KR20020041364A - Lcd panel cullet remove and cleaning apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 노트북 모니터, PDP 등과 같은 액정유리기판의 이물질 제거 및 세정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 노트북 모티터, PDP(Plasma Display Panel) 등에 사용되는 액정유리기판의 표면에 부착된 고착성 이물질을 나이프 세정장치에 의해 물을 분사하면서 깨끗한 상태로 세정시킬 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a foreign matter removal and cleaning device of a liquid crystal glass substrate such as a notebook monitor, a PDP, and more particularly, to adhere to adherent foreign matter adhered to a surface of a liquid crystal glass substrate used for a laptop monitor, a plasma display panel (PDP), and the like. It is to be cleaned in a clean state while spraying water by the knife cleaning device.
일반적으로, 반도체 디바이스, 노트북 등에 사용되는 액정 표시패널 등의 전자 기기 분야에 있어서는 그 제조 프로세스 공정 중에 피처리기판인 반도체기판이나, 유리기판의 표면에 부착된 고착성 이물질 등을 먼저 제거하기 위해 세정 처리하는 공정이 필수적이다.In general, in the field of electronic devices such as liquid crystal display panels used in semiconductor devices, notebook computers, and the like, a cleaning process is performed to first remove a semiconductor substrate, which is a substrate to be processed, or sticking foreign matter adhered to a surface of a glass substrate, during the manufacturing process. The process is essential.
따라서, 이와 같은 세정작업을 진행하기 위한 세정장치가 제안되었으나, 종래의 세정장치를 사용하여 유리기판 표면에 부착된 유리가루와 같은 고착성 이물질을 제거하는 세정작업을 진행할 때에는 유리기판의 표면에 부착되어 있는 고착성 이물질을 깨끗한 상태로서 세정시킬 수가 없어서 액정유리기판의 세정작업에 따른 작업효율이 저하되고, 미 세정된 액정유리기판을 사용 시에는 액정유리기판을 사용한 노트북 모니터, PDP 등과 같은 제품의 품질이 저하되는 결점이 있고, 또한 브러시를 이용한 세정장치를 사용할 경우에는 액정유리기판의 두께에 따라 일일이 브러시의 높낮이를 다시 세팅해야 함으로 인하여 작업시간이 많이 소요되어 생산성이 저하될 뿐만 아니라, 세정작업 중 강하게 눌러 세정할 경우에는 유리기판 표면에 흠집이 발생되어 제품의 신뢰성이 떨어지게 되는 등의 문제점이 있었다.Therefore, a cleaning apparatus for performing such a cleaning operation has been proposed, but when a cleaning operation for removing adherent foreign matter such as glass powder adhered to the glass substrate surface using a conventional cleaning apparatus is attached to the surface of the glass substrate. Because the fixed foreign matter cannot be cleaned in a clean state, the work efficiency due to the cleaning operation of the liquid crystal glass substrate is reduced, and when the uncleaned glass glass substrate is used, the quality of products such as laptop monitors and PDPs using the liquid crystal glass substrate is reduced. In addition, when using a cleaning device using a brush, it is necessary to reset the height of the brush according to the thickness of the liquid crystal glass substrate. In case of pressing and cleaning, the surface of glass substrate is scratched. There was a problem that the reliability of the product is lowered.
따라서, 본 발명은 상기한 제결점 및 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명의 그 주된 목적으로는 노트북 등에 사용되는 유리기판의 표면에 부착된 유리가루와 같은 고착성 이물질을 세정장치에 의해 물을 분사하여 깨끗한 상태로서 세정시킬 수 있을 뿐만 아니라, 작업하고자 하는 유리기판의 두께와 상관없이 작업헤드가 상,하로 호환성 있게 조절되면서 일정한 힘을 가하여 효율적으로 세정작업을 진행할 수 있도록 함에 따라 작업 능률의 향상에 의한 작업시간을 현저히 단축시킬 수 잇는 액정유리기판의 이물질 제거 및 세정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.Therefore, the present invention has been made in order to solve the above-mentioned drawbacks and problems, the main object of the present invention is to remove the adherent foreign matter such as glass powder attached to the surface of the glass substrate used for notebooks, etc. Not only can it be cleaned by spraying, but also the work head can be cleaned up and down efficiently regardless of the thickness of the glass substrate to be worked on. An object of the present invention is to provide an apparatus for removing and cleaning foreign substances from a liquid crystal glass substrate, which can significantly shorten working time due to improvement.
