KR20060013882A - Plate cleaning apparatus for liquid crystal display device and cleaning method for the same - Google Patents
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Abstract
액정 표시 장치용 기판 세정 장치가 제공된다. 액정 표시 장치용 기판 세정 장치는, 서로 이격되어 위치하는 제1 구동축 및 제1 회전축과, 상기 제1 구동축 및 제1 회전축을 지지축으로하여 감겨져 회전되는 벨트 형상의 제1 클린 시트를 포함하는 제1 세정부와, 서로 이격되어 위치하는 제2 구동축 및 제2 회전축과, 상기 제2 구동축 및 제2 회전축을 지지축으로하여 감겨져 회전되는 벨트 형상의 제2 클린 시트를 포함하는 제2 세정부와, 상기 제1 및 제2 클린 시트의 외측 표면이 외부로부터 투입되는 액정 표시 장치용 기판의 상 하부 표면에 각각 균일하게 면접촉될 수 있도록 상기 제1 및 제2 클린 시트 내부에 각각 구성된 제1 및 제2 에어 나이프를 포함한다. 액정 표시 장치용 기판 세정 방법 또한 제공된다.A substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display device is provided. A substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display device includes a first drive shaft and a first rotation shaft spaced apart from each other, and a belt-shaped first clean sheet wound around the first drive shaft and the first rotation shaft as a support shaft and rotated. A second cleaning part including a first cleaning part, a second drive shaft and a second rotation axis spaced apart from each other, and a belt-shaped second clean sheet wound around the second drive shaft and the second rotation axis as a support shaft, and First and second internally configured in the first and second clean sheets so that the outer surfaces of the first and second clean sheets may be uniformly in surface contact with the upper and lower surfaces of the liquid crystal display substrate fed from the outside, respectively; And a second air knife. Also provided is a substrate cleaning method for a liquid crystal display device.
액정 표시 장치, 클린 시트, 세정, 면접촉, 에어 나이프 LCD, Clean Sheet, Cleaning, Surface Contact, Air Knife
Description
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 세정 장치를 나타내는 걔략적인 사시도이다.1 is a schematic perspective view illustrating a substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2는 도 1의 액정 표시 장치용 기판 세정 장치의 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view of the substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display of FIG. 1.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 세정 장치에 기판이 투입되는 동작을 나타낸 사시도이다. 3 is a perspective view illustrating an operation of inserting a substrate into a substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
100: 제1 세정부 110: 제1 구동축100: first cleaning unit 110: first drive shaft
120: 제1 회전축 130: 제1 클린시트120: first rotating shaft 130: first clean sheet
140: 제1 에어 나이프 200: 제2 세정부 140: first air knife 200: second cleaning part
210: 제2 구동축 220: 제2 회전축210: second drive shaft 220: second rotation shaft
230: 제2 클린시트 240: 제2 에어 나이프 230: second clean sheet 240: second air knife
300: 기판 310: 컬러 필터 기판300: substrate 310: color filter substrate
320: 박막 트랜지스터 기판 400: 탈이온수 공급부 320: thin film transistor substrate 400: deionized water supply unit
본 발명은 액정 표시 장치용 기판 세정 장치 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate cleaning apparatus and method for a liquid crystal display device.
액정 표시 장치는 기판 상에 전극 물질, 반도체층 및 절연막의 도포와 에칭 작업을 통한 박막 트랜지스터(TFT: Thin Film Transistor)의 형성과 상/하 기판의 합착, 그리고 액정 주입 및 봉지 등의 여러가지 공정을 거쳐 완성되게 된다. The liquid crystal display device has various processes such as forming a thin film transistor (TFT), bonding upper and lower substrates, and injecting and encapsulating a liquid crystal through the application and etching of an electrode material, a semiconductor layer, and an insulating film on a substrate. After completion.
이러한 액정 표시 장치의 여러 제조 과정에서는 여러가지 이물질 및 기판 파편 등의 고착성 입자나 이물질 등이 기판에 달라붙어 기판을 오염시키는 경우가 종종 발생한다. 이러한 이물질에 의한 불량을 감소시키기 위하여 액정 표시 장치의 제조 공정 중에는 각 단계 별로 기판 세정 작업이 추가되게 된다.In various manufacturing processes of such a liquid crystal display, various foreign matters, adherent particles such as substrate fragments, foreign matters, etc. adhere to the substrate and often contaminate the substrate. In order to reduce defects caused by such foreign substances, a substrate cleaning operation is added to each step during the manufacturing process of the liquid crystal display.
기판의 세정 작업을 필요로 하는 각 제조 공정을 살펴보면, 먼저 기판상에 박막 트랜지스터 어레이(TFT array)를 형성하는 단계의 전후와, 배향막을 형성하고 액정 배향을 위해 배향막을 러빙하는 과정 후와, 상/하 기판을 합착한 다음 넓은 기판에서 각 패널들을 절단해내는 스크라이브(Scribe) 과정 후에, 그리고 패널에 액정을 주입하고 주입부를 봉지하는 공정 후에 각각 기판의 세정 작업이 이루어지게 된다. Referring to each manufacturing process that requires cleaning of the substrate, first, before and after forming a thin film transistor array (TFT array) on the substrate, after forming the alignment film and rubbing the alignment film for liquid crystal alignment, Substrate cleaning is performed after the scribing process of bonding the lower substrates and then cutting the panels from the wide substrates, and after injecting the liquid crystal into the panels and sealing the injection portions.
종래에는, 상기 기판 세정시 상부 및 하부면을 모두 세정하고자 할 경우, 상부면을 세정하고 다음 하부면이 상부로 오도록 뒤집어 세정하는 방식을 채택하는 것이 일반적이다. Conventionally, in the case of cleaning the upper and lower surfaces during the substrate cleaning, it is common to adopt a method of cleaning the upper surface and inverting the lower surface to the upper side.
한편, 상기 패널에 액정을 주입하고 주입부를 봉지하는 공정후에 실시하는 세정 공정의 경우, 상부면을 구성하는 컬러필터 기판과 하부면을 구성하는 박막 트 랜지스터 기판을 모두 세정해야 하므로, 양쪽면을 따로 세정하는 번거로운 문제점이 있었다. On the other hand, in the cleaning process performed after the process of injecting the liquid crystal into the panel and encapsulating the injection portion, both the color filter substrate constituting the upper surface and the thin film transistor substrate constituting the lower surface should be cleaned. There was a cumbersome problem of washing separately.
또한, 상기 패널을 뒤집기 위해서는 로봇암 또는 흡착핀 등으로 패널을 흡착하고 고정시켜야 하는데, 이때 패널이 부분적인 가압을 받게되어 액정 패널의 갭(gap) 불량이 발생할 수 있었다. In addition, in order to invert the panel, the panel should be adsorbed and fixed by a robot arm or an adsorption pin, etc. At this time, the panel may be partially pressurized to cause a gap defect in the liquid crystal panel.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 양면 동시 세정이 가능한 액정 표시 장치용 기판 세정 장치를 제공하는데 있다. An object of the present invention is to provide a substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display device capable of simultaneously cleaning both sides.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 클린 시트의 교환 주기를 연장시킬 수 있는 액정 표시 장치용 기판 세정 장치를 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to provide a substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display device capable of extending the replacement cycle of the clean sheet.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 액정이 주입되어 봉지된 상태의 액정 패널 세정시에, 상 하 기판의 부분적 가압에 의한 액정 패널의 갭 불량을 방지하는 액정 표시 장치용 기판 세정 장치를 제공하는데 있다. Another technical problem to be solved by the present invention is to provide a substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display device which prevents a gap defect of a liquid crystal panel due to partial pressurization of the upper and lower substrates when the liquid crystal panel is cleaned while the liquid crystal is injected and encapsulated. It is.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 에어 나이프를 이용한 압력 조절로 클린 시트의 기판 접촉시 스크레치 발생을 억제할 수 있는 액정 표시 장치용 기판 세정 장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display device capable of suppressing the occurrence of scratches when the substrate is in contact with the clean sheet by pressure control using an air knife.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는, 클린 시트의 교환 주기를 연장시킬 수 있는 액정 표시 장치용 기판 세정 방법을 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to provide a substrate cleaning method for a liquid crystal display device capable of extending the replacement cycle of the clean sheet.
