KR20020013265A - Magnetic slit door - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A magnetic slit door is provided to open/close a slit door using magnetism, by not using a specific driving unit which generates a physical driving force to remove a problem of a slit door switching apparatus using a driving force generated by a cylinder. CONSTITUTION: A magnetic device(M) is capable of rotating about a hinge(h) at a predetermined angle. A ferrous piece(F) vertically stands up and closes an open surface. An electromagnetic unit(EM) draws the magnetic device closely adhered to the ferrous piece by attraction and rotates about the hinge at a predetermined angle so that a horizontal open surface is opened. A control unit controls power supply to make the electromagnetic unit generate magnetism.

Description

마그네틱 슬릿도어{magnetic slit door}Magnetic slit door

본 발명은 반도체 장비의 일부인 챔버(chamber)사이를 격리하는 슬릿도어(slit door) 장치에 관한 것으로 특히, 실린더등에 의해 발생되는 구동력을 이용한 슬릿도어 개폐장치의 문제점을 해소하기 위하여 물리적인 구동력을 발생시키는 특정 구동 수단 없이 자력을 이용한 슬릿도어 개폐를 수행할 수 있도록 하는 마그네틱 슬릿도어에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a slit door device that isolates between chambers that are part of semiconductor equipment, and in particular, to generate a physical driving force to solve the problem of the slit door opening and closing device using a driving force generated by a cylinder. The present invention relates to a magnetic slit door capable of performing opening and closing of a slit door using magnetic force without a specific driving means.

일반적으로, 반도체 장비인 챔버에는 첨부한 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 각 챔버 사이를 격리하기 위해 슬릿도어 장치를 구비하게 되는데, 도면에서 18은 로드-락 챔버, 20은 공정 챔버, 22는 슬릿도어, 24는 새프트를 각각 나타낸다. 이와 같은 슬릿도어 장치를 구비하는 이유는 웨이퍼 공정 중에는 공정 챔버(20)가 외부의 영향을 받기 쉬워 공정이 변할 수 있기 때문에 로드-락(load-lock) 챔버(18)와 격리하여야 하기 때문이다.In general, a chamber, which is a semiconductor device, is provided with a slit door device to isolate between the chambers as shown in FIG. 1, where 18 is a load-lock chamber, 20 is a process chamber, and 22 is a slit. Doors 24 represent shafts, respectively. The reason why such a slit door device is provided is that the process chamber 20 must be isolated from the load-lock chamber 18 because the process chamber 20 is susceptible to external influences during the wafer process and the process can be changed.

종래에는 회전에 의한 개폐식 슬릿도어 장치를 채용하여 웨이퍼를 이송할 때는 새프트(24)를 중심으로 회전시켜 슬릿도어(22)를 개방하며 반도체 웨이퍼에 공정을 행할 때에는 슬릿도어(22)를 몸체(4)에 가압하여 밀페시킨다.Conventionally, when the wafer is transported by rotating the slit door device by rotation, the slit door 22 is opened by rotating around the shaft 24 to open the slit door 22, and when the process is performed on the semiconductor wafer, the body of the slit door 22 is formed. Pressurize to 4) and seal.

그러나, 종래의 슬릿도어 장치는 새프트(24)에서 떨어진 끝부분에서 챔버사이의 압력차로 인하여 미세하게 개방되어 실링효과가 떨어지는 문제점이 발생되었으므로 이를 해소하기 위하여 첨부한 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 에어 실린더에 의하여 전진과 후진을 할 수 있는 경사지게 형성된 슬릿도어 장치이다.However, the conventional slit door apparatus has a problem that the sealing effect is decreased due to the minute opening due to the pressure difference between the chambers at the end away from the shaft 24, so as shown in FIG. The slant door device is formed to be inclined forward and backward by an air cylinder.

첨부한 도 2는 선행기술에 따른 챔버를 격리하는 경사 슬릿도어 장치를 나타내는 단면도이며, 도면에서 2는 경사 슬릿도어, 4는 몸체, 6은 힌지, 8은 스플라인 너트, 10은 스플라인 새프트, 12는 벨로우즈, 14는 에어 실린더, 16은 서포트 하우징, 18은 로드-락(10ad-10ck)챔버, 20은 공정 챔버를각각 나타낸다.2 is a cross-sectional view showing a slanted slit door device for isolating a chamber according to the prior art, in which 2 is a slanted slit door, 4 is a body, 6 is a hinge, 8 is a spline nut, 10 is a spline shaft, 12 Bellows, 14 air cylinder, 16 support housing, 18 load-lock (10ad-10ck) chamber and 20 a process chamber.