본 발명의 다른 목적으로는 액정유리 표면에 부착된 유리가루와 같은 고착성 이물질을 칼날에 의하여 제거할 수 있도록 함에 따라 유리표면의 흠집발생이 전혀 없도록 한 액정유리기판의 이물질 제거 및 세정장치를 제공하려 하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a device for removing and cleaning foreign matters on a liquid crystal glass substrate, by which a fixed edge such as glass powder adhered to the surface of the liquid crystal glass can be removed by a blade. It is.
도 1은 본 발명을 나타낸 정면도.1 is a front view showing the present invention.
도 2는 도 1의 평면도.2 is a plan view of FIG.
도 3은 본 발명의 요부 정면도.3 is a front view of main parts of the present invention;
도 4는 도 3의 측면도.4 is a side view of FIG. 3;
도 5a 내지 도 5c는 본 발명에 따른 작업헤드를 나타낸 정면도와 평면도 및 측면도.5a to 5c are front, plan and side views showing a working head according to the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10; 프레임 20; 크린부스10; Frame 20; Clean Booth
30; 지지부재 40; 제 1 서보모터30; Support member 40; 1st servo motor
42,62; 볼 스크류 50; 제 1 이동부재42,62; Ball screw 50; First moving member
60; 제 2 서보모터 70; 제 2 이동부재60; Second servomotor 70; Second moving member
80; 제 1 정압실린더 82,102; 실린더로드80; First positive pressure cylinder 82,102; Cylinder rod
90; 헤드받침부재 100; 제 2 정압실린더90; Head support member 100; 2nd positive pressure cylinder
110; 작업헤드 111; 고정공110; Workhead 111; Fastener
112; 헤드몸체 113; 안내홈112; Head body 113; Home
114; 칼날 115; 가동부114; Blade 115; Moving parts
116; 측면 지지부 120; 스피드 콘트롤 모터116; Side supports 120; Speed control motor
130; 회전부재 132; 벨트130; Rotating member 132; belt
140; 베어링 150; 지지바140; Bearing 150; Support bar
160; 작업베이스 162; 고무패드160; Workbase 162; Rubber pad
164; 진공홀 170; 물 분사라인164; Vacuum hole 170; Water spray line
172; 분사노즐 180; 배수관172; Spray nozzle 180; drain
190; 습기 배출관190; Moisture exhaust pipe
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 프레임의 상부 외주면에 설치된 크린부스 내의 프레임 상부 중앙에 지지바에 의해 지지되도록 설치되어 유리기판을 안착시키기 위한 작업베이스와, 상기 프레임의 상부 각 모서리부에 설치된 지지부재의 상부에 장착되어 상호 직교하는 방향으로 수평 이동하는 제 1,2 이동부재와, 상기 제 2 이동부재의 하부에 설치되며 제 1 정압실린더의 실린더로드 단부에 연결되어 승강 작동하는 헤드받침부재와, 상기 헤드받침부재의 상부에 복수개 설치된 제 2 정압실린더의 실린더로드 단부에 장착되어 유리기판에 고착된 이물질을 제거하기 위해 회전하는 작업헤드와, 상기 작업헤드를 회전시키기 위한 헤드회전수단과, 상기 크린부스 내의 작업베이스 일단에 설치되어 유리기판의 세정작업 시 물을 분사하기 위해 복수개의 분사노즐이 구비된 물 분사라인으로 구성된 것을 특징으로 하는 액정유리기판의 이물질 제거 및 세정장치가 제공된다.In order to achieve the above object, the present invention is installed to be supported by the support bar in the center of the upper frame in the clean booth installed on the upper outer peripheral surface of the frame and the work base for seating the glass substrate, and the support is installed on each upper corner of the frame First and second moving members mounted on an upper part of the member and horizontally moving in mutually orthogonal directions, and a head support member installed on a lower part of the second moving member and connected to an end of the cylinder rod of the first positive pressure cylinder to move up and down; A work head mounted on the cylinder rod end of the plurality of second positive pressure cylinders installed on the head support member and rotating to remove foreign matters stuck to the glass substrate, a head rotating means for rotating the work head; It is installed at one end of the work base in the clean booth to spray water to clean the glass substrate. Of the foreign material removing of the liquid crystal glass substrate and a cleaning apparatus is provided, characterized in that consisting of the water injection line is provided with the spray nozzle.
또한, 상기 제 1 이동부재는 지지부재의 상부에 볼 스크류에 의해 지지되어 지지부재의 상부 일단에 장착된 제 1 서보모터의 구동에 의해 볼 스크류가 회전함에 따라 수평 이동하도록 장착된 것을 그 특징으로 한다.In addition, the first moving member is supported by the ball screw on the upper portion of the support member is mounted so as to move horizontally as the ball screw is rotated by the drive of the first servomotor mounted on the upper end of the support member. do.
또한, 상기 제 2 이동부재는 제 1 이동부재의 내부에 상기 볼 스크류와 직교하는 볼 스크류에 의해 지지되어 제 2 서보모터의 구동에 의해 볼 스크류가 회전함에 따라 상기 제 1 이동부재와 직교하는 방향으로 수평 이동하도록 장착된 것을 그 특징으로 한다.In addition, the second moving member is supported by a ball screw orthogonal to the ball screw inside the first moving member and is orthogonal to the first moving member as the ball screw rotates by driving of the second servomotor. It is characterized in that it is mounted to move horizontally.
또한, 상기 작업헤드는 상기 제 2 정압실린더의 실린더로드 단부에 삽입되어 고정되는 고정공이 형성되는 헤드몸체와, 이 헤드몸체 하부의 안내홈에 삽입되며 하단에 칼날이 체결되는 가동부와, 상기 헤드몸체와 가동부의 양측에 체결되는 측면 지지부로 구성된 것을 그 특징으로 한다.The work head may include a head body having a fixed hole inserted into and fixed to an end of the cylinder rod of the second positive pressure cylinder, a movable part inserted into a guide groove below the head body and fastened to a lower end of the head body, and the head body. And a side support part fastened to both sides of the movable part.
또한, 상기 헤드회전수단은 상기 헤드받침부재의 일측에 장착되는 상기 작업헤드를 회전시키기 위해 구동하는 스피드 콘트롤 모터와, 상기 제 2 정압실린더의 실린더로드에 설치되어 스피드 콘트롤 모터의 구동력을 외주면에 감겨지는 벨트에 의해 전달받아 각각의 실린더로드를 회전시키기 위한 회전부재로 구성된 것을 그 특징으로 한다.In addition, the head rotating means is installed on the cylinder rod of the speed control motor and the speed control motor for driving to rotate the work head mounted on one side of the head support member, the driving force of the speed control motor is wound around the outer peripheral surface The paper is characterized in that it is composed of a rotating member for rotating each cylinder rod received by the belt.
또한, 상기 제 2 정압실린더의 실린더로드에는 작업헤드의 회전을 원활하게 지지하기 위한 베어링이 설치된 것을 그 특징으로 한다.In addition, the cylinder rod of the second positive pressure cylinder is characterized in that the bearing for smoothly supporting the rotation of the work head is installed.