상기한 기술적 과제들을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 기 판 세정 장치는, 서로 이격되어 위치하는 제1 구동축 및 제1 회전축과, 상기 제1 구동축 및 제1 회전축을 지지축으로하여 감겨져 회전되는 벨트 형상의 제1 클린 시트를 포함하는 제1 세정부와, 서로 이격되어 위치하는 제2 구동축 및 제2 회전축과, 상기 제2 구동축 및 제2 회전축을 지지축으로하여 감겨져 회전되는 벨트 형상의 제2 클린 시트를 포함하는 제2 세정부와, 상기 제1 및 제2 클린 시트의 외측 표면이 외부로부터 투입되는 액정 표시 장치용 기판의 상 하부 표면에 각각 균일하게 면접촉될 수 있도록 상기 제1 및 제2 클린 시트 내부에 각각 구성된 제1 및 제2 에어 나이프를 포함한다. In accordance with another aspect of the present invention, a substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display device is wound around a first drive shaft and a first rotation shaft, and the first drive shaft and the first rotation shaft are spaced apart from each other. A first washing part including a rotating belt-shaped first clean sheet, a second driving shaft and a second rotating shaft spaced apart from each other, and a belt shape wound around the second driving shaft and the second rotating shaft as a support shaft and rotating. The second cleaning unit including a second clean sheet of the second clean sheet and the outer surfaces of the first and second clean sheets so as to be in uniform surface contact with the upper and lower surfaces of the liquid crystal display device substrate fed from the outside, respectively. First and second air knives respectively configured within the first and second clean sheets.
또한, 외부로부터의 탈이온수를 상기 제1 및 제2 세정부에 각각 제공하는 탈이온수 공급부를 더 포함하는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable to further include a deionized water supply unit for providing deionized water from the outside to the first and second cleaning units, respectively.
한편, 상기 제1 세정부는 상기 기판의 상부면을 세정하고, 상기 제2 세정부는 상기 기판의 하부면을 세정하며, 상기 제1 및 제2 세정부의 기판 세정 동작은 동시에 이루어질 수 있다. Meanwhile, the first cleaning part may clean the upper surface of the substrate, the second cleaning part may clean the lower surface of the substrate, and the substrate cleaning operation of the first and second cleaning parts may be simultaneously performed.
이때, 상기 기판이 상기 제1 및 제2 세정부 사이를 통과하도록 이송시키되, 상기 기판의 모서리부분부터 통과되도록 하는 기판 이송부를 더 포함하는 것이 바람직하다. In this case, the substrate may be transferred so as to pass between the first and second cleaning parts, and further comprising a substrate transfer part allowing the substrate to pass from an edge portion of the substrate.
상기한 기술적 과제들을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 기판 세정 방법은, 제1 구동축 및 제1 회전축을 지지축으로하여 감겨져 있는 제1 클린 시트를 회전시키는 제1 단계와, 기판의 일측이 상기 제1 클린 시트의 외면에 닿도록 상기 기판을 이송시키는 제2 단계와, 상기 이송된 기판을 상기 제1 클린 시트 의 회전 방향과 수직이 되는 방향으로 진행시켜 기판을 세정하는 제3 단계를 포함하여 이루어진다. In accordance with another aspect of the present invention, there is provided a substrate cleaning method for a liquid crystal display device, the method including: a first step of rotating a first clean sheet wound around a first driving shaft and a first rotating shaft; A second step of transferring the substrate so as to contact the outer surface of the first clean sheet; and a third step of moving the transferred substrate in a direction perpendicular to the rotation direction of the first clean sheet to clean the substrate. It is made to include.
또한, 제1 구동축 및 제1 회전축을 지지축으로하여 감겨져 있는 제1 클린 시트와, 상기 제1 클린 시트와 마주보는 하부에 위치하며, 제2 구동축 및 제2 회전축을 지지축으로하여 감겨져 있는 제2 클린 시트를 각각 회전시키는 제1 단계와, 기판의 일측이 상기 제1 클린 시트와 상기 제2 클린 시트 사이에 투입되도록 상기 기판을 이송시키는 제2 단계와, 상기 이송된 기판을 상기 제1 및 제2 클린 시트의 회전 방향과 수직이 되는 방향으로 진행시켜 기판을 세정하는 제3 단계를 포함하여 이루어질 수도 있다. Further, a first clean sheet wound around the first drive shaft and the first rotation shaft as a support shaft, and a lower portion facing the first clean sheet, and wound around the second drive shaft and the second rotation shaft as the support shaft. A second step of rotating each of the two clean sheets, a second step of transferring the substrate such that one side of the substrate is inserted between the first clean sheet and the second clean sheet, and the transferred substrate is transferred to the first and second substrates. And a third step of cleaning the substrate by proceeding in a direction perpendicular to the rotation direction of the second clean sheet.