로드-락 챔버(18)와 공정 챔버(20) 사이에 경사 슬릿도어(2)면이 밀착될 수 있도록 소정의 각도를 갖는 쐐기형의 돌기와 단차를 몸체에 형성하고 경사 슬릿도어 장치 전체를 소정의 각도로 설치하고 서포트 하우징(support housing)(16)에의하여 지지하고 밀폐시킨다. 경사 슬릿도어(2)는 힌지(hinge)(6)에 연결되며, 힌지(6)는 스플라인 너트(spline nut)(8)에 연결되어 그 내부에 스플라인 새프트(spline shaft)(10)를 설치하고, 스플라인 너트(8) 외부를 감싸면서 경사 슬릿도어(2)의 전진과 후진에 따라 주름이 접혔다 펴지는 벨로우즈(bellows)(12)와 연결되며, 서포트 하우징(supporthousing)(16)에 연결된 에어실린더(14)(air cylinder)에 연결한다. 웨이퍼를 이송할 때는 에어 실린더(air cylinder)(14)에 의하여 스플라인 새프트(spline shaft)(10)를 이동하여 경사 슬릿도어(2)를 후진시켜 웨이퍼가 이송할 수 있는 공간을 확보하며, 이송된 웨이퍼에 반도체 제조공정을 가할 때에는 에어 실린더(14)에 의하여 구동된 스플라인 새프트(10)를 전진시켜 경사 슬릿도어(2)를 몸체(4)에 밀착함으로써 밀폐시켜 로드-락 챔버(18)와 공정 챔버(20)를 격리시킨다. 경사슬릿도어(2)에 의한 밀폐작용은 에어 실린더(14)에 의하여 큰 동력이 소요됨이 없이 완전하게 이루어진다.Wedge-shaped protrusions and steps having a predetermined angle are formed on the body so that the surface of the inclined slit door 2 is closely contacted between the load-lock chamber 18 and the process chamber 20. It is installed at an angle and supported and sealed by a support housing 16. The slanted slit door 2 is connected to a hinge 6, the hinge 6 is connected to a spline nut 8 to install a spline shaft 10 therein. And a bellows 12 which is folded and unfolded in accordance with the forward and backward movement of the inclined slit door 2 while surrounding the outside of the spline nut 8, and connected to the support housing 16. To the air cylinder (14). When transferring the wafer, the spline shaft 10 is moved by an air cylinder 14 to move the inclined slit door 2 backward to secure a space for the wafer to be transferred. When the semiconductor manufacturing process is applied to the prepared wafer, the spline shaft 10 driven by the air cylinder 14 is advanced, and the inclined slit door 2 is brought into close contact with the body 4 to seal the load-lock chamber 18. And process chamber 20 are isolated. The sealing action by the inclined slit door 2 is made completely by the air cylinder 14 without requiring a large power.

이와 같은 선행기술은 그 동작상의 문제점은 발생하지 않지만, 슬릿도어의개폐동작을 위한 구성요소들의 영화가 많다는 문제점이 제시되었으며, 에어 실린더의 구동성능은 시간이 경과하면서 저하되는 특성이 있기 때문에 신뢰성의 저하라는 문제점이 발생되었다.This prior art does not cause any problems in its operation, but it has been suggested that there are many films of components for opening and closing of the slit door, and the driving performance of the air cylinder is deteriorated over time. The problem of degradation has arisen.

또한, 구동수단들의 마찰에 의한 이물질이 생성될 수 있다는 문제점이 발생되었다.In addition, a problem has arisen that foreign matters may be generated by friction of the driving means.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 반도체 장비의 일부인 챔버(chamber)사이를 격리하는 슬릿도어(slit door) 장치에 관한 것으로 특히, 실린더등에 의해 발생되는 구동력을 이용한 슬릿도어 개폐장치의 문제점을 해소하기 위하여 물리적인 구동력을 발생시키는 특정 구동 수단 없이 자력을 이용한 슬릿도어 개폐를 수행할 수 있도록 하는 마그네틱 슬릿도어를 제공하는 데 있다.An object of the present invention for solving the above problems relates to a slit door device to isolate between the chamber (chamber) that is part of the semiconductor equipment, in particular, a slit door opening and closing device using a driving force generated by the cylinder, etc. In order to solve the problem of the present invention is to provide a magnetic slit door that can perform the opening and closing of the slit door using a magnetic force without a specific driving means for generating a physical driving force.