또한, 상기 작업베이스의 상부 중앙에는 유리기판의 세정작업 시 승강하는 복수개의 고무패드가 설치되며, 상기 작업베이스의 상면에는 유리기판을 진공 흡착시키기 위한 복수개의 진공홀이 형성된 것을 그 특징으로 한다.In addition, a plurality of rubber pads are provided in the upper center of the work base during the cleaning operation of the glass substrate, the upper surface of the work base is characterized in that a plurality of vacuum holes for vacuum adsorption of the glass substrate is formed.
그리고, 상기 크린부스 내의 작업베이스 타단에는 분사되는 물을 배수하기 위한 배수관 및 상기 크린부스 내부의 습기를 배출시키기 위한 습기 배출관이 각각 설치된 것을 그 특징으로 한다.And, the other end of the work base in the clean booth is characterized in that the drain pipe for draining the water to be sprayed and the moisture discharge pipe for discharging the moisture in the clean booth, respectively.
이하, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention for achieving the above object will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명을 나타낸 정면도이고,1 is a front view showing the present invention,
도 2는 도 1의 평면도이며,2 is a plan view of FIG. 1,
도 3은 본 발명의 요부 정면도이고,3 is a front view of main parts of the present invention,
도 4는 도 3의 측면도이고,4 is a side view of FIG. 3,
도 5a 내지 도 5c는 본 발명에 따른 작업헤드를 나타낸 정면도와 평면도 및 측면도이다.5A to 5C are front, plan and side views showing a working head according to the present invention.
본 발명의 액정유리기판의 이물질 제거 및 세정장치는 프레임(10)의 외주면에 유리기판의 세정작업을 진행하기 위해 투명체로 된 크린부스(20)가 설치되고, 상기 프레임(10) 상부의 일정높이 양측에는 지지부재(30)가 설치되며, 상기 일측 지지부재(30)의 상부 일단에는 제 1 서보모터(40)가 장착되고, 상기 지지부재(30)의 상부에는 볼 스크류(42)에 의해 지지되어 상기 제 1 서보모터(40)의 구동에 의해 볼 스크류(42)가 회전함에 따라 수평 이동하는 제 1 이동부재(50)가 장착된다.In the foreign material removal and cleaning apparatus of the liquid crystal glass substrate of the present invention, a clean booth 20 made of a transparent body is installed on the outer circumferential surface of the frame 10 and a predetermined height of the upper portion of the frame 10 is provided. Support members 30 are installed at both sides, and a first servo motor 40 is mounted at an upper end of the one support member 30, and supported by a ball screw 42 at an upper portion of the support member 30. The first moving member 50 is horizontally moved as the ball screw 42 rotates by driving the first servomotor 40.
또한, 상기 제 1 이동부재(50)의 내부에는 상기 볼 스크류(42)와 직교하는 볼 스크류(62)에 의해 지지되어 제 2 서보모터(60)의 구동에 의해 볼 스크류(62)가 회전함에 따라 상기 제 1 이동부재(50)와 직교하는 방향으로 수평 이동하는 제 2 이동부재(70)가 설치되며, 상기 제 2 이동부재(70)의 하부에는 제 1 정압실린더(80)의 실린더로드(82) 단부에 연결되어 제 1 정압실린더(80)의 작동에 의해 승강 작동하는 헤드받침부재(90)가 설치되고, 이 헤드받침부재(90)의 상부에는 복수개의 제 2 정압실린더(100)가 설치되며, 이 각각의 제 2 정압실린더(100)의 실린더로드(102) 단부에는 유리기판에 고착된 유리가루 등의 이물질을 제거하기 위해 회전하는 작업헤드(110)가 장착된다.In addition, the inside of the first moving member 50 is supported by the ball screw 62 orthogonal to the ball screw 42 and the ball screw 62 is rotated by the driving of the second servo motor 60. Accordingly, a second moving member 70 horizontally moving in a direction orthogonal to the first moving member 50 is installed, and a cylinder rod of the first positive pressure cylinder 80 is disposed below the second moving member 70. 82) a head support member 90 connected to an end thereof and lifting and lowering by an operation of the first positive pressure cylinder 80 is installed, and a plurality of second positive pressure cylinders 100 are provided on the head support member 90. The end of the cylinder rod 102 of each of the second positive pressure cylinder 100 is installed, the work head 110 is rotated to remove foreign substances such as glass powder adhered to the glass substrate.
