KR20020012753A - 액정 표시소자 및 그의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 공기중에 노출되는 비정질실리콘으로 구성된 활성층의 침식을 방지할 수 있는 액정 표시소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은 구동회로부의 패드부와 접속되기 위한 패드부 및 상기 패드부와 전극라인을 접속하기 위한 링크부를 구비하는 액정 표시소자에 있어서, 상기 패드부 및 링크부는 임의의 기판 상에 형성된 제1 전극과; 상기 제1 전극 상에 형성된 절연막과; 상기 제1 전극이 외부에 노출되도록 하기 위한 접촉홀과; 상기 패드부에 형성된 접촉홀을 통해 상기 제1 전극과 접속되기 위한 제2 전극과; 상기 링크부에 형성된 접촉홀을 통해 상기 제1 전극과 다른층에 형성된 상기 전극라인을 접속시키기 위한 제3 전극을 구비한다.
본 발명은 금속전극 및 절연막으로만 데이터패드부 및 데이터링크부를 구성하여 제조함으로써, 데이터패드부 및 데이터링크부가 외부에 노출될 시 발생하는 전극의 부식을 방지할 수 있다.
Description
본 발명은 액정 표시소자 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 특히, 공기중에 노출되는 비정질실리콘으로 구성된 활성층의 침식을 방지할 수 있는 액정 표시소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
통상, 액정표시(Liquid Crystal Display; LCD) 소자는 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들이 비디오신호에 따라 광투과율을 조절함으로써 액정패널에 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여, 액정표시소자는 액정셀들이 액티브 매트릭스(Active Matrix) 형태로 배열된 액정패널과, 액정셀들을 구동하기 위한 구동 집적회로(Integrated Circuit; 이하, IC라 한다)들을 구비한다. 구동 IC들은 통상 칩(Chip) 형태로 제작되며 탭(TAB; Tape Autoamted Bonding) 방식인 경우 TCP(Tape Carrier Package)에 실장되거나 COG(Chips On Glass) 방식인 경우 액정패널의 표면에 실장되게 된다. TAB 방식인 경우 구동 IC들은 TCP에 의해 액정패널에 마련된 패드부와 전기적으로 접속되어 있다.
도 1을 참조하면, 통상의 액정패널을 나타내는 평면도가 도시되어 있다.
도 1의 액정패널(2)은 하판(4)과 상판(6)이 대향하여 접착된 구조로 매트릭스 액정셀들이 위치하는 화상표시부(8)와, 구동 IC들과 화상표시부(8) 사이에 접속되는 게이트 패드부(12) 및 데이터 패드부(14)를 포함하게 된다. 화상표시부(8)에 있어서, 하판(4)에는 비디오신호가 인가되는 데이터라인들과 주사신호가 인가되는게이트라인들이 서로 교차하여 배치되고, 그 교차부에 액정셀들을 스위칭하기 위한 박막트랜지스터와, 박막트랜지스터에 접속되어 액정셀을 구동하는 화소전극이 형성되어 있다. 상판(6)에는 블랙 매트릭스에 의해 셀영역별로 분리되어 도포된 칼러필터들과, 칼러필터들의 표면에 공통 투명전극이 도포되어 있다. 이러한, 상하판(4, 6)은 스페이서에 의해 이격되어 셀갭이 마련되고, 그 셀갭에는 액정물질로 채워져 있다. 상판(6)과 하판(4)은 화상표시부(8) 외곽의 실링부(10)에 도포된 실링재에 의해 접착된다. 상판(6)과 중첩되지 않는 하판(4)의 가장자리 영역에는 게이트 패드부(12)와, 데이터 패드부(14)가 마련된다. 이 게이트 패드부(12)는 게이트 구동 IC로부터 공급되는 게이트신호를 화상표시부(8)의 게이트라인들에 공급한다. 데이터 패드부(14)는 데이터 구동IC로 부터 공급되는 비디오신호를 화상표시부(8)의 데이터라인들에 공급한다.
도 2는 도 1에서 데이터패드 및 데이터링크부의 일부분을 확대하여 도시한다.
도 2를 참조하면, 먼저 데이터링크(16)는 데이터패드(14)와 화상표시부의 도시되지 않은 데이터라인과 함께 형성된다. 데이터링크(16)의 하부에는 반도체층(21)이 데이터 패드(14)까지 연장되어 형성된다. 데이터패드(14)는 유기보호막에 형성된 컨택홀(25)을 통해 투명전극(24)과 접촉된다. 이 투명전극(24)은 TAB 과정에서 요구되는 TCP의 접착과정 반복시 데이터패드(14)인 금속전극을 보호함과 아울러 금속전극의 산화를 방지하는 역할을 한다.
도 3은 도 2에 도시된 데이터패드부 및 데이터링크부를 선 A-A'로 절단한 단면도이다.
도 3을 참조하면, 먼저 데이터패드부(14)는 투명기판(1) 상에 형성된 절연막(20)과, 절연막(20) 상에 형성된 활성층(21)과, 활성층(22) 상에 형성된 금속전극(22)과, 금속전극(22)을 덮도록 형성된 패시베이션층(23)과, 패시베이션층(23) 상에 형성된 투명전극(24)을 구비한다. 데이터링크부(16)는 투명기판(1) 상에 형성된 절연막(20a)과, 절연막(20a) 상에 형성된 활성층(21a)과, 활성층(21a) 상에 형성된 금속전극(22a)과, 금속전극(22a)을 덮도록 형성된 패시베이션층(23a)을 구비한다. 절연막(20,20a)은 질화실리콘 또는 산화실리콘으로 형성된다. 활성층(21,21a)은 불순물이 도핑되지 않은 비정질실리콘 또는 다결정실리콘으로 형성된다. 금속전극(22,22a)은 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 티타늄 또는 탄탈륨 등의 금속이나, MoW, MoTa 또는 MoNb 등의 몰리브덴 합금(Mo alloy)으로 형성되는 것으로, 금속전극(22,22a)은 도시되지 않은 데이터라인과 연결된다. 패시베이션층(23,23a)은 산화실리콘 또는 질화실리콘 등의 무기 절연물질이나, 또는 아크릴(acryl)계 유기화합물, BCB(β-stagged-divinyl-siloxane benzocyclobutene) 또는 PFCB(perfluorocyclobutane) 등의 유기절연물로 형성된다. 데이터패드부(14)에 포함된 패시베이션층(23)에는 금속전극(22)을 노출시키는 접촉홀(25)이 형성되며, 이 패시베이션층(23) 상의 접촉홀(25)을 통해 금속전극(22)과 접촉되는 투명전극(24)이 형성된다. 투명전극(24)은 투명한 전도성물질인 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide : ITO), 주석산화물(Tin Oxide : TO) 또는 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide : IZO)으로 형성된다.
이와 같이 제조된, 종래 기술에 따른 액정 표시소자의 데이터패드부 및 데이터링크부는 공기중에 일부가 노출된다. 공기중에 노출된 데이터패드부 및 데이터링크부는 공기속에 포함된 오염성분이 흡착되어 침식된다. 이는 도 3의 "a,b"부분과 같이 데이터패드부 및 데이터링크부에 포함된 활성층에 오염성분이 흡착되기 때문이다. 활성층은 비정질실리콘으로 구성되어 있기 때문에 오염성분에 의해 쉽게 침식된다. 이로인해 투명기판 상에 형성된 전극이 침식된다.
따라서, 본 발명의 목적은 공기중에 노출되는 비정질실리콘으로 구성된 활성층의 침식을 방지할 수 있는 액정 표시소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
도 1은 통상의 액정패널을 나타낸 평면도.
도 2는 도 1에 도시된 데이터패드부 및 데이터링크부의 일부분을 확대하여 나타낸 평면도.
도 3은 도 2에 도시된 데이터패드부 및 데이터링크부를 선 A-A'로 절단한 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 데이터패드부 및 데이터링크부를 나타낸 평면도.
도 5는 도 4에 도시된 데이터패드부 및 데이터링크부를 선 B-B'로 절단한 단면도.
도 6은 도 4에 도시된 데이터패드부 및 데이터링크부를 선 C-C'로 절단한 단면도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시소자는 구동회로부의 패드부와 접속되기 위한 패드부 및 상기 패드부와 전극라인을 접속하기 위한 링크부를 구비하는 액정 표시소자에 있어서, 상기 패드부 및 링크부는 임의의 기판 상에 형성된 제1 전극과; 상기 제1 전극 상에 형성된 절연막과; 상기 제1 전극이 외부에 노출되도록 하기 위한 접촉홀과; 상기 패드부에 형성된 접촉홀을 통해 상기 제1 전극과 접속되기 위한 제2 전극과; 상기 링크부에 형성된 접촉홀을 통해 상기 제1 전극과 다른층에 형성된 상기 전극라인을 접속시키기 위한 제3 전극을 구비한다.
본 발명의 실시예에 따른 액정 표시소자의 제조방법은 구동회로부의 패드부와 접속되기 위한 패드부 및 상기 패드부와 전극라인을 접속하기 위한 링크부를 구비하는 액정 표시소자의 제조방법에 있어서, 상기 패드부 및 링크부는 임의의 기판 상에 제1 전극이 형성되는 단계와; 상기 제1 전극 상에 절연막이 형성되는 단계와; 상기 제1 전극이 외부에 노출되도록 접촉홀이 형성되는 단계와; 상기 패드부에 형성된 접촉홀을 통해 상기 제1 전극과 접속되기 위한 제2 전극이 형성되는 단계와; 상기 링크부에 형성된 접촉홀을 통해 상기 제1 전극과 다른층에 형성된 상기 전극라인을 접속시키기 위한 제3 전극이 형성되는 단계를 포함한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 4 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 4는 데이터패드부 및 데이터링크부의 일부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 먼저 데이터패드부(40) 및 데이터링크부(41)는 화상표시부의 데이터라인(42)과 함께 형성된다. 데이터패드부(40)는 유기보호막에 형성된 접촉홀(34)을 통해 투명전극(33)과 접촉된다. 이 투명전극(33)은 TAB 과정에서 요구되는 TCP의 접착과정 반복시 데이터패드부(40)인 금속전극을 보호함과 아울러 금속전극의 산화를 방지하는 역할을 한다. 데이터링크(41)의 하부에는 제1 전극(31,31a)이 데이터 패드부(40)까지 연장되어 형성된다.