도 1은 종래 기술에 의한 챔버사이를 격리하는 슬릿도어 장치를 나타내는 단면도1 is a cross-sectional view showing a slit door device for isolation between chambers according to the prior art

도 2는 선행기술에 의해 도 1에 도시되어 있는 종래 기술의 문제점을 해소하기 위한 챔버사이를 격리하는 경사 슬릿도어 장치를 나타내는 단면도FIG. 2 is a cross-sectional view showing an inclined slit door device that isolates between chambers to solve the problems of the prior art shown in FIG. 1 by prior art.

도 3a 내지 도 3d는 본 발명에 따른 마그네틱 슬릿도어의 구성 및 동작을 나타내는 예시도3a to 3d is an exemplary view showing the configuration and operation of the magnetic slit door according to the present invention

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

2 : 경사 슬릿도어 4 : 몸체2: slanted slit door 4: body

6 : 힌지 8 : 스플라인 너트6: hinge 8: spline nut

10 : 스플라인 새프트 12 : 벨로우즈10: spline shaft 12: bellows

14 : 에어실린더 16 : 서포트 하우징14 air cylinder 16 support housing

18 : 로드-락 챔버 20 : 공정 챔버18: load-lock chamber 20: process chamber

22 : 슬릿도어 24 : 새프트22: slit door 24: shaft

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 마그네틱 슬릿도어의 특징은, 힌지를 중심으로 소정각도로 회전운동 가능한 마크네틱소자와, 상기 마크네틱소자가 상기 힌지를 중심으로 소정각도로 회전운동하여 수직으로 세워져서 개방면을 폐쇄할 수 있도록 하는 철편과, 상기 철편과 자력에 의해 밀착되어 있는 상기 마크네틱(M)소자를 인력으로 잡아당겨 상기 힌지를 중심으로 소정각도로 회전운동하여 수평으로 누워 개방면을 개방할 수 있도록 하는 전자력수단, 및 상기 전자력수단에서 자력을 발생시킬 수 있도록 전력의 공급을 제어하는 제어수단을 포함하는 데 있다.Features of the magnetic slit door according to the present invention for achieving the above object, the vertical rotational movement of the magnetic element around the hinge at a predetermined angle, the magnetic element is rotated at a predetermined angle about the hinge vertically Pull up the iron piece to stand up and close the open surface, and pull the makinetic (M) element in close contact with the iron piece by magnetic force and rotate it at a predetermined angle around the hinge to lay it horizontally. Electromagnetic force means for opening the, and the control means for controlling the supply of power to generate a magnetic force in the electromagnetic force means.

본 발명의 상술한 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 후술되는 발명의 바람직한 실시 예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above object and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the present invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 살펴보기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3a 내지 도 3d는 본 발명에 따른 마그네틱 슬릿도어의 구성 및 동작을 나타내는 예시도로서, 그 기본적인 동작상태를 나타내는 것은 첨부한 도 3b와 도 3d이다.3A to 3D are exemplary views showing the configuration and operation of the magnetic slit door according to the present invention, and the basic operation states thereof are shown in FIGS. 3B and 3D.

도 3a는 본 발명에 따른 마그네틱 슬릿도어의 개방상태에서의 정면도이며, 도 3b는 본 발명에 따른 마그네틱 슬릿도어의 개방상태에서의 단면도이고, 도 3c는 본 발명에 따른 마그네틱 슬릿도어의 폐쇄상태에서의 정면도이며, 도 3b는 본 발명에 따른 마그네틱 슬릿도어의 폐쇄상태에서의 단면도이다.Figure 3a is a front view in an open state of the magnetic slit door according to the present invention, Figure 3b is a sectional view in an open state of the magnetic slit door according to the invention, Figure 3c is a closed state of the magnetic slit door according to the present invention 3B is a cross-sectional view in a closed state of the magnetic slit door according to the present invention.

도 3d에 도시되어 있는 바와 같이, 힌지(h)를 중심으로 소정각도로 회전운동 가능한 마크네틱(M)소자와, 상기 마크네틱(M)소자가 상기 힌지(h)를 중심으로 소정각도로 회전운동하여 수직으로 세워져서 개방면을 폐쇄할 수 있도록 하는 철편(F), 및 상기 철편(F)과 자력에 의해 밀착되어 있는 상기 마크네틱(M)소자를 인력으로 잡아당겨 상기 힌지(h)를 중심으로 소정각도로 회전운동하여 수평으로 누워 개방면을 개방할 수 있도록 하는 전자력수단(EM)으로 이루어진다.As shown in FIG. 3D, the makinetic (M) element capable of rotating at a predetermined angle about the hinge (h) and the makinetic (M) element rotate at a predetermined angle about the hinge (h). The iron piece (F), which is erected vertically by movement, and closes the open surface, and pulls the hinge (h) by the attraction force of the element (M) which is in close contact with the iron piece (F) by magnetic force. It consists of an electromagnetic force means (EM) to open the open surface lying horizontally by rotating the rotation at a predetermined angle to the center.

