KR20020067960A - 웨이퍼 캐리어에서 로드락 챔버로의 웨이퍼 이송 장치 - Google Patents

웨이퍼 캐리어에서 로드락 챔버로의 웨이퍼 이송 장치 Download PDF

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KR20020067960A
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이양구
박동철
이영호
이종오
임헌형
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Abstract

로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치가 개시되어 있다. 푸프 오프너는 다수매의 웨이퍼가 적재되어 있는 푸프(FOUP)에서 상기 웨이퍼를 외부에 노출시킨다. 개폐장치는 상기 다수의 웨이퍼를 지지하기 위한 로드락 카세트가 포함된 로드락 챔버를 외부와 개폐한다. 이동 장치는 상기 푸프에 적재되어 있는 웨이퍼와 상기 로드락 카세트를 서로 대응하도록 위치시킨다. 구동 장치는 상기 웨이퍼를 로드락 카세트로 안착시킨다. 상기 푸프와 상기 로드락 카세트 사이에 이송 장치를 수용하기 위한 공간이 요구되지 않고, 일시에 일괄적으로 다수의 웨이퍼들을 이송시켜 공정에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.

Description

웨이퍼 캐리어에서 로드락 챔버로의 웨이퍼 이송 장치{Apparatus for transferring a wafer from a wafer carrier to a loadlock chamber}
본 발명은 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 웨이퍼 캐리어로부터 로드락 챔버 내의 카세트로 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송 장치에 관한것이다.
반도체 장치는 생산성의 향상을 위해 반도체 장치의 고집적화, 웨이퍼의 대구경화, 설비의 자동화 등이 필수적으로 요구되고 있다. 특히 하나의 웨이퍼에서 더 많은 반도체 장치를 형성시키기 위해 상기 웨이퍼는 대구경화 되고 있으며, 상기 웨이퍼의 대구경화에 따라 반도체 제조 설비 및 공정 설계 등도 발전하고 있다.
상기 웨이퍼는 슬릿(slot)이 구비된 케리어(carrer)에 다수매씩 적재되고, 상기 케리어는 케리어 박스(carrer box)에 담겨져 이송된다. 그러나 최근의 300mm이상의 웨이퍼는 상기 케리어 박스와 케리어가 일체로 구비되어진 푸프(FRONT OPEN UNIT POT, FOUP)를 사용하여 적재되고 상기 반도체 제조 설비로 이송된다. 상기 푸프의 전면에는 상기 푸프를 개폐하기 위한 푸프 도어(FOUP DOOR)가 구비되어 있다.
상기 푸프는 케리어 박스와 케리어가 일체형으로 구비되므로 상기 푸프에 적재되어 있는 웨이퍼에 공정을 수행할 때, 케리어 박스에서 상기 케리어를 꺼내는 작업을 수행하지 않아도 된다. 즉 상기 푸프에 적재되어있는 웨이퍼는 상기 푸프 도어를 개방함으로서 외부에 노출되고, 상기 웨이퍼를 이송하여 공정을 수행할 수 있다.
그러나, 다수의 웨이퍼를 적재한 카세트를 로딩(loading)시켜 공정을 수행하는 설비를 사용하여 공정을 수행할 때, 상기 케리어 박스와 케리어가 일체형으로 구비된 푸프에 적재되어있는 웨이퍼는 상기 설비에서 공정을 수행하기 위해 구비되는 카세트로 이송하여야 한다. 구체적으로 설명하면, 종래의 300mm 이하의 웨이퍼는 케리어에 적재되고, 상기 케리어는 상기 케리어 박스에 담겨져서 이송된다. 상기 케리어는 상기 케리어 박스에서 꺼내어 분리할 수 있다. 따라서 상기 웨이퍼가 적재된 카세트가 로딩되어 공정을 수행하는 설비에서는, 상기 케리어 박스로부터 웨이퍼가 적재되어 있는 상기 케리어를 꺼내고, 상기 웨이퍼가 적재된 케리어를 상기 설비에 직접 로딩하여 공정을 수행할 수 있었다.
그러나 최근의 300mm 이상의 웨이퍼가 적재되는 상기 푸프는 상기 케리어 박스와 상기 케리어가 일체형으로 구성되기 때문에 직접 설비에 로딩시킬 수가 없다. 따라서 상기 푸프에 적재되어진 다수매의 웨이퍼를 상기 공정 설비에 구비되는 카세트로 이송한 다음 상기 공정 설비에서 소정의 반도체 제조 공정을 진행하고, 상기 공정이 완료되었을 때 상기 카세트에 이송된 웨이퍼를 상기 푸프로 재이송하는 작업이 필요하다.
도 1은 종래의 웨이퍼 캐리어에서 로드락 챔버로의 웨이퍼 이송 장치의 일 예를 설명하기 위한 개략도이다.
상기 웨이퍼 케리어는, 300mm 이상의 웨이퍼가 적재되는 푸프로부터 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하는 이송 장치에 관한 것이다.
도 1를 참조하면, 웨이퍼(W)에 일련의 공정을 진행하기 이전에 상기 웨이퍼(W)를 진공 분위기에 노출하기 위한 로드락 챔버(10)가 구비된다. 상기 로드락 챔버(10)의 일측면은 상기 웨이퍼(W)를 상기 챔버로 입,출하기 위한 로드락 도어(loadlack door, 12)가 구비되어 있다. 그리고 상기 로드락 챔버(10)의 내부에는 웨이퍼(W)를 적재하기 위한 로드락 카세트(loadlack cassette, 14)가 놓여지는 제1 로딩부(16)가 구비되어 있다. 상기 제1 로딩부(16)에는 상기 로드락 챔버(10)내에서 사용 가능한 로드락 카세트(14)가 놓여있다.
그리고 상기 로드락 챔버(10)의 외부에 상기 로드락 도어(12)와 대향하도록 설치되고, 상기 웨이퍼(W)가 적재된 푸프(18)가 놓여지는 제2 로딩부(20)가 구비된다.
상기 푸프(18)에 적재되어있는 웨이퍼(W)를 상기 로드락 챔버(10)에 로딩하기 위해 상기 푸프(18)가 놓여있는 제2 로딩부(20)와 상기 로드락 챔버(10)의 사이에 이송 장치(22)가 구비된다.
상기 이송 장치(22)는, 상기 푸프에 적재된 웨이퍼를 이송하기 위한 로봇암(22a)과, 상기 로봇암(22a)과 연결되고, 상기 로봇암(22a)을 상,하,전,후 및 회전 구동을 수행하는 구동부(22b)로 구성된다. 따라서 상기 로봇암(22a)을 구비하는 이송 장치(22)에 의해 상기 푸프(18)에 적재되어있는 웨이퍼(W)가 상기 로드락 챔버(10)의 로드락 카세트(14)로 이송된다.
그러나 상기 이송 장치(22)는 상기 푸프(18)가 놓여지는 제2 로딩부(20)와 상기 로드락 챔버(10)사이에 별도로 구비되므로, 상기 이송 장치(22)를 수용하기 위한 소정의 공간이 요구된다. 또한 상기 로봇암(22a)에 의해 상기 푸프(18)에 적재된 다수매의 웨이퍼(W)를 상기 로드락 챔버(10)의 로드락 카세트(14)로 이송할 때, 상기 웨이퍼(W)를 한번에 이송시키기가 용이하지 않기 때문에 여러번의 이송작업이 수행되어야 한다. 그러므로 상기 웨이퍼(W)를 이송하는데 많은 시간이 소요되고, 반도체 장치의 생산성이 감소된다. 또한 상기 이송 장치를 별도로 구비함에 따라 공정을 수행하기 위한 부재가 증가되고, 이에 따라 장치의 고장 확률과, 주기적인 정비를 수행하여야 하는 요소가 증가되었다.
이러한 문제점을 해결하기 위한 방법으로, 상기 푸프를 직접 상기 카세트로 이송하여 일괄적으로 상기 푸프에 적재되어 있는 웨이퍼를 상기 카세트로 이송시키는 장치가 호프메이스터(Hofmeister)에게 허여된 미 합중국 특허 제 6,120,229호에 개시되어 있다. 그러나 상기 장치를 사용하더라도, 상기 로드락 챔버 내에 이송된 웨이퍼를 실재로 일련의 공정이 수행되는 메인 챔버로 이송시키려면 다시 상기 제1 로딩부를 회전 구동시키는 등의 작업을 더 수행하여야 하는 단점이 있다.
따라서 본 발명의 목적은, 로드락 챔버 내의 카세트로 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송 장치를 제공하는데 있다.
도 1은 종래의 웨이퍼 이송 장치의 일 예를 설명하기 위한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치를 설명하기 위한 구성도이다.
도 3은 도2에 도시한 이송 장치에서 웨이퍼 암의 이면에서 위로 올려다본 도면이다.
도 4a 내지 도 4b는 도 2에 도시한 이송 장치에서 로드락 챔버에 구비되는 구동축과 연결부를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 2에 도시한 이송 장치에서 상기 로드락 챔버와 상기 푸프가 놓여지는 로딩부의 배치를 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 내지 도 6b는 도 2에 도시한 이송 장치에서 웨이퍼 암과 웨이퍼를 대응시켜 이송하는 것을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 도 7에 도시한 이송 장치에서 상기 로드락 카세트를 상세하게 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 도7에 도시한 이송 장치에서 상기 로드락 카세트에 포함되는 웨이퍼 암을 설명하기 위한 측면도이다.