도 5는 도 4에 도시된 선 B-B'로 절단한 단면도이고, 도 6은 도 4에 도시된선 C-C'로 절단한 단면도이다.
도 5를 참조하면, 먼저 데이터패드부(40) 및 데이터링크부(41)는 투명기판(30) 상에 알루미늄(Al) 또는 구리(Cu) 등의 금속으로 제1 금속전극(31,31a)이 형성된다. 그리고, 투명기판(30) 상에 제1 금속전극(31,31a)을 덮도록 제1 절연막(32,32a)이 형성된다. 또한, 제1 절연막(32,32a)은 질화실리콘 또는 산화실리콘으로 형성된다. 그런다음, 데이터패드부(40)에 포함된 제1 절연막(32) 상에 투명전극(33)을 형성한다. 또한, 제1 절연막(32)에는 전극(31)을 노출시키는 제1 접촉홀(34)이 형성되며, 이 제1 절연막(32) 상의 제1 접촉홀(34)을 통해 제1 금속전극(31)과 접촉되는 투명전극(33)이 형성된다. 투명전극(33)은 투명한 전도성물질인 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide : ITO), 주석산화물(Tin Oxide : TO) 또는 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide : IZO)으로 형성된다.
도 6을 참조하면, 먼저 데이터링크부(41)는 투명기판(30) 상에 알루미늄(Al) 또는 구리(Cu) 등의 금속으로 제1 금속전극(31a)이 형성된다. 그리고, 투명기판(30) 상에 전극(31a)을 덮도록 제1 절연막(32a)이 형성된다. 그런다음, 제1 절연막(32a) 상에 투명전극(35)을 형성한다. 또한, 제1 절연막(32a)에는 제1 금속전극(31a)을 노출시키는 제2 접촉홀(43)이 형성되며, 이 제1 절연막(32a) 상의 제2 접촉홀(43)을 통해 제1 금속전극(31a)과 접촉되는 투명전극(35)이 형성된다. 이와 같이 제조된 데이터링크부(41)와 다른층에 제조되는 데이터라인부(42)는 먼저, 투명기판(30) 상에 제2 절연막(36)이 형성된다. 그 다음, 제2 절연막(36) 상에 활성층(37) 및 제2 금속전극(38)이 형성된다. 제2 금속전극(38)을 덮도록 패시베이션층(39) 및 투명전극(35)이 형성된다. 또한, 패시베이션층(39)에는 제2 금속전극(38)을 노출시키는 제3 접촉홀(44)이 형성되며, 이 패시베이션층(39) 상의 제3 접촉홀(44)을 통해 접촉되는 투명전극(35)이 데이터링크부(31a)의 제2 접촉홀(43)을 통해 제2 금속전극(38)과 연결된다.
본 발명은 금속전극 및 절연막으로만 데이터패드부 및 데이터링크부를 구성하여 제조한다. 이는 종래 제조방법에서 형성된 활성층이 포함되지 않음과 아울러, 금속전극이 투명전극 상과 접촉되도록 형성된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시소자는 금속전극 및 절연막으로만 데이터패드부 및 데이터링크부를 구성하여 제조함으로써, 데이터패드부 및 데이터링크부가 외부에 노출될 시 발생하는 전극의 부식을 방지할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.
Claims (2)
- 구동회로부의 패드부와 접속되기 위한 패드부 및 상기 패드부와 전극라인을 접속하기 위한 링크부를 구비하는 액정 표시소자에 있어서,상기 패드부 및 링크부는임의의 기판 상에 형성된 제1 전극과;상기 제1 전극 상에 형성된 절연막과;상기 제1 전극이 외부에 노출되도록 하기 위한 접촉홀과;상기 패드부에 형성된 접촉홀을 통해 상기 제1 전극과 접속되기 위한 제2 전극과;상기 링크부에 형성된 접촉홀을 통해 상기 제1 전극과 다른층에 형성된 상기 전극라인을 접속시키기 위한 제3 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 표시소자.
- 구동회로부의 패드부와 접속되기 위한 패드부 및 상기 패드부와 전극라인을 접속하기 위한 링크부를 구비하는 액정 표시소자의 제조방법에 있어서,상기 패드부 및 링크부는임의의 기판 상에 제1 전극이 형성되는 단계와;상기 제1 전극 상에 절연막이 형성되는 단계와;상기 제1 전극이 외부에 노출되도록 접촉홀이 형성되는 단계와;상기 패드부에 형성된 접촉홀을 통해 상기 제1 전극과 접속되기 위한 제2 전극이 형성되는 단계와;상기 링크부에 형성된 접촉홀을 통해 상기 제1 전극과 다른층에 형성된 상기 전극라인을 접속시키기 위한 제3 전극이 형성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시소자의 제조방법.
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Applications Claiming Priority (1)
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