여기서, 상기 제1 및 제2 클린 시트는 엔드리스 타입의 시트인 것이 바람직하다. Here, it is preferable that the said 1st and 2nd clean sheet is an endless type sheet.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.
먼저, 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 세정 장치의 구조를 설명한다.First, the structure of a substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention will be described.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 세정 장치를 나타내는 걔략적인 사시도이고, 도 2는 도 1의 액정 표시 장치용 기판 세정 장치의 단면도이다.1 is a schematic perspective view illustrating a substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display of FIG. 1.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 세정 장치는, 제1 및 제2 세정부(100, 200)와 상기 제1 및 제2 세정부(100, 200) 내부에 각각 구성된 제1 및 제2 에어 나이프(140, 240)와 외부로부터의 탈이온수(DIW: De-Ionized Water)를 상기 제1 및 제2 세정부(100, 200)에 각각 제공하는 탈이온수 공급부(400)를 포함한다.1 and 2, the substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention may include first and
본 발명의 일실시예에 따르면, 액정 표시 장치용 기판의 상부 및 하부면을 동시에 세정할 수 있도록 상부에 위치하는 상기 제1 세정부(100)와 하부에 위치하는 상기 제2 세정부(200)를 구비한다. According to an embodiment of the present invention, the
상기 제1 세정부(100)는 외부로부터 이송된 기판(300)의 상부면, 예컨대, 컬러 필터 기판(310)과 박막 트랜지스터 기판(320) 사이에 액정을 주입하고 주입부를 봉지한 공정을 마친 후의 기판(300)이 이송되었을 때, 상부를 향한 컬러 필터 기판(310)쪽을 세정한다. 반대로, 상기 제2 세정부(200)는 하부를 향한 박막 트랜지스터 기판(320)쪽을 세정한다. 물론, 상기 기판(300)에서 박막 트랜지스터 기판(320)쪽이 상부를 향하고, 상기 컬러 필터 기판(310)쪽이 하부를 향하여 본 발명의 세정 장치에 이송된 경우에는, 상기 제1 세정부(100)가 상기 박막 트랜지스터 기판 (320)쪽을 세정하고 상기 제2 세정부(200)가 상기 컬러 필터 기판(310)쪽을 세정하는 방식으로 기판(300)의 양면을 동시에 세정할 수 있음은 물론이다. The
상기 제1 세정부(100)는 서로 이격되어 위치하는 제1 구동축(110) 및 제1 회전축(120)과, 상기 제1 구동축(110) 및 상기 제1 회전축(120)을 지지축으로하여 감겨져 회전되는 벨트 형상의 제1 클린 시트(130)를 포함한다. The
상기 제2 세정부(200)는 상기 제1 세정부(100)와 유사하게, 서로 이격되어 위치하는 제2 구동축(210) 및 제2 회전축(220)과, 상기 제2 구동축(210) 및 상기 제2 회전축(220)을 지지축으로하여 감겨져 회전되는 벨트 형상의 제2 클린 시트(230)를 포함한다. The
상기 제1 및 제2 구동축(110, 210)은 모터 동력에 의해 회전하여, 상기 제1 및 제2 회전축(120, 220)에 함께 감겨져 있는 제1 및 제2 클린 시트(130, 230)가 회전되도록 하고 이에 맞물려 상기 제1 및 제2 회전축(120, 220)이 함께 회전하면서, 기판(300)의 세정이 이루어지도록 하는 구조이다.The first and
여기서, 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230)는 AL2O3, CeO2 등의 재질로 이루어진 것이 바람직하다. 또한, 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230)는 벨트 형상을 갖는 엔드리스(Endless) 타입으로 종래의 롤 타입의 시트(Roll sheet)보다 교환 주기를 연장시킬 수 있는 장점을 갖는다. Here, the first and second
상기 제1 및 제2 에어 나이프(140, 240)는 벨트 형상의 제1 및 제2 클린 시트(130, 230)의 내부에 위치하며, 상기 제1 및 제2 에어 나이프(140, 240)에 각각 구비된 슬릿(미도시)을 통해 클린 드라이 에어(CDA: Clean Dry Air)를 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230)의 내부측에 각각 분사하도록 구성된다. The first and
상기 클린 드라이 에어(CDA)가 세정 동작 중에 계속해서 공급되어, 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230)의 외측 표면이 외부로부터 투입되는 액정 표시 장치용 기판(300)의 상 하부 표면에 각각 균일하게 면접촉되도록 하여 효과적으로 기판을 세정할 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(300)과 클린 시트(130, 230)와의 불균일한 접촉에 의해 발생될 수 있었던 스크레치(Scratch) 현상 등을 방지할 수 있다. The clean dry air (CDA) is continuously supplied during the cleaning operation, so that the outer surfaces of the first and second
상기 탈이온수 공급부(400)는 상기 제1 및 제2 세정부(100, 200)에 각각 탈이온수(DIW: De-Ionized Water)를 제공하는 것으로, 상기 회전 동작을 하는 제1 및 제2 클린 시트(130, 230) 쪽으로 탈이온수를 분사하거나, 또는 상기 기판(300)에 직접 탈이온수를 분사함으로서, 기판(300)에 붙어 있는 오염 물질 등이 완벽하게 제거되도록 한다. The deionized
또한, 도면에는 도시되지 않았지만, 본 발명의 액정 표시 장치용 기판 세정 장치는 상기 기판(300)을 상기 제1 및 제2 세정부(100, 200) 사이에 투입하여 이들 사이를 통과시키는 기판 이송부를 더 포함할 수 있다. 상기 기판 이송부는 외부로부터 투입되는 기판(300)이 상기 제1 및 제2 세정부(100, 200) 사이에 투입되도록 하는 컨베이어 벨트(conveyor belt)와 같은 구성으로 이루어질 수 있다. 구체적으로, 상기 기판 이송부는 상류 이송부와 하류 이송부를 포함한다. 즉, 상류 이송부는 상기 기판(300)을 상기 제1 및 제2 세정부(100, 200) 사이에 투입되도록 이송시키며, 하류 이송부는 상기 제1 및 제2 세정부(100, 200) 사이에 투입된 기판(300) 이 상기 세정부(100, 200) 사이를 원할하게 빠져나오도록 하여 외부로 이송시킨다.In addition, although not shown in the drawings, the substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display device according to the present invention may include a substrate transfer unit which inserts the
이때, 상기 상류 이송부는 상기 기판(300)이 상기 제1 및 제2 세정부(100, 200) 사이, 구체적으로, 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230) 사이에 투입될 때에, 걸리는 현상을 방지하도록 상기 기판(300)을 비스듬하게 이송하여 기판(300)의 모서리 부분부터 투입될 수 있도록 하는 것이 바람직하다. In this case, the upstream transfer part is caught when the
한편, 본 발명의 일실시예에서는 기판(300)의 양면을 동시에 세정하는 기판 세정 장치를 예로 들어 설명하였으나, 상술한 제1 세정부(100) 또는 제2 세정부(200) 중 어느 하나만이 별도로 구비되어, 기판(300)의 단면을 세정할 수 있도록 하는 방식으로도 본 발명의 따른 기판 세정 장치를 구현시킬 수 있음은 물론이다. Meanwhile, in one embodiment of the present invention, a substrate cleaning apparatus for simultaneously cleaning both surfaces of the
다음은, 도 3을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 세정 장치의 동작을 설명한다. Next, an operation of the substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 3.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 세정 장치에 기판이 투입되는 동작을 나타낸 사시도이다. 3 is a perspective view illustrating an operation of inserting a substrate into a substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
먼저, 모터 동력에 의해 상기 제1 및 제2 구동축(110, 210)이 회전하고, 이에 따라 상기 제1 및 제2 회전축(120, 220)에 함께 감겨져 있는 제1 및 제2 클린 시트(130, 230)가 회전되도록 하고 이에 맞물려 상기 제1 및 제2 회전축(120, 220)이 함께 회전한다. First, the first and
상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230)가 회전되는 동안 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230) 사이에 상기 기판(300)을 투입시켜 상기 기판(300)의 상 하부면을 동시에 세정하도록 한다.While the first and second
여기서, 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230)는 엔드리스 타입의 시트로서, 상기 구동축(110, 210)에 의한 구동력으로 회전한다. 이때, 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230)의 회전 방향과 수직되는 방향으로 상기 기판(300)을 투입하여 기판 세정 작업이 진행되도록 한다.Here, the first and second
이때, 상기 기판(300)은 도 3에 도시된 바와 같이, 모서리 부분부터 먼저 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230) 사이에 투입될 수 있도록 상기 상류 이송부에 의해 비스듬하게 이송되어진다. In this case, as shown in FIG. 3, the
이에 따라, 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230) 사이에 상기 기판(300)이 반듯하게 투입되었을 때 발생될 수 있었던 걸림 등에 의한 투입 실패(Insert fail)를 방지할 수 있다. Accordingly, insertion failure due to a jam or the like, which may occur when the