도 10a 내지 도 10d는 도7에 도시한 웨이퍼 이송 장치를 사용하여 상기 푸프에 담긴 웨이퍼를 상기 로드락 챔버에 구비된 로드락 카세트로 상기 웨이퍼를 이송하는 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 11a 내지 도 11b는 본 발명의 제3 실시예에 따른 웨이퍼 케리어로부터 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송 장치를 설명하기 위한 구성도이다.
도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 웨이퍼 케리어로부터 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송 장치를 설명하기 위한 구성도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
30, 70, 100: 푸프 34, 72, 102 : 로딩부
36, 84, 114 : 메인 챔버 38, 74,104 : 로드락 챔버
40, 78, 108 : 로드락 도어 42, 76,106 : 로드락 카세트
52 : 레일 54 : 구동축
58 : 연결부
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 다수매의 웨이퍼가 적재되어있는 푸프(FOUP)에서 상기 웨이퍼를 외부에 노출시키기 위한 푸프 오프너가 구비된다. 그리고 상기 다수의 웨이퍼를 지지하기 위한 로드락 카세트가 포함된 로드락 챔버를 외부와 개폐하기 위한 개폐 장치가 구비된다. 그리고 상기 푸프에 적재되어있는 웨이퍼와 상기 로드락 카세트를 서로 대응하도록 위치시키는 이동 장치가 구비된다. 상기 이동 장치는 상기 로드락 카세트를 이동시켜 상기 푸프와 대응하는 구성을 갖거나 또는 상기 웨이퍼가 외부와 노출되어 있는 푸프를 이동시켜 상기 로드락 카세트와 대응하는 구성을 갖는다. 상기 웨이퍼를 상기 로드락 카세트로 안착시키기 위한 구동 장치를 포함하는 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치를 제공한다.
따라서 상기 푸프와 상기 로드락 챔버 사이에, 웨이퍼를 이송하기 위한 장치가 수용되는 공간이 필요하지 않다. 또한, 일시에 일괄적으로 다수매의 웨이퍼들을 이송시켜 공정에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라서 더욱 상세히 설명하기로 한다.
실시예 1
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 케리어로부터 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하는 이송 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 내부 측면에 나란하게 위치하도록 다수의 슬릿(slot)을 포함하고, 상기 슬릿(slot)에 다수의 웨이퍼(W)가 적재되는 푸프(30)가 도시되어 있다. 상기 푸프에 관해 설명하면, 내부에 다수매의 웨이퍼(W)가 적재될 수 있도록 슬릿(도시안함, slot)이 일체로 구비되고, 전면에는 상기 푸프(30)의 내부에 적재된 웨이퍼(W)를 외부와 노출하거나 밀폐시키기 위한 푸프 도어(32)가 구비된다. 상기 푸프(30)의 전면에 구비된 푸프 도어(32)를 개방함으로서 상기 푸프(30)에 적재된 상기 웨이퍼(W)는 외부와 노출된다. 따라서 상기 푸프(30)에 적재되어있는 웨이퍼(W)를 사용하여 공정을 수행할 때, 종래와 같이 케리어 박스로부터 케리어를 꺼내는 작업이 요구되지 않아서 공정이 단순화된다.
고 진공이 요구되는 진공 챔버에서 웨이퍼(W)가 소정의 반도체 제조 공정을 수행할 때, 상기 공정이 수행되는 메인 챔버(36)에 웨이퍼(W)를 로딩시키기 전에 상기 웨이퍼(W)를 진공 분위기를 노출시키도록 하는 로드락 챔버(38)가 구비된다.상기 로드락 챔버(38)의 일측면에 설치되고, 상기 로드락 챔버(38)를 외부와 개폐하기 위한 로드락 도어(40)가 구비된다. 그리고, 상기 로드락 챔버(38)의 내부에는 상기 다수의 웨이퍼(W)를 지지하기 위한 로드락 카세트(42)가 구비된다. 상기 로드락 카세트(42)는 상기 다수의 웨이퍼(W)를 지지하면서 상기 로드락 챔버(38)의 내부를 상,하 구동하도록 구성된다. 상기 로드락 도어(40)와 대향하도록 상기 로드락 챔버(38)의 일측에 구비되고, 상기 반도체 제조 공정이 수행되는 메인 챔버(36)와 통하도록 상기 로드락 챔버를 개폐하는 슬릿(slit, 44)이 구비된다. 상기 메인 챔버(36)내에 설치되고, 상기 로드락 카세트(42)에 지지되어 있는 웨이퍼를 상기 메인 챔버(36)로 이송시키기 위한 로봇암(46)이 구비된다.
따라서 상기 로드락 카세트(42)는 상기 로드락 챔버(38) 내에서 상,하 구동하고, 이에 따라 상기 로드락 카세트(42)에 의해 지지되어 있는 웨이퍼(W)도 상,하 구동한다. 그러므로 상기 로드락 카세트(42)에 지지된 소정의 웨이퍼(W)를 상기 로봇암(46)에 의해 상기 공정이 수행되는 메인 챔버(36)로 이송한다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 이송 장치는, 상기에서 설명한 바와 같은 구성을 갖는 푸프(30)와 로드락 챔버(38)에서, 상기 푸프(30)에 적재되어있는 웨이퍼(W)를 상기 로드락 챔버(38)에 구비되는 로드락 카세트(42)로 이송시키기 위한 이송 장치이다.
이를 위하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 이송 장치는, 상기 로드락 챔버(38)에 구비되는 로드락 카세트(42)를 이동시켜 상기 푸프(30)에 적재된 웨이퍼(W)에 대응함으로서, 상기 푸프(30)에 적재된 웨이퍼(W)를 상기 로드락카세트(42)로 이송한다.
구체적으로 설명하면, 상기 로드락 챔버(38)와 이격되는 위치에 설치되고, 상기 로드락 챔버(38)의 내부로 상기 푸프(30)를 이송하기 위한 상기 푸프(30)가 놓여는 로딩부(34)가 구비된다. 상기 로딩부(34)는, 상기 푸프(30)가 놓여지기 위해 평평한 상부면을 갖는 로더(34a)와, 상기 로더(34a)와 연결되고, 상기 로더를 상,하 구동하기 위한 제3 구동부(34b)가 구비된다. 상기 로더(34a)의 상부에 놓여지는 푸프(30)는 상기 푸프(30)에 적재된 웨이퍼(W)가 수평하게 되도록 놓여진다. 그리고 상기 로더(34a)에 놓여진 푸프(30)는 상기 제3 구동부(34b)에 의해 상하 구동을 수행한다.
상기 푸프(30)를 외부와 개폐시키기 위해 구비된 푸프 도어(32)를 개방하기 위한 푸프 오프너(48)가 구비된다. 상기 푸프 오프너(48)는 상기 로드락 챔버(38)를 개폐하기 위한 로드락 도어(40)의 외부면에 부착되어 구비한다. 따라서 상기 푸프 오프너를 설치하는 별도의 공간이 요구되지 않는다.
상기 로드락 도어(40)와 연결되어 상기 로드락 챔버(38)를 외부와 개폐시키기 위한 제1 구동부(50)가 구비된다. 상기 제1 구동부(50)는 상기 로드락 도어(40)를 전,후 방향으로 수평 구동을 수행하여 상기 로드락 도어(40)를 개폐한다.
상기 로드락 카세트(42)는 상기 로드락 도어(40)에서 로드락 챔버(38)의 내부로 향하는 면에 지지된다. 따라서 상기 로드락 카세트(42)는 상기 로드락 도어(40)가 구동함에 따라 동일하게 구동된다.
상기 로드락 도어(40)와 연결되고, 상기 로드락 도어(40)에 지지되어 있는상기 로드락 카세트(42)를 상기 푸프(30)에 적재된 웨이퍼(W)와 대응하기 위한 제2 구동부(51)가 구비된다. 상기 제2 구동부(51)는 상기 제1 구동부(50)에 의해 전,후 수평 구동이 수행된 상기 로드락 도어(40)를 상기 로드락 도어(40)에 지지되는 상기 로드락 카세트(42)가 상기 푸프(30)가 놓여있는 방향으로 향하도록 회전하기 위한 회전부와, 상기 로드락 카세트(42)를 상기 푸프(30)에 적재된 웨이퍼와 대응하도록 전, 후 구동시키는 이송부로 구성된다.
또한 상기 로드락 도어(40)에 지지되는 상기 로드락 카세트(42)는, 상기 이송되는 웨이퍼(W)의 이면이 놓여지기 위해 수평 방향으로 연장되는 다수개의 웨이퍼 암(42a)과, 상기 다수개의 웨이퍼 암(42a)의 단부를 지지하는 지지대(W)로 구성된다. 상기 다수개의 웨이퍼 암(42a)은 상기 지지대에서 소정의 간격을 가지면서 수평 방향으로 연장된다. 상기 지지대(42b)에 지지되어 있지 않는 상기 웨이퍼 암(42a)의 타단부는 상기 로드락 챔버(38)의 내부로 향하도록 설치한다.
따라서, 상기 제1 구동부(50)에 의해 상기 로드락 도어(40)를 전,후 구동하여 상기 로드락 도어(40)를 개방하고, 상기 제2 구동부(51)에 의해 상기 로드락 도어(40)를 회전 및 전,후 구동하여 상기 로드락 도어(40)에 부착되어 있는 푸프 오프너(48)를 상기 로더(34a)에 로딩되어 있는 푸프 도어(32)와 접촉시킨다. 상기 푸프 오프너(48)가 상기 푸프 도어(32)와 접촉하면, 상기 푸프 도어(32)는 상기 푸프(30)에서 탈착되어 상기 푸프 오프너(48)에 부착되고(32a), 이에 따라 상기 푸프(30)에 적재되어 있는 웨이퍼(W)는 외부에 노출된다.
또한 상기 제2 구동부(51)에 의해 상기 로드락 도어(40)를 회전 및 전,후 구동하여 상기 로드락 도어(40)에 지지되어 있는 상기 로드락 카세트(42)가 상기 푸프(30)에 적재되어 있는 웨이퍼(W)와 대응하도록 구동한다.
상기 푸프(30)에 적재되어 있는 상기 웨이퍼(W)들이 상기 로드락 카세트(42)와 대응하면, 상기 푸프(30)가 놓여지는 상기 로더(34a)와 연결된 제3 구동부(34b)에 의해 상기 로더(34a)를 상,하 수직 구동함으로서 상기 푸프(30)에 적재되어 있는 다수매의 웨이퍼(W)들이 상기 로드락 카세트(42)로 일시에 안착시킨다. 그리고 상기 로드락 카세트(42)에 상기 웨이퍼(W)들이 안착되면 상기 제2 구동부(51) 및 상기 제1 구동부(50)에 의해 상기 로드락 도어(40)를 이동함으로서 상기 웨이퍼(W)들을 상기 로드락 챔버(38)로 이송한다.
상기 웨이퍼(W)들이 상기 로드락 챔버(38)의 로드락 카세트(42)로 이송된 다음, 상기 웨이퍼(W)들은 낱장 단위로 로봇암(46)에 의해 공정을 수행하기 위한 메인 챔버(36)로 이송되어 진다.
도 3은 도2에 도시한 이송 장치에서 웨이퍼 암의 이면에서 위로 올려다본 도면이다.
상기 로드락 카세트(42)의 부재인 상기 웨이퍼 암(42a)은 상기 웨이퍼(W) 이면이 지지되는 단부의 소정 부위에 홈이 형성되어 있다. 그러므로 상기 메인 챔버(36)의 내부에 구비된 로봇암(46)은 상기 웨이퍼 암(42a)에 구비된 상기 홈으로 삽입되어 상기 웨이퍼(W)의 이면을 지지한다. 따라서 상기 로봇암(46)에 의해 안전하게 상기 웨이퍼(W)를 상기 메인 챔버(36)로 이송할 수 있다.
상기 웨이퍼(W)를 지지하고 있는 상기 로드락 카세트(42)는 상기 로드락 챔버(38)내에서 상,하 수직 구동을 수행하여 공정을 수행하여야 하는 소정의 웨이퍼(W)를 선택하고, 낱장 단위로 상기 메인 챔버(36)에 이송하여야 한다. 이를 위해 상기 로드락 카세트(42)는 상기 로드락 도어(40)와 독립적으로 상기 로드락 챔버(38)내에서 수직 구동을 수행하면서 상기 로드락 도어(40)에 지지되어야한다.
구체적으로, 상기 로드락 도어(40)에서 상기 로드락 챔버(38)의 내부로 향하는 면에 레일(52)이 구비된다. 상기 레일(52)과 결합되어 상기 로드락 카세트(42)가 설치된다. 이 때 상기 로드락 카세트(42)는 상기 로드락 카세트(42)에 구비되는 웨이퍼 암(42a)이 상기 로드락 챔버(38)의 내부로 수평 방향으로 연장하도록 상기 레일(52)과 결합된다. 상기 로드락 카세트(42)는 상기 로드락 도어(40)에 부착되어 설치되는 레일(52)과 결합되기 때문에 상기 로드락 도어(40)에 의해 지지된다.
또한 상기 로드락 챔버(38)내의 저부에 설치되고, 상기 레일(52)과 결합되어있는 상기 로드락 카세트(42)를 상기 로드락 챔버(38) 내에서 상,하 구동을 수행시키기 위한 구동축(54)이 구비된다. 상기 구동축(54)과 연결되고, 상기 구동축(54)을 상,하 구동시키는 제4 구동부(56)를 구비한다. 상기 로드락 도어(40)에 부착된 레일(52)에서 상기 로드락 챔버(38) 내부로 연장되는 구성을 갖는 연결부(58)가 구비된다. 상기 레일(52)로부터 연장되는 구성을 갖는 상기 연결부(58)는 상기 구동축(54)과 연결되고, 상기 구동축(54)에 의해 상기 레일(52)을 상하 구동함으로서, 상기 레일(52)과 결합된 상기 로드락 카세트(42)를 상기 로드락 챔버(38)내에서 상하 구동한다.
도 4a 내지 도 4b는 도 2에 도시한 이송 장치에서 상기 구동축과 상기 연결부를 설명하기 위한 도면이다.
도 4a를 참조하면, 단부가 상기 레일(52)에 결합되고, 상기 레일(52)에서 상기 로드락 챔버(38) 내부로 수평 연장되는 구성을 갖는 연결부(58)가 구비된다. 상기 연결부(58)는 상기 로드락 카세트(42)의 아래에 설치되고, 상기 레일(52)에 결합되지 않은 타단부는 제1 홈(58a)을 구비한 파이프 형태를 갖는다. 그리고 상기 로드락 챔버(38)내의 저부에 설치되고, 측면이 상기 연결부(58)에 구비된 상기 제1 홈(58a)으로 삽입되는 구조를 갖는 구동축(54)을 구비한다. 상기 구동축(54)은 제4 구동부(56)와 연결되어 상,하 구동을 수행하도록 설치한다.
따라서 상기 연결부(58)에 구비된 상기 제1 홈(58a)으로 상기 구동축(54)의 측면이 삽입된 다음 상기 구동축(54)을 상,하 구동시키면, 상기 연결부(58)는 상기 레일(52)을 따라 상,하 구동한다. 또한 상기 레일(52)에 결합된 상기 로드락 카세트(42)도 상기 구동축(54)에 의해 상기 레일(52)상에서 상,하 구동이 수행된다.
상기 구동축과 연결되는 연결부의 또다른 구성을 설명하고자 한다.
도 4b를 참조하면, 상기 레일(52)에 결합된 상태로 상기 로드락 챔버(38) 내부로 수평 방향으로 연장되는 구성을 갖는 연결부(58)가 구비된다. 상기 연결부(58)는 봉 형태로 구비할 수 있다. 그리고 상기 로드락 챔버(38)내의 저부에 설치되고, 상기 로드락 도어(40)와 대향하는 일측면에 상기 연결부(58)를 삽입하기 위한 제2 홈(54a)을 구비하는 구동축(54)이 구비된다. 상기 구동축(54)은 제4 구동부(56)와 연결되어 상,하 구동을 수행하도록 설치한다.
따라서 상기 구동축(54)의 측면에 구비된 상기 제2 홈(54a)으로 상기연결부(58)를 삽입된 다음 상기 구동축(54)을 상,하 구동시키면, 상기 연결부(58)는 상기 레일(52)을 따라 상기 로드락 챔버(38)의 내부를 상,하 구동한다. 또한 상기 레일(52)에 결합된 상기 로드락 카세트(42)도 상기 구동축(54)의 구동에 의해 상기 레일(52)상에서 상,하 구동이 수행된다.
따라서 상기 로드락 카세트(42)는 상기 로드락 도어(40)와는 독립적으로 상기 로드락 챔버(38)내에서 상,하 구동을 수행할 수 있다. 이 때 상기 로드락 도어(40)에 지지되어 있는 상기 로드락 카세트(42)는 상기 연결부(58)와 상기 구동축(54)이 연결되어 있을 경우에만 상,하 구동이 가능하다. 즉 상기 로드락 도어(40)에 의해 상기 로드락 챔버(38)가 밀폐되어 있을 경우에만, 상기 로드락 카세트(42)는 상기 로드락 챔버(38)내에서 상,하 구동을 수행할 수 있다. 따라서 상기 로드락 도어(40)가 구동할 때 상기 로드락 카세트(42)는 상기 레일(52)에서의 위치가 변경되지 않는다.
이러한 구성을 갖는 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치를 사용하여, 상기 로드락 카세트(42)를 이동하여 상기 푸프(30)에 적재된 웨이퍼(W)를 상기 로드락 카세트(42)로 이송하는 방법을 설명하고자 한다.
상기 웨이퍼(W)가 적재되어진 푸프(30)를 상기 로더(34a)에 놓는다. 그리고 상기 로드락 도어(40)는 상기 제1 구동부 및 제2 구동부(50, 51)를 구동하여 상기 로드락 도어에 부착된 푸프 오프너가 상기 푸프 도어에 접촉하도록 이동시킨다. 그리고 상기 푸프 오프너(48)에 의해 상기 푸프(30)의 상부에 구비된 푸프 도어(32)를 개방한다.
상기 푸프 도어(32)가 개방되어 상기 푸프(30)에 적재되어진 웨이퍼(W)가 외부에 노출되면, 상기 로드락 도어(40)를 상기 제2 구동부(51)에 의해 회전시켜 상기 로드락 카세트(42)에 구비되는 웨이퍼 암(42a)이 상기 푸프(30)에 적재된 웨이퍼(W)를 향하도록 한다.
상기 로드락 도어(40)의 회전을 수행할 때, 상기 로드락 챔버(38)와 상기 로드락 도어(40)가 서로 충돌하지 않도록 상기 로드락 챔버(38)와 상기 로드락 도어 (40)사이의 공간을 확보하면서 배치하여야한다.
도 5는 도 2에 도시한 이송 장치에서 상기 로드락 챔버와 상기 푸프가 놓여지는 로딩부의 배치를 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 참조하면, 상기 푸프(30)가 놓여지는 로딩부(34)는 상기 로드락 도어(40)가 구비되는 위치에서 사선상에 놓이도록 한다. 구체적으로, 상기 로드락 도어(40)를 130 내지 140°의 회전시킬 때 상기 푸프(30)에 적재되어진 웨이퍼(W)와 대응되도록 상기 푸프(30)가 놓여지기 위한 상기 로딩부(34)를 배치한다.
만일 상기 푸프(30)가 놓여지는 로딩부(34)와 상기 로드락 도어(40)가 서로 마주하거나 또는 수직인 위치에 구비할 경우, 상기 로딩부(34)는 상기 로드락 챔버(38)의 전방 또는 좌, 우 방향으로 더 많이 이격되어 구비되어야 한다. 상기 로딩부(34)가 상기 로드락 챔버(38)에서 어느 한 방향으로 더 많이 이격되어 구비되면, 상기 장치를 구비하는데 소요되는 공간이 더 증가된다.
그러므로 상기에 설명한 바와 같이 상기 로딩부(34)와 상기 로드락 챔버(38)를 배치함으로서, 상기 로딩부(34)는 상기 로드락 챔버(38)에서 어느 한 방향으로더 많이 이격되지 않기 때문에 상기 장치를 설치하기 위해 소요되는 공간도 최소화 할 수 있다.
상기 로드락 도어(40)를 전,후 구동하여 상기 로드락 카세트(42)에 구비되는 다수개의 웨이퍼 암(42a)을 상기 푸프(30)에 적재되어있는 웨이퍼(W)와 대응시킨다.
도 6a 내지 도 6b는 상기 웨이퍼 암과 상기 웨이퍼를 대응시켜 상기 웨이퍼 암으로 상기 웨이퍼를 일괄적으로 이송시키는 것을 설명하기 위한 도면이다.
도 6a를 참조하면, 상기 로드락 도어(40)에 지지되어 있는 상기 웨이퍼 암(42a)이 상기 푸프(30)에 적재되어있는 웨이퍼(W)들 간의 사이의 공간으로 삽입하도록 상기 로드락 도어(40)를 구동시킨다.
상기 웨이퍼 암(42a)은 상기 푸프(30)에 적재되어있는 웨이퍼(W)들의 사이 공간으로 정확히 삽입되도록 상기 웨이퍼 암(42a)의 간격이 설정된다. 즉, 상기 로드락 카세트(42)에 구비되어 상기 푸프(30)에 적재된 웨이퍼(W)들의 사이의 공간으로 삽입되는 웨이퍼 암(42a)은, 상기 푸프(30)에 적재된 웨이퍼(W)들과 접촉되지 않도록 상기 푸프(30)에 적재되어있는 웨이퍼(W)들 간의 사이의 공간에 비해 작은 두께를 가지고 구성된다. 그리고 상기 로드락 카세트(42)에 구비되는 다수개의 웨이퍼 암(42a)은 상기 푸프(30)에 적재되어있는 웨이퍼(W)들 사이의 공간으로 삽입할 때 상기 웨이퍼(W)들 사이의 중심으로 삽입되어지도록 소정의 간격을 가지면서 배치한다. 또한 상기 웨이퍼 암(42a)은 상기 푸프(30)에 최대로 적재되는 웨이퍼(W)의 개수와 동일한 개수만큼 구비된다. 또한 상기 로드락 도어(40)에 지지된 웨이퍼 암(42a)과 상기 웨이퍼(W)를 대응시킬 때, 상기 로드락 도어(40)에서 연장되는 상기 연결부(58)는 상기 로딩부(34)와 충돌하지 않도록 구비된다.
도 6b를 참조하면, 상기 로드락 카세트(42)에 구비된 다수개의 웨이퍼 암(42a)이 푸프(30)에 적재되어있는 상기 웨이퍼(W)들의 사이 공간에 삽입된 다음, 상기 로더(34a)의 하부에 연결된 제3 구동부(34b)에 의해 상기 로더(34a)를 소정의 간격만큼 하강하여 상기 다수개의 웨이퍼 암(42a)의 상부에 상기 푸프(30)에 적재되어있는 웨이퍼(W)의 이면과 접촉시킨다. 그러면, 상기 다수개의 웨이퍼 암(42a)의 상부에 상기 푸프(30)에 적재된 웨이퍼(W) 전체가 놓여지게 된다.
상기 로딩부(34)에 구비되는 제3 구동부(34b)를 사용하지 않고, 상기 로드락 도어(40)를 상하 구동시키는 구동부를 상기 로드락 도어(40)에 연결시켜 상기 로드락 도어(40)를 상승 구동함으로서 상기 다수개의 웨이퍼 암(42a)의 상부에 상기 푸프(30)에 적재된 웨이퍼(W)전체가 놓여지도록 구성할 수도 있다.
상기 로드락 카세트(42)에 구비된 다수개의 웨이퍼 암(42a)의 상부에 상기 푸프(30)에 적재된 웨이퍼(W) 전체가 놓여지면, 상기 로드락 도어(40)를 전,후 및 회전 구동시켜 상기 로드락 챔버(38)로 이동함으로서 상기 푸프(30)에 적재된 웨이퍼(W)는 상기 로드락 챔버(38)내로 이송된다.
상기 로드락 도어(40)에 의해 상기 로드락 챔버(38)가 닫히면, 상기 연결부(58)와 상기 로드락 챔버(38)의 내부에 구비되는 구동축(54)이 연결된다. 상기 구동축(54)은 상기 구동축(54)에 연결된 제3 구동부(34b)에 의해 상하 구동하고, 이에 따라 상기 웨이퍼(W)가 지지되어 있는 로드락 카세트(42)가 상기 로드락챔버(38)내에서 상하 구동한다. 상기 로드락 카세트(42)에 지지되어 있는 소정의 웨이퍼(W)는 상기 메인 챔버(36)내에 구비된 로봇암(46)에 흡착되고, 상기 슬릿(slit, 44)을 통해 상기 메인 챔버(36)로 이송된다.
상기 설명한 바와 같이 상기 푸프(30)에 적재되어있는 웨이퍼(W)를 상기 로드락 챔버(38)의 내부에 구비되는 로드락 카세트(42)로 이송시킬 때, 상기 푸프(30)와 상기 로드락 카세트(42)사이에 상기 푸프(30)에 적재되어있는 웨이퍼(W)를 이송시키기 위한 별도의 부재가 필요하지 않다. 그리고 상기 웨이퍼 이송 장치를 수용하는 공간의 증가가 최소화할 수 있다. 또한 상기 푸프(30)에 적재되어진 웨이퍼(W)전체가 일괄적으로 상기 로드락 카세트(42)로 이송하게 되므로 작업시간을 단축시킬 수 있다.
실시예 2
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 케리어로부터 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송 장치를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 이송 장치는, 상기 푸프에 적재되어 있는 웨이퍼를 이동하여 상기 로드락 챔버에 구비되는 로드락 카세트로 이송시키는 장치이다. 이를 위하여, 상기 푸프를 이동시켜 상기 푸프에 적재되어진 웨이퍼와 상기 로드락 챔버에 구비되는 로드락 카세트와 대응함으로서 상기 푸프에 적재되어진 웨이퍼를 상기 로드락 챔버로 이송한다.
도 7를 참조하면, 다수매의 웨이퍼(W)가 적재되어있는 푸프(70)가 놓여지는로딩부(72)가 구비된다. 상기 로딩부(72)는, 상부에 푸프(70)가 놓여지기 위해 평평한 상부면을 갖는 로더(72b)와, 상기 로더(72b)와 결합되고, 상기 로더(72b)를 전,후 방향으로 구동하기 위한 경로가 되는 제1 레일(72a)과, 상기 로더(72b)와 연결되고, 상기 로더(72b)를 상기 제1 레일(72a)을 따라 전,후 구동시키는 제6 구동부(72c)가 구비된다. 그리고 상기 로더(72b)의 상부에서 직선으로 연장되도록 설치되고, 상기 푸프(70)를 상기 로더(72b)상에서 전,후 구동시키기 위한 제2 레일(72d)과, 상기 제2 레일(72d)과 연결되고, 상기 제2 레일(72d)을 구동시켜 상기 푸프(70)를 전,후 구동하는 제7 구동부(72e)로 구성된다.
따라서 상기 로딩부(72)는 상기 웨이퍼(W)가 적재되어 있는 푸프(70)를 상기 로더(72b)에 놓은 다음 상기 제6 구동부(72c) 및 제7 구동부(72e)를 구동하여 상기 푸프를 이동시킬 수 있다. 즉 상기 로딩부(72)는 상기 푸프(70)에 적재되어있는 웨이퍼(W)를 로드락 카세트(76)로 이동한다.
이를 구현하기 위해, 상기 로딩부(72)는 상기 로드락 챔버(74)를 개폐하는 로드락 도어(78)와 서로 대향하도록 일직선상에 구비한다. 구체적으로 설명하면, 상기 로더(72b)를 구동시키는 경로가 되는 제1 레일(72a)은, 상기 로드락 도어(78)의 외부면과 수직을 이루도록 직선으로 연장된다. 또한 상기 제1 레일(72a)의 단부는 상기 로드락 도어(78)와 인접하도록 연장된다. 따라서 상기 로더(72b)의 상부에 놓여있는 상기 푸프(70)는 상기 로더(72b)를 전, 후 구동함에 따라 상기 로드락 챔버(74)로 이동할 수 있다.
상기 제1 레일(72a)과 결합되는 상기 로더(72b)는, 상기 제1 레일(72a)의 상부에서 상기 로드락 챔버(74)방향으로 향하도록 절곡되어 수평으로 연장되는 구성을 가진다. 따라서 상기 제6 구동부(72c)에 의해 상기 로더(72b)를 상기 로드락 챔버(74)가 구비되어 있는 전방으로 구동시키면, 상기 로더(72b)의 상부에 놓여지는 상기 푸프(70)는 상기 로더(72b)와 함께 상기 로드락 챔버(74)의 내부로 이동하게 된다. 상기 로드락 챔버(74)는 상기 푸프(70)가 충돌 없이 상기 로드락 챔버(74)의 내부로 이동하도록 상기 푸프(70)를 수용할 수 있는 용적을 구비한다.
상기 제2 레일(72d)과 연결되는 제7 구동부(72e)는 상기 제6 구동부(72c)에 비해 미세하게 전,후 구동을 수행하도록 구비한다. 상기 제7 구동부(72e)를 구동하면, 상기 로더(72b)에 놓여있는 푸프(70)는 상기 로더(72b)상에 구비된 제2 레일(72d)을 따라 미세하게 전,후 구동을 수행할 수 있다.
상기 로더(72d)의 상부와 이격되도록 설치되고, 상기 푸프(70)에 구비되는 푸프 도어(70a)를 개방시키거나 밀폐시키기 위한 푸프 오프너(80)가 구비된다. 상기 로딩부(72)를 구성하는 부재들이 전,후 구동을 수행하기 때문에, 상기 푸프(70)에 적재되어 있는 웨이퍼(W)를 외부에 노출하기 위해 푸프 도어(70a)를 개방시키는 푸프 오프너(80)는 상기 로딩부(72)를 구성하는 부재들과 충돌하지 않도록 상기 로더(72b)의 상부와 이격되는 위치에 설치된다.
상기 푸프 오프너(80)는, 상기 푸프 도어(70a)와 접촉하여 상기 푸프(70)에서 상기 푸프 도어(70a)를 탈착시키고, 상기 탈착된 푸프 도어(70a)를 지지하는 탈착부(80a)가 구비된다. 그리고 상기 탈착부(80a)를 포함하는 푸프 오프너(80)를 상하 구동시키는 구동부(도시안됨)를 포함한다.
상기 푸프 오프너(80)를 사용하여 상기 푸프(70)의 상부에 구비된 상기 푸프 도어(78)를 탈착하고, 상기 푸프 오프너(80)의 탈착부(80a)에 부착한다. 그리고 상기 푸프 도어(70a)가 부착되어 있는 푸프 오프너(80)를 구동부(도시안됨)에 의해 상 하 구동시킨다. 그러므로 상기 푸프(70)의 상부에 구비된 푸프 도어(70a)가 개방되고 상기 푸프(70)에 적재되어진 웨이퍼(W)는 외부에 노출된다.
상기 푸프(70)에 적재되어진 웨이퍼(W)가 이송되어야 할 로드락 챔버(74)의 일측면에는 상기 로드락 챔버(74)를 개폐시키기 위한 로드락 도어(78)가 설치된다. 상기 로드락 챔버(74)를 개폐하기 위한 로드락 도어(78)와 연결되고, 상기 로드락 도어(78)를 상,하 방향으로 구동시키기 위한 제5 구동부(82)를 구비한다. 상기 로드락 도어(78)가 상,하 방향으로 구동하여 상기 로드락 챔버(74)를 개폐하기 때문에 상기 로드락 도어(78)와 일직선으로 대향하여 구비되는 로딩부(72)와 충돌하지 않고 개폐를 수행할 수 있다.
상기 로드락 챔버(74)의 내부에 구비되고, 상기 웨이퍼(W)를 지지하기 위한 로드락 카세트(76)가 설치된다. 상기 로드락 챔버(74)내에 구비되는 로드락 카세트(76)는, 상기 푸프(70)에 적재되어있는 웨이퍼(W)와 대응하도록 설치되고, 웨이퍼(W)의 이면을 지지하는 다수개의 웨이퍼 암(76a)을 구비한다. 그리고 상기 웨이퍼 암(76a)을 지지하기 위한 지지대(76b)및 상기 지지대(76b)가 놓여지는 지지판(76c)을 구비한다. 따라서 상기 지지대(76b)로 부터 수평으로 연장되는 상기 웨이퍼 암(76a)에 상기 웨이퍼(W)의 이면이 놓여서 상기 웨이퍼(W)를 지지한다.
또한 상기 로드락 도어(78)와 대향되는 측면에는 상기 공정이 수행되는 메인챔버(84)와 상기 로드락 챔버(74)가 통하도록 개폐하는 슬릿(slit, 86)이 구비되고, 상기 메인 챔버(84)의 내부에 구비되고, 상기 슬릿(86)을 통해 상기 메인 챔버(84)로 상기 로드락 카세트(76)에 지지된 웨이퍼(W)를 이송시키기 위한 로봇암(88)이 구비된다.
도 8은 도 7에 도시한 이송 장치에서 상기 로드락 카세트를 상세하게 설명하기 위한 도면이다.
도 8를 참조하면, 상기 로드락 카세트(76)는 로드락 챔버(74)의 저부에 수평 방향으로 지지판(76c)이 구비된다. 상기 지지판(76c)의 상부면에 부착되고, 상기 로드락 도어(78)와 평행하도록 기둥 형상으로 구성되는 한 쌍의 지지대(76b)가 구비된다. 상기 지지판(76c)의 상부에 설치되는 한 쌍의 지지대(76b)간의 이격 거리(76d)는 상기 푸프(70)로부터 이송되는 웨이퍼(W)의 최대 지름보다 넓도록 설치된다. 그리고 상기 한 쌍의 지지대(76b)에서 각각 같은 높이에서 상기 로드락 도어 방향으로 수평 연장되고, 상기 웨이퍼(W)를 지지하기 위한 한 쌍의 웨이퍼 암(76a)이 대수개가 구비된다. 상기 한 쌍의 웨이퍼 암(76a)에 하나의 웨이퍼(W)가 놓여져진다. 상기 한 쌍의 웨이퍼 암(76a)에 웨이퍼가 놓여지기 위해, 상기 지지대(76b)로부터 소정의 각을 가지면서 수평 연장되어 상기 한 쌍의 웨이퍼 암(76a) 간의 간격이 좁아지도록 구비한다. 그리고 상기 웨이퍼 암(76a)간의 간격이 상기 웨이퍼(W)가 놓여지도록 좁아진 지점에서 상기 한 쌍의 웨이퍼 암(76a)이 서로 평행하도록 절곡된다. 상기 한 쌍의 지지대(76b)의 간격이 상기 웨이퍼(W)의 최대 지름보다 넓도록 구비되기 때문에, 상기 웨이퍼 암(76a)이 상기 로드락도어(78) 방향으로 평행하게 연장되면, 상기 웨이퍼 암(76a)에 상기 웨이퍼(W)가 놓여지지 않기 때문에 상기와 같이 소정의 각을 가지면서 연장하다가 절곡되는 구성을 가진다.
상기 한 쌍의 지지대(76b)의 각각 같은 높이에서 수평 방향으로 연장되는 한 쌍의 웨이퍼 암(76a)은 하나의 웨이퍼(W)를 지지한다. 그러므로 상기 지지대(76b)에서 지지되는 상기 한 쌍의 웨이퍼 암(76a)은 상기 푸프(70)에 최대로 적재되어지는 웨이퍼(W)의 개수만큼 구비하여 일괄적인 이송이 가능하도록 구성된다. 또한 상기 다수개의 웨이퍼 암(76a)은 상기 푸프(70)에 놓여진 웨이퍼(W)들 사이의 공간에 충돌없이 삽입하도록 간격을 배치한다.
상기 로드락 카세트(76)에 포함되는 지지판(76c)의 하부와 연결되어 상기 지지판(76c)을 구동하기 위한 구동축(90)이 구비된다. 그리고 상기 구동축(90)과 연결되고, 상기 구동축(90)을 상,하 구동시키는 제8 구동부(92)를 구비한다. 따라서 상기 제8 구동부(92)에 의해 구동축을 상,하 구동하고, 상기 지지판(76c)을 상승시킴으로서, 상기 로드락 카세트(76)를 상기 로드락 챔버(74)내에서 상,하 구동한다.
도 9는 도7에 도시한 이송 장치에서 상기 로드락 카세트에 포함되는 웨이퍼 암을 설명하기 위한 측면도이다.
도 9를 참조하면, 상기 웨이퍼 암(76a)은 상기 웨이퍼(W)의 최대 지름보다 길도록 구성된다. 그리고 상기 웨이퍼 암(76a)에서 상기 웨이퍼(W)의 이면과 접촉되는 부분은 제3 홈(76e)으로 구성되어 있다. 상기 제3 홈(76e)은 입구의 간격이 저면의 간격보다 크도록 형성되고, 이를 위해 상기 제3 홈(76e)의 저면과 상기 제3홈(76e)의 측면은 소정의 경사각을 갖도록 구성된다.
따라서 상기 웨이퍼 암(76a)에 의해 상기 웨이퍼(W)의 주연 부분까지 지지되므로, 더욱 안정적으로 상기 웨이퍼(W)를 지지할 수 있다. 또한 상기 웨이퍼(W)의 이면은 상기 웨이퍼 암(76a)에 구비된 제3 홈(76e)에 삽입되는 형태로 지지되므로, 상기 웨이퍼(W)가 상기 웨이퍼 암(76a)에서 미끄러지거나 위치가 변경되는 것을 최소화한다. 그리고 상기 제3 홈(76e)의 측면은 소정의 경사각을 갖도록 구성함으로서, 상기 웨이퍼(W)의 이면을 더욱 정확하게 상기 제3 홈(76e)의 상부에 놓을 수 있다.
도 10a 내지 도 10d는 도7에 도시한 웨이퍼 이송 장치를 사용하여 웨이퍼를 이송하는 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 10a 내지 도 10d를 참조하여 설명하면, 상기 로더(72b)의 상부에 상기 푸프(70)를 놓는다. 상기 푸프(70)는 상기 푸프(70)에 적재되어진 웨이퍼(W)가 수평 방향으로 놓여진다. 상기 로더(72b)에 놓인 상기 푸프(70)는 상기 푸프 오프너(80)를 사용하여 상기 푸프 도어(70a)를 개방시켜 상기 푸프(70)의 내부에 적재되어있는 웨이퍼(W)를 외부와 노출시킨다. 그리고 상기 로드락 챔버(74)는 상기 로드락 챔버(74)에 구비된 로드락 도어(78)를 상승 또는 하강 구동을 수행하여 개방한다.
상기 푸프 도어(70a)가 개방되어 상기 푸프(70)에 적재되어있는 웨이퍼(W)가 외부와 노출되어 있는 푸프(70)를 상기 로드락 챔버(74)의 내부의 상기 로드락 카세트(76)와 대응하도록 이동시킨다.(도 10a) 즉, 내부에 구비된 슬릿(slot, 70b)에 의해 다수매의 웨이퍼(W)가 적재되어있는 푸프(70)는 상기 로드락 챔버(74)의 내부로 이동되고, 상기 로드락 카세트(76)에 구비된 상기 다수개의 웨이퍼 암(76a)의 사이 공간으로 상기 푸프(70)에 적재되어있는 웨이퍼(W)들이 삽입된다.
이를 수행하기 위해, 상기 제6 구동부(72c)를 구동하여 상기 로더(72b)를 전,후 구동한다. 상기 로더(72b)는 상기 제1 레일(72a)의 상부에서 상기 로드락 도어(78) 방향으로 절곡되는 구성을 가지므로, 상기 로더(72b)를 상기 제1 레일(72a)상에서 구동시키면, 상기 로더(72b)는 상기 로드락 챔버(74)의 내부로 삽입된다. 상기 로더(72b)의 상부에 놓여진 푸프(70)는, 상기 로더(72b)가 상기 로드락 챔버(74)의 내부로 완전히 삽입되었을 때, 상기 로드락 챔버(74)내부에 구비된 상기 웨이퍼 암(76a)에 인접한 위치까지 이동한다.
상기 로더(72b)가 상기 로드락 챔버(74)의 내부로 완전히 삽입되면, 상기 제7 구동부(72e)를 구동시켜 상기 푸프(70)를 상기 로더(72b)에 놓은 상태에서 상기 로드락 카세트(76)와 대응하도록 구동한다. 상기 로더(72b)에 놓여진 상기 푸프(70)의 이송은 상기 로더(72b)의 이송에 비해 느린 속도로 미세하게 이루어진다.
상기 로더(72b)를 먼저 이송시킨 다음 상기 푸프(70)를 상기 로더(72b)상에서 미세하게 이송하면, 상기 웨이퍼(W)가 놓여지기 위한 한 쌍의 웨이퍼 암(76a)의 사이 공간으로 상기 푸프(70)에 적재되어있는 웨이퍼(W)가 정확하게 삽입된다. 상기 푸프(70)를 상기 로드락 카세트(76)로 이송할 때 두 번에 나누어 이동시킴으로서, 상기 푸프(70)에 적재되어있는 웨이퍼(W)가 정확한 위치로 이동할 뿐 아니라 상기 이동에 소요되는 시간이 감소된다.
상기 푸프(70)에 적재되어있는 다수매의 웨이퍼(W)가 상기 웨이퍼 암(76a)의 사이 공간으로 삽입된 다음, 상기 웨이퍼 암(76a)의 상부에 상기 웨이퍼(W)의 이면이 지지될 때까지 상기 제8 구동부(92)를 구동하여 상기 지지판(76c)을 상승시킨다. 상기 웨이퍼(W)의 이면이 상기 웨이퍼 암(76a)의 상부에 지지되면, 상기 푸프(70)는 상기 제 6구동부(72c)와 상기 제7 구동부(72e)를 구동시켜 상기 로더(72b)를 상기 로드락 챔버(74)의 외부로 이동한다.(도 10b)
그러면 상기 로드락 카세트(76)를 구성하는 상기 웨이퍼 암(76a)이 상기 푸프(70)에 적재되어진 웨이퍼(W)를 지지하게 되고, 이에 따라 상기 푸프(70)에 적재되어진 다수매의 웨이퍼(W)가 상기 로드락 카세트(76)에 일괄적으로 이송된다.
상기 로드락 카세트(76)로 상기 웨이퍼(W)가 이송되면 상기 로드락 도어(78)를 폐쇄하고 상기 로드락 챔버(74)를 진공 분위기가 되도록 한다. 그리고 상기 로드락 카세트(76)에 지지되어 있는 웨이퍼(W)가 진공 분위기에 노출되면, 상기 웨이퍼(W)는 반도체 제조 공정을 수행하기 위한 메인 챔버(84)로 이송된다.
상기 로드락 카세트는, 상기 웨이퍼 암(76a)에 의해 지지되어 있는 복수개의 웨이퍼(W)들 중에서 상기 메인 챔버(84)에서 공정이 수행되어야 하는 소정의 웨이퍼(W)를 상기 메인 챔버(84)로 이송하기 위해 상기 제8 구동부(92)를 구동하여 상기 로드락 챔버(74)내에서 상하 구동을 수행한다.
상기 메인 챔버(84)에 구비된 로봇암(88)은 상기 웨이퍼 암(76a)에 지지된 웨이퍼(W)의 이면을 흡착한다. 상기 로봇암(88)은 상기 웨이퍼 암(76a)에 의해 상기 웨이퍼(W)의 이면이 접촉되지 않는 부분으로 삽입되고, 상기 웨이퍼(W)의 이면을 흡착한다.(도 10c)
상기 로봇암(88)의 상부에 상기 웨이퍼(W)의 이면을 흡착한 다음, 상기 로봇암(88)을 수평 구동하여 상기 슬릿(slit, 86)을 통해 상기 웨이퍼(W)를 상기 메인 챔버(84)로 이송한다.(도 10d) 이 때 상기 한 쌍의 지지대(76b)간의 간격이 상기 웨이퍼(W)의 최대 지름보다 넓도록 구비되어 있으므로 상기 지지대(76b)와 충돌하지 않으면서 상기 웨이퍼 암(76a)에 지지된 웨이퍼(W)를 이송시킬 수 있다. 따라서 상기 로드락 카세트(76)로 이송되어 상기 웨이퍼 암(76a)에 지지된 웨이퍼(W)를 상기 메인 챔버(84)로 이송할 때 회전 구동 등이 요구되지 않는다.
상기 제2 실시예에 의한 웨이퍼 이송 장치는, 상기 푸프에 적재되어있는 웨이퍼를 상기 로드락 챔버의 내부에 구비되는 로드락 카세트로 이송시킬 때 상기 푸프와 상기 로드락 카세트 사이에 상기 푸프에 적재되어있는 웨이퍼를 이송시키기 위한 별도의 부재가 필요하지 않다. 그리고 상기 웨이퍼의 이송 장치를 수용하는 공간의 증가가 최소화 할 수 있다. 또한 상기 푸프에 적재되어진 웨이퍼 전체가 일괄적으로 상기 로드락 카세트로 이송하게 되므로 작업시간을 단축시킬 수 있다.
실시예 3
도 11a, 11b 및 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 웨이퍼 케리어로부터 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송 장치를 설명하기 위한 구성도이다.
본 발명의 제3 실시예에 따른 이송 장치는, 제2 실시예와 마찬가지로 상기 푸프에 적재되어 있는 웨이퍼를 이동하여 상기 로드락 챔버에 구비되는 로드락 카세트로 이송시키는 장치이다. 이를 위하여, 상기 푸프를 이동시켜 상기 푸프에 적재되어진 웨이퍼와 상기 로드락 챔버에 구비되는 로드락 카세트와 대응함으로서 상기 푸프에 적재되어진 웨이퍼를 상기 로드락 챔버로 이송한다.
도 11a 내지 도 11b는 서로 연결되는 도면으로서, 푸프 도어를 열고 푸프 커버 내로 인입될 때의 이송장치를 나타낸다. 그리고 도 12는 푸프 커버에 의해 둘러싸여진 푸프가 로드락 챔버 내로 이동하여 웨이퍼를 이송될 때의 이송장치를 나타낸다.
도 11a, 11b 및 도 12를 참조하면, 푸프가 놓여지는 로딩부(102)가 구비된다. 상기 로딩부(102)는, 상부에 푸프(100)가 놓여지는 로더(102b)와, 상기 로더(102b)와 결합되고, 상기 로더를 전,후 방향으로 구동하기 위한 경로가 되는 제3 레일(102a)과, 상기 제3 레일(102a)을 따라 상기 로더(102b)를 전후 구동시키는 제9 구동부(102c)가 구비된다. 그리고, 상기 로더(102b)의 상부면에서 직선으로 연장되도록 설치되고, 상기 푸프(100)를 상기 로더(102b)상에서 전,후 방향으로 구동시키기 위한 경로가 되는 제4 레일(102d)과, 상기 제4 레일(102d)을 구동시켜 상기 푸프(100)를 상기 로더(102b)의 상부면에서 전,후 구동시키는 제10 구동부(102e)가 구비된다. 그리고 상기 로더(102b)에서 상기 이송되는 로드락 카세트(106)로 향하는 쪽의 단부에는 푸프 커버(102f, FOUP COVER)를 구비한다.
상기 푸프 커버(102f)는 상기 로더(102b)에 고정적으로 설치되어 있어서, 상기 제10 구동부(102e)에 의해서 상기 로더(102b)의 상부면에서 전,후 구동되지 않는다. 상기 푸프 커버(102f)는 상기 푸프(100)를 수용할 수 있는 내부 공간을 갖고, 전면과 배면은 개방되어 있다. 또한 상기 푸프 커버(102f)는 상기 커버(102f)내로 상기 푸프(100)가 정위치까지 인입하도록 상기 커버(102f)의 전면의 각 모서리에 상기 커버(102f)의 내부로 향하는 돌출부를 구비한다.
따라서 상기 푸프 커버(102f)의 돌출부와 상기 푸프(100) 전면의 모서리가 접촉하도록 상기 푸프(100)는 상기 로더(102b)의 상부면에서 구동하고, 이에 따라 상기 푸프(100)와 상기 로드락 챔버(104)내부는 접촉되지 않는다. 또한 상기 푸프(100)가 상기 푸프 커버(102f)에 의해 둘러싸여 있으므로 상기 푸프(100)의 외부면에서 발생되는 파티클이 상기 로드락 챔버(104)내를 오염시키지 않는다.
상기 로더(102b)의 상부면과 이격되도록 설치되고, 상기 푸프(100)에 구비되는 푸프 도어(100a)를 개방하거나 밀폐하기 위한 푸프 오프너(110)를 구비한다. 상기 푸프 오프너(110)는 상기 로더(102b)에 놓여진 푸프(100)는 푸프 도어(100a)가 열려진 상태로 상기 푸프 커버(102f)내로 인입되어야 하기 때문에, 상기 푸프 커버(102f)에서 상기 푸프(100)가 인입되는 부분과 대향하는 위치에 구비된다.
따라서 상기 로더(102b)에 놓여진 푸프(100)는 상기 푸프 오프너(110)에 의해 푸프 도어(100a)가 개방되고, 제10 구동부(102e)를 구동하여 상기 푸프(100)를 상기 로더(102b)의 상부면에서 이동시켜 상기 푸프 커버(102f)내로 인입한다. 상기 푸프(100)와 상기 푸프 커버(102f)의 돌출부가 접촉되면, 상기 제9 구동부(102c)에 의해 상기 로더(102b)자체를 상기 로드락 챔버(104)로 이동함으로서 상기 푸프 커버(102f)에 의해 둘러싸여 있는 푸프(100)는 상기 로드락 챔버(104)내로 이송된다.
상기 푸프(100)에 적재되어 있는 웨이퍼(W)가 이송되는 로드락 챔버(104)는상기 푸프 커버(102f)에 둘러싸여 있는 상기 푸프(100)가 충돌없이 인입할 수 있는 용적을 갖는다. 상기 로드락 챔버(104)의 전면에 상기 로드락 챔버(104)를 개폐하기 위한 로드락 도어(108)가 구비된다. 상기 로드락 도어(108)는 제2 실시예에서와 같이 상,하 방향 구동하여 상기 로드락 챔버(104)의 전면을 개폐한다.
상기 로드락 챔버(104) 내부에 구비되고, 상기 웨이퍼(W)를 지지하기 위한 로드락 카세트(106)가 설치된다. 상기 로드락 카세트(106)는 제2 실시예에서 설명한 바와 같이, 로드락 챔버(104)의 저부에 수평 방향으로 구비되는 지지판(106c)과, 상기 지지판(106c)의 상부면에 기둥 형상으로 형성되는 한쌍의 지지대(106b)와, 상기 지지대(106b)의 각각 같은 높이에서 수평 연장되는 웨이퍼 암(106a)이 구비된다. 상기 지지판(106c), 지지대(106b) 및 웨이퍼 암(106a)의 형상도 제2 실시예에서 설명한 바와 동일하다. 그리고 상기 지지판(106c)의 하부와 연결되어 상기 지지판(106c)을 구동하기 위한 구동축(120)이 구비되고, 상기 구동축(120)과 연결되어 상기 지지판(106c)을 상기 로드락 챔버(104)의 내부에서 상하 구동시키는 제11 구동부(122)를 구비한다. 상기 제11 구동부(122)는 상기 푸프(100)에 놓인 웨이퍼(W)가 상기 웨이퍼 암(106a)과 대응하도록 이동하면, 상하 구동을 통해 일괄적으로 상기 웨이퍼(W)를 상기 웨이퍼 암(106a)에 놓여지도록 하는 역할을 한다.
상기 로드락 도어(108)와 대향하는 상기 로드락 챔버(104)의 배면에는 공정이 수행되는 메인 챔버(114)로 웨이퍼(W)를 이동하기 위해 상기 로드락 챔버(104)를 개폐하는 슬릿(slit, 116)이 구비된다.
구체적으로, 상기 로드락 카세트(106)가 상기 로드락 챔버(104)내에서 상,하구동을 수행하지 않고도 상기 로드락 카세트(106)에 지지되어 있는 웨이퍼(W)를 상기 공정이 수행되는 메인 챔버(114)내로 인입할 수 있도록 소정의 높이와 넓이를 갖는 슬릿(116)이 구비되고, 슬릿 도어(116a)를 상하로 구동하여 상기 로드락 챔버(104)와 메인 챔버(114)를 개방하거나 폐쇄한다.
메인 챔버(114)의 내부에는 상기 슬릿(116)을 통해 상기 로드락 카세트(106)에 지지되어 있는 웨이퍼(W)를 이송하기 위한 로봇암(118)이 구비된다. 상기 로봇암(118)은 웨이퍼(W)를 흡착하는 파지부(118a)와, 상기 파지부(118a)와 연결되고, 상기 파지부(118a)를 전,후, 회전 및 수직 구동하는 제12 구동부(118b) 및 상기 구동부(118b)의 일측에 구비되고 상기 로드락 카세트(106)에 지지되어 있는 웨이퍼(W)를 센싱하는 센서(118c)를 더 포함한다.
따라서 상기 로봇암(118)에 구비된 센서(118c)에 의해 상기 로드락 카세트(106)에 지지되어 있는 웨이퍼(W)중에서 공정을 수행할 소정의 웨이퍼(W)를 센싱하고, 상기 제12 구동부(118b)를 구동하여 상기 파지부(118b)에 상기 소정의 웨이퍼를 흡착시켜 메인 챔버(114)로 이송시킨다.
즉, 상기 공정을 수행할 소정의 웨이퍼(W)를 이송시키기 위해 상기 로드락 챔버(104)내에서 상기 로드락 카세트(106)를 상,하 구동하지 않기 때문에, 상기에서 설명한 바와 같이 상기 로드락 챔버(104)는 상기 푸프 커버(102f)에 둘러싸여 있는 상기 푸프(100)가 충돌없이 인입할 수 있는 용적만이 요구된다.
상기 설명한 본 발명의 제3 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치를 사용하는 방법을 설명한다.
로더(102b)의 상부에 웨이퍼(W)가 적재되어 있는 푸프(100)를 놓는다. 상기 로더(102b)에 놓인 상기 푸프(100)는 푸프 오프너(110)를 사용하여 푸프 도어(100a)를 개방시킨다. 그리고 상기 로드락 챔버(104)에 구비된 로드락 도어(108)는 상승 또는 하강 구동을 수행하여 상기 로드락 챔버(104)를 개방한다.
상기 푸프 도어(100a)가 개방된 푸프(100)는 제10 구동부(102e)에 의해 상기 제4 레일(102d)을 이동함으로서 상기 푸프 커버(102f)내로 인입한다. 이 때 상기 푸프(100)는 상기 푸프 커버(102f)에 형성된 돌출부와 접촉할 때까지 상기 푸프 커버(102f)내로 인입한다.
상기 푸프 커버(102f)로 둘러싸여진 상기 푸프(100)는 상기 제9 구동부(102c)에 의해 상기 로더(102b)를 이동함으로서 상기 로드락 챔버(104)의 내부의 상기 로드락 카세트(106)와 대응한다. 그리고 상기 로드락 카세트(106)를 상승 또는 하강하여 상기 푸프(100)에 적재된 웨이퍼(W)를 일괄적으로 상기 로드락 카세트(106)의 웨이퍼 암(106a)에 안착시킨다. 상기 웨이퍼(W)의 이면이 상기 웨이퍼 암(106a)의 상부에 지지되면, 상기 로더(102b)를 구동시켜 상기 푸프 커버(102f)에 둘러싸여진 푸프(100)를 상기 로드락 챔버(104)의 외부로 이동한다.
상기 로드락 카세트(106)로 상기 웨이퍼(W)가 이송되면 상기 로드락 도어(108)를 폐쇄하고, 상기 로드락 챔버(104)내를 진공 분위기가 되도록 한다. 그리고 상기 로드락 카세트(106)에 지지되어 있는 웨이퍼(W)가 진공 분위기에 노출되면, 상기 웨이퍼(W)는 반도체 제조 공정을 수행하기 위한 메인 챔버(114)로 이송된다.
구체적으로, 로드락 챔버(104)가 진공 분위기에 노출되면, 슬릿 도어(116a)를 하강 구동하여 상기 로드락 챔버의 배면에 구비되는 슬릿(116)을 개방한다. 그리고 로봇암(118)에 구비되는 센서(118c)에 의해 상기 웨이퍼 암(106a)에 의해 지지되어 있는 복수개의 웨이퍼(W)들 중에서 상기 메인 챔버(114)에서 공정이 수행되어야 하는 소정의 웨이퍼(W)를 센싱한다. 그리고 상기 웨이퍼(W)를 파지하는 파지부(118a)를 상,하 구동시켜 상기 소정의 웨이퍼(W)를 파지하고, 상기 슬릿(116)을 통해 상기 웨이퍼(W)를 상기 메인 챔버(114)로 이송한다.
따라서 상기 제3 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치는, 상기 로드락 챔버의 용적을 감소할 수 있다. 또한 푸프 커버를 사용하여 상기 푸프의 외부면에서 발생하는 파티클이 로드락 챔버 내를 오염시키지 않는다.
본 발명에 의하면, 상기 푸프에 담긴 웨이퍼를 로드락 챔버로 이송하는 이송 장치는, 상기 푸프 또는 상기 로드락 챔버에 구비되는 로드락 카세트를 이동시켜 구현할 수 있다. 따라서 상기 웨이퍼 이송 장치를 설치하는데 소요되는 공간을 최소화하고, 상기 푸프에 적재된 웨이퍼를 일괄적으로 이송하므로 작업 시간을 단축할 수 있다. 그러므로 반도체 장치의 생산성이 향상되는 효과가 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (23)

  1. 다수의 웨이퍼가 적재된 푸프(FOUP)에서 상기 웨이퍼를 외부에 노출하기 위한 개방 수단;
    상기 다수의 웨이퍼를 지지하기 위한 로드락 카세트가 포함된 로드락 챔버를 외부로 개폐하는 개폐 수단;
    상기 푸프에 적재된 웨이퍼와 상기 로드락 카세트가 서로 대응하도록 위치시키는 이동 수단; 및
    상기 웨이퍼를 상기 로드락 카세트로 안착시키는 제1 구동 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 로드락 카세트는 상기 로드락 챔버의 내부로 수평 방향으로 연장되는 다수개의 웨이퍼 암을 구비하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 로드락 카세트에 구비되는 다수개의 웨이퍼 암의 각각의 두께는 상기 푸프에 적재된 웨이퍼들의 사이 공간의 거리보다 작은 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 로드락 카세트에 구비되는 다수개의 웨이퍼 암은, 상기 푸프에 적재된 웨이퍼들의 사이 공간의 중심으로 들어가도록 소정의 간격을 가지면서 배치되는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 개폐 수단은,
    상기 로드락 챔버의 일측면에 구비되고, 상기 로드락 챔버를 개폐하기 위한 로드락 도어; 및
    상기 로드락 도어와 연결되고, 상기 로드락 도어를 전 후로 수평 구동시키는 제1 구동부로 구성되는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 로드락 카세트는 상기 로드락 도어에 지지되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 이동 수단은,
    상기 로드락 도어와 연결되고, 상기 로드락 도어에 지지되는 로드락 카세트를 상기 푸프로 향하도록 회전시키기 위한 회전부; 및
    상기 로드락 카세트를 상기 푸프에 적재되어진 웨이퍼와 대응하도록 이동시키는 이송부로 구성되는 제2 구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 제1 구동 수단은,
    챔버의 외부에 설치되고, 웨이퍼가 적재된 푸프가 놓여지는 로더; 및
    상기 로더를 상,하 방향으로 수직 구동시켜 상기 웨이퍼를 로드락 카세트에 안착하기 위한 제3 구동부로 구성하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 제1 구동 수단에서 상기 로더는 상기 로드락 챔버에 구비되는 상기 로드락 도어의 전면으로부터 130 내지 140°의 각을 갖도록 배치하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 로드락 카세트는 상기 로드락 챔버 내에서 상하 구동을 수행하기 위한 제2 구동 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 제2 구동 수단은,
    상기 로드락 도어에서 상기 로드락 챔버의 내부로 향하는 면에 구비되는 레일;
    상기 로드락 챔버내의 하부에 설치되는 구동축;
    상기 구동축과 연결되고, 상기 구동축을 상기 로드락 챔버 내에서 상하 구동시키기 위한 제4 구동부; 및
    상기 레일에서 상기 로드락 챔버의 내부로 향하도록 연장되고, 측면에 상기 구동축이 삽입되는 제1 홈을 구비하고, 상기 구동축과 상기 레일을 연결하는 연결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  12. 제 10항에 있어서, 상기 제2 구동 수단은,
    상기 로드락 도어에서 상기 로드락 챔버의 내부로 향하는 면에 구비되는 레일;
    상기 로드락 챔버내의 하부에 설치되고, 상기 로드락 도어로 향하는 측면에 제2 홈을 구비하는 구동축;
    상기 구동축과 연결되고, 상기 구동축을 상기 로드락 챔버 내에서 상하 구동시키기 위한 제4 구동부; 및
    상기 레일에서 상기 로드락 챔버의 내부로 향하도록 연장되고, 측면에 상기 구동축에 구비된 제2 홈에 삽입되는 연결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  13. 제 1항에 있어서, 상기 개폐 수단은,
    상기 로드락 챔버의 일측면에 구비되고, 상기 로드락 챔버를 개폐하기 위한로드락 도어;
    상기 로드락 도어와 연결되고, 상기 로드락 도어를 상하 구동하는 제5 구동부로 구성되는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  14. 제 1항에 있어서, 상기 이동 수단은,
    웨이퍼가 적재된 푸프가 놓여지는 로더;
    상기 로더와 결합되고, 상기 로더를 전 후 방향으로 구동하기 위한 경로가 되는 제1 레일;
    상기 로더와 연결되고, 상기 로더를 상기 제1 레일을 따라 수평 구동시키는 제6 구동부;
    상기 로더의 상부에서 직선으로 연장되도록 설치되고, 상기 로더에 놓여지는 푸프를 상기 로더상에서 구동하기 위한 경로가 되는 제2 레일;
    상기 제2 레일과 연결되고, 상기 제2 레일을 구동시켜 상기 푸프를 전,후 구동하는 제7 구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 제7 구동부는 상기 제6 구동부에 비해 수평 방향으로 미세하게 구동하도록 구성하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  16. 제 1항에 있어서, 상기 로드락 카세트는,
    상기 로드락 챔버 내에 수평 방향으로 놓여지는 지지판;
    상기 지지판의 상부 모서리 부분에 기둥 형상으로 세워지는 한 쌍의 지지대; 및
    상기 한 쌍의 지지대에서 각각 같은 높이에서 수평 방향으로 연장되고, 상기 웨이퍼의 이면을 지지할 수 있도록 한 쌍으로 구성되고, 상기 웨이퍼의 이면과 상기 웨이퍼 암이 접촉하는 부분에는 상기 웨이퍼를 고정시키기 위한 제3 홈을 구비하는 웨이퍼 암이 다수개가 설치되는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 지지판의 상부에 세위지는 한 쌍의 지지대는, 상기 지지대간의 이격거리가 상기 웨이퍼 암에 놓여지는 웨이퍼의 최대 지름보다 넓도록 구비하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  18. 제 16항에 있어서, 상기 웨이퍼를 지지하기 위한 한 쌍의 웨이퍼 암은, 상기 한 쌍의 지지대에서 수평 방향으로 소정각을 가지고 뻗어서 상기 웨이퍼 암 간의 간격을 좁히고, 웨이퍼를 지지할 수 있는 소정 간격으로 좁혀지는 지점에서 상기 웨이퍼 암이 서로 평행하게 절곡되는 구성을 갖는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  19. 제 18항에 있어서, 상기 웨이퍼를 지지하기 위한 웨이퍼 암의 길이는 상기 웨이퍼의 최대 지름보다 길도록 구성하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  20. 제 1항에 있어서, 상기 제1 구동 수단은, 상기 로드락 카세트에 포함되는 지지대의 하부와 연결되고, 상기 로드락 카세트를 상기 로드락 챔버 내에서 상하 구동하여 상기 푸프에 적재된 웨이퍼를 상기 로드락 카세트에 안착하기 위한 제8 구동부로 구성하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  21. 제 14항에 있어서, 상기 로더의 상부면과 이격되는 위치에 상기 푸프에 적재된 웨이퍼를 외부에 노출하기 위한 개방수단이 설치되는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  22. 제 14항에 있어서, 상기 로더에서 상기 로드락 챔버로 향하는 단부에 고정적으로 푸프를 둘러싸기 위한 푸프 커버를 설치하는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
  23. 제 22항에 있어서, 상기 푸프 커버는 상기 푸프를 수용하는 내부 공간을 갖고 전면과 배면이 개방되는 구성을 갖는 것을 특징으로 하는 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 장치.
KR1020010023765A 2001-02-19 2001-05-02 웨이퍼 캐리어에서 로드락 챔버로의 웨이퍼 이송 장치 KR20020067960A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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