이때, 도시하지는 않았으나 상기 전자력수단(EM)에서 자력을 발생시킬 수 있도록하는 제어수단이 구비된다.At this time, although not shown is provided with a control means for generating a magnetic force in the electromagnetic force means (EM).

따라서, 개방면을 폐쇄시키고자 하는 경우 제어수단은 상기 전자력수단(EM)에 인가하는 전력을 차단하여 자장의 형성을 차단하고, 그에 따라 상기 전자력수단(EM)과 마크네틱(M)소자사이에 형성되어 있던 인력이 사라짐에 의해 상기 마크네틱(M)소자는 힌지(h)에 의해 상기 힌지(h)를 중심으로 회전운동하여 수직으로 세워지고 상기 마크네틱(M)소자가 갖고 있는 자력에 의해 상기 마크네틱(M)소자는 철편(F)과 밀착하여 개방면을 밀폐시키게 된다.Therefore, in order to close the open surface, the control means cuts off the power applied to the electromagnetic force means EM to block the formation of the magnetic field, and thus, between the electromagnetic force means EM and the macular element M. Due to the disappearance of the attraction force, the mark nematic (M) element is rotated about the hinge (h) by the hinge (h) and is erected vertically, and is caused by the magnetic force of the mark (M) element. The macular (M) element is in close contact with the iron piece (F) to seal the open surface.

반대의 경우 즉, 개방면을 개방시키고자 하는 경우 상기 제어수단은 상기 전자력수단(EM)에 전력을 인가하여 자장을 형성시키고, 이때 생성되는 자장에 의해 상기 전자력수단(EM)과 마크네틱(M)소자사이에 인력이 발생됨에 따라 상기 마크네틱(M)소자는 힌지(h)를 중심으로 회전운동하여 수평으로 누워 개방면을 개방시키게 된다.On the contrary, when the open surface is to be opened, the control means applies electric power to the electromagnetic force EM to form a magnetic field, and the electromagnetic force EM and the magnetic M are generated by the magnetic field generated at this time. As the attraction between the elements is generated, the magnetic device (M) is rotated about the hinge (h) to lie horizontally to open the open surface.

이상의 설명에서 본 발명은 특정의 실시예와 관련하여 도시 및 설명하였지만, 특허청구범위에 의해 나타난 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 개조 및 변화가 가능하다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다.While the invention has been shown and described in connection with specific embodiments thereof, it will be appreciated that various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the invention as indicated by the claims. Anyone who owns it can easily find out.

상술한 바와 같이 동작하는 본 발명에 따른 마그네틱 슬릿도어를 제공하면, 실린더등에 의해 발생되는 구동력을 이용한 슬릿도어 개폐장치의 문제점을 해소하기 위하여 물리적인 구동력을 발생시키는 특정 구동 수단 없이 챔버와 챔버간의 개방과 폐쇄를 수행할 수 있다.When providing the magnetic slit door according to the present invention that operates as described above, in order to solve the problem of the slit door opening and closing device using the driving force generated by the cylinder, etc., the opening between the chamber and the chamber without a specific driving means for generating a physical driving force And closure can be performed.

Claims (1)

힌지(h)를 중심으로 소정각도로 회전운동 가능한 마크네틱(M)소자와,A mechanical element (M) capable of rotating in a predetermined angle about the hinge (h), 상기 마크네틱(M)소자가 상기 힌지(h)를 중심으로 소정각도로 회전운동하여 수직으로 세워져서 개방면을 폐쇄할 수 있도록 하는 철편(F)과,An iron piece (F) to allow the makinetic (M) element to stand vertically by rotating at a predetermined angle about the hinge (h) to close the open surface; 상기 철편(F)과 자력에 의해 밀착되어 있는 상기 마크네틱(M)소자를 인력으로 잡아당겨 상기 힌지(h)를 중심으로 소정각도로 회전운동하여 수평으로 누워 개방면을 개방할 수 있도록 하는 전자력수단(EM), 및Electromagnetism to pull the mark (M) element in close contact with the iron piece (F) by a magnetic force by a manpower to rotate the predetermined angle about the hinge (h) to lie horizontally to open the open surface Means (EM), and 상기 전자력수단(EM)에서 자력을 발생시킬 수 있도록 전력의 공급을 제어하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 마그네틱 슬릿도어.Magnetic slit door, characterized in that it comprises a control means for controlling the supply of power to generate a magnetic force in the electromagnetic force means (EM).
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