상기 기판(300)이 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230) 사이에 투입되면, 상기 제1 및 제2 에어 나이프(140, 240)에서 제공되는 클린 드라이 에어(CDA)의 압력에 의해 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230)의 외부 표면은 팽팽하게 유지되어 상기 기판(300)에 균일하게 면접촉된다.When the
상기 하류 이송부는 투입된 기판(300)이 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230)의 회전 방향과 수직된 방향으로 진행되도록 상기 기판(300)을 외부로 배출시킨다.The downstream transfer part discharges the
또한, 상기 제1 및 제2 세정부(100, 200)의 동작과 동시에 상기 탈이온수 공급부(400)는 상기 탈이온수를 회전되는 상기 제1 및 제2 클린 시트(130, 230) 쪽으로 분사하거나, 또는 상기 기판(300)에 직접 분사하여 기판(300)에 붙어 있는 오염 물질 등이 완벽하게 제거되도록 한다. In addition, the deionized
따라서, 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 기판 세정 장치는 상 하부에 맞물려 위치하는 제1 및 제2 세정부(100, 200)를 구비하여 기판(300)의 양면을 동시에 세정할 수 있도록 하였다. 이에 따라, 액정이 주입되어 봉지된 상태의 액정 패널 세정시에, 패널을 뒤집어 상부 및 하부면을 따로 세정하여 발생될 수 있었던 종래의 문제점을 해소할 수 있다. 즉, 종래에 상기 기판을 로봇암 또는 흡착핀 등으로 뒤집는 과정에서 상기 기판이 부분적 가압에 노출되어 발생되었던 액정 패널의 갭 불량 등의 문제점을 해소할 수 있다. Accordingly, the substrate cleaning apparatus for a liquid crystal display according to the present invention includes first and
또한, 에어 나이프(140, 240) 사용에 따른 클린 시트(130, 230)와 기판(300) 간에 균일한 면접촉에 의하여 스크레치 현상을 방지할 수 있다. In addition, scratches may be prevented by uniform surface contact between the
한편, 본 발명의 일실시예에서는 기판(300)의 양면을 동시에 세정하는 기판 세정 방법을 예로 들어 설명하였으나, 기판(300)의 단면을 따로 세정할 경우에도, 클린 시트를 회전시키고, 기판의 일측이 상기 클린 시트의 외면에 닿도록 기판을 이송시켜, 이송된 기판이 상기 클린 시트의 회전 방향과 수직이 되는 방향으로 진행되도록 하는 방식으로 기판을 세정할 수 있음은 물론이다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, a substrate cleaning method for simultaneously cleaning both surfaces of the
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 당업자에 의해 다양하게 변형 실시될 수 있다.Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to the above embodiments and can be variously modified and implemented by those skilled in the art without departing from the technical scope of the present invention.
본 발명의 액정 표시 장치용 기판 세정 장치 및 방법에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다. According to the substrate cleaning apparatus and method for a liquid crystal display of the present invention, there are one or more of the following effects.
외부로부터 투입되는 기판을 뒤집지 않고 양면을 동시에 세정할 수 있다. Both surfaces can be cleaned simultaneously without flipping the substrate fed from the outside.
클린 시트의 교환 주기를 연장시킬 수 있다.The replacement cycle of the clean sheet can be extended.
액정이 주입되어 봉지된 상태의 액정 패널 세정시에, 상 하 기판의 부분적 가압에 의한 액정 패널의 갭 불량을 방지할 수 있다. When the liquid crystal panel is washed while the liquid crystal is injected and encapsulated, a gap failure of the liquid crystal panel due to partial pressurization of the upper and lower substrates can be prevented.
에어 나이프를 이용한 압력 조절로 클린 시트의 기판 접촉시 스크레치 발생을 억제할 수 있다.Pressure regulation using an air knife can suppress scratch generation during substrate contact of the clean sheet.
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