상기 작업헤드(110)는 상기 제 2 정압실린더(100)의 실린더로드(102) 단부에 삽입되어 고정되는 고정공(111)이 형성되는 헤드몸체(112)와, 이 헤드몸체(112) 하부의 안내홈(113)에 삽입되며 하단에 칼날(114)이 체결되는 가동부(115)와, 상기 헤드몸체(112)와 가동부(115)의 양측에 체결되는 측면 지지부(116)로 구성된다.The work head 110 is a head body 112 is formed with a fixed hole 111 is inserted into the end of the cylinder rod 102 of the second static pressure cylinder 100, and the lower portion of the head body 112 Inserted into the guide groove 113 is composed of a movable portion 115 is fastened to the lower edge 114, and the side support 116 is fastened to both sides of the head body 112 and the movable portion 115.
또한, 상기 헤드받침부재(90)의 일측에는 상기 작업헤드(110)를 회전시키기 위해 구동하는 스피드 콘트롤 모터(120)가 장착되고, 상기 제 2 정압실린더(100)의 실린더로드(102)에는 상기 스피드 콘트롤 모터(120)의 구동력을 외주면에 감겨지는 벨트(132)에 의해 전달받아 각각의 실린더로드(102)를 회전시키기 위한 회전부재(130)가 설치되며, 상기 각각의 실린더로드(102)에는 작업헤드(110)의 회전을 원활하게 지지하기 위한 베어링(140)이 설치된다.In addition, one side of the head support member 90 is equipped with a speed control motor 120 for driving to rotate the work head 110, the cylinder rod 102 of the second positive pressure cylinder (100) Rotating members 130 are provided to rotate the respective cylinder rods 102 by receiving the driving force of the speed control motor 120 by the belt 132 wound around the outer circumferential surface, and each of the cylinder rods 102 is installed. A bearing 140 is installed to smoothly support the rotation of the work head 110.
또한, 상기 크린부스(20) 내의 프레임(10) 상부 중앙에는 지지바(150)에 의해 지지되어 유리기판의 세정작업 시 유리기판을 안착시키기 위한 작업베이스(160)가 돌출 설치되고, 이 작업베이스(160)의 상부 중앙에는 유리기판의 세정작업 시 승강하는 복수개의 고무패드(162)가 설치되며, 상기 작업베이스(160)의 상면에는 유리기판을 진공 흡착시키기 위한 복수개의 진공홀(164)이 형성되고, 상기 크린부스(20) 내의 작업베이스(160) 일단에는 유리기판의 세정작업 시 물을 분사하기 위해 복수개의 분사노즐(172)이 구비된 물 분사라인(170)이 설치된다.In addition, the support base 150 is supported by the support bar 150 at the center of the upper portion of the frame 10 in the clean booth 20, and a work base 160 for mounting the glass substrate during cleaning of the glass substrate protrudes and is installed. A plurality of rubber pads 162 are provided at the center of the upper portion of the upper surface of the glass substrate in order to clean the glass substrate, and a plurality of vacuum holes 164 are provided on the upper surface of the work base 160 to vacuum-adsorb the glass substrate. One end of the work base 160 in the clean booth 20 is provided with a water spray line 170 provided with a plurality of spray nozzles 172 to spray water during the cleaning operation of the glass substrate.
그리고, 상기 크린부스(20) 내의 작업베이스(160) 타단에는 분사되는 물을 배수하기 위한 배수관(180) 및 상기 크린부스(20) 내부의 습기를 강제적으로 배출시키기 위한 습기 배출관(190)이 각각 설치되어 구성된다.The other end of the work base 160 in the clean booth 20 includes a drain pipe 180 for draining the sprayed water and a moisture discharge pipe 190 for forcibly discharging the moisture in the clean booth 20. Installed and configured.
상기와 같이 구성된 본 발명은 도 1 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 유리기판 세정장치를 사용하여 유리기판에 고착된 이물질을 제거하고자 할 때는 먼저, 상기 작업베이스(160)의 상부 중앙에 설치된 복수개의 고무패드(162)가 상승한 상태에서 세정하고자 하는 유리기판의 하부면을 받치고 있는 상태에서 하강하여 상기 작업베이스(160)의 상부에 안착시키면 작업베이스(160)의 상면에 형성된 복수개의 진공홀(164)을 통해 진공으로 유리기판의 하부면을 유동되지 않도록 흡착하여 고정시킨다.1 to 6, the present invention configured as described above, when removing the foreign matter stuck to the glass substrate using a glass substrate cleaning apparatus, first, a plurality of installed in the upper center of the work base 160 When the two rubber pads 162 are raised and lowered while supporting the lower surface of the glass substrate to be cleaned, the two rubber pads 162 are mounted on the upper surface of the work base 160. 164 is adsorbed and fixed so as not to flow the lower surface of the glass substrate by vacuum.
그 후, 입력된 신호에 의하여 제 1,2 서보모터(40)(60)의 구동에 의해 각각의 볼 스크류(42)(62)를 회전시켜 제 1,2 이동부재(50)(70)를 작업하기 위한 위치로 이동시킨 다음, 다시 상기 제 2 이동부재(70)의 하부에 설치된 제 1 정압실린더(80)의 작동에 의해 실린더로드(82)가 일정거리 하강함에 따라 이 실린더로드(82)의 단부에 연결된 헤드받침부재(90)가 하강함과 동시에, 이 헤드받침부재(90)의 상부에 설치된 복수개의 제 2 정압실린더(100)의 작동에 의해 실린더로드(102)가 유리기판 표면과 접촉될 때까지 일정한 힘으로 하강함에 따라 실린더로드(102)의 단부에 장착된 작업헤드(110)가 유리기판 표면에 긴밀히 접촉된 상태에서 작업위치로 하강하게 된다.Thereafter, the ball screws 42 and 62 are rotated by the driving of the first and second servomotors 40 and 60 according to the input signal to rotate the first and second moving members 50 and 70. After moving to the position for working, the cylinder rod 82 is lowered by a certain distance by the operation of the first positive pressure cylinder 80 installed in the lower portion of the second moving member 70 again, the cylinder rod 82 As the head support member 90 connected to the end of the head descends, the cylinder rod 102 is connected to the glass substrate surface by the operation of the plurality of second positive pressure cylinders 100 installed on the head support member 90. As the work head 110 mounted at the end of the cylinder rod 102 comes into close contact with the glass substrate surface, the work head 110 descends to the working position as the work force descends until the contact.
이와 동시에, 상기 헤드받침부재(90)의 일측에 장착된 스피드 콘트롤모터(120)가 구동함에 따라 이 스피드 콘트롤 모터(120)의 회전력을 벨트(132)를 통해 상기 제 2 정압실린더(100)의 실린더로드(102)에 설치된 회전부재(130)에 전달하여 실린더로드(102)가 회전함과 동시에, 이 실린더로드(102)의 단부에 장착된 작업헤드(110)가 회전하면서 이 작업헤드(110)를 구성하는 헤드몸체(112) 하부의 안내홈(113)에 삽입된 가동부(115) 하단에 체결되어 있는 칼날(114)이 유리기판의 상면에 고착된 이물질을 제거시키게 된다.At the same time, as the speed control motor 120 mounted on one side of the head support member 90 is driven, the rotational force of the speed control motor 120 is transferred through the belt 132 of the second static pressure cylinder 100. It is transmitted to the rotating member 130 installed in the cylinder rod 102 and the cylinder rod 102 rotates, and at the same time the working head 110 mounted at the end of the cylinder rod 102 rotates, the working head 110. The blade 114 which is fastened to the lower end of the movable part 115 inserted into the guide groove 113 in the lower part of the head body 112 constituting the main body 112 removes foreign substances fixed to the upper surface of the glass substrate.
