 301 of the front transfer pusher 300, the rear transfer section 311 of the rear transfer pusher 310 and the loading transfer section 127 of the loading pusher 120 are pusher drive motors. Counter pulse signal or by installing a position detection sensor in a suitable position of the guide rail 10 to detect and control the drive by the controller, this position detection and control is configured in a conventional structure.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 기판 자동검사장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the automatic substrate inspection apparatus according to the present invention as described above are as follows.
작동 초기에는 적재 이송간(127)이 하강되고, 전방 이송간(301)이 하강되며, 후방 이송간(311)이 상승된 상태로 대기하게 된다. 그리고, 작동이 개시되면 로딩부(100)에서 로딩되는 제1 기판(1)을 픽업(110)이 픽업하여 적재푸셔(120)에 투입한 후, 적재 이송간(127)이 상승된다.In the initial stage of operation, the loading transfer section 127 is lowered, the front conveying section 301 is lowered, and the rear conveying section 311 is waited in an elevated state. When the operation is started, the pickup 110 picks up the first substrate 1 loaded from the loading unit 100, inserts it into the loading pusher 120, and the loading transfer interval 127 is raised.
이어서, 픽업(110)은 다시 로딩위치로 이동되고, 적재 이송간(127)이 제1 기판(1)을 검사시작 위치로 이동시킨다.Subsequently, the pickup 110 is moved to the loading position again, and the stacking transfer interval 127 moves the first substrate 1 to the inspection start position.
이어서, 픽업(110)이 제2 기판(1)을 픽업하고, 적재 이송간(127)은 처음 위치로 복귀되며, 전방 이송간(301)이 상승된다.Subsequently, the pickup 110 picks up the second substrate 1, the load transfer section 127 returns to the initial position, and the front transfer section 301 is raised.
이어서, 픽업(110)이 적재푸셔(120)에 투입하는 위치로 이동하여 대기하고, 적재 이송간(127)은 하강한 상태로 대기하며, 전방 이송간(301)이 제1 기판(1)을 전진 이동시킨다. 그리고, 이와 같이 제1 기판(1)이 전진하게 되면 예를 들어 상부 조명수단(510)으로 조명하면서 상부 카메라(510)로 반사광에 의한 표면검사를 행하게 된다.Subsequently, the pick-up 110 moves to the position where the pick-up pusher 120 is inserted into the stand-by, and the load transfer section 127 waits in a lowered state, and the front transfer section 301 holds the first substrate 1. Move forward. When the first substrate 1 is advanced in this manner, for example, the surface of the upper substrate 510 is inspected by the reflected light while being illuminated by the upper lighting means 510.
이어서, 적재 이송간(127)과 전방 이송간(301)은 하강한 상태로 대기하고, 후방 이송간(311)이 상기 제1 기판(1)을 후방으로 이송시킨다. 그리고, 이와 같이 제1 기판(1)이 후방으로 후진하게 되면 예를 들어 상부 조명수단(510)으로 조명하면서 하부 카메라(511)로 투과광에 의한 사이즈 검사를 행하게 된다.Subsequently, the loading transfer section 127 and the front transfer section 301 wait in a lowered state, and the rear transfer section 311 conveys the first substrate 1 backward. In this way, when the first substrate 1 is moved backward, the size inspection by the transmitted light is performed by the lower camera 511 while being illuminated by the upper lighting means 510, for example.
이어서, 제1 기판(1)이 후진하여 언로딩 위치에 이동되면 픽업(110)이 제2 기판(1)을 적재푸셔(120)에 바로 내려 놓고, 검사완료된 제1 기판(1)은언로딩부(200)에서 회수하게 되며, 불량품은 불량품 적재대(30)에 적재된다.Subsequently, when the first substrate 1 is moved backward to the unloading position, the pickup 110 directly lowers the second substrate 1 onto the loading pusher 120, and the inspected first substrate 1 is unloaded. It will be recovered at 200, the defective product is loaded on the defective loading table (30).
이후에는, 상기한 일방향 투입/취출형 기판 이송수단(20)에 의해 기판(1)이 전진 및 후진되고, 상기 전,후진 양방향 검사수단(500)에 의해 전진시에는 반사광에 의한 표면검사를 행함과 아울러 후진시에는 투과광에 의한 사이즈 검사를 행하는 동작이 연속적으로 반복하여 행하여진다.Subsequently, the substrate 1 is moved forward and backward by the one-way input / take-out substrate transfer means 20, and the surface is inspected by the reflected light when the forward and backward bidirectional inspection means 500 moves forward. In addition, at the time of reverse, the operation | movement which performs size inspection by transmitted light is performed repeatedly continuously.
그리고, 상기 기판(1)의 검사 동작은 위에 설명한 과정과 반대로, 기판(1)을 전진 이동시키면서 투과광에 의한 사이즈 검사를 행하고, 후진 이동시키면서 반사광에 의한 표면검사를 행할 수도 있다.The inspection operation of the substrate 1 may be performed by a size inspection using transmitted light while moving the substrate 1 forward, and a surface inspection by reflected light while moving backward.
또한, 상기 전방 이송간(301), 후방 이송간(311) 및 적재 이송간(127)의 이동 속도는 필요에 따라 조절할 수 있으며, 예를 들어 검사영역을 통과한 후에는 이동 속도를 빠르게 하여 검사 속도를 증가시킬 수 있다.In addition, the movement speed of the front transfer interval 301, rear transfer interval 311 and the loading transfer interval 127 can be adjusted as needed, for example, after passing through the inspection area to increase the moving speed inspection You can increase the speed.
이상에서 설명한 바와 같은 기판 자동검사장치는 일방향 투입/취출형 기판 이송수단에 의해 기판이 전진 및 후진되고, 2대의 카메라를 이용한 전,후진 양방향 검사수단에 의해 일 방향으로 이동시에는 반사광에 의한 표면검사를 행함과 아울러 반대 방향으로 이동시에는 투과광에 의한 사이즈 검사를 행하도록 되어 있으므로 장비의 크기 및 설치면적을 대폭 절감하고, 처리 속도를 향상할 수 있는 이점이 있다.As described above, in the automatic substrate inspection apparatus, the substrate is moved forward and backward by the one-way input / extract type substrate transfer means, and the surface inspection by the reflected light when moving in one direction by the forward and backward bidirectional inspection means using two cameras. In addition, since the size inspection by the transmitted light is performed when moving in the opposite direction, the size and installation area of the equipment can be greatly reduced, and the processing speed can be improved.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020010009289A KR20020068906A (en) | 2001-02-23 | 2001-02-23 | Auto inspection apparatus for foundation plate |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020010009289A KR20020068906A (en) | 2001-02-23 | 2001-02-23 | Auto inspection apparatus for foundation plate |
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ID=27695358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| Country | Link |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100596054B1 (en) * | 2002-10-31 | 2006-07-03 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | Glass substrate inspecting system |
| KR100882823B1 (en) * | 2008-10-30 | 2009-02-10 | (주)대신서키트 | Auto detector of pcb kit |
-
2001
- 2001-02-23 KR KR1020010009289A patent/KR20020068906A/en not_active Application Discontinuation
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |