KR20020058275A - Array Panel used for a Liquid Crystal Display Device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 액정표시장치용 어레이 기판에 대한 것으로, 좀 더 상세하게는 고개구율 구조의 액정표시장치용 어레이 기판에 대한 것이다.The present invention relates to an array substrate for a liquid crystal display device, and more particularly, to an array substrate for a liquid crystal display device having a high opening ratio structure.
액정표시장치의 구동원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용하는 것이다. 상기 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자의 배열에 방향성을 갖고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자배열의 방향을 제어할 수 있다.The driving principle of the liquid crystal display device is to use the optical anisotropy and polarization property of the liquid crystal. Since the liquid crystal is thin and long in structure, the liquid crystal has directivity in the arrangement of molecules, and the direction of the molecular arrangement can be controlled by artificially applying an electric field to the liquid crystal.
따라서, 액정의 분자배열 방향을 임의로 조절하면, 액정의 분자배열이 변하게 되고, 광학적 이방성에 의하여 상기 액정의 분자 배열 방향으로 빛이 굴절하여 화상정보를 표현할 수 있다.Therefore, if the molecular arrangement direction of the liquid crystal is arbitrarily adjusted, the molecular arrangement of the liquid crystal is changed, and light is refracted in the molecular arrangement direction of the liquid crystal due to optical anisotropy to express image information.
현재에는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor ; TFT)와 상기 박막 트랜지스터에 연결된 화소전극이 행렬방식으로 배열된 능동행렬 액정 표시장치(Active Matrix LCD : AM-LCD)가 해상도 및 동영상 구현능력이 우수하여 가장 주목받고 있다.Currently, active matrix LCDs (AM-LCDs) in which thin film transistors (TFTs) and pixel electrodes connected to the thin film transistors are arranged in a matrix manner have the highest resolution and moving picture performance. I am getting it.
이러한 액정표시장치를 구성하는 기본적인 부품인 액정패널의 구조를 살펴보면 다음과 같다.The structure of the liquid crystal panel, which is a basic component of the liquid crystal display, will be described below.
도 1은 일반적인 액정표시장치용 액정패널의 일부영역에 대한 단면을 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a cross section of a portion of a general liquid crystal panel for a liquid crystal display device.
도시한 바와 같이, 액정패널(20)은 서로 대향하며 일정간격 이격된 컬러필터 기판인 상부 기판(4) 및 어레이 기판인 하부 기판(2)과, 이 상부 기판(4) 및 하부기판(2) 사이에 충진된 액정층(10)으로 이루어진다.As shown in the figure, the liquid crystal panel 20 faces an upper substrate 4, which is a color filter substrate spaced apart from each other, and a lower substrate 2, which is an array substrate, and the upper substrate 4 and the lower substrate 2, which are spaced apart from each other. It consists of a liquid crystal layer 10 filled in between.
이 하부 기판(2) 상부에는 빛을 투과시키는 영역으로 액정층(10)에 전압을 인가하는 한쪽 전극역할을 하는 화소전극(14)이 형성되어 있는 투과부(P)과, 이 화소전극(14)에 전압을 온/오프(on/off)하는 박막 트랜지스터(T)부와, 상기 투과부(P)와 일정간격 이격되어, 상기 화소전극(14)에 신호전압을 인가하는 데이터 배선(16)을 포함하는 데이터 배선부(D)가 형성되어 있다.A transmissive portion P having a pixel electrode 14 serving as one electrode for applying a voltage to the liquid crystal layer 10 as an area for transmitting light on the lower substrate 2, and the pixel electrode 14. A thin film transistor (T) portion for turning on / off a voltage, and a data line (16) spaced apart from the transmission portion (P) at a predetermined interval to apply a signal voltage to the pixel electrode (14). The data wiring part D is formed.
이때, 이 데이터 배선(16)과 화소전극(14) 사이에는 기생용량(parasitic capacitance)이 크기 때문에, 이 데이터 배선(16)과 화소전극(14) 사이를 일정간격(G)으로 유지하지 않으면, 이 데이터 배선(16)의 신호전압의 변화에 따라 화소전극(14)에 충전된 보존용량에 영향을 주어 화질에 악영향을 끼치는 크로스 토크(cross-talk)가 발생될 수 있다.At this time, since the parasitic capacitance is large between the data line 16 and the pixel electrode 14, if the data line 16 and the pixel electrode 14 are not maintained at a constant interval G, As a result of the change in the signal voltage of the data line 16, a cross-talk may be generated which affects the storage capacitance charged in the pixel electrode 14 and adversely affects the image quality.
한편, 상기 상부 기판(4) 하부의 상기 박막 트랜지스터(T)부와 대응하는 위치에는 액정배열을 제어할 수 없는 부분의 빛을 차단하는 블랙 매트릭스(9)가 형성되어 있으며, 이 블랙 매트릭스(9)의 하부의 화소전극(14)과 대응하는 위치에는 색채 표현 및 빛을 선택 투과시키는 컬러필터(8)가 형성되어 있고, 이 컬러필터(8)의하부에는 상기 액정층(10)에 전압을 인가하는 다른 한쪽 전극역할을 하는 공통전극(12)이 형성되어 있다.On the other hand, a black matrix 9 is formed at a position corresponding to the thin film transistor T portion below the upper substrate 4 to block light at a portion where the liquid crystal array cannot be controlled. A color filter 8 is formed at a position corresponding to the pixel electrode 14 at the lower part of the C, and transmits a color expression and selectively transmits light. A voltage is applied to the liquid crystal layer 10 below the color filter 8. The common electrode 12 serving as the other electrode to be applied is formed.
이때, 상기 블랙 매트릭스(9)는 상기 G영역 상에서 발생하는 크로스 토크에 의한 화질저하를 방지하기 위해, 상기 데이터 배선(16)과 화소 전극(14) 사이구간 및 이 구간에 인접한 화소 전극(14)의 외곽부와 대응하는 위치까지 형성되므로, 투과부(P1) 전 영역을 화면구현 영역(P2)으로 활용하지 못하는 문제점이 있다.In this case, the black matrix 9 may include a section between the data line 16 and the pixel electrode 14 and a pixel electrode 14 adjacent to the section in order to prevent image degradation due to cross talk occurring on the G region. Since it is formed to a position corresponding to the outer portion of the, there is a problem in that the entire area of the transmission portion (P 1 ) can not be utilized as the screen implementation area (P 2 ).
즉, 이러한 원인은 개구율 저하를 가져와 화면을 정면에서 상, 하, 좌, 우로 돌려봤을 때 화면의 색반전이 일어나지 않는 범위인 시야각이 좁아져 고개구율이 요구되는 디스플레이 소자로는 부적합하다.In other words, this causes the aperture ratio to be lowered, and when the screen is rotated from the front to the top, the bottom, the left and the right, the viewing angle, which is a range where color inversion of the screen does not occur, is unsuitable for display elements requiring a high aperture ratio.
즉, 이와 같은 문제점을 개선하기 위하여, 데이터 배선과 화소전극 간에 기생용량을 최소화하면서, 개구율을 향상시키는 구조의 액정표시장치용 액정패널에 대한 연구가 활발해지고 있다.That is, in order to improve such a problem, researches on liquid crystal panels for liquid crystal display devices having a structure of improving aperture ratio while minimizing parasitic capacitance between the data lines and the pixel electrodes have been actively conducted.
도 2는 일반적인 고개구율 구조의 액정표시장치용 액정패널의 일부영역에 대한 개략적인 단면도이다.2 is a schematic cross-sectional view of a portion of a liquid crystal panel for a liquid crystal display device having a general high aperture ratio structure.
도시한 바와 같이, 고개구율 구조의 액정표시장치용 액정패널(30)에서는 화소전극(32)과 데이터 배선(34)을 일정간격 오버랩되도록 구성함을 특징으로 한다.As shown in the drawing, the liquid crystal panel 30 for a liquid crystal display device having a high opening ratio structure is configured to overlap the pixel electrode 32 and the data line 34 at a predetermined interval.
이러한 구조가 가능한 것은, 이 화소전극(32)층과 데이터 배선(34)층 사이에 개재되는 보호층(36)의 재질을 화소전극(32)과 데이터 배선(34) 사이의 기생 용량을 감소시킬 수 있도록 저유전율(ε≒3)의 절연물질을 두껍게 형성하기 때문이다.It is possible to reduce the parasitic capacitance between the pixel electrode 32 and the data line 34 by using the material of the protective layer 36 interposed between the pixel electrode 32 layer and the data line 34 layer. This is because an insulating material having a low dielectric constant (ε ≒ 3) is formed to be thick.
즉, 이 화소전극(32)과 데이터 배선(34)이 오버랩되는 영역(A)은 상부 기판(40)의 블랙 매트릭스(42)에 의해 가려지지만, 투과부(P3) 영역을 전부 화면구현 영역(P4)로 활용할 수 있어 고개구율 구현이 가능하다.That is, the region A in which the pixel electrode 32 and the data wiring 34 overlap each other is covered by the black matrix 42 of the upper substrate 40, but the transmissive portion P 3 is entirely covered by the screen realization region ( P 4 ) can be used to implement a high opening rate.
도 3은 일반적인 고개구율 구조의 액정표시장치용 어레이 기판의 일부영역에 대한 평면도이다.3 is a plan view of a portion of an array substrate for a liquid crystal display device having a general high opening ratio structure.
도시한 바와 같이, 고개구율 구조의 액정표시장치용 어레이 기판(50)은 서로 교차하며 화소영역을 정의하는 게이트 배선(54) 및 데이터 배선(60)이 형성되어 있고, 이 게이트 배선(54) 및 데이터 배선(60)과 연결되어 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있고, 이 박막 트랜지스터(T)와 연결되고, 상기 화소영역 상에 위치함에 있어서, 상기 데이터 배선(60)과 일정 간격 오버랩되어 화소전극(64)이 형성되어 있다.As shown, the array substrate 50 for a liquid crystal display device having a high opening ratio structure intersects each other and has a gate wiring 54 and a data wiring 60 defining a pixel region, and the gate wiring 54 and A thin film transistor T is formed in connection with the data line 60, and is connected to the thin film transistor T, and positioned on the pixel area, and overlaps the data line 60 at a predetermined interval so as to overlap the pixel electrode. 64 is formed.
이와 같이 고개구율 구조의 어레이 기판(50)에서는 데이터 배선(60)을 기준으로 이 데이터 배선(60)과 이웃하는 양 화소전극(64)이 상기 데이터 배선(60)과 일정간격 오버랩되도록 구성하여 화면구현 영역이 확장됨을 특징으로 한다.As described above, the array substrate 50 having the high opening ratio structure is configured such that both pixel electrodes 64 adjacent to the data line 60 overlap the data line 60 at a predetermined interval based on the data line 60. It is characterized by an extended implementation area.
도 4는 상기 도 3의 "I"영역을 확대도시한 도면이다.FIG. 4 is an enlarged view of a region "I" of FIG. 3.
도시한 바와 같이, 상기 도 3에 따른 데이터 배선(60)은 일자형으로 형성되어 있고, 이 데이터 배선(60)과 이웃하는 양 화소전극(64)은 이 데이터 배선(60)과 일정 간격(II) 오버랩되어 형성된다.As shown in FIG. 3, the data line 60 of FIG. 3 is formed in a straight line, and both pixel electrodes 64 adjacent to the data line 60 are spaced apart from the data line 60 by a predetermined interval (II). It is formed overlapping.
이때, 이 데이터 배선(60)과 화소전극(64) 사이의 오버랩 영역(II)을 일정하게 유지하지 못하면, 원하는 고개구율을 얻기가 힘들거나 또는 화소전극(64) 간에 전기적 특성이 저하될 수 있다.At this time, if the overlap region II between the data line 60 and the pixel electrode 64 is not kept constant, it is difficult to obtain a desired high opening ratio or the electrical characteristics of the pixel electrodes 64 may be degraded. .
일반적으로, 이 오버랩 영역(II)은 2~3㎛정도를 유지하도록 한다.Generally, this overlap area | region II is made to hold about 2-3 micrometers.
이러한 오버랩 정도는 상기 화소전극(64)의 패터닝(patterning) 공정 중 식각하는 공정에서 정해진다.The overlap degree is determined in an etching process of the patterning process of the pixel electrode 64.
이때, 상기 화소전극(64) 패턴이 과도식각(over etch)되면, 상기 데이터 배선(60)과의 오버랩 영역이 줄어들어 원하는 개구율을 확보하기 어렵게 된다.In this case, when the pixel electrode 64 pattern is overetched, an overlap region with the data line 60 is reduced, making it difficult to secure a desired aperture ratio.
더구나, 이러한 일자형 구조의 데이터 배선(60) 상에 화소전극(64)을 오버랩되도록 형성하는 경우에는 과도식각 여부에 대한 육안검사가 어려우므로, 현미경과 같은 별도의 장비를 통하여 검사를 해야하는 번거로움이 있다.In addition, when the pixel electrode 64 is formed to overlap on the data line 60 having such a straight structure, it is difficult to visually inspect whether or not over-etching is performed. have.
즉, 별도의 장비에 대한 투자 및 이러한 검사공정 추가에 따른 공정시간의 연장 등의 문제점이 따르게 된다.That is, problems such as investment in separate equipment and extension of processing time due to the addition of such an inspection process will be followed.
상기 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에서는 데이터 배선 또는 화소전극의 패턴을 변경하여, 과도식각 여부를 별도의 장비없이도 손쉽게 판별할 수 있도록 하여, 별도의 검사 장비에 대한 투자를 절감하고, 검사공정에 따른 시간을 절약할 수 있어 생산력을 높이는 것을 목적으로 한다.In order to solve the above problems, in the present invention, by changing the pattern of the data wiring or the pixel electrode, it is possible to easily determine whether or not the transient etching without additional equipment, to reduce the investment in the separate inspection equipment, It aims to increase productivity by saving time.
도 1은 일반적인 액정표시장치용 액정패널의 일부영역에 대한 단면을 도시한 단면도.1 is a cross-sectional view showing a cross section of a partial region of a liquid crystal panel for a general liquid crystal display device.
도 2는 일반적인 고개구율 구조의 액정표시장치용 액정패널의 일부영역에 대한 개략적인 단면도.2 is a schematic cross-sectional view of a partial region of a liquid crystal panel for a liquid crystal display device having a general high opening ratio structure.
도 3은 일반적인 고개구율 구조의 액정표시장치용 어레이 기판의 일부영역에 대한 평면도.3 is a plan view of a portion of an array substrate for a liquid crystal display device having a general high opening ratio structure;
도 4는 상기 도 3의 "I"영역을 확대도시한 도면.4 is an enlarged view of a region "I" of FIG. 3.
도 5는 본 발명에 따른 고개구율 구조의 액정표시장치용 어레이 기판의 일부영역에 대한 개략적인 평면도.5 is a schematic plan view of a portion of an array substrate for a liquid crystal display device having a high aperture ratio structure according to the present invention;
도 6은 상기 도 5의 "III"영역을 확대도시한 도면.FIG. 6 is an enlarged view of region “III” of FIG. 5;
도 7은 상기 도 5의 "III"영역에 해당하는 패턴의 또 다른 실시예를 도시한 확대도면.FIG. 7 is an enlarged view illustrating another embodiment of a pattern corresponding to area “III” of FIG. 5.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
150 : 액정표시장치용 어레이 기판 154 : 게이트 배선150: array substrate for liquid crystal display 154: gate wiring
160 : 데이터 전극 164 : 화소 전극160: data electrode 164: pixel electrode
166 : 캐패시터 전극 E : 과도식각 방지용 패턴166: capacitor electrode E: pattern for preventing excessive etching
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 투명 기판과; 상기 기판 상에 제 1 방향으로 형성된 게이트 배선과; 제 2 방향으로 형성되고, 상기 게이트 배선과 절연되며, 상기 게이트 배선과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선과; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선과 연결된 박막 트랜지스터와; 상기 화소 영역 및 인접한 데이터 배선과 일정간격 오버랩되며, 상기 박막 트랜지스터와 연결된 화소전극과; 상기 데이터 배선층과 상기 화소전극층 사이에 개재된 저유전율을 가지는 절연성 물질로 이루어진 절연층과; 상기 화소전극과 데이터 배선의 오버랩된 영역에 위치하며, 상기 오버랩된 영역의 폭에 해당하는 길이만큼 내부로 들어간 오목형상의 과도식각(over etch) 방지용 패턴(pattern)을 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a transparent substrate; A gate wiring formed on the substrate in a first direction; A data line formed in a second direction, insulated from the gate line, and defining a pixel region crossing the gate line; A thin film transistor connected to the gate line and the data line; A pixel electrode overlapping the pixel area and the adjacent data line by a predetermined distance and connected to the thin film transistor; An insulating layer made of an insulating material having a low dielectric constant interposed between the data wiring layer and the pixel electrode layer; An array for a liquid crystal display device positioned in an overlapped region of the pixel electrode and a data line, and including a concave-shaped overetch prevention pattern having a length corresponding to a width of the overlapped region. Provide a substrate.
상기 과도식각 방지용 패턴은 상기 데이터 배선에 포함되며, "ㄷ"형상으로 상기 "ㄷ"자형의 개방부를 화소전극 쪽으로 하는 것이다.The over-etching prevention pattern is included in the data line, and the opening portion of the '-' shape toward the pixel electrode is formed in a 'c' shape.
또는, 상기 과도식각 방지용 패턴은 상기 화소전극 영역에 포함되며, "ㄴ"형상으로 상기 "ㄴ"자형의 개방부를 데이터 배선쪽으로 하는 것이다.Alternatively, the over-etching prevention pattern is included in the pixel electrode region, and the opening portion of the "b" shape in a "b" shape toward the data line.
상기 졀연층은 상기 박막 트랜지스터를 보호하기 위한 보호층으로, 유전율(ε)값이 3인 BCB(BenzoCycloButene), 아크릴계 레진(Acrylic Resin)중 어느 하나를 약 2.5~3㎛로 형성하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The insulating layer is a protective layer for protecting the thin film transistor, and formed by forming any one of about BC-3 (BenzoCycloButene) and acrylic resin (Acrylic Resin) having a dielectric constant (ε) value of about 2.5 to 3 μm. do.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 5는 본 발명에 따른 고개구율 구조의 액정표시장치용 어레이 기판의 일부영역에 대한 개략적인 평면도이다.5 is a schematic plan view of a portion of an array substrate for a liquid crystal display device having a high aperture ratio structure according to the present invention.
도시한 바와 같이, 상기 고개구율 구조의 액정표시장치용 어레이 기판(150)에는 제 1 방향으로 캐패시터 전극(166)을 포함하는 게이트 배선(154)이 형성되어 있고, 제 2 방향으로 형성되며, 상기 게이트 배선(154)과 절연되며, 상기 게이트 배선(154)과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 배선(160)이 형성되어 있다.As shown in the drawing, the gate wiring 154 including the capacitor electrode 166 is formed in the first direction and formed in the second direction on the array substrate 150 having the high opening ratio structure. The data line 160 is insulated from the gate line 154 and crosses the gate line 154 to define a pixel area.
이 게이트 배선(154) 및 데이터 배선(160)과 연결되어 박막 트랜지스터(T)가 형성되어 있고, 상기 화소 영역 및 인접한 데이터 배선(160)과 일정간격 오버랩되며, 상기 박막 트랜지스터(T)와 연결되어 화소 전극(164)이 형성되어 있다.The thin film transistor T is formed by being connected to the gate line 154 and the data line 160, overlaps the pixel area and the adjacent data line 160 by a predetermined distance, and is connected to the thin film transistor T. The pixel electrode 164 is formed.
그리고, 이 화소전극(164)층과 데이터 배선(160)층 사이에는 저유전율을 가지는 절연층이 두껍게 형성됨을 특징으로 한다.A thick insulating layer having a low dielectric constant is formed between the pixel electrode 164 layer and the data line 160 layer.
좀 더 상세하게 설명하자면, 이 절연층은 상기 박막 트랜지스터(T)를 보호하는 보호층(미도시)으로서, 유기 절연막인 BCB(BenzoCycloButene) 또는 아크릴계 레진(Acrylic Resin)을 2.5~3㎛정도로 두껍게 형성하는 것이다.In more detail, the insulating layer is a protective layer (not shown) that protects the thin film transistor T. The organic insulating film BCB (BenzoCycloButene) or acrylic resin (Acrylic resin) is formed to a thickness of about 2.5 to 3 μm. It is.
이때, 상기 데이터 배선(160)은 화소전극(164)과 오버랩되는 영역 상에 "ㄷ"자형으로 오목하게 들어간 과도식각 방지용 패턴(E)을 포함함을 특징으로 한다.In this case, the data line 160 includes a pattern E for preventing transient etching recessed in a "c" shape on an area overlapping the pixel electrode 164.
이 과도식각 방지용 패턴은 추후 별도의 과도 식각 검사 공정없이 화소전극(164)을 식각한 다음, 바로 과도 식각정도를 알 수 있는 척도가 된다.The over-etching prevention pattern is a measure of the degree of transient etching immediately after etching the pixel electrode 164 without a separate over-etching process.
도 6은 상기 도 5의 "III"영역을 확대도시한 도면이다.FIG. 6 is an enlarged view of a region "III" of FIG. 5.
도시한 바와 같이, 상기 데이터 배선(160)에는 화소전극(164)과 오버랩되는영역(V)에서 캐패시터 전극(166)이 위치하는 영역 이외의 오버랩 영역에서 과도식각 방지용 패턴(E)이 형성되어 있음을 도시하였다.As shown in the figure, a pattern E for preventing excessive etching is formed in an overlap region other than the region where the capacitor electrode 166 is located in the region V overlapping the pixel electrode 164. Is shown.
이 과도식각 방지용 패턴(E)은 "ㄷ"자형 패턴으로, "ㄷ"자형의 개방부를 화소전극(164)쪽으로 하며, 이 패턴(E)의 가로길이는 오버랩 영역의 폭과 같음을 특징으로 한다.The over-etching pattern E is a "c" shaped pattern, and the "c" shaped opening is directed toward the pixel electrode 164, and the width of the pattern E is equal to the width of the overlap region. .
즉, 화소전극(164) 형성공정에서 이 패턴(E)에 맞춰 데이터 배선(160)과의 오버랩을 할 수 있으므로, 과도 식각을 방지할 수 있고, 또한 과도식각이 되었을 경우 바로 판별이 가능하므로, 제품불량을 미연에 방지하는 효과를 가진다.That is, in the forming process of the pixel electrode 164, since the overlap with the data line 160 can be made in accordance with the pattern E, the over-etching can be prevented, and if the over-etching is performed, it can be immediately determined. It has the effect of preventing product defects in advance.
도 7은 상기 도 5의 "III" 영역에 해당하는 패턴의 또 다른 실시예를 도시한 확대도면이다.FIG. 7 is an enlarged view illustrating another example of a pattern corresponding to area “III” of FIG. 5.
도시한 바와 같이, 상기 실시예에 따른 과도식각 방지용 패턴(EE)은 일자형 데이터 배선(172)과 오버랩되는 영역(VI)중 상기 화소 전극(174)의 모서리부를 "ㄴ"자형으로 제거하여 형성한 것으로, 이 "ㄴ"자형의 개방부를 데이터 배선(172)쪽으로 한다.As illustrated, the over-etching pattern EE according to the embodiment is formed by removing the corner portion of the pixel electrode 174 in the region VI overlapping the straight data line 172 in a "b" shape. This "b" shaped opening is made to the data line 172.
즉, 이 구조에서는 데이터 배선(172)은 기존과 같이 일자형 구조로 하고, 이 데이터 배선(172)과 오버랩되는 부분의 화소전극(174)의 오버랩 영역을 제거하여 과도식각용 패턴을 형성하는 것이다.That is, in this structure, the data line 172 has a straight structure as before, and forms an over-etching pattern by removing the overlap region of the pixel electrode 174 at the portion overlapping with the data line 172.
상기 실시예에서는 화소전극(174)의 패터닝 과정에서 과도식각 방지용 패턴을 형성하므로, 좀더 효과적으로 과도식각을 방지할 수 있는 장점을 가진다.In the above exemplary embodiment, a pattern for preventing over-etching is formed in the process of patterning the pixel electrode 174, and thus, over-etching can be prevented more effectively.
이상과 같이, 본 발명에 따른 고개구율 구조의 액정표시장치용 어레이 기판에서는 데이터 배선 상에 일정간격 오버랩되는 화소전극 영역의 폭에 해당하는 길이만큼 오버랩 영역에서 제거한 과도식각 방지용 패턴을 데이터 배선 또는 화소전극 상에 형성하여 추후 화소전극의 과도식각 판별의 척도로 함을 특징으로 한다.As described above, in the array substrate for a liquid crystal display device having a high aperture ratio structure according to the present invention, a pattern for preventing excessive etching removed from the overlap region by a length corresponding to the width of the pixel electrode region overlapping a predetermined interval on the data line is the data line or the pixel. It is formed on the electrode and characterized in that later to measure the transient etching of the pixel electrode.
이때, 본 발명에 따른 과도식각 방지용 패턴은 상기 데이터 배선과 화소 전극이 오버랩되는 양쪽 영역에 모두 형성하는 경우도 포함하며, 도 6 내지 7에서 제시한 "ㄷ"자형 또는 "ㄴ"자형으로 한정하지 않고, 본 발명의 취지에 어긋나지 않는 한도 내에서 다양하게 변경하여 실시하여도 무방하다.In this case, the transient etching prevention pattern according to the present invention includes the case where both the data line and the pixel electrode are overlapped, and are not limited to the "c" or "b" shape shown in FIGS. 6 to 7. The present invention may be modified in various ways without departing from the spirit of the present invention.
이상과 같이, 본 발명에 따른 과도식각 방지용 패턴을 포함하는 고개구율 구조의 액정표시장치용 어레이 기판은 다음과 같은 장점을 가진다.As described above, an array substrate for a liquid crystal display device having a high opening ratio structure including a pattern for preventing excessive etching according to the present invention has the following advantages.
첫째, 과도식각 발생에 대한 조기 검출이 가능하므로, 대형 불량사고를 미연에 방지할 수 있다.First, since the early detection of the excessive etching can be detected, large-scale defects can be prevented in advance.
둘째, 별도의 검사장비에 대한 투자를 절감할 수 있다.Second, investment in separate inspection equipment can be reduced.
세째, 검사공정을 생략할 수 있으므로, 공정 시간을 단축할 수 있어 생산력을 향상시킬 수 있다.Third, since the inspection process can be omitted, the process time can be shortened and the productivity can be improved.
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