또한, 상기 유리기판의 상면에 고착된 이물질을 제거하기 위한 세정작업 시에는 상기 크린부스(20) 내의 작업베이스(160) 일단에 설치된 물 분사라인(170)에 구비된 복수개의 분사노즐(172)을 통해 유리기판의 표면을 세척하기 위한 물을 분사하게 되며, 이 분사된 물은 상기 작업베이스(160) 타단의 배수관(180)을 통해 외부로 배수되고, 또한 상기 작업베이스(160)의 타단에 설치된 습기 배출관(190)을 통해서 유리기판의 세정작업이 진행되는 동안 크린부스(20) 내부의 습기를 외부로 배출시키게 되며, 그 후 작업이 완료된 유리기판은 다음 공정으로 이송시키게 된다.In addition, a plurality of spray nozzles 172 provided in the water spray line 170 installed at one end of the work base 160 in the clean booth 20 during the cleaning operation to remove the foreign matter stuck to the upper surface of the glass substrate. Water is sprayed to wash the surface of the glass substrate through the sprayed water is discharged to the outside through the drain pipe 180 of the other end of the work base 160, and also to the other end of the work base 160 While the cleaning operation of the glass substrate is in progress through the installed moisture discharge pipe 190, the moisture inside the clean booth 20 is discharged to the outside, and then the glass substrate on which the operation is completed is transferred to the next process.
한편, 상기 제 2 정압실린더(100)의 실린더로드(102)에는 베어링(140)이 설치되어 있으므로 작업헤드(110)의 회전을 항상 안정된 상태에서 원활하게 지지할 수 있게 되며, 또한 상기한 유리기판의 두께에 관계없이 제 2 정압실린더가 일정한 힘으로 작업헤드를 하강시켜 유리기판 표면과 긴밀히 접촉될 수 있게 함에 따라 작업위치 및 작업헤드(110)의 회전수 등은 콘트롤 패널에 입력된 값으로 자동으로 전환시킬 수 있게 된다.On the other hand, since the bearing 140 is installed on the cylinder rod 102 of the second positive pressure cylinder 100, the rotation of the work head 110 can be smoothly supported in a stable state at all times, and the glass substrate described above. As the second positive pressure cylinder lowers the work head with a constant force so as to be in intimate contact with the surface of the glass substrate, the working position and the number of rotations of the work head 110 are automatically adjusted to values input to the control panel regardless of the thickness of Can be switched to.
이상에서 상술한 바와 같이, 본 발명은 노트북 모니터, PDP 등에 사용되는 액정유리기판의 표면에 부착된 유리가루 등의 고착성 이물질을 나이프 세정장치에 의해 물을 분사하면서 깨끗한 상태로서 세정시킬 수 있으며, 작업하고자 하는 유리기판의 두께와 상관없이 제 2 정압실린더가 일정한 힘을 가하면서 작업헤드를 하강되도록 함에 따라 효율적인 세정작업의 진행은 물론 두께 변화에 따른 호환작업을 할 수 있도록 하여 작업능률의 향상에 의한 작업시간 단축 및 생산성을 증대시킬 수 있으므로 인해 장치의 효율성 및 신뢰성을 대폭 향상시킨 매우 유용한 발명이다.As described above, the present invention can clean the adherent foreign matter such as glass powder adhered to the surface of the liquid crystal glass substrate used for the notebook monitor, PDP, etc., while spraying water with a knife cleaning device as a clean state. Regardless of the thickness of the glass substrate, the second positive pressure cylinder lowers the work head while applying a constant force so that efficient work can be performed and compatible work can be performed according to the change in thickness. It is a very useful invention that can greatly improve the efficiency and reliability of the device because it can reduce the working time and increase the productivity.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적인 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.
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